CN213364953U

CN213364953U - 一种晶圆测试用负载板连接固定结构

Info

Publication number: CN213364953U
Application number: CN202022268718.2U
Authority: CN
Inventors: 许传庆; 许元君
Original assignee: Suzhou Kaiqing Precision Electronics Co ltd
Current assignee: Suzhou Kaiqing Precision Electronics Co ltd
Priority date: 2020-10-13
Filing date: 2020-10-13
Publication date: 2021-06-04
Anticipated expiration: 2030-10-13

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆测试用负载板连接固定结构，包括底座，所述底座顶部固定连接有两个对称设置的支撑杆，两个所述支撑杆顶部固定连接有同一个顶板，所述顶板顶部固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆连接有压板，所述底座与顶板之间固定连接有两个对称设置的滑杆，所述压板上开设有两个对称设置的滑口，所述滑口内侧壁与滑杆滑动连接。本实用新型通过电机、螺纹杆、滑杆、压板、滑块、第一安装座、第二安装座、连杆以及竖板的配合使用，实现了对不同长度的负载板进行进行夹持，避免了现有技术中通过螺栓固定负载板时拆卸与安装过程中，容易丢失，操作不便的问题。

Description

一种晶圆测试用负载板连接固定结构

技术领域

本实用新型涉及圆晶测试技术领域，尤其涉及一种晶圆测试用负载板连接固定结构。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，在半导体制程中，主要分为IC设计、晶圆制程、晶圆测试与晶圆封装，其中晶圆测试是对芯片上的每个晶粒进行针测，在检测头上装上金线制成的探针，与晶粒上的接点接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号并在芯片依晶粒为单位切割成独立的晶粒时被淘汰，不再进行下一制程，以免徒增制造成本，晶圆测试在进行时是以片为单位进行的，圆片在转移到探针台后，设备自动上片测试，测试结束后圆片自动下片。

在进行晶圆测试的过程中，要对负载板进行连接固定，保证其在检测过程中不易偏移，不会影响到测试的准确性，目前对负载板进行固定时，需要使用工具依次旋紧螺栓，同时螺栓在反复拆卸与安装过程中，容易丢失，操作不便，因此亟需一种晶圆测试用负载板连接固定结构来解决问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在问题，而提出的一种晶圆测试用负载板连接固定结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶圆测试用负载板连接固定结构，包括底座，所述底座顶部固定连接有两个对称设置的支撑杆，两个所述支撑杆顶部固定连接有同一个顶板，所述顶板顶部固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆连接有压板，所述底座与顶板之间固定连接有两个对称设置的滑杆，所述压板上开设有两个对称设置的滑口，所述滑口内侧壁与滑杆滑动连接，两个所述滑杆外侧壁均滑动连接有滑块，所述滑块通过中间机构连接有竖板，两个所述竖板相对一侧均转动连接有转动轴，所述转动轴端部固定连接有U型板，所述U型板内设有夹紧机构。

优选地，所述压板上设有螺纹口，所述螺纹杆外侧壁开设有外螺纹，所述螺纹口内侧壁设有与外螺纹相适配的内螺纹，所述螺纹口与螺纹杆螺纹连接。

优选地，所述中间机构包括固定连接在滑块外侧壁的第一安装座，所述竖板外侧壁固定连接有第二安装座，所述第一安装座与第二安装座通过连杆连接。

优选地，所述滑杆外侧壁套设有复位弹簧，所述复位弹簧两端分别与滑块底部以及底座顶部固定连接。

优选地，所述夹紧机构包括两个固定连接在U型板内侧壁的伸缩杆，两个所述伸缩杆相对一侧均固定连接有夹持板，所述伸缩杆外侧壁套设有压缩弹簧，所述压缩弹簧两端分别与U型板内侧壁以及夹持板外侧壁固定连接。

优选地，所述转动轴外侧壁固定连接有限位盘，所述限位盘上设有多个呈环形设置的限位孔，所述竖板上设有插槽，所述插槽与相对应的限位孔内插设有同一根限位杆。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1、本实用新型通过电机、螺纹杆、滑杆、压板、滑块、第一安装座、第二安装座、连杆以及竖板的配合使用，实现了对不同长度的负载板进行进行夹持，避免了现有技术中通过螺栓固定负载板时拆卸与安装过程中，容易丢失，操作不便的问题。

2、本实用新型通过U型板、转动轴、限位盘、限位杆、限位孔、伸缩杆、夹持板以及压缩弹簧的配合使用，实现了该装置可以对不同厚度的负载板进行固定，同时避免了传统装置中对负载板另一面进行测试时需要将负载板取下再固定的繁琐步骤，提高了装置的实用性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶圆测试用负载板连接固定结构的正面连接结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种晶圆测试用负载板连接固定结构的A处放大图；

图3为本实用新型提出的一种晶圆测试用负载板连接固定结构中限位盘、限位孔以及转动轴连接结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种晶圆测试用负载板连接固定结构中压板、螺纹口以及滑口连接结构示意图。

图中：1、底座；2、支撑杆；3、顶板；4、电机；5、螺纹杆；6、滑杆；7、压板；8、滑块；9、复位弹簧；10、连杆；11、竖板；12、转动轴；13、U型板；14、伸缩杆；15、压缩弹簧；16、夹持板；17、限位盘；18、限位杆；19、限位孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-4，一种晶圆测试用负载板连接固定结构，包括底座1，底座1顶部固定连接有两个对称设置的支撑杆2，两个支撑杆2顶部固定连接有同一个顶板3，顶板3顶部固定连接有电机4，电机4输出端固定连接有螺纹杆5，螺纹杆5连接有压板7，压板7上设有螺纹口，螺纹杆5外侧壁开设有外螺纹，螺纹口内侧壁设有与外螺纹相适配的内螺纹，螺纹口与螺纹杆5螺纹连接；

底座1与顶板3之间固定连接有两个对称设置的滑杆6，滑杆6外侧壁套设有复位弹簧9，复位弹簧9两端分别与滑块8底部以及底座1顶部固定连接，通过设有复位弹簧9实现了滑块8的快速复位，方便再次使用；

压板7上开设有两个对称设置的滑口，滑口内侧壁与滑杆6滑动连接，两个滑杆6外侧壁均滑动连接有滑块8，滑块8通过中间机构连接有竖板11，其中，两个竖板11底部与底座1顶部滑动连接，进而使得竖板11可以稳定水平移动；

中间机构包括固定连接在滑块8外侧壁的第一安装座，竖板11外侧壁固定连接有第二安装座，第一安装座与第二安装座通过连杆10连接，其中，第一安装座与第二安装座外侧壁均固定连接有销轴，连杆10两端开设有旋转口，旋转口内侧壁与销轴转动套接，两个竖板11相对一侧均转动连接有转动轴12；

转动轴12外侧壁固定连接有限位盘17，限位盘17上设有多个呈环形设置的限位孔19，竖板11上设有插槽，插槽与相对应的限位孔19内插设有同一根限位杆18，通过限位杆18、限位孔19以及插槽的配合使用，实现了对负载板的固定；

转动轴12端部固定连接有U型板13，U型板13内设有夹紧机构，夹紧机构包括两个固定连接在U型板13内侧壁的伸缩杆14，两个伸缩杆14相对一侧均固定连接有夹持板16，伸缩杆14外侧壁套设有压缩弹簧15，压缩弹簧15两端分别与U型板13内侧壁以及夹持板16外侧壁固定连接。

本实用新型具体工作原理如下：

初始状态下，将负载板一端放在两个夹持板16之间，在伸缩杆14与压缩弹簧15的作用下将负载板一端夹紧，启动电机4，电机4为伺服电机，是现有技术，在此不多做详细赘述；

电机4工作带动螺纹杆5转动，通过螺纹杆5与压板7上的螺纹口配合使用，使得螺纹杆5转动，压板7上下移动，压板7向下移动时，会带动滑块8向下移动，滑块8向下移动时，会通过连杆10带动两个竖板11朝着相对一侧移动，进而使得负载板两端都被夹紧；

当需要对负载板另一面进行检测时，只需转动U型板13，进而带动负载板翻转，翻转完成后，只需将限位杆18插设到相对应的插槽与限位孔19内即可实现负载板的固定。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种晶圆测试用负载板连接固定结构，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）顶部固定连接有两个对称设置的支撑杆（2），两个所述支撑杆（2）顶部固定连接有同一个顶板（3），所述顶板（3）顶部固定连接有电机（4），所述电机（4）输出端固定连接有螺纹杆（5），所述螺纹杆（5）连接有压板（7），所述底座（1）与顶板（3）之间固定连接有两个对称设置的滑杆（6），所述压板（7）上开设有两个对称设置的滑口，所述滑口内侧壁与滑杆（6）滑动连接，两个所述滑杆（6）外侧壁均滑动连接有滑块（8），所述滑块（8）通过中间机构连接有竖板（11），两个所述竖板（11）相对一侧均转动连接有转动轴（12），所述转动轴（12）端部固定连接有U型板（13），所述U型板（13）内设有夹紧机构。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用负载板连接固定结构，其特征在于，所述压板（7）上设有螺纹口，所述螺纹杆（5）外侧壁开设有外螺纹，所述螺纹口内侧壁设有与外螺纹相适配的内螺纹，所述螺纹口与螺纹杆（5）螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用负载板连接固定结构，其特征在于，所述中间机构包括固定连接在滑块（8）外侧壁的第一安装座，所述竖板（11）外侧壁固定连接有第二安装座，所述第一安装座与第二安装座通过连杆（10）连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用负载板连接固定结构，其特征在于，所述滑杆（6）外侧壁套设有复位弹簧（9），所述复位弹簧（9）两端分别与滑块（8）底部以及底座（1）顶部固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用负载板连接固定结构，其特征在于，所述夹紧机构包括两个固定连接在U型板（13）内侧壁的伸缩杆（14），两个所述伸缩杆（14）相对一侧均固定连接有夹持板（16），所述伸缩杆（14）外侧壁套设有压缩弹簧（15），所述压缩弹簧（15）两端分别与U型板（13）内侧壁以及夹持板（16）外侧壁固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用负载板连接固定结构，其特征在于，所述转动轴（12）外侧壁固定连接有限位盘（17），所述限位盘（17）上设有多个呈环形设置的限位孔（19），所述竖板（11）上设有插槽，所述插槽与相对应的限位孔（19）内插设有同一根限位杆（18）。