JP5927235B2 - 試料ホルダー - Google Patents
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Description
したがって、上極のポールピースと下極のポールピースとの真ん中に配する設計が出来ない場合、試料面(試料Holderの軸位置)と上極のポールピースまでのギャップとその反対側の、試料面(試料Holderの軸位置)と下極のポールピースまでのギャップとの寸法がアンバランスとなり、このような電子顕微鏡対物レンズは非対称型対物レンズと呼ばれている。一方、アンバランスになっていないものは、対称型対物レンズと呼ばれている。
2 電子線レンズのピールピース(P−P)下極
3 電子顕微鏡の電子線光軸
4 試料
5 電子線の焦点面、試料ホルダー挿入軸面
6 試料ホルダー先端部
7 第一の支点
8 第二の支点
9 第三の支点
10 リンク部材のフレーム
11 リンク部材
12 支点を固定する固定部材
13 駆動伝達軸
14 上極側のギャップB
15 下極側のギャップA
16 オフセット
17 傾斜角
20 試料保持クレードル
21 クレードル支点
22 第一の支点(球体)
23 ツィーザー構造のフレーム部
24 第二の支点
25 リンク部材
26 ツィーザーギャップ調整用ねじ
27 球体保持ディンプル
28 球体保持フレーム部
Claims (7)
- 試料設置台座と、前記試料を固定する試料固定部と、リンク部材に接続するための支点とを有する試料ホルダー先端部であり、前記試料の試料面の位置を電子線の焦点面に配した場合に、前記試料面以外の面上に、前記支点を有し、かつ、前記支点は、前記試料面から上極のポールピースまでのギャップと、前記試料面から下極のポールピースまでのギャップとを比較して、空間が広いギャップ側に存在する試料ホルダー先端部。
- 前記支点は、試料ホルダーのホルダー軸以外の軸上に存在する請求項1記載の試料ホルダー先端部。
- 前記支点は、前記上極のポールピース側と、前記下極のポールピース側との間で位置移動可能である請求項1又は2に記載の試料ホルダー先端部。
- 前記支点は、球体で構成されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部を有する試料ホルダー。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部の支点を介して、接続するリンク部材を有する請求項5記載の試料ホルダー。
- 前記支点は、前記リンク部材のフレーム内で位置移動可能である請求項5又は6に記載の試料ホルダー。
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