JPH0897133A - 試料保持装置 - Google Patents
試料保持装置Info
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- JPH0897133A JPH0897133A JP25880194A JP25880194A JPH0897133A JP H0897133 A JPH0897133 A JP H0897133A JP 25880194 A JP25880194 A JP 25880194A JP 25880194 A JP25880194 A JP 25880194A JP H0897133 A JPH0897133 A JP H0897133A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料を歪ませることなく所定の位置に正確に
保持可能にする 【構成】 ホルダ本体１０上に３つのヒンジ板１１によ
りチャック基板１２を上下方向にのみ移動自在に取り付
ける。チャック基板１２には３つの突起１８が設けら
れ、試料１７を３点支持するようになっている。試料１
７は突起１８と同軸上に上下動自在に配置された３つの
クランパ１９によって歪を生じることなくすなわち平面
度を変化させることなくチャック基板１２に固定され
る。試料１７の高さ及び姿勢（傾き）はチャック基板１
２の下方に設けた基板支持手段の３つのピン１４を上下
させることにより調整され、かつ設定される。
保持可能にする 【構成】 ホルダ本体１０上に３つのヒンジ板１１によ
りチャック基板１２を上下方向にのみ移動自在に取り付
ける。チャック基板１２には３つの突起１８が設けら
れ、試料１７を３点支持するようになっている。試料１
７は突起１８と同軸上に上下動自在に配置された３つの
クランパ１９によって歪を生じることなくすなわち平面
度を変化させることなくチャック基板１２に固定され
る。試料１７の高さ及び姿勢（傾き）はチャック基板１
２の下方に設けた基板支持手段の３つのピン１４を上下
させることにより調整され、かつ設定される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、荷電ビーム描画装置等
における試料保持装置に係わり、特に試料を歪ませるこ
となく所定の位置に正確に保持するようにした装置に関
する。
における試料保持装置に係わり、特に試料を歪ませるこ
となく所定の位置に正確に保持するようにした装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、荷電ビーム描画装置等において
は、Ｓｉウエハ等の試料を平面度の良い静電チャック基
板に吸引密着させて保持したり、または機械的なクラン
プまたは真空チャックにより試料をチャック基板に密着
させて保持したりすることにより、試料の反りなどを矯
正して平面度を高めて描画などの処理を施すようにして
いた。
は、Ｓｉウエハ等の試料を平面度の良い静電チャック基
板に吸引密着させて保持したり、または機械的なクラン
プまたは真空チャックにより試料をチャック基板に密着
させて保持したりすることにより、試料の反りなどを矯
正して平面度を高めて描画などの処理を施すようにして
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、チャック基
板の平面度が良いと言っても１μｍ程度はあるため、仮
に試料の平面度が零であった場合には、平面度の矯正で
はなく、逆に試料を歪ませて平面度を悪化させてしま
う。この試料の歪により試料表面が伸縮するため、この
歪がある状態で描画し、その後、歪が解除されると、描
画されたパターンが変形し、いわゆる描画誤差として現
れる。
板の平面度が良いと言っても１μｍ程度はあるため、仮
に試料の平面度が零であった場合には、平面度の矯正で
はなく、逆に試料を歪ませて平面度を悪化させてしま
う。この試料の歪により試料表面が伸縮するため、この
歪がある状態で描画し、その後、歪が解除されると、描
画されたパターンが変形し、いわゆる描画誤差として現
れる。
【０００４】この試料の歪による試料表面の伸縮量の最
大値δは、δ＝（４ｔｈ）／ｌで表される。ただし、ｔ
は試料の厚さ、ｈは試料の変形（歪）量、ｌは試料の大
きさである。そこで、ｔ＝０．６ｍｍ、ｈ＝１μｍ、ｌ
＝３インチ＝７６．３ｍｍの場合、δ＝（４×０．６×
１）／７６．３＝０．０３（μｍ）となり、高精度描画
においては無視することのでない値である。
大値δは、δ＝（４ｔｈ）／ｌで表される。ただし、ｔ
は試料の厚さ、ｈは試料の変形（歪）量、ｌは試料の大
きさである。そこで、ｔ＝０．６ｍｍ、ｈ＝１μｍ、ｌ
＝３インチ＝７６．３ｍｍの場合、δ＝（４×０．６×
１）／７６．３＝０．０３（μｍ）となり、高精度描画
においては無視することのでない値である。
【０００５】この値は、試料の厚さに比例して大きくな
るが、例えば試料がＸ線用マスク基板の場合、Ｓｉ基板
を数ｍｍの厚さの補強枠に接合して用いることがあり、
このような場合には補強枠が厚いため、描画パターンの
変形量は顕著となる。
るが、例えば試料がＸ線用マスク基板の場合、Ｓｉ基板
を数ｍｍの厚さの補強枠に接合して用いることがあり、
このような場合には補強枠が厚いため、描画パターンの
変形量は顕著となる。
【０００６】また、試料が歪んでおり、試料の平面度が
数μｍある場合に、これをチャック基板で矯正して描画
した後、元の平面度に戻すと、試料の変形量ｈが数μｍ
となるため、この場合にも描画パターンの変形量は顕著
となる。
数μｍある場合に、これをチャック基板で矯正して描画
した後、元の平面度に戻すと、試料の変形量ｈが数μｍ
となるため、この場合にも描画パターンの変形量は顕著
となる。
【０００７】本発明は、前述したような課題を解決する
ため、試料を歪ませることなく所定の位置に正確に保持
することのできる装置を提供することを目的としてい
る。
ため、試料を歪ませることなく所定の位置に正確に保持
することのできる装置を提供することを目的としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、荷電ビーム描画装置等における試料保持装
置において、ホルダ本体と、このホルダ本体上に上下方
向にのみ移動自在に取り付けられたチャック基板と、ホ
ルダ本体に取り付けられ前記チャック基板をそれぞれ高
さ調整可能に３点で支持する基板支持手段と、前記ホル
ダ本体に上下動自在に取り付けられ前記チャック基板と
このチャック基板上に３点支持により置かれた試料との
３点支持部の各々を上下方向から挟み込む３つのクラン
パとを備えたものである。
の本発明は、荷電ビーム描画装置等における試料保持装
置において、ホルダ本体と、このホルダ本体上に上下方
向にのみ移動自在に取り付けられたチャック基板と、ホ
ルダ本体に取り付けられ前記チャック基板をそれぞれ高
さ調整可能に３点で支持する基板支持手段と、前記ホル
ダ本体に上下動自在に取り付けられ前記チャック基板と
このチャック基板上に３点支持により置かれた試料との
３点支持部の各々を上下方向から挟み込む３つのクラン
パとを備えたものである。
【０００９】なお、チャック基板は、その下面およびそ
れに対向するホルダ本体の上面にほぼ沿って伸びる複数
の薄い板ばねでホルダ本体に連結することにより上下方
向にのみわずかに移動自在に取り付けることが好まし
い。
れに対向するホルダ本体の上面にほぼ沿って伸びる複数
の薄い板ばねでホルダ本体に連結することにより上下方
向にのみわずかに移動自在に取り付けることが好まし
い。
【００１０】また、チャック基板は、その下面およびそ
れに対向するホルダ本体の上面にほぼ沿って伸び両端部
近傍にくびれ部からなる弾性ヒンジ部をそれぞれ有する
複数のヒンジ板でホルダ本体に連結することにより上下
方向にのみわずかに移動自在に取り付けることが好まし
く、さらに、弾性ヒンジ部の少なくとも一方を、幅方向
に両側より狭めるとよい。
れに対向するホルダ本体の上面にほぼ沿って伸び両端部
近傍にくびれ部からなる弾性ヒンジ部をそれぞれ有する
複数のヒンジ板でホルダ本体に連結することにより上下
方向にのみわずかに移動自在に取り付けることが好まし
く、さらに、弾性ヒンジ部の少なくとも一方を、幅方向
に両側より狭めるとよい。
【００１１】さらにまた、クランパは、ホルダ本体の上
面にほぼ沿って伸びる薄い板ばね、または同じくホルダ
本体の上面にほぼ沿って伸び両端部近傍にくびれ部から
なる弾性ヒンジ部をそれぞれ有するヒンジ板でホルダ本
体に連結することにより上下動自在に取り付けることが
好ましい。
面にほぼ沿って伸びる薄い板ばね、または同じくホルダ
本体の上面にほぼ沿って伸び両端部近傍にくびれ部から
なる弾性ヒンジ部をそれぞれ有するヒンジ板でホルダ本
体に連結することにより上下動自在に取り付けることが
好ましい。
【００１２】さらにまた、クランパの対をなすクランプ
アームの間にカムを設け、このカムによってクランプア
ームをクランプアーム自身が有する弾性閉じ力に抗して
開くように構成することが好ましく、この場合、カム
が、試料に接する側である上方のクランプアームを下方
のクランプアームより大きく開くように構成することが
好ましい。
アームの間にカムを設け、このカムによってクランプア
ームをクランプアーム自身が有する弾性閉じ力に抗して
開くように構成することが好ましく、この場合、カム
が、試料に接する側である上方のクランプアームを下方
のクランプアームより大きく開くように構成することが
好ましい。
【００１３】
【作用】試料は３点支持でチャック基板上に置かれ、か
つ３点支持部においてクランプされるため、試料は自身
の平面度を変化されることなく、チャック基板上に固定
される。試料の高さ位置及び姿勢（傾き）は基板支持手
段によりチャック基板の高さ位置及び姿勢を調整するこ
とにより所望の状態に設定される。このときクランパは
上下動自在に取り付けられているため、試料の高さ位置
及び姿勢の調整に悪影響を及ぼすことはない。また、チ
ャック基板は上下方向にのみ移動可能であるため、試料
の表面に沿う方向の位置ずれの発生はなく、正確な描画
が可能である。
つ３点支持部においてクランプされるため、試料は自身
の平面度を変化されることなく、チャック基板上に固定
される。試料の高さ位置及び姿勢（傾き）は基板支持手
段によりチャック基板の高さ位置及び姿勢を調整するこ
とにより所望の状態に設定される。このときクランパは
上下動自在に取り付けられているため、試料の高さ位置
及び姿勢の調整に悪影響を及ぼすことはない。また、チ
ャック基板は上下方向にのみ移動可能であるため、試料
の表面に沿う方向の位置ずれの発生はなく、正確な描画
が可能である。
【００１４】
【実施例】以下本発明の実施例について図１ないし図４
を参照して説明する。ホルダ本体１０は、図示省略した
試料セット装置のフレーム上に着脱可能に置かれるよう
になっており、このホルダ本体１０の上には３つのヒン
ジ板１１によりチャック基板１２が上下方向（図１にお
いて紙面に垂直な方向）にのみ移動自在に取り付けられ
ている。
を参照して説明する。ホルダ本体１０は、図示省略した
試料セット装置のフレーム上に着脱可能に置かれるよう
になっており、このホルダ本体１０の上には３つのヒン
ジ板１１によりチャック基板１２が上下方向（図１にお
いて紙面に垂直な方向）にのみ移動自在に取り付けられ
ている。
【００１５】ヒンジ板１１は、図２に示すように、ホル
ダ本体１０の上面及びチャック基板１２の下面にほぼ沿
って伸びるように配置され、両端部近傍にくびれ部から
なる弾性ヒンジ部１１ａ、１１ａをそれぞれ有し、両端
がホルダ本体１０とチャック基板１２に固定されてい
る。
ダ本体１０の上面及びチャック基板１２の下面にほぼ沿
って伸びるように配置され、両端部近傍にくびれ部から
なる弾性ヒンジ部１１ａ、１１ａをそれぞれ有し、両端
がホルダ本体１０とチャック基板１２に固定されてい
る。
【００１６】なお、ヒンジ板１１は、図４に示すよう
に、弾性ヒンジ部１１ａの少なくとも一方に、幅方向の
両側から切り込み１１ｂ、１１ｂを入れて幅を狭め、チ
ャック基板１２の傾きに合わせてヒンジ板１１の両端が
比較的容易に捻られるように形成しておくことが好まし
い。
に、弾性ヒンジ部１１ａの少なくとも一方に、幅方向の
両側から切り込み１１ｂ、１１ｂを入れて幅を狭め、チ
ャック基板１２の傾きに合わせてヒンジ板１１の両端が
比較的容易に捻られるように形成しておくことが好まし
い。
【００１７】各ヒンジ板１１のチャック基板側端部の下
方には、図２に示すように、基板支持手段１３がそれぞ
れ設けられている。基板支持手段１３は、ホルダ本体１
０に上下動自在に設けられたピン１４と、このピン１４
の下端に当接して図示しない制御部からの指令によって
ピン１４を所定量上下動作させる駆動部１５と、さらに
ピン１４をホルダ本体１０に固定するためのピエゾ素子
などからなるクランプ部材１６とからなっている。
方には、図２に示すように、基板支持手段１３がそれぞ
れ設けられている。基板支持手段１３は、ホルダ本体１
０に上下動自在に設けられたピン１４と、このピン１４
の下端に当接して図示しない制御部からの指令によって
ピン１４を所定量上下動作させる駆動部１５と、さらに
ピン１４をホルダ本体１０に固定するためのピエゾ素子
などからなるクランプ部材１６とからなっている。
【００１８】なお、駆動部１５は、図示しない試料セッ
ト装置側に取り付けられ、ピン１４及びホルダ本体１０
から切り離すことができるようになっているが、ホルダ
本体１０側に組み付けてもよく、この場合には、ピン１
４を駆動部１５と一体的に構成することができ、この場
合には、クランプ部材１６を省略することができる。チ
ャック基板１２の上面には、試料１７を３点支持するた
めの３つの突起１８が設けられている。これらの突起１
８の先端は、完全な点接触ではなく、わずかな面積の面
接触となるように形成されている。
ト装置側に取り付けられ、ピン１４及びホルダ本体１０
から切り離すことができるようになっているが、ホルダ
本体１０側に組み付けてもよく、この場合には、ピン１
４を駆動部１５と一体的に構成することができ、この場
合には、クランプ部材１６を省略することができる。チ
ャック基板１２の上面には、試料１７を３点支持するた
めの３つの突起１８が設けられている。これらの突起１
８の先端は、完全な点接触ではなく、わずかな面積の面
接触となるように形成されている。
【００１９】これらの突起１８にそれぞれ対応させてク
ランパ１９が３つ設けられている。クランパ１９は、コ
の字形のクランプ部材２０を有し、上下に位置するクラ
ンプアーム２１、２２は、突起１８上に置かれた試料１
７の上面上方と、チャック基板１２の下面下方とにそれ
ぞれ伸びている。
ランパ１９が３つ設けられている。クランパ１９は、コ
の字形のクランプ部材２０を有し、上下に位置するクラ
ンプアーム２１、２２は、突起１８上に置かれた試料１
７の上面上方と、チャック基板１２の下面下方とにそれ
ぞれ伸びている。
【００２０】クランプアーム２１、２２の先端には、試
料１８の上面とチャック基板１２の下面にそれぞれ対向
する突起２３、２４が設けられている。これらの突起２
３、２４は、チャック基板１２上の突起１８に対し上下
方向にほぼ同軸上に配置されており、少なくとも上方の
突起２３は突起１８の接触面積より十分小さな接触面積
の点接触となるように形成されている。
料１８の上面とチャック基板１２の下面にそれぞれ対向
する突起２３、２４が設けられている。これらの突起２
３、２４は、チャック基板１２上の突起１８に対し上下
方向にほぼ同軸上に配置されており、少なくとも上方の
突起２３は突起１８の接触面積より十分小さな接触面積
の点接触となるように形成されている。
【００２１】クランプアーム２１、２２の元部には、弾
性ヒンジ部２５、２６が形成され、クランプアーム２
１、２２の先端側を開閉可能にしていると共に、試料１
７とチャック基板１２を突起２３、２４により弾性力で
挟み込み、試料１７をチャック基板１２に固定するよう
になっている。
性ヒンジ部２５、２６が形成され、クランプアーム２
１、２２の先端側を開閉可能にしていると共に、試料１
７とチャック基板１２を突起２３、２４により弾性力で
挟み込み、試料１７をチャック基板１２に固定するよう
になっている。
【００２２】クランプ部材２０は、ホルダ本体１０に取
り付けられたブラッケト２７に薄い板ばね２８によって
連結され、少なくともクランプアーム２１、２２の先端
側を上下動自在に支持すると共に、ホルダ本体１０の上
面に沿う方向には所定位置に保つようになっている。な
お、本実施例では、１枚の板ばね２８によりクランプ部
材２０を支持した例を示しているが、上方にも板ばね２
８と平行な板ばねを設けてクランプ部材２０の姿勢をよ
り安定させるようにしてもよい。
り付けられたブラッケト２７に薄い板ばね２８によって
連結され、少なくともクランプアーム２１、２２の先端
側を上下動自在に支持すると共に、ホルダ本体１０の上
面に沿う方向には所定位置に保つようになっている。な
お、本実施例では、１枚の板ばね２８によりクランプ部
材２０を支持した例を示しているが、上方にも板ばね２
８と平行な板ばねを設けてクランプ部材２０の姿勢をよ
り安定させるようにしてもよい。
【００２３】クランプアーム２１、２２の間には、軸２
９によりブラケット２７に回転可能に取り付けられたカ
ム３０が配置されている。カム３０は、図３に拡大して
示すように、軸２９により回転自在に取り付けられたカ
ム本体３１を有し、このカム本体３１にはクランプアー
ム２１、２２の内側対向面にそれぞれ接触するカムロー
ラ３２、３３が回転自在に取り付けられている。
９によりブラケット２７に回転可能に取り付けられたカ
ム３０が配置されている。カム３０は、図３に拡大して
示すように、軸２９により回転自在に取り付けられたカ
ム本体３１を有し、このカム本体３１にはクランプアー
ム２１、２２の内側対向面にそれぞれ接触するカムロー
ラ３２、３３が回転自在に取り付けられている。
【００２４】カム本体３１の図３において右端側にはレ
バー３４が設けられている。カム本体３１の少なくとも
レバー３４は、図１に示すように、クランプアーム２
１、２２の両サイド側に張り出している。このレバー３
４の両サイドの張り出し部下面に向けて２本一組のアン
クランプ部材３５がホルダ本体１０を貫通して伸びてい
る。
バー３４が設けられている。カム本体３１の少なくとも
レバー３４は、図１に示すように、クランプアーム２
１、２２の両サイド側に張り出している。このレバー３
４の両サイドの張り出し部下面に向けて２本一組のアン
クランプ部材３５がホルダ本体１０を貫通して伸びてい
る。
【００２５】アンクランプ部材３５は、ホルダ本体１０
の下方に配置された可動板３６に取り付けられ、可動板
３６は駆動装置３７によりあらかじめ定められた距離を
上下動し、クランプアーム２１、２２の弾性閉じ力と協
働してレバー３４を上下動させ、クランプアーム２１、
２２を開閉させるようになっている。
の下方に配置された可動板３６に取り付けられ、可動板
３６は駆動装置３７によりあらかじめ定められた距離を
上下動し、クランプアーム２１、２２の弾性閉じ力と協
働してレバー３４を上下動させ、クランプアーム２１、
２２を開閉させるようになっている。
【００２６】なお、カムローラ３２、３３は、クランプ
アーム２１、２２との接触点から弾性ヒンジ部２５、２
６までの距離が、図３に示すように、上方のカムローラ
３２の方が短くなるなるように定められ、下方のクラン
プアーム２２より上方のクランプアーム２１の方が大き
くなるようになっている。
アーム２１、２２との接触点から弾性ヒンジ部２５、２
６までの距離が、図３に示すように、上方のカムローラ
３２の方が短くなるなるように定められ、下方のクラン
プアーム２２より上方のクランプアーム２１の方が大き
くなるようになっている。
【００２７】アンクランプ部材３５ないし駆動装置３７
は、基板支持手段１３の駆動部１５と同様に、図示しな
い試料セット装置側に取り付け、ホルダ本体１０から切
り離すことができるようになっているが、ホルダ本体１
０に組み付けてもよい。
は、基板支持手段１３の駆動部１５と同様に、図示しな
い試料セット装置側に取り付け、ホルダ本体１０から切
り離すことができるようになっているが、ホルダ本体１
０に組み付けてもよい。
【００２８】次いで本装置の作用について説明する。ま
ず、ホルダ本体１０を図示しない試料セット装置にセッ
トし、アンクランプ部材３５ないし駆動装置３７と基板
支持手段１３の駆動部１５に対し、図１に示すような関
係位置に置く。
ず、ホルダ本体１０を図示しない試料セット装置にセッ
トし、アンクランプ部材３５ないし駆動装置３７と基板
支持手段１３の駆動部１５に対し、図１に示すような関
係位置に置く。
【００２９】次ぎに駆動装置３７を作動させ、図３に示
すように、可動板３６を介してアンクランプ部材３５を
上昇させ、クランパ１９のレバー３４を押し上げてカム
３０を回転させ、クランプアーム２１、２２をその弾性
閉じ力に抗して開く。
すように、可動板３６を介してアンクランプ部材３５を
上昇させ、クランパ１９のレバー３４を押し上げてカム
３０を回転させ、クランプアーム２１、２２をその弾性
閉じ力に抗して開く。
【００３０】この状態で試料１７をチャック基板１２上
の所定位置に装填し、試料１７を３つの突起１８により
支持する。このとき、上方のクランプアーム２１の方が
下方のクランプアーム２２より大きく開くため、クラン
プアーム２１、２２を比較的小さく開くのみで試料１７
の装填を容易に行うことができる。
の所定位置に装填し、試料１７を３つの突起１８により
支持する。このとき、上方のクランプアーム２１の方が
下方のクランプアーム２２より大きく開くため、クラン
プアーム２１、２２を比較的小さく開くのみで試料１７
の装填を容易に行うことができる。
【００３１】次いで駆動装置３７により可動板３６を介
してアンクランプ部材３５を下降させる。このアンクラ
ンプ部材３５の下降により、クランプアーム２１、２２
は弾性ヒンジ部２５、２６の弾性閉じ力によりカム３０
を回転させて閉じ、先端の突起２３、２４によりチャッ
ク基板１２と試料１７を挟み付けて固定する。
してアンクランプ部材３５を下降させる。このアンクラ
ンプ部材３５の下降により、クランプアーム２１、２２
は弾性ヒンジ部２５、２６の弾性閉じ力によりカム３０
を回転させて閉じ、先端の突起２３、２４によりチャッ
ク基板１２と試料１７を挟み付けて固定する。
【００３２】このとき、少なくとも上方の突起２３は点
接触であり、かつ突起１８は突起２３と比較して若干大
きな接触面積を有しているため、突起２３、２４を突起
１８に対して上下方向に同軸上に位置させて、突起２３
の接点を突起１８の接触面の投影面内に位置させるよう
にすることにより、試料１７を曲げるすなわち歪ませる
ような力は作用しない。そこで、試料１７の平面度は変
化することなく、チャック基板１２上に固定される。ま
た、クランプアーム２１、２２は、薄い板ばね２８によ
って支持されているため、チャック基板１２を上下に移
動させることなく、チャック基板１２にならった位置を
取る。
接触であり、かつ突起１８は突起２３と比較して若干大
きな接触面積を有しているため、突起２３、２４を突起
１８に対して上下方向に同軸上に位置させて、突起２３
の接点を突起１８の接触面の投影面内に位置させるよう
にすることにより、試料１７を曲げるすなわち歪ませる
ような力は作用しない。そこで、試料１７の平面度は変
化することなく、チャック基板１２上に固定される。ま
た、クランプアーム２１、２２は、薄い板ばね２８によ
って支持されているため、チャック基板１２を上下に移
動させることなく、チャック基板１２にならった位置を
取る。
【００３３】次いで図示しない高さ測定装置により、試
料１７の上面のうち３つのピン１４のそれぞれの上方部
分の高さを測定し、これらの高さ位置が所定の値になる
ように駆動部１５によりピン１４を上下させ、クランプ
部材１６によりピン１４を固定する。なお、チャック基
板１２は、ヒンジ板１１の弾性ヒンジ部１１ａ、１１ａ
の弾性力により下方への弾圧力を受けており、ピン１４
の上下動に応じて移動すると共に、ピン１４に支持され
た状態を保つ。
料１７の上面のうち３つのピン１４のそれぞれの上方部
分の高さを測定し、これらの高さ位置が所定の値になる
ように駆動部１５によりピン１４を上下させ、クランプ
部材１６によりピン１４を固定する。なお、チャック基
板１２は、ヒンジ板１１の弾性ヒンジ部１１ａ、１１ａ
の弾性力により下方への弾圧力を受けており、ピン１４
の上下動に応じて移動すると共に、ピン１４に支持され
た状態を保つ。
【００３４】ヒンジ板１１は、弾性ヒンジ部１１ａを有
しているが、全体的に比較的厚い板で形成され、長手方
向には比較的大きな剛性を持っているため、ホルダ本体
１０が水平方向へ移動しても、その慣性力によりチャッ
ク基板１２がホルダ本体１０の上面に沿う方向へ移動し
て位置ずれを生じることをより確実に防止する働きを持
っている。
しているが、全体的に比較的厚い板で形成され、長手方
向には比較的大きな剛性を持っているため、ホルダ本体
１０が水平方向へ移動しても、その慣性力によりチャッ
ク基板１２がホルダ本体１０の上面に沿う方向へ移動し
て位置ずれを生じることをより確実に防止する働きを持
っている。
【００３５】こうしてホルダ本体１０への試料１７の取
付が終了したならば、ホルダ本体１０を図示しない試料
セット装置から取り出して図示しない荷電ビーム描画装
置等のステージなどに取り付けて処理を行う。
付が終了したならば、ホルダ本体１０を図示しない試料
セット装置から取り出して図示しない荷電ビーム描画装
置等のステージなどに取り付けて処理を行う。
【００３６】図５は、本発明の他の実施例を示すもの
で、クランパ１９を上下に伸びる２本のガイドピン３８
により上下動自在に取り付けたものである。
で、クランパ１９を上下に伸びる２本のガイドピン３８
により上下動自在に取り付けたものである。
【００３７】前述した実施例は、ホルダ本体１０を、図
示しない試料セット装置に取り付けて試料１７をセット
する例を示したが、駆動部１５とアンクランプ部材３５
ないし駆動装置３７をもホルダ本体１０に組み込み、か
つこのホルダ本体１０を荷電ビーム描画装置等のステー
ジそのものとしてもよい。
示しない試料セット装置に取り付けて試料１７をセット
する例を示したが、駆動部１５とアンクランプ部材３５
ないし駆動装置３７をもホルダ本体１０に組み込み、か
つこのホルダ本体１０を荷電ビーム描画装置等のステー
ジそのものとしてもよい。
【００３８】また、チャック基板１２はヒンジ板１１に
よらず、薄い板ばねによって上下方向にのみ移動自在に
支持し、所定位置への保持をヒンジ板１１によらず、別
に設けた押圧手段やクランプによって行うようにしても
よい。さらにまた、クランプ部材２０は板ばね２８によ
らず、ヒンジ板１１と同様のヒンジ板によって支持して
もよく、クランプアーム２１、２２の開閉もカム３０に
よらず、右ネジ左ネジの組み合わせによるものやクサビ
を利用したものなど種々変更可能である。
よらず、薄い板ばねによって上下方向にのみ移動自在に
支持し、所定位置への保持をヒンジ板１１によらず、別
に設けた押圧手段やクランプによって行うようにしても
よい。さらにまた、クランプ部材２０は板ばね２８によ
らず、ヒンジ板１１と同様のヒンジ板によって支持して
もよく、クランプアーム２１、２２の開閉もカム３０に
よらず、右ネジ左ネジの組み合わせによるものやクサビ
を利用したものなど種々変更可能である。
【００３９】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、試料
を歪ませることなく所定の位置に正確に保持することが
でき、このため試料の平面度がよい場合には、この平面
度を悪化させることなく、荷電ビーム描画などの処理を
高精度に施すことができ、また試料の平面度が悪くても
その状態で使用する場合には、処理後に試料が元の平面
度に戻ることによる寸法精度の悪化を防止して、高精度
のまま使用することができる効果が得られる。
を歪ませることなく所定の位置に正確に保持することが
でき、このため試料の平面度がよい場合には、この平面
度を悪化させることなく、荷電ビーム描画などの処理を
高精度に施すことができ、また試料の平面度が悪くても
その状態で使用する場合には、処理後に試料が元の平面
度に戻ることによる寸法精度の悪化を防止して、高精度
のまま使用することができる効果が得られる。
【図１】本発明の実施例を示す平面図。
【図２】図１のＡーＡ線断面図。
【図３】図２に示すクランパ部分が開いた状態を示す部
分拡大図。
分拡大図。
【図４】ヒンジ板の他の例を示す拡大平面図。
【図５】本発明の他の実施例によるクランパ部分の部分
拡大図。
拡大図。
【符号の説明】 １０ ホルダ本体 １１ ヒンジ板 １２ チャック基板 １３ 基板支持手段 １４ ピン １５ 駆動部 １６、２０ クランプ部材 １７ 試料 １８、２３、２４ 突起 １９ クランパ ２１、２２ クランプアーム ２７ ブラケット ２８ 板ばね ２９ 軸 ３０ カム ３２、３３ カムローラ ３５ アンクランプ部材 ３６ 可動板 ３７ 駆動装置 ３８ ガイドピン
Claims (8)
- 【請求項１】 荷電ビーム描画装置等における試料保持
装置において、ホルダ本体と、このホルダ本体上に上下
方向にのみ移動自在に取り付けられたチャック基板と、
ホルダ本体に取り付けられ前記チャック基板をそれぞれ
高さ調整可能に３点で支持する基板支持手段と、前記ホ
ルダ本体に上下動自在に取り付けられ前記チャック基板
とこのチャック基板上に３点支持により置かれた試料と
の３点支持部の各々を上下方向から挟み込む３つのクラ
ンパとを備えたことを特徴とする試料保持装置。 - 【請求項２】 チャック基板が、その下面およびそれに
対向するホルダ本体の上面にほぼ沿って伸びる複数の薄
い板ばねでホルダ本体に連結されることにより上下方向
にのみわずかに移動自在に取り付けられていることを特
徴とする請求項１の試料保持装置。 - 【請求項３】 チャック基板が、その下面およびそれに
対向するホルダ本体の上面にほぼ沿って伸び両端部近傍
にくびれ部からなる弾性ヒンジ部をそれぞれ有する複数
のヒンジ板でホルダ本体に連結されることにより上下方
向にのみわずかに移動自在に取り付けられていることを
特徴とする請求項１の試料保持装置。 - 【請求項４】 弾性ヒンジ部の少なくとも一方が、幅方
向に両側より狭められていることを特徴とする請求項３
の試料保持装置。 - 【請求項５】 クランパが、ホルダ本体の上面にほぼ沿
って伸びる薄い板ばねでホルダ本体に連結されることに
より上下動自在に取り付けられていることを特徴とする
請求項１、２、３または４の試料保持装置。 - 【請求項６】 クランパが、ホルダ本体の上面にほぼ沿
って伸び両端部近傍にくびれ部からなる弾性ヒンジ部を
それぞれ有するヒンジ板でホルダ本体に連結されること
により上下動自在に取り付けられていることを特徴とす
る請求項１、２、３または４の試料保持装置。 - 【請求項７】 クランパの対をなすクランプアームの間
にカムを設け、このカムによってクランプアームをクラ
ンプアーム自身が有する弾性閉じ力に抗して開くように
構成したことを特徴とする請求項１ないし６のうちのい
ずれか１の試料保持装置。 - 【請求項８】 カムが、試料に接する側である上方のク
ランプアームを下方のクランプアームより大きく開くよ
うに構成されていることを特徴とする請求項７の試料保
持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25880194A JP3409222B2 (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 試料保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25880194A JP3409222B2 (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 試料保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0897133A true JPH0897133A (ja) | 1996-04-12 |
| JP3409222B2 JP3409222B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=17325252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25880194A Expired - Fee Related JP3409222B2 (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 試料保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3409222B2 (ja) |
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-
1994
- 1994-09-28 JP JP25880194A patent/JP3409222B2/ja not_active Expired - Fee Related
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