JPH0265863U - - Google Patents
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- JPH0265863U JPH0265863U JP14544388U JP14544388U JPH0265863U JP H0265863 U JPH0265863 U JP H0265863U JP 14544388 U JP14544388 U JP 14544388U JP 14544388 U JP14544388 U JP 14544388U JP H0265863 U JPH0265863 U JP H0265863U
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- electron microscopes
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- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
第１図は試料ホールダの概略図、第２図は試料
ホールダの先端部の試料台取付部を示す図、第３
図は試料台の形状を示す図である。 １……試料ホールダ、２……試料ホールダ先端
部、３……試料台、４……試料、５……電流測定
用リード線、６……試料台押え、７……電子線、
８……試料取付部。
ホールダの先端部の試料台取付部を示す図、第３
図は試料台の形状を示す図である。 １……試料ホールダ、２……試料ホールダ先端
部、３……試料台、４……試料、５……電流測定
用リード線、６……試料台押え、７……電子線、
８……試料取付部。
Claims (1)
- サイドエントリー形試料ステージを有する走査
形電子顕微鏡、透過形電子顕微鏡において使用さ
れる試料ホールダの試料台にフアラデーカツプを
設け、試料位置移動装置の操作により試料塔載部
とフアラデーカツプ位置を切り替えることにより
、試料を照射している電子線プローブ電流測定を
可能にすることを特徴とする試料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14544388U JPH0265863U (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14544388U JPH0265863U (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265863U true JPH0265863U (ja) | 1990-05-17 |
Family
ID=31414038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14544388U Pending JPH0265863U (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0265863U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012109171A (ja) * | 2010-11-19 | 2012-06-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |
-
1988
- 1988-11-09 JP JP14544388U patent/JPH0265863U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012109171A (ja) * | 2010-11-19 | 2012-06-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |