CN208156050U - 半导体测试用测试板 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体封装技术领域，具体公开了半导体测试用测试板，包括板体，板体上设有固定夹紧机构，固定夹紧机构包括上夹紧块和两个侧夹紧块，上夹紧块竖直滑动连接在板体上，两个侧夹紧块均横向滑动连接在板体上，且两个侧夹紧块与板体之间均连有第一弹性件，上夹紧块固定连接有两个倾斜的驱动杆，两个驱动杆呈“八”字形分布，两个侧夹紧块上分别开设有能与两个驱动杆配合的斜孔，上夹紧块与板体之间还设有锁定机构。采用本实用新型能解决传统元件安装时操作不方便导致测试效率低的问题。

Description

半导体测试用测试板

技术领域

本实用新型涉及半导体封装技术领域，具体涉及半导体测试用测试板。

背景技术

半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后测试组成。通常，在晶圆 (wafer)制造完成后，便需进入晶圆测试阶段以确保其功能是否符合标准。一般，晶圆测试是利用测试机台与探针卡(probe card)来测试晶圆上每一个晶粒，以确保晶粒的电气特性与效能是否有依照原先的设计规格。而随着芯片功能更强更复杂，高速与精确的测试需求也就更加重要。

现有工艺中，将待测元件安装到测试板上时，通常都是通过将元件费力插入测试板上的卡槽中实现待测元件的固定，工人在插入和拔出元件时操作比较麻烦，检测效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供半导体测试用测试板，以解决传统元件安装时操作不方便导致测试效率低的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

半导体测试用测试板，包括板体，板体上设有固定夹紧机构，固定夹紧机构包括上夹紧块和两个侧夹紧块，上夹紧块竖直滑动连接在板体上，两个侧夹紧块均横向滑动连接在板体上，且两个侧夹紧块与板体之间均连有第一弹性件，上夹紧块固定连接有两个倾斜的驱动杆，两个驱动杆呈“八”字形分布，两个侧夹紧块上分别开设有能与两个驱动杆配合的斜孔，上夹紧块与板体之间还设有锁定机构。

本方案的原理在于：

板体作为待测试元件的安装部件，固定夹紧机构用于实现对安装在板体上的待测试元件的夹紧和固定，固定夹紧机构中，上夹紧块用于对待测试元件的上表面施加压力，从而限制了待测试元件竖直方向上的位移，两个侧夹紧块用于对待测试元件的两个相对的侧面施加压力，从而限制了待测试元件横向上的位移，上夹紧块上的两个驱动杆用于与两个侧夹紧块上的两个斜孔分别配合，由于驱动杆运动方向为竖直运动，当驱动杆在侧夹紧块上的斜孔内运动时，驱动杆给予斜孔的侧壁一个垂直于斜孔的压力，使得侧夹紧块在板体上横向运动，由于两个驱动杆呈“八”字形分布，使得两个侧夹紧块产生相向运动，从而上夹紧块向下运动逐渐靠近待测试元件时，两个侧夹紧块也逐渐靠近待测试元件，最终将整个待测试元件夹紧，同理，当上夹紧块向上运动时，两个驱动杆给予两个侧夹紧块的力相背，使得两个侧夹紧块互相远离，两个侧夹紧块将元件松开，第一弹性件用于两个侧夹紧块的复位，锁定机构用于在上夹紧块和两个侧夹紧块将待测试元件夹紧后，将待测试元件固定在板体上。

采用本方案能达到如下技术效果：

1、仅需通过竖直滑动上夹紧块便能实现上夹紧块和两个侧夹紧块对待测试元件进行全方位的夹紧和固定，从而将待测试元件牢靠地固定在板体上，与传统的待测试元件需卡入卡槽中相比，操作更加方便，从而整个测试的效率得到提高。

2、通过上夹紧块上的两个“八”字形分布的驱动杆与两个侧夹紧块上的斜孔配合，简单有效地实现两个侧夹紧块的相互靠近和远离，即实现两个侧夹紧块对待测试元件的夹紧和松开。

3、锁定机构保证了上夹紧块夹紧元件后不会由于第一弹性件的作用而产生松动。

进一步，锁定机构包括第二弹性件，第二弹性件一端固定在上夹紧块上、另一端固定在板体上。通过第二弹性件的弹性作用给予上夹紧块一个向下的拉力，使得上夹紧块处于受力平衡的状态，从而实现上夹紧块的位置固定。

进一步，驱动杆自由端均设有锥形导向块。锥形导向块对驱动杆起到导向作用，使得驱动杆自由端能顺利插入斜孔内。

进一步，驱动杆和斜孔的横截面均呈圆形。通过圆形的驱动杆和斜孔的配合，驱动杆能在斜孔内顺利滑动。

进一步，两个侧夹紧块的相对面设有弹性保护层。弹性保护层能在两个侧夹紧块夹紧元件时对元件起到保护作用。

进一步，弹性保护层为弹性橡胶，且弹性橡胶上设有防滑齿。防滑齿能够防止弹性橡胶与元件之间发生相对滑动，进一步保证了侧夹紧块对元件的夹紧效果。

进一步，侧夹紧块远离上夹紧块的一侧均设有第一导向座，第一导向座固定在板体上，第一导向座上均开设有第一通孔，第一通孔内均滑动连接有导向杆，导向杆与侧夹紧块固定连接，第一弹性件一端固定在第一导向座上、另一端缠绕并固定在导向杆上。第一导向座上的第一通孔能对导向杆的横向运动起到导向的作用，当导向杆横向运动时，达到挤压第一弹簧的目的。

进一步，板体上还固定连接有第二导向座，第二导向座位于导向座与侧夹紧块之间，第二导向座上开设有第二通孔，导向杆也滑动连接在第二通孔内。导向杆同时滑动连接在第一通孔和第二通孔内，能使导向杆运动得更加平稳。

进一步，导向杆自由端均设有限位块。限位块能限制导向杆横向运动的极限位置。

进一步，上夹紧块上表面固定有手持环。手持环便于人们手提，从而使得上夹紧块竖直运动。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式进一步详细的说明：

说明书附图中的附图标记包括：板体1、上夹紧块2、驱动杆20、第二弹簧21、手持环22、锥形导向块23、侧夹紧块3、斜孔30、第一弹簧31、弹性保护层32、防滑齿33、第一导向座4、第二导向座5、导向杆6、限位块7。

如图1所示，本实施例的半导体测试用测试板，包括板体1，板体1上设有固定夹紧机构，固定夹紧机构包括上夹紧块2和两个侧夹紧块3，上夹紧块2位于两个侧夹紧块3上方，且上夹紧块2位于两个侧夹紧块3之间，上夹紧块2竖直滑动连接在所述板体1上，上夹紧块2上表面固定有手持环22，两个侧夹紧块3均横向滑动连接在板体1上，两个侧夹紧块3 相对设置，且两个侧夹紧块3的相对面设有弹性保护层32，弹性保护层32采用弹性橡胶制成，且弹性保护层32上设有防滑齿33。侧夹紧块3远离上夹紧块2的一侧均设有第一导向座4和第二导向座5，第一导向座4和第二导向座5均固定在板体1上，第二导向座5位于第一导向座4与侧夹紧块3之间，第一导向座4上均开设有第一通孔，第二导向座5上均开设有第二通孔，侧夹紧块3均固定连接有导向杆6，导向杆6均滑动连接在第一通孔和第二通孔内，导向杆6自由端均设有限位块7，导向杆6上缠绕有第一弹簧31，第一弹簧31一端固定在导向杆6外缘上、另一端固定在第一导向座4上。

上夹紧块2的下表面固定连接有两个倾斜的驱动杆20，两个驱动杆20呈“八”字形分布，驱动杆20自由端均设有锥形导向块23，两个侧夹紧块3上分别开设有能与两个驱动杆20配合的斜孔30，驱动杆20和斜孔30的横截面均呈圆形，上夹紧块2与板体1之间还连有第二弹簧21。

本实施例的半导体测试用测试板，安装待测试元件的具体过程如下：手提手持环22将上夹紧块2向上提起，留出空间后将待测试元件置于此空间内，再松开上夹紧块2，上夹紧块2向下运动，上夹紧块2的下表面逐渐靠近待测试元件的上表面，上夹紧块2向下运动时，带动两个呈“八”字形分布的驱动杆20向下运动，驱动杆20自由端的锥形导向块23对驱动杆20起到导向作用，使得驱动杆20自由端能顺利插入斜孔30内，当两个驱动杆20分别插入两个侧夹紧块3上的斜孔30后，驱动杆20继续随上夹紧块2向下运动，位于左侧的驱动杆20给予左侧的侧夹紧块3上的斜孔30一个朝向右下方的压力，使得左侧的侧夹紧块3 向右运动，同时位于右侧的驱动杆20给予右侧的侧夹紧块3上的斜孔30一个朝向左下方的压力，使得左侧的侧夹紧块3向左运动，如此，两个侧夹紧块3相互靠近，直至两个侧夹紧块3均与待测试元件接触，并给予待测试元件两个相对侧壁一对相向的正压力，同时上夹紧块2给予待测试元件上表面一个向下的压力，第二弹簧21此时处于伸长状态，给予上夹紧块2一个向下的压力，使得上夹紧块2受力平衡，待测试元件得到全方位的夹紧和固定，此时再进行元件的测试即可。测试完成后，向上滑动上夹紧块2，同理，两个驱动杆20分别带动两个侧夹紧块3相互远离，此时将元件取出即可。本方案仅需竖直滑动上夹紧块2便可实现对待测试元件的夹紧和松开，与传统的待测试元件安装时需将待测试元件费力卡入板体1 上的卡槽中相比，操作更加方便，从而整个测试的效率得到提高。

以上所述的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。

Claims (10)

1.半导体测试用测试板，包括板体，其特征在于：所述板体上设有固定夹紧机构，所述固定夹紧机构包括上夹紧块和两个侧夹紧块，所述上夹紧块竖直滑动连接在所述板体上，两个所述侧夹紧块均横向滑动连接在板体上，且两个所述侧夹紧块与板体之间均连有第一弹性件，所述上夹紧块固定连接有两个倾斜的驱动杆，两个所述驱动杆呈“八”字形分布，两个侧夹紧块上分别开设有能与两个驱动杆配合的斜孔，所述上夹紧块与板体之间还设有锁定机构。

2.根据权利要求1所述的半导体测试用测试板，其特征在于：所述锁定机构包括第二弹性件，所述第二弹性件一端固定在上夹紧块上、另一端固定在板体上。

3.根据权利要求2所述的半导体测试用测试板，其特征在于：所述驱动杆自由端均设有锥形导向块。

4.根据权利要求3所述的半导体测试用测试板，其特征在于：所述驱动杆和斜孔的横截面均呈圆形。

5.根据权利要求4所述的半导体测试用测试板，其特征在于：两个所述侧夹紧块的相对面设有弹性保护层。

6.根据权利要求5所述的半导体测试用测试板，其特征在于：所述弹性保护层为弹性橡胶，且弹性橡胶上设有防滑齿。

7.根据权利要求6所述的半导体测试用测试板，其特征在于：所述侧夹紧块远离上夹紧块的一侧均设有第一导向座，第一导向座固定在板体上，第一导向座上均开设有第一通孔，第一通孔内均滑动连接有导向杆，导向杆与侧夹紧块固定连接，所述第一弹性件一端固定在第一导向座上、另一端缠绕并固定在导向杆上。

8.根据权利要求7所述的半导体测试用测试板，其特征在于：所述板体上还固定连接有第二导向座，第二导向座位于导向座与侧夹紧块之间，第二导向座上开设有第二通孔，导向杆也滑动连接在第二通孔内。

9.根据权利要求8所述的半导体测试用测试板，其特征在于：所述导向杆自由端均设有限位块。

10.根据权利要求9所述的半导体测试用测试板，其特征在于：所述上夹紧块上表面固定有手持环。