CN114839085A - 一种晶圆剪切力测试机 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及微电子测试领域，具体涉及一种晶圆剪切力测试机，包括支撑组件、观察组件、夹持组件和测试组件，支撑组件的支撑架与底座固定连接，定位座滑动设置在底座上，滑动支撑件用于放置晶圆，然后带动晶圆一起移动到定位座上，通过观察组件对晶圆在测试过程中的变化进行拍照记录，夹持组件的左夹和右夹设置在定位座远离滑动支撑件的一侧，随着滑动支撑件的移动，带动晶圆接触左夹和右夹从而对晶圆进行三点限位，多个压紧板分别滑动设置在左夹、右夹和滑动支撑件的一侧，在晶圆限位完成后，启动压紧板上抬将晶圆夹紧以完成晶圆的固定，通过测试组件对晶圆的剪切力进行测试，使得晶圆的安装更加方便稳定。

Description

一种晶圆剪切力测试机
技术领域
本发明涉及微电子测试领域，尤其涉及一种晶圆剪切力测试机。
背景技术
晶圆剪切力测试机，是用于微电子封装和PCBA电子组装制造及其失效分析领域的专用动态测试仪器。
现有装置在安装并对晶圆进行固定时不够方便，从而降低了工作效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶圆剪切力测试机，旨在可以更加方便地对晶圆进行固定。
为实现上述目的，本发明提供了一种晶圆剪切力测试机，包括支撑组件、观察组件、夹持组件和测试组件，所述支撑组件包括底座、定位座、支撑架和滑动支撑件，所述支撑架与所述底座固定连接，并位于所述底座的一侧，所述定位座滑动设置在所述底座上，所述滑动支撑件滑动设置在所述定位座的一侧，所述观察组件设置在所述支撑架上，所述夹持组件包括左夹、右夹和多个压紧板，所述左夹和所述右夹设置在所述定位座远离所述滑动支撑件的一侧，多个所述压紧板分别滑动设置在所述左夹、所述右夹和所述滑动支撑件的一侧，所述测试组件设置在所述支撑架靠近所述观察组件的一侧。
其中，所述支撑组件还包括防滑垫，所述防滑垫与所述底座固定连接，并位于所述底座底部。
其中，所述滑动支撑件包括支撑座、滑动块和驱动器，所述滑动块与所述定位座滑动连接，所述支撑座固定设置在所述滑动块上，所述驱动器与所述滑动块连接。
其中，所述驱动器包括转动螺杆和控制电机，所述控制电机设置在所述底座上，所述转动螺杆与所述控制电机的输出端连接，并与所述滑动块螺纹连接。
其中，所述观察组件包括观察器和支撑件，所述支撑件设置在所述支撑架上，所述观察器设置在所述支撑件上。
其中，所述支撑件包括观察座和转动头，所述转动头与所述支撑架转动连接，所述观察座设置在所述转动头上，所述观察器安装在所述观察座上。
其中，所述左夹包括夹体、第一弹簧和支撑杆，所述支撑杆与所述定位座滑动连接，所述夹体与所述支撑杆转动连接，并靠近所述滑动支撑件，所述第一弹簧设置额在所述支撑杆和所述定位座之间。
本发明的一种晶圆剪切力测试机，所述支撑架与所述底座固定连接，并位于所述底座的一侧，通过所述底座可以对所述支撑架提供支撑力，所述定位座滑动设置在所述底座上，可以滑动所述定位座以对位置进行调整，所述滑动支撑件滑动设置在所述定位座的一侧，所述滑动支撑件用于放置晶圆，然后带动晶圆一起移动到所述定位座上，所述观察组件设置在所述支撑架上，通过所述观察组件可以对晶圆在测试过程中的变化进行拍照记录，所述夹持组件包括左夹、右夹和多个压紧板，所述左夹和所述右夹设置在所述定位座远离所述滑动支撑件的一侧，随着所述滑动支撑件的移动，可以带动晶圆接触所述左夹和所述右夹从而对晶圆进行三点限位，多个所述压紧板分别滑动设置在所述左夹、所述右夹和所述滑动支撑件的一侧，在晶圆限位完成后，可以启动所述压紧板上抬，从而可以将晶圆夹紧以完成晶圆的固定，所述测试组件设置在所述支撑架靠近所述观察组件的一侧，通过所述测试组件可以对晶圆的剪切力进行测试，从而可以使得晶圆的安装更加方便稳定。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明的一种晶圆剪切力测试机的结构图。
图2是本发明的一种晶圆剪切力测试机的左侧结构图。
图3是本发明的一种晶圆剪切力测试机的右侧结构图。
图4是本发明的一种晶圆剪切力测试机的剖面示意图。
图5是图4细节A的局部放大图。
1-支撑组件、2-观察组件、3-夹持组件、4-测试组件、11-底座、12-定位座、13-支撑架、14-滑动支撑件、15-防滑垫、21-观察器、22-第二支撑件、31-左夹、32-右夹、33-压紧板、41-测试调节器、42-测试杆、43-测试头、141-支撑座、142-滑动块、143-驱动器、221-观察座、222-转动头、311-夹体、312-第一弹簧、313-支撑杆、331-板体、332-推动气缸、1431-转动螺杆、1432-控制电机。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
请参阅图1～图5，本发明提供一种晶圆剪切力测试机：
包括支撑组件1、观察组件2、夹持组件3和测试组件4，所述支撑组件1包括底座11、定位座12、支撑架13和滑动支撑件14，所述支撑架13与所述底座11固定连接，并位于所述底座11的一侧，所述定位座12滑动设置在所述底座11上，所述滑动支撑件14滑动设置在所述定位座12的一侧，所述观察组件2设置在所述支撑架13上，所述夹持组件3包括左夹31、右夹32和多个压紧板33，所述左夹31和所述右夹32设置在所述定位座12远离所述滑动支撑件14的一侧，多个所述压紧板33分别滑动设置在所述左夹31、所述右夹32和所述滑动支撑件14的一侧，所述测试组件4设置在所述支撑架13靠近所述观察组件2的一侧。
在本实施方式中，所述支撑架13与所述底座11固定连接，并位于所述底座11的一侧，通过所述底座11可以对所述支撑架13提供支撑力，所述定位座12滑动设置在所述底座11上，可以滑动所述定位座12以对位置进行调整，所述滑动支撑件14滑动设置在所述定位座12的一侧，所述滑动支撑件14用于放置晶圆，然后带动晶圆一起移动到所述定位座12上，所述观察组件2设置在所述支撑架13上，通过所述观察组件2可以对晶圆在测试过程中的变化进行拍照记录，所述夹持组件3包括左夹31、右夹32和多个压紧板33，所述左夹31和所述右夹32设置在所述定位座12远离所述滑动支撑件14的一侧，随着所述滑动支撑件14的移动，可以带动晶圆接触所述左夹31和所述右夹32从而对晶圆进行三点限位，多个所述压紧板33分别滑动设置在所述左夹31、所述右夹32和所述滑动支撑件14的一侧，在晶圆限位完成后，可以启动所述压紧板33上抬，从而可以将晶圆夹紧以完成晶圆的固定，所述测试组件4设置在所述支撑架13靠近所述观察组件2的一侧，通过所述测试组件4可以对晶圆的剪切力进行测试，从而可以使得晶圆的安装更加方便稳定。
进一步的，所述支撑组件1还包括防滑垫15，所述防滑垫15与所述底座11固定连接，并位于所述底座11底部。
在本实施方式中，通过所述防滑垫15可以增加所述底座11与地面之间的摩擦力，使得放置更加稳定。
进一步的，所述滑动支撑件14包括支撑座141、滑动块142和驱动器143，所述滑动块142与所述定位座12滑动连接，所述支撑座141固定设置在所述滑动块142上，所述驱动器143与所述滑动块142连接。
在本实施方式中，通过所述驱动器143可以带动所述滑动块142滑动，从而可以带动所述支撑座141移动，所述支撑座141用于对晶圆进行支撑。
进一步的，所述驱动器143包括转动螺杆1431和控制电机1432，所述控制电机1432设置在所述底座11上，所述转动螺杆1431与所述控制电机1432的输出端连接，并与所述滑动块142螺纹连接。
在本实施方式中，通过所述控制电机1432可以带动所述转动螺杆1431转动，从而可以带动所述滑动块142滑动以带动晶圆移动。
进一步的，所述观察组件2包括观察器21和第二支撑件22，所述第二支撑件22设置在所述支撑架13上，所述观察器21设置在所述第二支撑件22上。
在本实施方式中，通过所述第二支撑件22对所述观察器21进行支撑，使得所述观察器21可以在所述第二支撑件22的作用下对位置进行调整，使得使用更加方便。
进一步的，所述支撑件22包括观察座221和转动头222，所述转动头222与所述支撑架13转动连接，所述观察座221设置在所述转动头222上，所述观察器21安装在所述观察座221上。
在本实施方式中，所述观察座221用于和所述支撑架13进行安装，所述转动头222用于对所述观察器21的位置进行调整。
进一步的，所述左夹31包括夹体311、第一弹簧312和支撑杆313，所述支撑杆313与所述定位座12滑动连接，所述夹体311与所述支撑杆313转动连接，并靠近所述滑动支撑件14，所述第一弹簧312设置额在所述支撑杆313和所述定位座12之间。
在本实施方式中，通过所述夹体311和晶圆接触，然后所述支撑杆313在所述定位座12和所述第一弹簧312的支撑下配合对晶圆进行抵紧，从而可以方便对不同尺寸的晶圆进行定位。所述右夹32的结构与所述左夹31类似。
进一步的，所述压紧板33包括板体331和推动气缸332，所述推动气缸332固定在所述支撑杆313上，所述板体331与所述推动气缸332的输出端连接，并位于所述架体内。
在本实施方式中，通过所述推动气缸332可以带动所述板体331上下移动，从而可以方便地对晶圆进行夹紧。
进一步的，所述测试组件4包括测试调节器41、测试杆42和测试头43，所述测试调节器41设置在所述支撑架13上，所述测试杆42与所述测试调节器41连接，所述测试头43设置在所述测试杆42上。
在本实施方式中，可以通过所述测试调节器41对所述测试杆42的位置进行调整，然后通过所述测试头43对晶圆施加力并将受力信号传输到上位机，使得使用更加方便。
以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (7)

1.一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
包括支撑组件、观察组件、夹持组件和测试组件，所述支撑组件包括底座、定位座、支撑架和滑动支撑件，所述支撑架与所述底座固定连接，并位于所述底座的一侧，所述定位座滑动设置在所述底座上，所述滑动支撑件滑动设置在所述定位座的一侧，所述观察组件设置在所述支撑架上，所述夹持组件包括左夹、右夹和多个压紧板，所述左夹和所述右夹设置在所述定位座远离所述滑动支撑件的一侧，多个所述压紧板分别滑动设置在所述左夹、所述右夹和所述滑动支撑件的一侧，所述测试组件设置在所述支撑架靠近所述观察组件的一侧。
2.如权利要求1所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述支撑组件还包括防滑垫，所述防滑垫与所述底座固定连接，并位于所述底座底部。
3.如权利要求1所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述滑动支撑件包括支撑座、滑动块和驱动器，所述滑动块与所述定位座滑动连接，所述支撑座固定设置在所述滑动块上，所述驱动器与所述滑动块连接。
4.如权利要求3所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述驱动器包括转动螺杆和控制电机，所述控制电机设置在所述底座上，所述转动螺杆与所述控制电机的输出端连接，并与所述滑动块螺纹连接。
5.如权利要求1所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述观察组件包括观察器和支撑件，所述支撑件设置在所述支撑架上，所述观察器设置在所述支撑件上。
6.如权利要求5所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述支撑件包括观察座和转动头，所述转动头与所述支撑架转动连接，所述观察座设置在所述转动头上，所述观察器安装在所述观察座上。
7.如权利要求1所述的一种晶圆剪切力测试机，其特征在于，
所述左夹包括夹体、第一弹簧和支撑杆，所述支撑杆与所述定位座滑动连接，所述夹体与所述支撑杆转动连接，并靠近所述滑动支撑件，所述第一弹簧设置额在所述支撑杆和所述定位座之间。
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