KR20090022745A - 시료홀더 및 이를 구비하는 분석장비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 시료홀더 및 이를 구비하는 분석장비를 제공한다. 상기 시료홀더는 본체부를 구비한다. 상기 본체부의 일측에 시료고정부가 배치된다. 상기 본체부의 일측에 플러그가 배치된다.

Description

시료홀더 및 이를 구비하는 분석장비{Specimen holder and analysis apparatus having the same}
본 발명은 시료홀더 및 이를 구비하는 분석장비에 관한 것이다. 구체적으로는, 시료의 결정구조 등을 분석하기 위한 시료홀더 및 이를 구비하는 분석장비에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 반도체기판 상에 증착공정, 식각공정, 평탄화공정, 세정공정, 이온주입공정 등의 단위공정들을 이용하여 소정의 막, 패턴, 및 금속 배선 등을 형성하여 제조하게 된다. 또한 반도체 소자의 제조 공정에는 상기와 같은 가공 공정 이외에 반도체 기판에 대한 다양한 검사 및 분석 공정이 포함된다. 상기 검사 및 분석 공정은 반도체기판 상에 형성된 막의 내부 또는 표면에 존재하는 불순물 농도, 임의로 주입한 이온의 농도 및 분포, 반도체기판 상에 형성된 패턴들의 브리지(bridge) 현상, 반도체기판 상에 형성된 금속 배선의 단선 등을 상기 가공 공정 도중에 수시로 확인한다.
이 때, 각 공정단계에서 수행된 패턴 등을 검사하고 분석하기 위해 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope; SEM) 또는 투과전자현미경(Transmission Electron Microscope; TEM) 등이 사용된다.
이 중, 상기 투과전자현미경은 분석 시료를 투과한 전자들을 이용하여 영상 또는 회절 패턴을 얻어 재료의 모양뿐만 아니라 구조적인 정보까지 수득할 수 있으므로, 상기 미세한 불량을 분석하기 위한 매우 강력한 도구로서 사용되고 있다.
투과전자현미경은 통상 200KeV이상으로 가속된 전자들(Electrons)을 100nm이하의 두께로 제작된 시료에 통과시켜 상기 시료의 결정구조 및 결정화도를 분석하는 장비이다. 즉, 가속된 전자들이 시료를 통과할 때, 전자들은 시료의 결정면에서 회절(Diffraction)되어 회절패턴(Diffraction pattern)을 형성하게 되는데, 투과전자현미경은 이를 이용하여 시료의 결정구조를 분석할 수 있는 장비이다.
도 1은 종래의 투과전자현미경에 시료홀더가 장착된 상태를 일부 도시한 측면도이다. 도 2는 종래의 시료홀더를 도시한 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하여, 종래의 투과전자현미경(10) 및 시료홀더(20)의 구조를 살펴본다. 상기 투과전자현미경(10)은 회전부(12), 플러그수용부(14) 및 클립(16)을 구비한다. 상기 시료홀더(20)는 본체부(22), 상기 본체부(22)의 일측에 배치된 시료고정부(24), 상기 본체부(22)의 일측에 배치된 케이블(26), 및 상기 케이블(26)의 일단에 연결된 플러그(28)를 구비한다. 즉, 상기 케이블(26)의 일단은 상기 본체부(22)에 연결되고 상기 케이블(26)의 다른 일단은 상기 플러그(28)에 연결된다.
상기 투과전자현미경(10)으로 시료의 결정구조를 분석하기 위하여 상기 시료홀더(20)의 시료고정부(24)에 시료를 올려놓고 상기 투과전자현미경(20)의 상기 회 전부(22)의 일측에 상기 시료홀더(20)를 장착한다. 이 때, 상기 회전부(22)에는 상기 시료고정부(24)가 관통하여 배치되는 홀(hole, 도면 미도시)이 배치되어 있어, 상기 시료홀더(20)가 장착되면, 상기 시료고정부(@4)는 상기 투과전자현미경(10)의 내부에 배치되고 상기 본체부(22)는 상기 투과전자현미경(10)의 외부에 배치된다. 상기 플러그(28)는 상기 플러그수용부(14)에 접속시킨다.
상기 시료홀더(20)를 장착한 후, 상기 시료의 원하는 부분을 분석하기 위하여 상기 투과전자현미경(10)의 상기 회전부(12)를 회전시킬 수 있다. 또한, 상기 시료홀더(20)의 상기 시료고정부(24)가 상하로 미세하게 움직일 수 있다. 상기 투과전자현미경(10)은 상기 회전부(12) 및 상기 시료고정부(24)의 움직임을 제어하기 위해 상기 회전부(12) 및 상기 시료고정부(24)에 연결된 제어부(도면 미도시)를 더 구비할 수 있다. 상기 제어부(도면 미도시)가 상기 시료고정부(24)의 움직임을 제어하는 신호는 상기 플러그(28) 및 상기 케이블(26)을 통하여 상기 본체부(22)에 전송된다.
이 때, 상기 케이블(26)은 외부환경의 영향을 받아서 흔들릴 수가 있다. 이러한 상기 케이블(26)의 흔들림으로 인해 미세한 진동이 생길 수 있게 된다. 이러한 미세한 진동은 상기 전자투과현미경(10)으로 정확한 분석을 해내는 것을 방해하게 된다. 따라서, 상기 케이블(26)의 흔들림을 막기 위하여 상기 회전부(12)의 일측에 부착된 상기 클립(16)으로 상기 케이블(26)을 고정시키는 방법을 사용하고 있다.
하지만, 상기 클립(16)에 의한 상기 케이블(26)의 고정방법에 의하여도 상기 케이블(26)의 미세한 흔들림을 막기에 충분하지 못하다. 즉, 미세한 진동이 상기 투과전자현미경(10)의 분석능력을 방해할 수 있고, 또한 반복적인 상기 클립(16)의 사용은 상기 클립(16)에 의해 고정되는 상기 케이블(26)의 부분이 단선되는 현상을 초래하여 문제가 된다. 즉, 상기 클립(16)에 의해 고정되는 상기 케이블(26)의 일부분이 끊어지게 되어, 이를 자주 교체해야하는 문제가 생기는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 진동이 생기는 것을 방지하여 더욱 정확한 분석을 도출해낼 수 있는 시료홀더 및 이를 구비하는 분석장비를 제공하는 데 있다.
본 발명이 이루고자하는 기술적 과제를 해결하기 위하여 시료홀더 및 상기 시료홀더를 구비하는 분석장비를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 상기 시료홀더는 본체부를 구비한다. 상기 본체부의 일측에 시료고정부가 배치될 수 있다. 상기 본체부의 일측에 플러그가 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 시료고정부 및 상기 플러그는 상기 본체부의 같은 일측에 배치될 수 있다.
볼 발명의 또 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 본체부는 본체케이스 및 상기 본체케이스의 내부에 배치된 구동부를 구비할 수 있다.
본 발명의 또 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 플러그는 상구 구동부에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 플러그는 상기 구동부를 제어하는 신호를 전달해줄 수 있다.
본 발명의 또 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 본체부는 상기 플러그와 상기 구동부를 연결해주는 전기배선을 더 포함할 수 있다. 상기 전기배선은 상기 본체케 이스의 내부에 배치될 수 있다. 상기 전기배선은 상기 본체케이스의 외부에는 배치되지 않을 수 있다.
본 발명의 또 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 시료고정부는 연결부 및 상기 연결부에 연결되는 시료로딩부를 구비할 수 있다. 상기 연결부의 일단은 상기 구동부에 연결되고, 상기 연결부의 다른 일단은 상기 시료로딩부에 연결될 수 있다.
본 발명의 또 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 구동부의 작동에 의해 상기 시료로딩부가 움직일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 분석장비는 본체부, 상기 본체부의 일측에 배치되는 시료고정부, 및 상기 본체부의 일측에 배치되는 플러그를 갖는 시료홀더를 구비할 수 있다. 상기 시료홀더가 장착되는 홀더장착부가 제공될 수 있다. 상기 플러그와 연결되는 플러그수용부가 배치될 수 있다. 상기 시료홀더를 상기 홀더장착부에 장착함과 동시에 상기 플러그와 상기 플러그수용부가 연결될 수 있다.
본 발명의 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 시료고정부 및 상기 플러그는 상기 본체부의 같은 일측에 배치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 본체부는 본체케이스를 구비할 수 있다. 상기 본체케이스의 내부에 구동부가 배치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 분석장비는 제어부를 더 포함할 수 있다. 상기 제어부는 상기 플러그수용부 및 상기 플러그를 통하여 상기 구동부와 연결될 수 있다. 상기 구동부의 작동은 상기 제어부에 의해 제어될 수 있다.
본 발명의 또 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 본체부는 상기 플러그와 상기 구동부를 연결시켜주는 전기배선을 더 구비할 수 있다. 상기 전기배선은 상기 본체케이스의 내부에 배치될 수 있다. 상기 전기배선은 상기 본체케이스의 외부에는 배치되지 않을 수 있다.
본 발명의 또 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 시료고정부는 연결부를 구비할 수 있다. 상기 연결부의 일단에 시료로딩부가 연결될 수 있다. 상기 연결부의 다른 일단은 상기 구동부에 연결될 수 있다.
본 발명의 또 다른 몇몇 실시예들에서, 상기 구동부의 작동에 의해 상기 시료로딩부가 움직일 수있다.
본 발명에 의하면, 종래의 시료홀더에 연결되어 있던 케이블이 필요없게 된다. 이로 인해, 종래에 문제가 되었던 케이블로 인한 진동의 발생 및 상기 케이블의 단선 등의 문제점을 근본적으로 해결할 수 있게 된다.
따라서, 외부환경에 의한 진동의 발생을 방지하게 되어 더욱 정확한 분석결과를 얻을 수 있게 된다. 나아가, 케이블의 단선에 의한 상기 케이블의 잦은 교체 문제를 해결할 수 있게 된다.
첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 의미한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 시료홀더와 상기 시료홀더를 구비하는 분석장비의 개략적인 구성을 나타내는 구성도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 시료홀더와 상기 시료홀더를 구비하는 분석장비의 결합관계를 나타내는 것으로 도 3의 E부분을 도시한 결합사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 시료홀더의 저면 사시도이다.
이하에서, 본 발명의 일 실시예에 의한 시료홀더와 상기 시료홀더를 구비하는 분석장비의 구성에 대해 설명하기로 한다. 본 발명의 일 실시예에 의한 시료홀더는 전자투과현미경에 장착되는 시료홀더일 수 있다. 또한 본 발명의 일 실시예에 의한 분석장비는 전자투과현미경일 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 시료홀더(100)는 본체부(110)를 구비한다. 상기 본체부(110)는 본체케이스(112)를 구비할 수 있다. 상기 본체케이스(112)는 원통형의 형상일 수 있다. 또는 상기 본체케이스(112)는 다른 입체적인 형상일 수도 있다. 상기 본체부(110)는 구동부(140)를 구비할 수 있다. 상기 구동부(140)는 상기 본체케이스(112)의 내부에 배치될 수 있다. 상기 구동부(140)는 모터를 포함할 수 있다. 또는 상기 구동부(140)는 모터외의 다른 동력발생수단을 포함할 수 있다.
상기 본체케이스(112)의 일측면에 시료고정부(120)가 배치될 수 있다. 상기 시료고정부(120)는 연결부(122), 상기 연결부(122)의 일단에 배치된 시료로딩 부(122L), 및 상기 연결부(122)를 둘러싸는 연결부케이스(124)를 구비할 수 있다.
상기 연결부케이스(122)의 일측에 홀(124H)이 배치될 수 있다. 상기 연결부케이스(122)의 다른 일측은 상기 본체케이스(112)의 일측과 접촉할 수 있다. 상기 연결부(122)의 일단에는 시료로딩부(122L)가 배치될 수 있다. 상기 연결부(122)의 다른 일단은 상기 본체케이스(112)의 일측면과 연결될 수 있다. 특히 상기 연결부(122)의 다른 일단은 상기 본체케이스(112)의 내부에 배치된 상기 구동부(140)의 구동축과도 연결될 수 있다.
상기 시료로딩부(122L)는 상기 홀(124H)을 관통하여 배치될 수 있다. 이 때, 상기 시료로딩부(122L)의 일부는 상기 연결부케이스(124)의 외부에 배치될 수 있다. 즉, 상기 연결부(122)는 상기 연결부케이스(124)의 내부에 배치되며, 상기 시료로딩부(122L)의 일부는 상기 연결부케이스(124)의 외부에 배치될 수 있다. 상기 연결부(122)는 상기 연결부케이스(124)의 내부에 상기 연결부케이스(124)와 이격되어 배치될 수 있다.
상기 본체케이스(112)의 일측에 플러그(130)가 배치될 수 있다. 상기 플러그(130)와 상기 시료고정부(120)는 상기 본체케이스(112)의 같은 일측에 배치될 수 있다. 상기 플러그(130)는 상기 구동부(140)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 플러그(130)와 상기 구동부(140)를 전기적으로 연결시켜주는 전기배선(150)이 제공될 수 있다. 상기 플러그(130)와 상기 시료고정부(120)는 서로 이격되어 배치될 수 있다. 상기 전기배선(150)은 상기 본체케이스(112)의 내부에만 배치될 수 있다. 즉, 상기 전기배선(150)은 상기 본체케이스(112)의 외부로 노출되지 않도록 할 수 있다.
이 때, 도 3 내지 도 5에 의하면 상기 플러그(130)는 상기 시료고정부(120)의 하부에 배치된 것으로 도시되었지만 반드시 상기 플러그(130)가 상기 시료고정부(120)의 하부에 배치되어야 하는 것은 아니고, 상기 본체케이스(110)의 같은 일측에만 배치되면 된다.
본 발명의 일 실시예에 의한 분석장비(200)는 회전부(210)를 구비한다. 상기 회전부(210)의 가운데 부분에 홀더장착부(212)가 제공된다. 상기 홀더장착부(212)는 상기 회전부(210)를 관통하는 홀(hole)의 형상을 가질 수 있다. 상기 회전부(210)의 일측에 플러그수용부(214)가 배치된다. 상기 플러그수용부(214)는 상기 홀더장착부(212)에 인접하게 배치될 수 있다.
상기 회전부(210)의 외측에 상기 회전부(210)를 덮는 덮개부(240)가 제공될 수 있다. 상기 분석장비(200)는 상기 회전부(210)에 연결되는 제어부(230)를 더 구비할 수 있다. 상기 제어부(230)는 상기 플러그수용부(214)에도 연결될 수 있다. 상기 제어부(230)에 연결되는 컨트롤부(220)가 제공될 수 있다.
이하에서는, 상기 시료홀더(100)와 상기 분석장비(200)의 결합관계 및 동작방법을 설명하도록 한다.
도 3 내지 도 5를 다시 참조하면, 상기 분석장비(200)를 이용하여 준비된 시료의 분석을 위해서, 상기 시료홀더(100)의 상기 시료로딩부(122L)에 상기 준비된 시료를 올려놓는다. 상기 분석장비(200)의 상기 홀더장착부(212)에 상기 시료홀더(100)의 상기 시료고정부(120)가 배치되도록 상기 시료홀더(100)를 상기 분석장 비(200)에 장착할 수 있다. 이 때, 상기 시료홀더(100)를 상기 분석장비(200)의 상기 홀더장착부(212)에 장착하는 동시에 상기 플러그(130)는 상기 플러그수용부(214)에 연결될 수 있다. 상기 시료홀더(100)가 상기 분석장비(200)에 장착되면 상기 본체부(110)는 상기 분석장비(200)의 외부에 배치되고, 상기 시료고정부(120)는 상기 분석장비(200)의 내부에 배치될 수 있다.
상기 시료홀더(100)를 상기 분석장비(200)에 장착한 후, 상기 준비된 시료의 원하는 부분을 분석하기 위하여, 상기 분석장비(200)가 구비하는 컨트롤부(220)를 통해 상기 준비된 시료의 위치를 제어하기 위한 신호를 입력받을 수 있다. 상기 컨트롤부(220)가 입력받은 상기 신호는 상기 제어부(230)에 전송될 수 있다.
상기 제어부(230)는 상기 전송된 입력신호를 처리하여 상기 회전부(210)의 움직임을 제어하는 제어신호를 전송할 수 있다. 상기 제어신호에 따라 상기 회전부(210)는 움직일 수 있다. 예를 들어, 상기 회전부(210)는 상기 제어부(230)의 제어신호에 따라 회전운동을 할 수 있다. 또한 상기 제어부(230)는 상기 플러그수용부(214) 및 상기 플러그(130)를 통하여 상기 본체부(110) 내부에 배치된 구동부(140)의 작동을 제어하는 제어신호를 전송할 수 있다. 상기 제어신호에 의해 상기 구동부(140)가 작동할 수 있다. 상기 구동부(140)의 작동에 의해 상기 시료로딩부(122L)가 움직일 수 있다. 예를 들어, 상기 시료로딩부(122L)은 상하로 움직일 수 있다. 상기 구동부(140)의 작동에 의해 상기 시료로딩부(122L)가 움직이기 위해서 상기 구동부(140) 및 상기 시료로딩부(122L)는 상기 연결부(120)에 의해 전기적으로 또는 기계적으로 연결될 수 있다.
상기 회전부(210)가 회전운동을 하는 경우 상기 회전부(210)에 장착된 상기 시료홀더(100)는 같이 회전운동을 할 수 있다. 이와 동시에, 상기 시료로딩부(122L)도 움직일 수 있다. 이러한 상기 회전부(210) 및 상기 시료로딩부(122L)의 회전 및 상하 움직임을 통하여 상기 준비된 시료의 원하는 부분을 분석해낼 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의한 시료홀더(100)는 상기 본체케이스(112)의 일측에 배치된 상기 플러그(130)를 구비한다. 상기 플러그(130)는 상기 본체케이스(112)의 내부에 배치된 상기 전기배선(150)을 통하여 상기 본체케이스(112) 내부에 배치된 구동부(140)에 상기 본체케이스(112)의 내부에서 전기적으로 연결된다. 즉, 본 발명에 의한 시료홀더(100)는 상기 본체케이스(112)의 외부에 배치되는 케이블과 같은 전기배선 등을 구비하고 있지 않다.
또한 본 발명에 의한 분석장비(200)는 상기 플러그(130)가 장착될 수 있는 플러그수용부(214)를 구비한다. 상기 플러그수용부(214)는 상기 회전부(210)의 일측에 배치된다. 상기 시료홀더(100)를 상기 분석장비(200)에 장착하는 동시에 상기 플러그(130)가 상기 플러그수용부(214)와 연결된다.
즉, 상기 시료홀더(100)의 상기 시료로딩부(122L)를 움직이도록 제어하는 신호를 보내기 위한 케이블이 필요없게 된다. 이로 인해, 종래에 문제가 되었던 케이블로 인한 진동의 발생 및 상기 케이블의 단선 등의 문제점을 근본적으로 해결할 수 있게 된다.
따라서, 외부환경에 의한 진동의 발생을 방지하게 되어 더욱 정확한 분석결 과를 얻을 수 있게 된다. 나아가, 케이블의 단선에 의한 상기 케이블의 잦은 교체 문제를 해결할 수 있게 된다.
도 1은 종래의 투과전자현미경에 시료홀더가 장착된 상태를 일부 도시한 측면도이다.
도 2는 종래의 시료홀더를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 시료홀더와 상기 시료홀더가 장착되는 분석장비의 개략적인 구성을 나타내는 구성도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 시료홀더와 상기 시료홀더를 구비하는 분석장비의 결합관계를 나타내는 것으로 도 3의 E부분을 도시한 결합사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 시료홀더의 저면 사시도이다.

Claims (14)

  1. 본체부;
    상기 본체부의 일측에 배치되는 시료고정부; 및
    상기 본체부의 일측에 배치되는 플러그를 포함하는 시료홀더.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 시료고정부 및 상기 플러그는 상기 본체부의 같은 일측에 배치되는 시료홀더.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체부는
    본체케이스; 및
    상기 본체케이스의 내부에 배치된 구동부를 포함하는 시료홀더.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 플러그는 상기 구동부에 전기적으로 연결되되, 상기 구동부의 작동을 제어하는 신호를 전달해주는 것을 특징으로 하는 시료홀더.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 본체부는
    상기 플러그와 상기 구동부를 연결해주는 전기배선을 더 포함하되, 상기 전기배선은 상기 본체케이스의 내부에 배치되어 상기 본체케이스의 외부에 배치되지 않는 시료홀더.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 시료고정부는
    연결부; 및
    상기 연결부에 연결되는 시료로딩부를 포함하되, 상기 연결부의 일단은 상기 구동부에 연결되고, 상기 연결부의 다른 일단은 상기 시료로딩부에 연결되는 시료홀더.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 구동부의 작동에 의해 상기 시료로딩부가 움직이는 것을 특징으로 하는 시료홀더.
  8. 본체부, 상기 본체부의 일측에 배치되는 시료고정부, 및 상기 본체부의 일측에 배치되는 플러그를 구비하는 시료홀더;
    상기 시료홀더가 장착되는 홀더장착부; 및
    상기 플러그와 연결되는 플러그수용부를 포함하되, 상기 시료홀더를 상기 홀 더장착부에 장착함과 동시에 상기 플러그와 상기 플러그수용부가 연결되는 분석장비.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 시료고정부 및 상기 플러그는 상기 본체부의 같은 일측에 배치되는 것을 특징으로 하는 분석장비.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 본체부는
    본체케이스; 및
    상기 본체케이스의 내부에 배치된 구동부를 포함하는 분석장비.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 플러그수용부 및 상기 플러그를 통하여 상기 구동부와 연결되는 제어부를 더 포함하되, 상기 구동부의 작동은 상기 제어부에 의해 제어되는 분석장비.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 본체부는
    상기 플러그와 상기 구동부를 연결시켜주는 전기배선을 더 포함하되, 상기 전기배선은 상기 본체케이스의 내부에 배치되어 상기 본체케이스의 외부에 배치되 지 않는 분석장비.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 시료고정부는
    연결부; 및
    상기 연결부에 연결되는 시료로딩부를 포함하되, 상기 연결부의 일단은 상기 구동부에 연결되고, 상기 연결부의 다른 일단은 상기 시료로딩부에 연결되는 분석장비.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 구동부의 작동에 의해 상기 시료로딩부가 움직이는 것을 특징으로 하는 분석장비.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2015072662A1 (ko) * 2013-11-12 2015-05-21 한국기초과학지원연구원 투과전자현미경 관찰용 그리드에 복수개의 시료를 로딩하는 방법 및 시료로딩장치

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