JP5648115B1 - 試料の断面観察に用いられる試料ホルダー及びその制御方法 - Google Patents
試料の断面観察に用いられる試料ホルダー及びその制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5648115B1 JP5648115B1 JP2013218721A JP2013218721A JP5648115B1 JP 5648115 B1 JP5648115 B1 JP 5648115B1 JP 2013218721 A JP2013218721 A JP 2013218721A JP 2013218721 A JP2013218721 A JP 2013218721A JP 5648115 B1 JP5648115 B1 JP 5648115B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- stand
- cross
- insulator
- support base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 97
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 50
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 341
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 26
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 26
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000445 field-emission scanning electron microscopy Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3435—Target holders (includes backing plates and endblocks)
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/2007—Holding mechanisms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2802—Transmission microscopes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
【課題】試料ホルダーの胴体とスタンドを結合させることで、簡便で且つ速かに試料を装着し、試料の断面を観察できるように試料を固定する。【解決手段】胴体と、胴体の一端に形成され、試料を固定する試料装着部と、胴体の内部に位置する弾性手段と、胴体と着脱可能なスタンドとを含み、スタンドは、スタンドの下部をなすベース部と、ベース部の上面に突設され、試料装着部の少なくとも一部が挿入可能な貫通溝が設けられている締結部とを含み、試料装着部は、弾性手段と連結されて、移動可能なプッシュロッドと、プッシュロッドと連結され、中心軸を中心に回転可能な梃子と、梃子の端部に連結され、試料の一表面を固定する試料押板と、梃子の一側に連結された梃子バネと、プッシュロッド、梃子、梃子バネ、及び試料押板が配置された試料装着空間部に設けられ、試料の他表面を固定する固定鍔とを含む。【選択図】 図６
Description
本発明は、製造されたウエハに欠陥があるか否かを判断するために、走査電子顕微鏡でウエハ試料の断面を観察することに用いられる試料ホルダー及びその制御方法に関し、より詳しくは、試料ホルダーの胴体とスタンドを結合させることで、簡便で且つ速かに試料を装着し、試料の断面を観察できるように試料を固定する試料ホルダー及びその制御方法に関する。
一般に、半導体素子の製造工程は、拡散工程、酸化工程、金属工程などが繰り返して行われる。これにより、ウエハ上には、様々な種類の材料、例えば、Ａｌ、Ｔｉ、Ｗなどの金属膜質、窒化膜、酸化膜などの絶縁膜質などが積層される。
多数の積層された膜質において、一部の膜質に異常がある場合、後工程によって形成される半導体装置の動作に異常があり得るので、このような異常可否を正確で且つ効果的に分析、検証する技術が求められる。
半導体素子の更なる集積化に伴い、微細な原因で半導体素子に異常が生じることがあり、半導体装置に生じられる不良を分析することに伴う難しさが更に加重されている。
ウエハに形成された膜やパターンの分析及び検証のために、透過電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope: TEM)、または、走査電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope: SEM)のような装備が利用される。
透過電子顕微鏡は、電子ビームを試料に照射して透過された電子ビームにより映像を得、回折した電子ビームを介して得られた回折図形(Diffraction Pattern)により像の結晶構造を解析する装備である。
走査電子顕微鏡は、電子銃を用いて、加速エネルギー(normal〜３０ＫＶ)を有する電子流を発し、各種の電子系レンズ、絞りなどを用いて、電子ビームの焦点を形成する。このように形成された電子ビームを、観察しようとする対象サンプルに走査し、倍率を調節する。対象サンプルから形成された２次電子、後方散乱電子、透過電子、特性Ｘ−ｒａｙなどを検出すると、対象サンプルの表面を観察し、その特性を分析することができる。
走査電子顕微鏡は、基本的に、電子カラム(Electron Column)、サンプルチャンバ(Sample Chamber)、真空ポンプ、真空計、電子カラムを制御するための各種の制御部、画像処理システムなどを含む。電子カラムは、電子銃、レンズ、絞り、信号検出器などを含み、真空ポンプは、大気のガス分子による電子ビームの散乱、放電、汚染などの各種の障害を除去するための超高真空を形成する構成である。
走査電子顕微鏡の電子銃は、熱電子銃、冷陰極電界放出銃(CFE-Gun)、ショトキー放出銃(SFE-Gun)などがあり、電子銃の種類により、走査電子顕微鏡の性能及び構成が大きく異なる。一般に、CFE-GunとSFE-Gunを用いる走査電子顕微鏡をFE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)とし、熱電子銃を使用することをNormal SEMとする。
レンズは大きく、収束レンズと対物レンズとの２つに区分される。収束レンズは、電子銃から放出された電子ビームを１次に収束して最初の焦点を形成し、サンプルに達する走査電流量(Probe Current)などを制御し、通常、１〜２つから構成される。対物レンズは、収束レンズで形成された電子ビームが、対象サンプルに正しく焦点が合うように調節する構成であって、対象サンプルに走査される電子ビームの走査面積を制御して、倍率を形成させる走査コイルが共に構成される。
絞りは、固定型絞りと、孔のサイズを可変して使用することができる可変型絞りとから構成される。複数の固定型絞りは、メーカの設計上の構造により、電子カラム内に用途別に位置する。可変型絞りは、一般的に、対物レンズ絞りと称し、対物レンズ上に位置して、対物レンズに流入されるビームの電流量制御、焦点サイズの調節、及び各種の収差を減らす機能を果たす。
電子カラムから各分析目的による加速電圧を有する電子ビームが焦点形成及び縮小して、対象サンプルに走査されると、対象サンプルの固有特性により、２次電子と入射ビームとが後方散乱された信号(BSE)が発生する。この信号を２次電子検出器、又は、ＢＳＥ検出器で捕集及び増幅して、信号量によるコントラスト及び明るさを与え、映像を処理すると、表面の形態学的な映像を、モニタで拡大観察することができる。また、入射ビームが対象サンプルに衝突するに際して発生する各元素の特性Ｘ−Ｒａｙを検出(EDXS)すると、定性及び定量の分析データを得ることができる。また、用途により、透過電子検出器(STEM)を取り付けると、対象サンプルの構造分析など、様々な応用をすることができる。
図１は、Out-Lens及びSemi-In-Lens タイプのFE-SEMを示す図であり、図２は、本発明が適用可能なIn-LensタイプのFE-SEMを示す図である。FE-SEMは、半導体、ディスプレイ(LCD、LED、OLEDなど)、太陽光、各種のナノ素材、生物、医学、電子、機械、物理、化学素材分野、各種の材料、及び素材研究分野などの様々な分野で活用可能である。図１及び図２に示されているFE-SEMは、電子銃３１と、ビームモニタ絞り３２と、第１の収束レンズ３３、エアロックバルブ３４、対物可動絞り３５と、第２の収束レンズ３６と、偏向コイル３７と、ＥＸＢ３８と、対物レンズ３９と、２次電子検出器４５とから構成される。図２のIn-LensタイプのFE-SEMは、対物レンズコイル４０と、ビームブランキング４１とを更に含み、暗視野STEM検出器４２と、明視野絞り４３と、明視野STEM検出器４４とが追加されてもよい。図２に示しているOut-Lens及びSemi-In-LensタイプのFE-SEMの場合は、試料１１が対物レンズの下に位置し、作業距離(WD)が長く、サイズの大きいサンプルを観察することができるというメリットがあるが、作業距離が遠いため、映像分解能が低下することになる。これに対して、本発明が適用される図３のIn-LensタイプのFE-SEMの場合は、試料１１が対物レンズの内部に位置し、作業距離が短く、サイズの小さいサンプルだけを観察することができるが、超高分解能の映像を得ることができる。
一方、従来には、図３及び図４に示されているように、試料を固定するために、固定ねじ１２を用いる方式が利用されている。すなわち、試料１１と固定ねじ１２との間に、スペーサ１１аを設けた後、試料１１を締め付ける方式で、試料１１をホルダーに固定することができる。しかし、このような従来の方式では、固定ねじ１２が非常に小さいため、ホルダーに固定される試料１１の高さや水平を適当に調整しにくく、固定ねじ１２及びスペーサ１１аの紛失の恐れがあり、固定ねじ１２が容易に摩耗するという問題点があった。
一方、従来には、図５に示しているように、板バネ１４の張力を用いて、試料１１を固定する方式が利用されている。すなわち、ホルダーに試料１１を装着し、ラッチ孔１３を後進させると、固定金具１５が後方に押されながら、板バネ１４の張力によって試料１１が固定される方式で、試料１１がホルダーに固定されることができている。しかし、このような従来の方式では、板バネ１４の張力が弱くなって、試料１１がホルダーから離脱する危険があり、画像ドリフトが発生して、鮮明な映像が得られにくいという問題点があった。また、従来の方式は、厚さの薄い試料１１を固定するには難しい構造であって、その活用に制約があった。
これにより、簡便で且つ容易な方式で試料を固定することができ、鮮明できれいな観察結果を得られる試料ホルダーの開発が要求されている実情である。
本発明は、前記のような従来の問題点を解決するために案出したものであって、製造されたウエハに欠陥があるか否かを判断するために、走査電子顕微鏡でウエハ試料の断面を観察することに用いられる試料ホルダーにおいて、試料ホルダーの胴体とスタンドを結合することにより、簡便で且つ速かに試料を装着し、試料の断面が観察できるように試料を固定する試料ホルダー及びその制御方法を、ユーザに提供することにその目的がある。
具体的に、本発明は、試料ホルダーの胴体とスタンドを締結して、試料を装着し、胴体とスタンドを分離して、試料を固定することにより、ワンタッチ方式で容易で且つ効率よく試料を固定することができる試料ホルダーを、ユーザに提供することにその目的がある。
また、本発明は、試料に変形を与えることなく、試料を固定することにより、鮮明で且つ精密な拡大映像を得られる試料ホルダーを、ユーザに提供することにその目的がある。
一方、本発明で解決しようとする技術的課題は、以上で言及した技術的課題に制限することなく、言及していない他の技術的課題は、下記の記載から、本発明が属する技術の分野における通常の知識を有する者にとって、明確に理解されるだろう。
上述した課題を実現するための本発明の一例に関する試料の断面観察に用いられる試料ホルダーは、胴体と、前記胴体の一端に設けられ、試料を固定する試料装着部と、前記胴体の内部に位置する弾性手段と、前記胴体と着脱可能なスタンドとを含み、前記スタンドは、前記スタンドの下部をなすベース部と、前記ベース部の上面に突設され、前記試料装着部の少なくとも一部が挿入可能な貫通溝が設けられている締結部とを含み、前記試料装着部は、前記弾性手段と連結され、移動可能なプッシュロッドと、前記プッシュロッドと連結され、中心軸を中心に回転可能な梃子と、前記梃子の端部に連結され、前記試料の一表面を固定する試料押板と、前記梃子の一側に連結された梃子バネと、前記プッシュロッド、前記梃子、前記梃子バネ、及び前記試料押板が配置された試料装着空間部に設けられ、前記試料の他表面を固定する固定鍔とを含み、前記胴体が前記スタンドに締結され、前記貫通溝に前記試料装着部の少なくとも一部が挿入される場合、前記プッシュロッドが移動して、前記試料装着空間部に前記梃子が回転可能な空間が形成され、前記梃子バネの弾性が前記梃子の一側に作用して、前記梃子が一方向に回転し、前記回転した梃子により前記試料押板が移動し、前記移動した試料押板と前記固定鍔との間に第１の空間が形成され、前記第１の空間に前記試料を装着した後、前記胴体を前記スタンドから分離する場合、前記分離による弾性手段の弾性によって前記プッシュロッドが移動し、前記移動したプッシュロッドが、前記梃子を他方向に回転させ、前記回転した梃子により前記試料押板が移動し、前記移動した試料押板が、前記試料の一表面を固定することを特徴とする。
また、前記試料の断面が外部に向かうように、前記試料が前記第１の空間に固定され、走査電子顕微鏡を用いて、前記固定した試料の断面を観察する。
更に、前記締結部と連結され、係止突起が形成された係止部材を含み、前記係止突起は、前記締結部に設けられた前記貫通溝の少なくとも一部を閉塞する。
また、前記プッシュロッドには、外部に突出した段差が設けられている。
また、前記胴体が前記スタンドに締結され、前記貫通溝に、前記試料装着部の少なくとも一部が挿入される場合、前記プッシュロッドに形成された段差が、前記係止突起に係止して、前記梃子が回転すされる。
更に、前記胴体の他端に設けられる取っ手部を含む。
前記スタンドは、更に、前記ベース部の上面に突設される支持台を含み、前記支持台の上面に、前記取っ手部の少なくとも一部が据置される。
更に、前記支持台は、その上面に設けられ、外部に突出した形状からなる固定突起を含む。
更に、前記取っ手部は、内部に引込まれた形状からなる固定溝を含み、前記取っ手部の固定溝を、前記支持台の固定突起に結合させる場合、前記胴体が、前記スタンドに固定される。
また、前記支持台は、前記支持台の下部をなす支持台受止部と、外部に突出したレバーとが設けられ、前記支持台受止部と支持台ねじによって結合され、前記支持台ねじを中心に、所定の角度内で回転可能な支持台上部とを含み、前記レバーに押圧する力が与えられる場合、前記レバーに与えられる力によって、前記支持台上部が、前記支持台ねじを中心に回転しながら、下降し、前記下降した支持台上部を用いて、前記スタンドに締結された前記胴体を、前記スタンドから分離する。
前記支持台は、更に、前記支持台受止部と前記支持台上部とを連結する弾性部を含み、前記レバーを押圧する力が解除される場合、前記弾性部の弾性によって、前記支持台上部が、前記支持台ねじを中心に回転しながら、上昇する。
前記スタンドは、更に、前記ベース部の上面に突設され、前記胴体の少なくとも一部が据置される据置台を含む。
前記プッシュロッドは、前記梃子と連結され、三角形状からなるトリポードを含む。
また、前記プッシュロッドが移動する場合、前記梃子が前記トリポードに沿って移動する。
一方、上述した課題を実現するための本発明の一例に関する試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの制御方法は、胴体をスタンドに締結する第１のステップと、
第１の空間に試料を装着する第２のステップと、前記胴体を前記スタンドから分離する第３のステップとを含み、前記第１のステップは、試料装着部の少なくとも一部を貫通溝に挿入するステップと、プッシュロッドを移動して、試料装着空間部に梃子が回転可能な空間が形成されるステップと、前記梃子が梃子バネの弾性によって回転するステップと、前記回転した梃子により、試料押板を移動するステップと、前記移動した試料押板と固定鍔との間に、第１の空間を形成するステップとを含み、前記試料装着部は、前記胴体の一端に設けられ、前記試料を固定し、前記試料装着部は、前記プッシュロッドと、前記梃子と、前記試料押板と、前記梃子バネと、前記固定鍔とを含み、前記プッシュロッドは、弾性手段と連結されて移動可能であり、前記梃子は、前記プッシュロッドと連結され、中心軸を中心に回転可能であり、前記試料押板は、前記梃子の端部に連結され、前記試料の一表面を固定し、前記梃子バネは、前記梃子の一側に連結され、前記固定鍔は、前記プッシュロッド、前記梃子、前記梃子バネ、及び前記試料押板が配置された試料装着空間部に設けられ、前記試料の他表面を固定し、前記貫通溝は、ベース部の上面に位置した締結部に設けられ、前記試料装着部の少なくとも一部が挿入可能であり、前記ベース部は、前記スタンドの下部をなすことを特徴とする。
第１の空間に試料を装着する第２のステップと、前記胴体を前記スタンドから分離する第３のステップとを含み、前記第１のステップは、試料装着部の少なくとも一部を貫通溝に挿入するステップと、プッシュロッドを移動して、試料装着空間部に梃子が回転可能な空間が形成されるステップと、前記梃子が梃子バネの弾性によって回転するステップと、前記回転した梃子により、試料押板を移動するステップと、前記移動した試料押板と固定鍔との間に、第１の空間を形成するステップとを含み、前記試料装着部は、前記胴体の一端に設けられ、前記試料を固定し、前記試料装着部は、前記プッシュロッドと、前記梃子と、前記試料押板と、前記梃子バネと、前記固定鍔とを含み、前記プッシュロッドは、弾性手段と連結されて移動可能であり、前記梃子は、前記プッシュロッドと連結され、中心軸を中心に回転可能であり、前記試料押板は、前記梃子の端部に連結され、前記試料の一表面を固定し、前記梃子バネは、前記梃子の一側に連結され、前記固定鍔は、前記プッシュロッド、前記梃子、前記梃子バネ、及び前記試料押板が配置された試料装着空間部に設けられ、前記試料の他表面を固定し、前記貫通溝は、ベース部の上面に位置した締結部に設けられ、前記試料装着部の少なくとも一部が挿入可能であり、前記ベース部は、前記スタンドの下部をなすことを特徴とする。
本発明は、製造されたウエハに欠陥があるか否かを判断するために、走査電子顕微鏡でウエハ試料の断面を観察することに用いられる試料ホルダーにおいて、試料ホルダーの胴体とスタンドを結合することにより、簡便で且つ速かに試料を装着し、試料の断面が観察できるように試料を固定する試料ホルダー及びその制御方法を、ユーザに提供することができる。
具体的に、本発明は、試料ホルダーの胴体とスタンドを締結して、試料を装着し、胴体とスタンドとを分離して、試料を固定することにより、ワンタッチ方式で容易で且つ効率よく試料を固定することができる試料ホルダーを、ユーザに提供することができる。
また、本発明は、試料に変形を与えることなく、試料を固定することにより、鮮明で且つ精密な拡大映像を得られる試料ホルダーを、ユーザに提供することができる。
一方、本発明で得られる効果は、以上で言及した効果に制限することなく、言及しない他の効果は、下記の記載から本発明が属する技術の分野における通常の知識を有する者にとって、明確に理解されるだろう。
本明細書で添付する下記の図面は、本発明の好適な１実施形態を例示することであり、発明の詳細な説明とともに本発明の技術思想を更に理解させるものであり、本発明は、そのような図面に記載した事項に限定して解析してはいけない。
図１は、Out-Lens及びSemi-In-LensタイプのFE-SEMを示す図である。
図２は、In-LensタイプのFE-SEMを示す図である。
図３は、従来の固定ねじを用いて試料を固定する、試料ホルダーの一例を示す正面図である。
図４は、従来の固定ねじを用いて試料を固定する、試料ホルダーの一例を示す平面図である。
図５は、従来の板バネを用いて試料を固定する、試料ホルダーの一例を示す平面図である。
図６は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体とスタントが締結される前の状態を示す斜視図である。
図７は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体とスタンドが締結した状態を示す斜視図である。
図８は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体の結合関係を示す分解図である。
図９は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体に対する側面断面図である。
図１０は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの試料装着部の斜視図である。
図１１は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーのプッシュロッドの底面斜視図である。
図１２は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの梃子の斜視図である。
図１３は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーのスタンドの結合関係を示す分解図である。
図１４は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーのスタンドに対する側面断面図である。
図１５は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの締結部の分解図である。
図１６は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの支持台の分解図である。
図１７は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体とスタントが締結される前の状態を示す平面図である。
図１８は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体とスタントが締結した時の試料装着部の状態を示す平面図である。
図１９は、本発明に適用可能な試料の断面察に用いられる試料ホルダーの試料装着部に試料が装着した状態を示す平面図である。
図２０は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体とスタントが分離されて、試料装着部に試料が固定した状態を示す平面図である。
以下、図面を参照して、本発明の望ましい実施形態について説明する。また、以下で説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載した本発明の内容を限定することではなく、本実施形態で説明される構成全体が、本発明の解決手段として必須的であるとは言えない。
通常の半導体素子の製作工程において、試料ホルダーは、走査電子顕微鏡を用いたウエハの分析及び検査に際して、試料を固定するための必須装置である。
しかし、従来、固定ねじを用いて試料を固定する方式は、試料の高さや水平の調節が困難であり、小サイズの固定ねじを使用することになり、固定が緩まる場合が頻繁に発生し、固定ねじの紛失や磨耗の虞があるという問題点があった。
また、従来、板バネの張力を用いて試料を固定する方式は、板バネの張力が弱くなることにより、画像ドリフトを誘発して、鮮明な映像を獲得しないことがあり、試料が容易に離脱することがあり、薄い厚さの試料に適用されにくいという問題点があった。
本発明は、簡便で且つ容易に試料を固定して、効率的な半導体素子の製作工程を提供する試料ホルダーを提案する。更には、鮮明で且つ精密な拡大映像を得ることができ、半導体素子の不良率を低減する試料ホルダーを提案する。
＜試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの構成＞
以下では、図６及び図７を参照して、本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー１０の全体的な構成について説明する。図６は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体とスタンドが締結される前の状態を示す斜視図であり、図７は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体とスタンドが締結した状態を示す斜視図である。
図６及び図７を参照すると、本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー１０は、大きく、胴体１００と、スタンド２００とを含む。
胴体１００は、試料１１を安定して固定する試料装着部１１０を含み、ユーザは、試料装着部１１０に固定した試料１１を、走査電子顕微鏡を用いて観察する。また、胴体１００は、ユーザの把持のための取っ手部１３０を含み、前記試料装着部１１０と取っ手部１３０を連結する結合部材１４０と、ハウジング１２４とを更に含む。
スタンド２００は、胴体１００と着脱可能である。スタンド２００が胴体１００と締結される場合、胴体１００の試料装着部１１０に試料１１を装着することができる。胴体１００と締結されたスタンド２００が、胴体１００から分離される場合、胴体１００の試料装着部１１０に試料１１を固定することができる。
スタンド２００は、締結部２２０を含み、前記締結部２２０には、試料装着部１１０の少なくとも一部が挿入される溝が設けられている。また、スタンド２００は、胴体１００の取っ手部１３０が据置可能な支持台２３０を含み、結合部材１４０やハウジング１２４の一部が据置可能な据置台２４０を、更に含むことができる。
以下では、胴体１００とスタンド２００とから構成される、本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー１０の具体的な構成について説明する。
まず、図８〜図１２を参照して、本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー１０を構成する胴体１００の構成について詳述する。図８は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体の結合関係を示す分解図であり、図９は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体に関する側面断面図である。
本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー１０の胴体１００は、長さ方向に長い管状からなり、試料装着部１１０と、弾性手段１２０と、取っ手部１３０と、結合部材１４０とを含む。但し、図８及び図９に示されている構成要素が必須的ではなく、それよりも多い構成要素、又は、少ない構成要素を有する胴体１００が具現されることもできる。以下、前記の構成要素について、順に説明する。
試料装着部１１０は、胴体１００の一端に設けられることができる。本発明が適用される走査電子顕微鏡は、試料１１を拡大観察するので、試料１１を強固に固定することが非常に重要である。試料１１の精密な観察のために、試料装着部１１０は試料１１を装着し、装着した試料１１を強固に固定することができる。試料装着部１１０には、試料１１の両側面が固定されるので、試料１１の表面部分が上向きとなり、ユーザは、走査電子顕微鏡を用いて、試料１１の断面を観察することができる。
試料装着部１１０に対する具体的な構成を説明するため、まず、図１０〜図１２を説明する。図１０は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの試料装着部の斜視図であり、図１１は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーのプッシュロッドの底面斜視図であり、図１２は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの梃子の斜視図である。
試料装着部１１０は、移動可能なプッシュロッド１１１と、回転可能な梃子１１２と、試料１１の一表面を固定する試料押板１１４と、梃子バネ１１３と、試料１１の他表面を固定する固定鍔１１８とを含み、前記構成は、試料装着空間部１１６に位置する。試料装着部１１０が開放されて、試料押板１１と固定鍔１１８との間に、第１の空間が設けられ、前記第１の空間に試料１１が装着される場合、試料押板１１４と固定鍔１１８とを用いて、前記試料１１を固定することができる。
プッシュロッド１１１は、連結手段１２２により、弾性手段１２０と連結されており、外力によって移動されることができる。図１１のプッシュロッド１１１の底面斜視図に示しているように、プッシュロッド１１１には、三角形状からなるトリポード１１１аが設けられている。トリポード１１１аは、梃子１１２の梃子連結部１１２ｃと連結され、梃子連結部１１２ｃは、三角形状のトリポード１１１аに沿って移動することができる。また、プッシュロッド１１１の上部には、外部に突出した段差１１７が設けられている。段差１１７は、貫通溝２２２の一部を閉塞している係止部材２２４の係止突起２２５と当接可能な高さに形成される。
梃子１１２と試料押板１１４は、図１２に示しているような形状からなることができる。但し、本発明に適用される梃子１１２と試料押板１１４の構成が、前記形状に限られることではなく、様々な形状に変形可能である。
梃子１１２の一端には、梃子嵌合溝１１２аが設けられており、前記梃子嵌合溝１１２аに、ねじのような結合装置を差し込んで、梃子１１２の一端と試料押板１１４を結合することができる。梃子１１２の他端には、梃子連結部１１２ｃが設けられており、前期梃子連結部１１２ｃは、プッシュロッド１１１のトリポード１１１аの部分と連結される。梃子１１２の中心部には、中心軸１１２ｂが設けられており、梃子１１２は、前記中心軸１１２ｂを中心に、試料装着空間部１１６内で回転することができる。梃子１１２の側面には、梃子バネ溝１１２ｄが設けられており、前記梃子バネ溝１１２ｄには、梃子バネ１１３が結合されることができる。
試料押板１１４は、試料の一表面を固定させる構成である。試料押板には、溝が設けられている。前記試料押板に形成された溝は、梃子１１２の一端に設けられた梃子嵌合溝１１２аと嵌合し、ねじのような結合装置が差し込まれて、梃子１１２と試料押板１１４を結合することができる。このように、梃子１１２と試料押板１１４は、互いに結合されているので、梃子１１２が回転することにより、梃子１１２の端部に連結された試料押板１１４は、移動可能である。
梃子バネ１１３は、弾性力を持つ構成であって、一側は、試料装着空間部１１６の一面に連結され、他側は、梃子１１２の梃子バネ溝１１２ｄに結合されて、梃子１１２に弾性力が与えるようにすることができる。試料装着空間部１１６に、梃子１１２が回転可能な空間が形成される場合、梃子バネ１１３は、梃子１１２の一側に弾性を作用して、梃子１１２が一方向に回転するようにすることができる。
固定鍔１１８は、試料装着空間部１１６の一側面に設けられる。図１０に示しているように、四角形状に形成することができ、水平部１１８аと、垂直部１１８ｂとを含む。試料装着部１１０が開放されて、試料押板１１４と固定鍔１１８との間に第１の空間が形成されると、前記第１の空間に試料１１を装着することができる。試料押板１１４は、第１の空間に装着された試料の一表面を固定することができ、固定鍔１１８の水平部１１８аは、第１の空間に装着された試料の他表面を固定することができる。
再度、図８及び図９を参照すると、漏斗状の試料装着部１１０の端部には、溝が設けられており、前記溝に、自然産サファイア材質の尖端部１１９が、瞬間接着剤を用いて接着されている。また、本発明が適用される走査電子顕微鏡にも、漏斗状の空間が形成されていて、試料装着部１１０の端部を挿入することができ、走査電子顕微鏡の漏斗状の空間の尖端も、サファイア材質からなっている。走査電子顕微鏡に試料装着部１１０の端部が挿入される場合、前記サファイア材質の尖端部１１９と、走査電子顕微鏡のサファイア材質部分とが互いに会うことになる。それで、試料装着部１１０が走査電子顕微鏡から滑ることなく、強固に固定され、試料１１を精密に観察することができるようになる。
一方、弾性手段１２０は、バネのように弾性力を有する構成であって、胴体１００のハウジング１２４内に位置する。弾性手段１２０の一側は、結合部材１４０の一端に形成された結合部材嵌合部１４０аに連結されており、 弾性手段１２０の他側は、プッシュロッド１１１と連結されることができる。
図８及び図９に示しているように、弾性手段１２０の他側とプッシュロッド１１１との間には、連結手段１２２が介在している。連結手段１２２の一端には、前記プッシュロッド１１６と連結されることができ、連結手段１２２の他端は、弾性手段１２０と直接又は間接的に連結されている。
このように、プッシュロッド１１１は、弾性手段１２０と互いに連結されているので、プッシュロッド１１１に外力が加えられる場合、プッシュロッド１１１は、前後に移動可能である。即ち、プッシュロッド１１１の一部が外力によって力を受ける場合、弾性手段１２０が圧縮されるので、プッシュロッド１１１が後方に移動可能である。前記プッシュロッド１１１の一部に加えられた外力が除去される場合、弾性手段１２０の弾性により、プッシュロッド１１１は、再度、原位置に移動することになる。
一方、取っ手部１３０は、試料装着部１１０の反対側である胴体１００の他端に設けられる。取っ手部１３０は、ユーザが容易に胴体１００を把持できるように、ゴムやプラスチック材質からなり、取っ手部１３０の表面は、容易な把持のため、凹凸状からなっている。
取っ手部１３０には、内部に引込まれた形状の固定溝１３２を含むことができ、前記固定溝１３２は、支持台２３０の固定突起２３３と結合されることができる。
一方、結合部材１４０は、胴体１００の取っ手部１３０と、ハウジング１２４とを連結し、管状に形成される。このような結合部材１４０は、本発明が適用される走査電子顕微鏡の規格により、適切な長さと厚さからなる。
結合部材１４０の一端には、結合部材嵌合部１４０аが設けられている。結合部材嵌合部１４０аは、弾性手段１２０を取り囲むハウジング１２４に連結されることができ、着脱自在に設けられる。結合部材嵌合部１４０аは、走査電子顕微鏡のチャンバが真空状態を維持できるように、空気を遮断する役目をする。また、結合部材１４０とハウジング１２４との連結端には、Ｏリング１４４が更に設けられることができ、前記Ｏリング１４４は、走査電子顕微鏡のチャンバが真空状態を維持できるように、外部の空気を遮断する役目をする。
結合部材１４０には、ポジションピン１４２が外部に突出している。ポジションピン１４２は、本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー１０を走査電子顕微鏡に装着するに際して、試料１１が正しく装着されるようにするガイドの役目を果たす。すなわち、ポジションピン１４２が、走査電子顕微鏡に設けられたガイドレールに沿って移動することで、試料１１が走査電子顕微鏡のチャンバ内の正確な位置に装着できるようにする。
本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー１０のハウジング１２４は、燐青銅材質の銅系列素材からなる。走査電子顕微鏡を用いることに際して、磁性によって焦点が合わなくないような現象を防止するため、磁化とならない材質を用いる。ハウジング１２４内にある弾性手段１２０も、燐青銅材質からなる。胴体１００内にある部品は、黄銅材質からなることができる。結合部材１４０は、アルミニウム材質を用いることができる。
次に、図１３〜図１６を参照して、本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー１０を構成するスタンド２００の構成について、詳述する。図１３は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーのスタンドの結合関係を示す分解図であり、図１４は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーのスタンドに対する側面断面図である。
図１３及び図１４を参照すると、本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー１０のスタンド２００は、長さ方向に長い直方体状からなり、ベース部２１０と、締結部２２０と、支持台２３０と、据置台２４０とを含む。但し、図１３及び図１４に示している構成要素が必須的ではなく、それよりも多い構成要素、又は、少ない構成要素を有するスタンド２００の具現も可能である。以下、前記構成要素について、順に説明する。
ベース部２１０は、スタンド２００の下部をなし、スタンド２００を支持する構成であって、図１３及び図１４に示しているように、直方体状に形成されることができる。但し、本発明のベース部２１０は、図１３及び図１４の形状に限られるものではなく、 他の形状に変形して形成されることもできる。
ベース部２１０の上面と下面は、地面で安定した作業が行えるように、フラットに形成されており、ベース部２１０の上面には、締結部２２０、支持台２３０、据置台２４０などのスタンド２００の主要構成が、突設されている。
ベース部２１０には、締結部２２０と結合される溝２１０а、２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄと、支持台２３０と結合される溝２１０ｅ、２１０ｆ、２１０ｇ、２１０ｈが形成されている。前記締結部２２０と結合される溝２１０а、２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄは、締結部２２０の下端に結合のために設けられた溝と対応して配置されるように設計される。また、前記支持台２３０と結合される溝２１０ｅ、２１０ｆ、２１０ｇ、２１０ｈは、支持台２３０の下端に結合のために設けられた溝と対応して配置されるように設計される。前記溝２１０а〜２１０ｈに、ねじのような結合装置を差し込んで、ベース部２１０を、締結部２２０や支持台２３０に結合することができる。
一方、締結部２２０は、ベース部２１０の一端の上面に突設されている。具体的には、胴体１００とスタンド２００が締結される場合、胴体１００の試料装着部１１０が位置する部分に、締結部２２０が形成されることができる。
締結部２２０に関する具体的な構成を説明するために、まず、図１５を説明する。図１５は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの締結部の分解図である。
締結部２２０には、貫通溝２２２が設けられており、試料装着部１１０の少なくとも一部が挿入されることができる。締結部２２０に設けられる貫通溝２２２は、試料装着部１１０の挿入に適切な大きさに設計される。締結部２２０の貫通溝２２２に、試料装着部１１０の少なくとも一部が挿入される場合、試料装着部１１０が開放しながら、第１の空間が形成される。ユーザは、ピンセットなどを用いて、前記第１の空間に試料１１を装着することができる。
図１５に示しているように、締結部２２０の上面に半円形の溝が設けられ、前記半円形の溝は、貫通溝２２２と同一の形状に設けられることができる。これにより、貫通溝２２２に挿入された試料装着部１１０の一部が、締結部２２０の上面に設けられた半円形の溝まで進行することができる。
締結部２２０は、第１の締結部嵌合溝２２０аと、第２の締結部嵌合溝２２０ｂとを含む。第１の締結部嵌合溝２２０а及び第２の締結部嵌合溝２２０ｂは、締結部２２０を、後述する係止部材２２４に結合させるために提供される。
係止部材２２４には、締結部２２０に形成された貫通溝２２２の少なくとも一部を閉塞する係止突起２２５が設けられている。試料装着部１１０が貫通溝２２２に挿入される場合、係止部材２２４の係止突起２２５は、プッシュロッド１１６に形成された段差１１７と当接することになる。係止突起２２５と段差１１７とが当接して、プッシュロッド１１１は、進行が阻止することになり、前記プッシュロッド１１１は、弾性手段１２０を圧縮して、後方に移動する。プッシュロッド１１１が後方に移動されながら、梃子１１２が回転可能な空間が形成され、梃子１１２は、梃子バネ１１３の弾性を受けて、試料装着空間部１１６内で一方向に回転する。これにより、試料押板１１４が移動し、試料押板１１４と固定鍔１１８との間に、第１の空間が形成され、ユーザは、ピンセットなどを用いて、試料１１を前記第１の空間に装着することができる。
また、係止部材２２４は、第１の係止部材嵌合溝２２４аと、第２の係止部材嵌合溝２２４ｂとを有する。第１の係止部材嵌合溝２２４аと第２の係止部材嵌合溝２２４ｂとはそれぞれ、締結部２２０に形成された第１の締結部嵌合溝２２０аと第２の締結部嵌合溝２２０ｂと嵌合し、締結部ねじ２２１а、２２１ｂのような結合装置を差し込んで、締結部２２０と係止部材２２４を結合することができる。
締結部２２０は、その下面に、第３の締結部嵌合溝２２０ｃと、第４の締結部嵌合溝２２０ｄと、第５の締結部嵌合溝２２０ｅと、第６の締結部嵌合溝２２０ｆとが設けられている。前記第３の締結部嵌合溝〜第６の締結部嵌合溝２２０ｃ〜２２０ｆは、ベース部２１０の一端に形成された溝２１０а、２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄと嵌合し、ねじのような結合装置が差し込まれて、締結部２２０をベース部２１０に結合することができる。
一方、再度、図１３及び図１４を参照すると、支持台２３０は、ベース部２１０の他端の上面に突設されている。具体的には、胴体１００とスタンド２００が締結される場合、胴体１００の取っ手部１３０が位置する部分に、支持台２３０が設けられることができる。支持台２３０には、胴体１００の取っ手部１３０が据置されるので、締結部２２０の反対側に支持台２３０が設けられる。ベース部２１０の上面に形成された支持台２３０と締結部２２０との間の間隔は、胴体１００の長さに対応して設計されることができる。また、胴体１００とスタンド２００が締結される場合、胴体１００は、水平をなして据置しなければならない。それで、突出した支持台２３０及び締結部２２０の高さは、胴体１００を水平になるように設計される。
支持台２３０に対する具体的な構成を説明するために、まず、図１６を説明する。図１６は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの支持台の分解図である。
胴体１００の取っ手部１３０を据置する支持台２３０は、図１６に示しているように、支持台受止部２３１と支持台上部２３２とが結合してなる。
支持台受止部２３１には、レバー溝２３１аが設けられており、前記レバー溝２３１аは、支持台上部２３２に設けられている回転溝２３２aと嵌合して、支持台受止部２３１と支持台上部２３２とを結合することができる。また、支持台受止部２３１には、バネ溝２３１ｂが設けられており、前記バネ溝２３１ｂには、支持台上部２３２と連結される弾性部２３６が連結されることができる。
支持台上部２３２には、回転溝２３２аが設けられており、前記回転溝２３２аは、支持台受止部２３１のレバー溝２３１аと嵌合し、支持台ねじ２３０аのような結合装置を差し込んで、支持台受止部２３１と支持台上部２３２とを結合させることができる。支持台上部２３２は、支持台ねじ２３０аを中心に、一定の角度で回転可能に連結される。
支持台上部２３２の上面には、外部に突出した形状からなる固定突起２３３が設けられている。固定突起２３３は、取っ手部１３０の固定溝１３２と嵌合して、胴体１００がスタンド２００に堅固に締結できるようにする。それで、固定突起２３３は、内部に引込まれた形状の固定溝１３２に対応する形状に設けられることができる。固定突起２３３の形状が、固定溝１３２の形状と同一である必要はなく、固定突起２３３が固定溝１３２に結合可能な構造を有するようにする形状であれば十分である。固定突起２３３と固定溝１３２を形成して結合することで、胴体１００とスタンド２００の締結がより容易で且つ簡便になるという効果がある。
また、支持台上部２３２には、レバー２３４が設けられており、バネのような弾性部２３６が連結されている。レバー２３４は、支持台上部２３２の外部に突設され、ユーザが手で押圧することができる。ユーザがレバー２３４を押圧する場合、支持台上部２３２が支持台ねじ２３０аを中心に、下方に回転しながら下降することになり、これは、支持台２３０に据置された取っ手部１３０を、支持台２３０から分離する。取っ手部１３０が支持台２３０から分離された後、ユーザがレバー２３４を押圧する力を解除すると、弾性部２３６の弾性力によって、支持台上部２３２は原位置に戻る。即ち、ユーザがレバー２３４を押圧する力を解除すると、支持台上部２３２は、支持台ねじ２３０аを中心に、上方に回転しながら原位置に戻ることになる。このように、支持台上部２３２に設けられているレバー２３４を押圧して、取っ手部１３０を支持台２３０から分離することで、胴体１００とスタンド２００との分離がより容易で且つ簡便になる。
支持台受止部２３１は、その下部に、第１の支持台受止嵌合溝２３１ｃと、第２の支持台受止嵌合溝２３１ｄと、第３の支持台受止嵌合溝２３１eと、第４の支持台受止嵌合溝２３１ｆとを有する。前記第１の支持台受止嵌合溝〜第４の支持台受止嵌合溝２３１ｃ〜２３１ｆは、ベース部２１０の上面に形成された溝２１０ｅ、２１０ｆ、２１０ｇ、２１０ｈと嵌合し、ねじのような結合装置を差し込んで、支持台２３０とベース部２１０とを結合することができる。
一方、再度、図１３及び図１４を参照すると、据置台２４０は、胴体１００がスタンド２００に締結される場合、胴体１００を支える構成であって、ベース部２１０の上面に突設されている。複数の据置台２４０が設けられることもでき、望ましくは、締結部２２０と支持台２３０との間に設けられる。図１３及び図１４では、スタンド２００が２つの据置台２４０を有しているが、本発明の試料ホルダーに適用可能な据置台２４０の個数には、特に制限はない。据置台２４０には、胴体１００の少なくとも一部が据置されるので、締結部２２０、支持台２３０と共に、胴体１００を水平に据置できるように、適切な高さを有して設計されることができる。
また、据置台２４０の上面には、半円形の溝が設けられており、胴体１００の一部が、前記半円形の溝に据置されることができる。それで、スタンド２００に締結された胴体１００が容易に分離されず、安定して締結されることができる。据置台２４０に設けられた半円形の溝は、胴体１００の大きさに対応して形成されることができる。胴体１００は、一般に、試料装着部１１０の部分よりも、取っ手部１３０の方が太く形成されるので、据置台２４０が位置した部分により、据置台２４０に設けられた溝の大きさも変わることがある。胴体１００とスタンド２００が締結される場合、胴体１００が水平を維持できるように、締結部２２０に形成された貫通溝２２２の高さ、及び支持台２３０と据置台２４０の高さが設計されなければならない。
＜試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの動作＞
本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー１０に試料１１を装着するためには、胴体１００とスタンド２００とを締結しなければならず、装着された試料１１を固定するためには、胴体１００をスタンド２００から分離しなければならない。以下では、図１７〜図２０を参照して、本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー１０の具体的な動作について説明する。図１７〜図２０では、説明の便宜のため、プッシュロッド１１１の段差１７は、示していない。
まず、図１７は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体とスタンドとが締結される前の試料装着部の状態を示す平面図である。胴体１００とスタンド２００を締結するために、スタンド２００の据置台２４０に、胴体１００の一部を据置させる。据置台２４０の上面には、半円形の溝が設けられているので、円形の管状からなる胴体１００の一部が、前記半円形の溝に据置されることができる。このように、胴体１００の一部を据置台２４０に据置すると、胴体１００の試料装着部１１０は、締結部２２０の貫通溝２２２が形成された位置に置かれることになる。
図１７に示しているように、胴体１００がスタンド２００に締結される前には、プッシュロッド１１１が前方に前進した状態にある。梃子連結部１１２ｃは、試料装着空間部１１６の側面、プッシュロッド１１１、及びトリポード１１１аの間に位置し、梃子１１２は、試料装着空間部１１６内で動かない状態にある。梃子１１２の端部に連結されている試料押板１１４と固定鍔１１８の水平部１１８аとは、ほとんど当接しているので、試料１１を装着することができない。試料押板１１４を後方に移動させて、試料押板１１４と固定鍔１１８の水平部１１８аとの間に試料１１を装着するために、胴体１００を前方に押し込む。
次に、図１８は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体とスタンドが締結するに際して、試料装着部の状態を示す平面図である。締結部２２０に形成された貫通溝２２２に、胴体１００の試料装着部１１０を挿入すると、胴体１００とスタンド２００を締結することができる。試料装着部１１０の一部を貫通溝２２２に挿入する場合、プッシュロッド１１１に外部に突設された段差１１７は、貫通溝２２２の一部を閉塞している係止部材２２４の係止突起２２５と当接することになる。プッシュロッド１１１は、連結手段１２２により弾性手段１２０と連結されているので、プッシュロッド１１１に外力が加えられる場合、プッシュロッド１１１は移動可能である。それで、試料装着部１１０が前方に移動することにつれ、プッシュロッド１１１は、弾性手段１２０を圧縮し、後方に移動する。
図１８に示しているように、試料装着部１１０を貫通溝２２２に十分挿入すると、プッシュロッド１１１とトリポード１１１аは、更に後方に移動し、試料装着空間部１１６内に梃子１１２が回転可能な空間が形成される。梃子１１２の一側に連結された梃子バネ１１３が梃子１１２に弾性力を加えるので、梃子１１２は、中心軸１１２ｂを中心に、試料装着空間部１１６内で回転することになる。梃子１１２が回転しながら、梃子１１２の端部に連結された試料押板１１４と共に移動され、試料押板１１４と固定鍔１１８の水平部１１８аとの間に、試料１１を装着するに足りる第１の空間が形成される。
第１の空間が形成された後、取っ手部１３０を、スタンド２００の支持台２３０に据置する。取っ手部１３０には、内部に引込まれた形状の固定溝１３２が設けられており、支持台２３０の上面には、外部に突出した形状からなる固定突起２３３が設けられており、前記固定溝１３２と固定突起２３３とは、互いに対応する形状からなっている。固定溝１３２と固定突起２３３が結合すると、取っ手部１３０と支持台２３０が堅固に結合されるので、胴体１００とスタンド２００の締結がより堅固になる。
次に、図１９は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの試料装着部に試料が装着した状態を示す平面図である。胴体１００とスタンド２００が締結されると、ユーザは、ピンセットなどを用いて、前記第１の空間に試料１１を装着することができる。第１の空間に装着した試料１１の断面部分が上向きになるので、ユーザは、走査電子顕微鏡を用いて、試料１１の断面を観察することができる。
試料１１の断面を観察するために、試料１１を切断する場合、試料１１の切断面が不均一に切断される場合が頻繁である。これにより、試料１１が傾斜したままで第１の空間に装着されることがある。試料１１の正しい観察のためには、水平になるように、試料１１を第１の 空間に装着しなければならず、このため、ユーザは、胴体１００を、約８０゜回転させた後、試料１１の水平を調整することができる。
次に、図２０は、本発明に適用可能な試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの胴体とスタンドが分離されて、試料装着部に試料が固定した状態を示す平面図である。胴体１００をスタンド２００から分離する場合は、ユーザは、取っ手部１３０を取って、支持台上部２３２の外部に突設したレバー２３４を押圧する。ユーザがレバー２３４を押圧する場合、前記レバー２３４に加えられる力によって、支持台上部２３２が下方に回転しながら下降することになる。下降した支持台上部２３２は、支持台２３０に据置された取っ手部１３０を、支持台２３０から容易に分離できるようにする。レバー２３４を押圧して、取っ手部１３０が支持台２３０から分離された場合、ユーザは、取っ手部１３０を取って、ゆっくり胴体１００を後進させて、胴体１００をスタンド２００から分離することができる。前記胴体１００をスタンド２００から分離する過程は、胴体１００が回転した状態で行われる。
貫通溝２２２から試料装着部１１０を抜き取る場合、プッシュロッド１１１の段差１１７と、係止部材２２４の係止突起２２５とが分離されながら、プッシュロッド１１１の段差１１７に加えられた外力が除去され、弾性手段１２０の弾性によって、プッシュロッド１１１とトリポード１１１аが再度前方に移動することになる。梃子連結部１１２ｃは、移動するトリポード１１１аに沿って移動し、梃子１１２は、梃子バネ１１３を圧縮しながら、中心軸１１２ｂを中心に、試料装着空間部１１６内で回転することになる。梃子１１２が回転しながら、梃子１１２の端部に連結された試料押板１１４と共に移動され、試料押板１１４が試料１１を固定することになる。それで、第１の空間に装着された試料１１の表面は、試料押板１１４によって固定され、第１の空間に装着された試料１１の裏面は、固定鍔１１８の水平部１１８аによって固定されるので、ユーザは、固定した試料１１を走査電子顕微鏡に適用して、精密な試料１１の断面の拡大映像を得ることができる。
以上で説明したように、本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー及びその制御方法によると、別のテープや接着剤などを用いることなく、簡単で且つ速かに試料を装着・固定することができる。これにより、本発明の試料の断面観察に用いられる試料ホルダーを用いた走査電子顕微鏡により試料を観察する場合、鮮明な映像を得ることができ、精密な観察が可能である。
一方、本発明は、また、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に、コンピュータが読み取り可能なコードとして具現することができる。コンピュータ読取可能な記録媒体は、コンピュータシステムにより読み取ることができるデータが格納される全ての種類の記録装置を含む。コンピュータ読取可能な記録媒体の例としては、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＣＤ−ＲＯＭ、磁気テープ、フロッピー（登録商標）ディスク、光データ格納装置などがあり、また、搬送波（例えば、インターネットを通じた伝送）の形態で具現されることも含む。また、コンピュータ読取可能な記録媒体は、ネットワークで連結されたコンピュータシステムに分散されて、分散方式でコンピュータが読み取ることが可能なコードが格納され、実行することができる。そして、本発明を具現するための機能的なプログラム、コード及びコードセグメントは、本発明が属する技術分野のプログラマーによって、容易に推論されることができる。
また、以上のように説明された装置及び方法は、前記で説明された実施例の構成と方法が限定して適用されることではなく、前記実施例は、様々な変形が行われるように、各実施例の全部又は一部が選択的に組み合わせして構成されることもできる。
１０ 試料ホルダー
１１ 試料
１２ 固定ねじ
１３ ラッチ孔
１４ 板バネ
１５ 固定金具
３１ 電子銃
３２ ビームモニタ絞り
３３ 第１の収束レンズ
３４ エアロックバルブ
３５ 対物可動絞り
３６ 第２の収束レンズ
３７ 偏向コイル
３８ ＥＸＢ
３９ 対物レンズ
４０ 対物レンズコイル
４１ ビームブランキング
４２ 暗視野STEM検出器
４３ 明視野絞り
４４ 明視野STEM検出器
４５ ２次電子検出器
１００ 胴体
１１０ 試料装着部
１１１ プッシュロッド
１１１ａ トリポード
１１２ 梃子
１１２ａ 梃子嵌合溝
１１２ｂ 中心軸
１１２ｃ 梃子連結部
１１２ｄ 梃子バネ溝
１１３ 梃子バネ
１１４ 試料押板
１１６ 試料装着空間部
１１７ 段差
１１８ 固定鍔
１１８ａ 水平部
１１８ｂ 垂直部
１１９ 尖端部
１２０ 弾性手段
１２２ 連結手段
１２４ ハウジング
１３０ 取っ手部
１３２ 固定溝
１４０ 結合部材
１４０ａ 結合部材嵌合部
１４２ ポジションピン
１４４ Ｏリング
２００ スタンド
２１０ ベース部
２１０ａ〜ｈ 溝
２２０ 締結部
２２０ａ 第１の締結部嵌合溝
２２０ｂ 第２の締結部嵌合溝
２２０ｃ 第３の締結部嵌合溝
２２０ｄ 第４の締結部嵌合溝
２２０ｅ 第５の締結部嵌合溝
２２０ｆ 第６の締結部嵌合溝
２２２ 貫通溝
２２４ 係止部材
２２５ 係止突起
２３０ 支持台
２３１ 支持台受止部
２３１ａ レバー溝
２３１ｂ バネ溝
２３１ｃ 第１の支持台受止嵌合溝
２３１ｄ 第２の支持台受止嵌合溝
２３１ｅ 第３の支持台受止嵌合溝
２３１ｆ 第４の支持台受止嵌合溝
２３２ 支持台上部
２３２ａ 回転溝
２３３ 固定突起
２３４ レバー
２３６ 弾性部
２４０ 据置台
１１ 試料
１２ 固定ねじ
１３ ラッチ孔
１４ 板バネ
１５ 固定金具
３１ 電子銃
３２ ビームモニタ絞り
３３ 第１の収束レンズ
３４ エアロックバルブ
３５ 対物可動絞り
３６ 第２の収束レンズ
３７ 偏向コイル
３８ ＥＸＢ
３９ 対物レンズ
４０ 対物レンズコイル
４１ ビームブランキング
４２ 暗視野STEM検出器
４３ 明視野絞り
４４ 明視野STEM検出器
４５ ２次電子検出器
１００ 胴体
１１０ 試料装着部
１１１ プッシュロッド
１１１ａ トリポード
１１２ 梃子
１１２ａ 梃子嵌合溝
１１２ｂ 中心軸
１１２ｃ 梃子連結部
１１２ｄ 梃子バネ溝
１１３ 梃子バネ
１１４ 試料押板
１１６ 試料装着空間部
１１７ 段差
１１８ 固定鍔
１１８ａ 水平部
１１８ｂ 垂直部
１１９ 尖端部
１２０ 弾性手段
１２２ 連結手段
１２４ ハウジング
１３０ 取っ手部
１３２ 固定溝
１４０ 結合部材
１４０ａ 結合部材嵌合部
１４２ ポジションピン
１４４ Ｏリング
２００ スタンド
２１０ ベース部
２１０ａ〜ｈ 溝
２２０ 締結部
２２０ａ 第１の締結部嵌合溝
２２０ｂ 第２の締結部嵌合溝
２２０ｃ 第３の締結部嵌合溝
２２０ｄ 第４の締結部嵌合溝
２２０ｅ 第５の締結部嵌合溝
２２０ｆ 第６の締結部嵌合溝
２２２ 貫通溝
２２４ 係止部材
２２５ 係止突起
２３０ 支持台
２３１ 支持台受止部
２３１ａ レバー溝
２３１ｂ バネ溝
２３１ｃ 第１の支持台受止嵌合溝
２３１ｄ 第２の支持台受止嵌合溝
２３１ｅ 第３の支持台受止嵌合溝
２３１ｆ 第４の支持台受止嵌合溝
２３２ 支持台上部
２３２ａ 回転溝
２３３ 固定突起
２３４ レバー
２３６ 弾性部
２４０ 据置台
Claims (14)
- 胴体(100)と、
前記胴体(100)の一端に設けられ、試料(11)を固定する試料装着部(110)と、
前記胴体(100)の内部に位置する弾性手段(120)と、
前記胴体(100)と着脱可能なスタンド(200)とを含み、
前記スタンド(200)は、
前記スタンド(200)の下部をなすベース部(210)と、
前記ベース部(210)の上面に突設され、前記試料装着部(110)の少なくとも一部が挿入可能な貫通溝(222)が設けられている締結部(220)とを含み、
前記試料装着部(110)は、
前記弾性手段(120)と連結され、移動可能なプッシュロッド(111)と、
前記プッシュロッド(111)と連結され、中心軸(112b)を中心に回転可能な梃子(112)と、
前記梃子(112)の端部に連結され、前記試料(11)の一表面を固定する試料押板(114)と、
前記梃子(112)の一側に連結された梃子バネ(113)と、
前記プッシュロッド(111)、前記梃子(112)、前記梃子バネ(113)、及び前記試料押板(114)が配置された試料装着空間部(116)に設けられ、前記試料(11)の他表面を固定する固定鍔(118)とを含み、
前記胴体(100)が前記スタンド(200)に締結され、前記貫通溝(222)に前記試料装着部(110)の少なくとも一部が挿入される場合、前記プッシュロッド(111)が移動して、前記試料装着空間部(116)に前記梃子(112)が回転可能な空間が形成され、前記梃子バネ(113)の弾性が前記梃子(112)の一側に作用して、前記梃子(112)が一方向に回転し、前記回転した梃子(112)により前記試料押板(114)が移動し、前記移動した試料押板(114)と前記固定鍔(118)との間に第１の空間が形成され、
前記第１の空間に前記試料(11)を装着した後、前記胴体(100)を前記スタンド(200)から分離する場合、前記分離による弾性手段(120)の弾性によって前記プッシュロッド(111)が移動し、前記移動したプッシュロッド(111)が、前記梃子(112)を他方向に回転させ、前記回転した梃子(112)により前記試料押板(114)が移動し、前記移動した試料押板(114)が、前記試料(11)の一表面を固定し、
前記試料(11)の断面が外部に向かうように、前記試料(11)が前記第１の空間に固定され、走査電子顕微鏡を用いて、固定した前記試料(11)の断面を観察することを特徴とする試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。 - 更に、前記締結部(220)と連結され、係止突起(225)が形成された係止部材(224)を含み、
前記係止突起(225)は、前記締結部(220)に設けられた前記貫通溝(222)の少なくとも一部を閉塞することを特徴とする請求項１に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記プッシュロッド(111)には、外部に突出した段差(117)が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。
- 前記胴体(100)が前記スタンド(200)に締結され、前記貫通溝(222)に、前記試料装着部(110)の少なくとも一部が挿入される場合、
前記プッシュロッド(111)に形成された段差(117)が、前記係止突起(225)に係止して、前記梃子(112)が回転されることを特徴とする請求項３に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。 - 更に、前記胴体(100)の他端に設けられる取っ手部(130)を含むことを特徴とする請求項１に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。
- 前記スタンド(200)は、更に、
前記ベース部(210)の上面に突設される支持台(230)を含み、
前記支持台(230)の上面に、前記取っ手部(130)の少なくとも一部が据置されることを特徴とする請求項５に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。 - 更に、前記支持台(230)の上面に設けられ、外部に突出した形状からなる固定突起(233)を含むことを特徴とする請求項６に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。
- 更に、前記取っ手部(130)に設けられ、内部に引込まれた形状からなる固定溝(132)を含み、
前記胴体(100)と前記スタンド(200)とを締結して、前記取っ手部(130)の固定溝(132)を、前記支持台(230)の固定突起(230)に結合させる場合、前記胴体(100)が、前記スタンド(200)に固定されることを特徴とする請求項７に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記支持台(230)は、
前記支持台(230)の下部をなす支持台受止部(231)と、
外部に突出したレバー(234)が設けられ、前記支持台受止部(231)と支持台ねじ(230a)によって結合され、前記支持台ねじ(230a)を中心に、所定の角度内で回転可能な支持台上部(232)とを含み、
前記レバー(234)に押圧する力が与えられる場合、
前記レバー(234)に与えられる力によって、前記支持台上部(232)が、前記支持台ねじ(230a)を中心に回転しながら、前記支持台上部(232)が下降し、
前記下降した支持台上部(232)を用いて、前記スタンド(200)に締結された前記胴体(100)を、前記スタンド(200)から分離することを特徴とする請求項６に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記支持台(230)は、更に、
前記支持台受止部(231)と前記支持台上部(232)とを連結する弾性部(236)を含み、
前記レバー(234)を押圧する力が解除される場合、
前記弾性部(236)の弾性によって、前記支持台上部(232)が、前記支持台ねじ(230a)を中心に回転しながら、前記支持台上部(232)が上昇することを特徴とする請求項９に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記スタンド(200)は、更に、
前記ベース部(210)の上面に突設され、前記胴体(100)の少なくとも一部が据置される据置台(240)を含むことを特徴とする請求項１に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記プッシュロッド(111)は、
前記梃子(112)と連結され、三角形状からなるトリポード(111a)を含むことを特徴とする請求項１に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記プッシュロッド(111)が移動する場合、
前記梃子(112)が前記トリポード(111a)に沿って移動することを特徴とする請求項１２に記載の試料の断面観察に用いられる試料ホルダー。 - 胴体(100)をスタンド(200)に締結する第１のステップと、
第１の空間に試料(11)を装着する第２のステップと、
前記胴体(100)を前記スタンド(200)から分離する第３のステップとを含み、
前記第１のステップは、
試料装着部(110)の少なくとも一部を貫通溝(222)に挿入するステップと、
プッシュロッド(111)を移動して、試料装着空間部(116)に梃子(112)が回転可能な空間が形成されるステップと、
前記梃子(112)が梃子バネ(113)の弾性によって回転するステップと、
前記回転した梃子(112)により、試料押板(114)を移動するステップと、
前記移動した試料押板(114)と固定鍔(118)との間に、第１の空間を形成するステップとを含み、
前記試料装着部(110)は、前記胴体(100)の一端に設けられ、前記試料(11)を固定し、
前記試料装着部(110)は、前記プッシュロッド(111)と、前記梃子(112)と、前記試料押板(114)と、前記梃子バネ(113)と、前記固定鍔(118)とを含み、
前記プッシュロッド(111)は、弾性手段(120)と連結されて移動可能であり、
前記梃子(112)は、前記プッシュロッド(111)と連結され、中心軸(112b)を中心に回転可能であり、
試料押板(114)は、前記梃子(112)の端部に連結され、前記試料(11)の一表面を固定し、
前記梃子バネ(113)は、前記梃子(112)の一側に連結され、
前記固定鍔(118)は、前記プッシュロッド(111)、前記梃子(112)、前記梃子バネ(113)、及び前記試料押板(114)が配置された試料装着空間部(116)に設けられ、前記試料(11)の他表面を固定し、
前記貫通溝(222)は、ベース部(210)の上面に位置した締結部(220)に設けられ、前記試料装着部(110)の少なくとも一部が挿入可能であり、
前記ベース部(210)は、前記スタンド(200)の下部をなし、
前記試料(11)の断面が外部に向かうように、前記試料(11)が前記第１の空間に固定され、走査電子顕微鏡を用いて、固定した前記試料(11)の断面を観察することを特徴とする試料の断面観察に用いられる試料ホルダーの制御方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2013-0110663 | 2013-09-13 | ||
| KR1020130110663A KR101398455B1 (ko) | 2013-09-13 | 2013-09-13 | 시료의 단면 관찰에 사용되는 시료 홀더 및 그 제어방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP5648115B1 true JP5648115B1 (ja) | 2015-01-07 |
| JP2015056395A JP2015056395A (ja) | 2015-03-23 |
Family
ID=50895019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013218721A Active JP5648115B1 (ja) | 2013-09-13 | 2013-10-21 | 試料の断面観察に用いられる試料ホルダー及びその制御方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9012841B2 (ja) |
| JP (1) | JP5648115B1 (ja) |
| KR (1) | KR101398455B1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6421041B2 (ja) * | 2015-01-13 | 2018-11-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| JP6808691B2 (ja) * | 2018-08-09 | 2021-01-06 | 日本電子株式会社 | 試料搬送装置及び電子顕微鏡 |
| CN112289668A (zh) * | 2020-09-28 | 2021-01-29 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种电镜探测器的驱动机构及电镜探测器装置 |
| JP7267316B2 (ja) * | 2021-01-08 | 2023-05-01 | 日本電子株式会社 | 試料ホルダーおよび荷電粒子線装置 |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5024072A (ja) * | 1973-07-04 | 1975-03-14 | ||
| JPS60164761U (ja) * | 1984-04-12 | 1985-11-01 | 株式会社トプコン | 電子顕微鏡等の試料保持装置 |
| NL8902568A (nl) * | 1989-10-17 | 1991-05-16 | Philips Nv | Vacuuem systeem voorzien van een evacueerbaar huis, een objecthouder en een losneembaar daarmee gekoppelde objectdrager. |
| JPH04324240A (ja) * | 1991-04-25 | 1992-11-13 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用試料ホルダー及び試料保持法 |
| US5225683A (en) * | 1990-11-30 | 1993-07-06 | Jeol Ltd. | Detachable specimen holder for transmission electron microscope |
| US5332275A (en) * | 1991-11-27 | 1994-07-26 | Microscience Group, Inc. | Microgripper |
| KR200198457Y1 (ko) | 1997-12-24 | 2000-10-02 | 김영환 | 반도체 분석장비의 칩홀더장치 |
| US6027522A (en) * | 1998-06-02 | 2000-02-22 | Boston Scientific Corporation | Surgical instrument with a rotatable distal end |
| JP2001084939A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-03-30 | Canon Inc | 走査電子顕微鏡の試料ホルダ |
| US6410925B1 (en) * | 2000-07-31 | 2002-06-25 | Gatan, Inc. | Single tilt rotation cryotransfer holder for electron microscopes |
| KR100408415B1 (ko) * | 2001-06-20 | 2003-12-06 | 삼성전자주식회사 | 시료 홀더, 시료 홀더 내에 시료 고정을 위한 보조장치 및이들을 이용한 시료 고정방법 |
| JP3986778B2 (ja) * | 2001-08-10 | 2007-10-03 | 日本電子株式会社 | ホルダ支持装置 |
| KR100447447B1 (ko) * | 2002-01-31 | 2004-09-07 | 최한주 | 웨이퍼 검사용 시료 홀더 |
| JP2005026042A (ja) * | 2003-07-01 | 2005-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子顕微鏡用試料ホルダー及び試料装着方法 |
| GB0318134D0 (en) * | 2003-08-01 | 2003-09-03 | Gatan Uk | Specimen tip and tip holder assembly |
| JP2008084735A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Toppan Printing Co Ltd | 断面試料台及び試料ホルダ |
| KR20080075682A (ko) | 2007-02-13 | 2008-08-19 | 삼성전자주식회사 | 시편 장착용 홀더 |
| KR20090022745A (ko) | 2007-08-31 | 2009-03-04 | 삼성전자주식회사 | 시료홀더 및 이를 구비하는 분석장비 |
| KR20090096167A (ko) | 2008-03-07 | 2009-09-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 주사전자현미경 홀더 |
| US8513621B2 (en) * | 2008-03-17 | 2013-08-20 | Protochips, Inc. | Specimen holder used for mounting |
| JP5255531B2 (ja) * | 2008-07-28 | 2013-08-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置用の試料ホルダ |
| US8466432B2 (en) * | 2010-04-12 | 2013-06-18 | Protochips, Inc. | Sample holder providing interface to semiconductor device with high density connections |
-
2013
- 2013-09-13 KR KR1020130110663A patent/KR101398455B1/ko active IP Right Grant
- 2013-10-21 US US14/058,893 patent/US9012841B2/en active Active
- 2013-10-21 JP JP2013218721A patent/JP5648115B1/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2015056395A (ja) | 2015-03-23 |
| US9012841B2 (en) | 2015-04-21 |
| KR101398455B1 (ko) | 2014-05-27 |
| US20150076344A1 (en) | 2015-03-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5648114B1 (ja) | 試料の表面観察に用いられる試料ホルダー及びその制御方法 | |
| US8011259B2 (en) | Sample carrier comprising a deformable strip of material folded back upon itself and sample holder | |
| US9251996B2 (en) | Charged particle beam device, position adjusting method for diaphragm, and diaphragm position adjusting jig | |
| US7582885B2 (en) | Charged particle beam apparatus | |
| DE112010004286B4 (de) | Ladungsteilchenmikroskop | |
| JP4923716B2 (ja) | 試料分析装置および試料分析方法 | |
| JP5648115B1 (ja) | 試料の断面観察に用いられる試料ホルダー及びその制御方法 | |
| US20070145267A1 (en) | Portable scanning electron microscope | |
| JP2007066902A (ja) | 粒子光学装置におけるレンズエラー決定方法 | |
| US20100025580A1 (en) | Grid holder for stem analysis in a charged particle instrument | |
| JP5450357B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| EP1868225A1 (en) | Sample carrier and sample holder | |
| JP5828056B1 (ja) | マルチ断面観察ホルダー | |
| US20130256558A1 (en) | Apparatus for contaminants being deposited thereon | |
| JP2004295146A (ja) | マニピュレータおよびそれを用いたプローブ装置、試料作製装置 | |
| JP2014044967A (ja) | 走査電子顕微鏡および試料ホルダ | |
| US7381970B2 (en) | Specimen stage for charged-particle scanning microscopy | |
| JP4016969B2 (ja) | 試料作製装置および試料作製方法 | |
| JP2016100316A (ja) | 試料台 | |
| JP4016970B2 (ja) | 試料作製装置および試料作製方法 | |
| JP2011129343A (ja) | 荷電粒子線装置の試料ホルダ | |
| JP2011204367A (ja) | 電子顕微鏡用試料台 | |
| KR101540721B1 (ko) | 주사전자 현미경의 영상 구현장치 | |
| JP2013243027A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| Myasishchev | Focused ion beam assisted semiconductor sample preparation for subsequent transmission electron microscope examination |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141017 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141110 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5648115 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |