JPH10312763A - 電子顕微鏡用試料ホールダ - Google Patents
電子顕微鏡用試料ホールダInfo
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- JPH10312763A JPH10312763A JP9124122A JP12412297A JPH10312763A JP H10312763 A JPH10312763 A JP H10312763A JP 9124122 A JP9124122 A JP 9124122A JP 12412297 A JP12412297 A JP 12412297A JP H10312763 A JPH10312763 A JP H10312763A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料が強磁性体などの場合に生じる光軸のず
れや対物レンズの非点収差を軽減し、強磁性体材料の観
察、分析を容易に行えるようにする。 【解決手段】 電子顕微鏡の試料ホールダ１に磁性材料
を用いた磁場歪み補正片４あるいは磁場歪み補正コイル
を組み込むことにより、磁性を帯びた試料３自体により
生ずる試料近傍の磁場分布の乱れを自ら補正する。
れや対物レンズの非点収差を軽減し、強磁性体材料の観
察、分析を容易に行えるようにする。 【解決手段】 電子顕微鏡の試料ホールダ１に磁性材料
を用いた磁場歪み補正片４あるいは磁場歪み補正コイル
を組み込むことにより、磁性を帯びた試料３自体により
生ずる試料近傍の磁場分布の乱れを自ら補正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡を用い
て磁性を持った試料を観察する際に生じる電子線光軸の
ずれや透過像の非点収差などの補正が容易な電子顕微鏡
用試料ホールダに関する。
て磁性を持った試料を観察する際に生じる電子線光軸の
ずれや透過像の非点収差などの補正が容易な電子顕微鏡
用試料ホールダに関する。
【０００２】
【従来の技術】鉄鋼などの磁性薄膜試料を電子顕微鏡を
用いて観察する場合に、試料の持つ磁性によって、対物
レンズの磁界に乱れが生じ、電子線光軸がずれたり、電
子線透過像に非点収差が生じたりして正常な像観察がで
きなくなることがある。この非点収差を補正する目的
で、通常、電子顕微鏡には非点収差補正装置が組み込ま
れている。電子顕微鏡の非点収差補正装置は、二次元的
に８個のコイルを配置し、それらに流れる電流を制御す
ることで、試料によって乱れた対物レンズの磁場を補正
している。
用いて観察する場合に、試料の持つ磁性によって、対物
レンズの磁界に乱れが生じ、電子線光軸がずれたり、電
子線透過像に非点収差が生じたりして正常な像観察がで
きなくなることがある。この非点収差を補正する目的
で、通常、電子顕微鏡には非点収差補正装置が組み込ま
れている。電子顕微鏡の非点収差補正装置は、二次元的
に８個のコイルを配置し、それらに流れる電流を制御す
ることで、試料によって乱れた対物レンズの磁場を補正
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記コイルは
その大きさから対物レンズに組み込むことは不可能なた
め、非点収差補正装置は対物レンズの下に置かれる。し
たがって、試料が強い磁性を帯びている場合には、試料
が挿入される対物レンズ中心部の磁場の乱れを完全に補
正することができないという問題があった。特に、最近
のＦＩＢ（Focused Ion Beam：集束イオンビーム）加工
法で作製した試料は、一般に、約０．５〜１ｍｍ×２ｍ
ｍ×５０〜５００μｍの大きさのブロック状で、その一
部の領域を電子線が透過する約０．１μｍ程度の厚さに
加工して観察する。そのような形状の強磁性体試料で
は、試料から発生される磁場により電子顕微鏡のレンズ
の磁場が大きく乱れ、電子線が曲げられたり、電子線透
過像に大きな非点収差が生じるなどの問題があった。
その大きさから対物レンズに組み込むことは不可能なた
め、非点収差補正装置は対物レンズの下に置かれる。し
たがって、試料が強い磁性を帯びている場合には、試料
が挿入される対物レンズ中心部の磁場の乱れを完全に補
正することができないという問題があった。特に、最近
のＦＩＢ（Focused Ion Beam：集束イオンビーム）加工
法で作製した試料は、一般に、約０．５〜１ｍｍ×２ｍ
ｍ×５０〜５００μｍの大きさのブロック状で、その一
部の領域を電子線が透過する約０．１μｍ程度の厚さに
加工して観察する。そのような形状の強磁性体試料で
は、試料から発生される磁場により電子顕微鏡のレンズ
の磁場が大きく乱れ、電子線が曲げられたり、電子線透
過像に大きな非点収差が生じるなどの問題があった。
【０００４】本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、従来法では観察が困難であ
った電子顕微鏡中で磁化する試料を容易に観察するため
の電子顕微鏡用試料ホールダを提供することを目的とす
る。
鑑みてなされたものであり、従来法では観察が困難であ
った電子顕微鏡中で磁化する試料を容易に観察するため
の電子顕微鏡用試料ホールダを提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】透過電子顕微鏡用の試料
は、一般に直径約３ｍｍの円盤状で、電子線が透過でき
るようにその一部が数１０ｎｍの厚さになっている。多
くの場合、図１の断面図に略示するように、試料３には
一個以上の穴１１が開いており、その穴１１のエッジの
薄くなっている部分１２に電子線を透過させて観察す
る。鉄鋼など金属の電子顕微鏡用試料は電解研磨法で作
製するが、この方法では正確に試料の中心に穴を開ける
ことは難しい。
は、一般に直径約３ｍｍの円盤状で、電子線が透過でき
るようにその一部が数１０ｎｍの厚さになっている。多
くの場合、図１の断面図に略示するように、試料３には
一個以上の穴１１が開いており、その穴１１のエッジの
薄くなっている部分１２に電子線を透過させて観察す
る。鉄鋼など金属の電子顕微鏡用試料は電解研磨法で作
製するが、この方法では正確に試料の中心に穴を開ける
ことは難しい。
【０００６】図２（ａ）〜（ｄ）は、磁性材料からなる
試料に開けた穴が試料の中心から偏心している場合の影
響について説明する図である。図２（ａ）及び図２
（ｃ）は試料３の形状を示し、図２（ｂ）及び図２
（ｄ）は、電子顕微鏡の対物電磁レンズ８を光学凸レン
ズに置き換えて二次元的に描いた光線図である。図２
（ａ）に示す試料３ａは中央部分に穴１１が開いてお
り、図２（ｃ）に示す試料３ｂは中心から偏心した位置
に穴１１が開いている。いずれの試料も、穴１１の周辺
部が、電子線７が透過できる薄い領域である。
試料に開けた穴が試料の中心から偏心している場合の影
響について説明する図である。図２（ａ）及び図２
（ｃ）は試料３の形状を示し、図２（ｂ）及び図２
（ｄ）は、電子顕微鏡の対物電磁レンズ８を光学凸レン
ズに置き換えて二次元的に描いた光線図である。図２
（ａ）に示す試料３ａは中央部分に穴１１が開いてお
り、図２（ｃ）に示す試料３ｂは中心から偏心した位置
に穴１１が開いている。いずれの試料も、穴１１の周辺
部が、電子線７が透過できる薄い領域である。
【０００７】図２（ａ）に示す中心部分に穴１１が開い
た試料３ａを透過した電子線７は、図２（ｂ）に示すよ
うに、レンズ８により拡大され、電子線像９として結像
する。試料３ａの観察可能領域が中央にある場合、試料
３ａ自体の持つ磁場の分布に偏りは無く、対物レンズ８
に対する影響は見かけ上無い。一方、図２（ｃ）のよう
に試料３ｂの観察可能領域が偏心している場合、試料３
ｂ自体の持つ磁場の分布に偏りがあるため、対物レンズ
８は非対称な磁場分布となり、図２（ｄ）に示すよう
に、見かけ上厚さが非対称な凸レンズの作用をする。そ
のため、電子線像はレンズ８の両側で異なった焦点面に
９ａ，９ｂのように結像し、レンズ８の片側に形成され
た一方の像９ａに焦点を合わせると反対側の像９ｂはぼ
けてしまう。
た試料３ａを透過した電子線７は、図２（ｂ）に示すよ
うに、レンズ８により拡大され、電子線像９として結像
する。試料３ａの観察可能領域が中央にある場合、試料
３ａ自体の持つ磁場の分布に偏りは無く、対物レンズ８
に対する影響は見かけ上無い。一方、図２（ｃ）のよう
に試料３ｂの観察可能領域が偏心している場合、試料３
ｂ自体の持つ磁場の分布に偏りがあるため、対物レンズ
８は非対称な磁場分布となり、図２（ｄ）に示すよう
に、見かけ上厚さが非対称な凸レンズの作用をする。そ
のため、電子線像はレンズ８の両側で異なった焦点面に
９ａ，９ｂのように結像し、レンズ８の片側に形成され
た一方の像９ａに焦点を合わせると反対側の像９ｂはぼ
けてしまう。
【０００８】本発明では、電子顕微鏡用の試料ホールダ
に磁場歪み補正片として磁性材料を組み込み、試料近傍
の磁場強度が観察視野を中心として同心円状に分布する
ように調整する手段を設けることにより、結果として図
２（ｂ）のような結像状態を実現することで前記目的を
達成する。すなわち、本発明による電子顕微鏡用試料ホ
ールダは、試料装着箇所と、磁性材料で作られた磁場歪
み補正片の装着箇所とを有し、試料と磁場歪み補正片の
配置関係を調整することにより磁性試料によって生じる
試料近傍の磁場分布の乱れを補正する機能を有すること
を特徴とする。
に磁場歪み補正片として磁性材料を組み込み、試料近傍
の磁場強度が観察視野を中心として同心円状に分布する
ように調整する手段を設けることにより、結果として図
２（ｂ）のような結像状態を実現することで前記目的を
達成する。すなわち、本発明による電子顕微鏡用試料ホ
ールダは、試料装着箇所と、磁性材料で作られた磁場歪
み補正片の装着箇所とを有し、試料と磁場歪み補正片の
配置関係を調整することにより磁性試料によって生じる
試料近傍の磁場分布の乱れを補正する機能を有すること
を特徴とする。
【０００９】磁場歪み補正片は不均一な磁場、即ち中心
対称ではない強度分布を有する磁場発生するものであ
り、磁場歪み補正片は取り外し可能とすることができ
る。磁場歪み補正片は、材質、形状の異なる複数個の磁
場歪み補正片から選択可能とすることができる。磁場歪
み補正片は厚さが不均一なリング状の形状のものとする
ことができる。磁場歪み補正片は、また、磁性材料と非
磁性材料とが一体となった構造を有して磁性材料と非磁
性材料との体積比率が異なる複数の磁場歪み補正片から
選択可能とすることができる。
対称ではない強度分布を有する磁場発生するものであ
り、磁場歪み補正片は取り外し可能とすることができ
る。磁場歪み補正片は、材質、形状の異なる複数個の磁
場歪み補正片から選択可能とすることができる。磁場歪
み補正片は厚さが不均一なリング状の形状のものとする
ことができる。磁場歪み補正片は、また、磁性材料と非
磁性材料とが一体となった構造を有して磁性材料と非磁
性材料との体積比率が異なる複数の磁場歪み補正片から
選択可能とすることができる。
【００１０】ホールダには、磁場歪み補正片を試料に対
して水平移動及び／又は回転させる機構を備えることが
できる。また、本発明による電子顕微鏡用試料ホールダ
は、試料装着箇所の周辺に一個又は複数個の磁場歪み補
正コイルを設け、磁場歪み補正コイルによって発生する
磁場を変化させることにより、試料近傍の磁場分布を補
正する機能を有することを特徴とする。
して水平移動及び／又は回転させる機構を備えることが
できる。また、本発明による電子顕微鏡用試料ホールダ
は、試料装着箇所の周辺に一個又は複数個の磁場歪み補
正コイルを設け、磁場歪み補正コイルによって発生する
磁場を変化させることにより、試料近傍の磁場分布を補
正する機能を有することを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図３は、本発明による電子顕微鏡
用試料ホールダの一例の先端部の分解組立図である。ま
た、図４は図３に示した電子顕微鏡用試料ホールダ先端
部の詳細図であり、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は
断面図である。図５は試料と磁場歪み補正片の組み合わ
せの例を示す図である。
施の形態を説明する。図３は、本発明による電子顕微鏡
用試料ホールダの一例の先端部の分解組立図である。ま
た、図４は図３に示した電子顕微鏡用試料ホールダ先端
部の詳細図であり、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は
断面図である。図５は試料と磁場歪み補正片の組み合わ
せの例を示す図である。
【００１２】試料ホールダ１の先端部には、試料台２ａ
及び磁場歪み補正片装着箇所２ｂが設けられている。試
料台２ａには試料３が装着され、磁場歪み補正片装着箇
所２ｂには磁場歪み補正片４が装着される。試料３及び
磁場歪み補正片４は、試料押さえ５によって上方から押
さえられ、押さえネジ６によって試料ホールダ１に固定
される。試料ホールダ１の本体、試料押さえ５及び押さ
えネジ６は、燐青銅等の非磁性材料で作られている。
及び磁場歪み補正片装着箇所２ｂが設けられている。試
料台２ａには試料３が装着され、磁場歪み補正片装着箇
所２ｂには磁場歪み補正片４が装着される。試料３及び
磁場歪み補正片４は、試料押さえ５によって上方から押
さえられ、押さえネジ６によって試料ホールダ１に固定
される。試料ホールダ１の本体、試料押さえ５及び押さ
えネジ６は、燐青銅等の非磁性材料で作られている。
【００１３】例えば、試料３が強磁性材料で、図３に示
したように周辺部に穴１１が開いた形状であったとす
る。磁場歪み補正片４は、試料３と同材料の磁性材料で
作られ、試料大の開口部４ａが中心から外れたところに
設けられており、磁性の強さが場所によって異なってい
る。試料押さえ５は、その一端５ａにテーパーが付けら
れており、試料台２の受け側に設けられたテーパー部１
ａに組み込まれる形状になっている。試料３及び磁場歪
み補正片４の試料ホールダ１への装填は、試料台２ａに
試料を、補正片装着箇所２ｂに磁場歪み補正片４を載
せ、更にその上に試料押さえ５を載せ、試料押さえ５を
押さえネジ６で試料ホールダ１に固定することによって
行われる。
したように周辺部に穴１１が開いた形状であったとす
る。磁場歪み補正片４は、試料３と同材料の磁性材料で
作られ、試料大の開口部４ａが中心から外れたところに
設けられており、磁性の強さが場所によって異なってい
る。試料押さえ５は、その一端５ａにテーパーが付けら
れており、試料台２の受け側に設けられたテーパー部１
ａに組み込まれる形状になっている。試料３及び磁場歪
み補正片４の試料ホールダ１への装填は、試料台２ａに
試料を、補正片装着箇所２ｂに磁場歪み補正片４を載
せ、更にその上に試料押さえ５を載せ、試料押さえ５を
押さえネジ６で試料ホールダ１に固定することによって
行われる。
【００１４】図５は、試料ホールダ１にセットされる試
料３と磁場歪み補正片４を組み合わせた形状を示す。試
料３の薄片化部分が試料全体の中心にない場合、磁場歪
み補正片４と組み合わせることによって、穴１１の周辺
の薄片化部分が試料３と磁場歪み補正片４を合わせた磁
性体全体の中心位置となるようにする。こうして、試料
３自体の持つ観察可能領域に対して不均一な磁場分布
を、試料３と同材質の磁場歪み補正片４を組み合わせる
ことにより観察可能領域に対して均一な分布とする。こ
れにより、図２（ｂ）に示す光線図のように、見かけ上
磁場の分布に偏りは無くなり、従来観察が不可能だった
強磁性体試料の観察が可能となる。なお、磁場歪み補正
片４は各種材料で作製しておき、試料３の材質に合わせ
て選択して用いるようにする。
料３と磁場歪み補正片４を組み合わせた形状を示す。試
料３の薄片化部分が試料全体の中心にない場合、磁場歪
み補正片４と組み合わせることによって、穴１１の周辺
の薄片化部分が試料３と磁場歪み補正片４を合わせた磁
性体全体の中心位置となるようにする。こうして、試料
３自体の持つ観察可能領域に対して不均一な磁場分布
を、試料３と同材質の磁場歪み補正片４を組み合わせる
ことにより観察可能領域に対して均一な分布とする。こ
れにより、図２（ｂ）に示す光線図のように、見かけ上
磁場の分布に偏りは無くなり、従来観察が不可能だった
強磁性体試料の観察が可能となる。なお、磁場歪み補正
片４は各種材料で作製しておき、試料３の材質に合わせ
て選択して用いるようにする。
【００１５】図６に、磁場歪み補正片の他の例を示す。
この例に示した磁場歪み補正片１４ａ〜１４ｄは、全て
同じ大きさのリング状の形状を有し、磁性体部分（ドッ
トで示した部分）と非磁性体部分（白色部分）とをつな
ぎ合わせて一体化したものである。試料３はリング状の
磁場歪み補正片１４ａ〜１４ｄの中心に配置される。試
料３による磁場分布の歪みは、穴１１の位置、穴１１の
偏心度、試料３の磁性の強さ等に依存し、試料と磁場歪
み補正片とによって観察可能領域の磁場分布が均一とな
るように、試料３の磁場強度分布に合わせて補正片を選
択する。ここには４種類の磁場歪み補正片１４ａ〜１４
ｄを図示したが、磁性体部分と非磁性体部分の比率を変
えた多くの種類の磁場歪み補正片を用意しておくこと
で、種々の試料３に対する適用が可能となる。
この例に示した磁場歪み補正片１４ａ〜１４ｄは、全て
同じ大きさのリング状の形状を有し、磁性体部分（ドッ
トで示した部分）と非磁性体部分（白色部分）とをつな
ぎ合わせて一体化したものである。試料３はリング状の
磁場歪み補正片１４ａ〜１４ｄの中心に配置される。試
料３による磁場分布の歪みは、穴１１の位置、穴１１の
偏心度、試料３の磁性の強さ等に依存し、試料と磁場歪
み補正片とによって観察可能領域の磁場分布が均一とな
るように、試料３の磁場強度分布に合わせて補正片を選
択する。ここには４種類の磁場歪み補正片１４ａ〜１４
ｄを図示したが、磁性体部分と非磁性体部分の比率を変
えた多くの種類の磁場歪み補正片を用意しておくこと
で、種々の試料３に対する適用が可能となる。
【００１６】図７は、試料ホールダ１への試料３及び磁
場歪み補正片１４の固定方法を示す図である。磁場歪み
補正片１４としては図６に示したものを用いる。磁場歪
み補正片１４は、外周にネジ溝が切ってあるリング状の
試料押さえ１０によって試料台２に固定する。この例に
よれば、磁場歪み補正片１４の形状が一定であるため、
磁場歪み補正片１４の回転が可能であり、試料３の稼動
範囲を狭めることなく磁場の補正が可能となる。
場歪み補正片１４の固定方法を示す図である。磁場歪み
補正片１４としては図６に示したものを用いる。磁場歪
み補正片１４は、外周にネジ溝が切ってあるリング状の
試料押さえ１０によって試料台２に固定する。この例に
よれば、磁場歪み補正片１４の形状が一定であるため、
磁場歪み補正片１４の回転が可能であり、試料３の稼動
範囲を狭めることなく磁場の補正が可能となる。
【００１７】図８は、本発明による試料ホールダの他の
例を説明する図である。図７の例では磁場歪み補正片１
４と試料押さえ１０が別体であったが、この例では磁場
歪み補正片２４が試料押さえを兼ねている。磁場歪み補
正片２４の外周にネジを切り、補正片２４自体を試料ホ
ールダ１の試料台２にネジ込み、試料３を固定する。試
料３と磁場歪み補正片２４の間にはバネ等のクッション
材を介在させてもよい。
例を説明する図である。図７の例では磁場歪み補正片１
４と試料押さえ１０が別体であったが、この例では磁場
歪み補正片２４が試料押さえを兼ねている。磁場歪み補
正片２４の外周にネジを切り、補正片２４自体を試料ホ
ールダ１の試料台２にネジ込み、試料３を固定する。試
料３と磁場歪み補正片２４の間にはバネ等のクッション
材を介在させてもよい。
【００１８】図９〜図１２により、ＦＩＢ加工法で作製
したブロック状の試料に適用される試料ホールダの例に
ついて説明する。図９は磁場歪み補正片の例を図示した
ものであり、図１０〜図１２は各磁場歪み補正片を試料
ホールダに装着した様子を示す図である。図９（ａ）に
示す磁場歪み補正片３４は、中央に開口部を有する非磁
性の枠体３４ａに棒状の磁性体３４ｂを固定したもので
ある。図９（ｂ）に示す磁場歪み補正片４４は２個の磁
性体４４ａ，４４ｂをバネ４４ｃで結合したものであ
る。また、図９（ｃ）に示す磁場歪み補正片５４は棒状
の磁性体５４ａを板状の保持体５４ｂの一端に拘束して
保持したものである。
したブロック状の試料に適用される試料ホールダの例に
ついて説明する。図９は磁場歪み補正片の例を図示した
ものであり、図１０〜図１２は各磁場歪み補正片を試料
ホールダに装着した様子を示す図である。図９（ａ）に
示す磁場歪み補正片３４は、中央に開口部を有する非磁
性の枠体３４ａに棒状の磁性体３４ｂを固定したもので
ある。図９（ｂ）に示す磁場歪み補正片４４は２個の磁
性体４４ａ，４４ｂをバネ４４ｃで結合したものであ
る。また、図９（ｃ）に示す磁場歪み補正片５４は棒状
の磁性体５４ａを板状の保持体５４ｂの一端に拘束して
保持したものである。
【００１９】図１０に示した試料ホールダ１は、ＦＩＢ
加工法で作製したブロック状の試料３３を装着する試料
台３２ａ、及び図９に示した磁場歪み補正片３４を装着
する磁場歪み補正片装着箇所３２ｂを有する。磁場歪み
補正片３４は補正片装着箇所３２ｂ中で左右に水平移動
することができ、それによって試料３３と磁場歪み補正
片３４の磁性体３４ｂとの距離を変化させることができ
る。試料３３及び磁場歪み補正片３４は、その上に試料
押さえ３５を載せ、ねじ３６を締めることによって試料
ホールダ１に固定される。試料押さえ３５は下面に突起
部を有し、その突起部が磁場歪み補正片３４の開口部を
介して試料３３の上面に接触することによって試料３３
を試料ホールダ１の試料台３２ａに固定する。電子線７
は試料押さえ３５の開口部及び磁場歪み補正片３４の開
口部を介して試料３３の薄片部を透過し、試料の透過電
子線像を形成する。
加工法で作製したブロック状の試料３３を装着する試料
台３２ａ、及び図９に示した磁場歪み補正片３４を装着
する磁場歪み補正片装着箇所３２ｂを有する。磁場歪み
補正片３４は補正片装着箇所３２ｂ中で左右に水平移動
することができ、それによって試料３３と磁場歪み補正
片３４の磁性体３４ｂとの距離を変化させることができ
る。試料３３及び磁場歪み補正片３４は、その上に試料
押さえ３５を載せ、ねじ３６を締めることによって試料
ホールダ１に固定される。試料押さえ３５は下面に突起
部を有し、その突起部が磁場歪み補正片３４の開口部を
介して試料３３の上面に接触することによって試料３３
を試料ホールダ１の試料台３２ａに固定する。電子線７
は試料押さえ３５の開口部及び磁場歪み補正片３４の開
口部を介して試料３３の薄片部を透過し、試料の透過電
子線像を形成する。
【００２０】図１１に示した試料ホールダ１は、ブロッ
ク状の試料を装着する試料台３２ａ、及び図９（ｂ）に
示した磁場歪み補正片４４を装着する箇所を有する。試
料ホールダ１への磁場歪み補正片４４の装着及び試料に
対する位置決め（図に矢印で示す方向への移動）は、ピ
ンセットなどで補正片４４をつかみ、バネ４４ｃの弾力
を利用して行われる。
ク状の試料を装着する試料台３２ａ、及び図９（ｂ）に
示した磁場歪み補正片４４を装着する箇所を有する。試
料ホールダ１への磁場歪み補正片４４の装着及び試料に
対する位置決め（図に矢印で示す方向への移動）は、ピ
ンセットなどで補正片４４をつかみ、バネ４４ｃの弾力
を利用して行われる。
【００２１】図１２に示した試料ホールダ１は、ブロッ
ク状の試料を装着する試料台３２ａ、及び図９（ｃ）に
示した磁場歪み補正片５４を装着する箇所５２を有す
る。試料台３２ａに装着された試料と磁性体５４ａとの
距離は、保持体５４ｂをピンセットなどによって矢印方
向に移動させることによって行われる。図１３は、本発
明による試料ホールダの他の例を示す平面模式図であ
る。この試料ホールダ１は、試料装着箇所２の周辺に磁
場歪み補正コイル６１ａ〜６１ｄを有する。各磁場歪み
補正コイル６１ａ〜６１ｄに流れる電流の強度と向きを
変化させることにより、試料装着箇所２に装着した試料
近傍の磁場分布を変化させる。これによって、電子顕微
鏡外から試料の近くの磁場の強度と方向を制御可能であ
る。図１３には４個の磁場歪み補正コイルを配置した
が、磁場歪み補正コイルの数は１個であっても構わな
い。
ク状の試料を装着する試料台３２ａ、及び図９（ｃ）に
示した磁場歪み補正片５４を装着する箇所５２を有す
る。試料台３２ａに装着された試料と磁性体５４ａとの
距離は、保持体５４ｂをピンセットなどによって矢印方
向に移動させることによって行われる。図１３は、本発
明による試料ホールダの他の例を示す平面模式図であ
る。この試料ホールダ１は、試料装着箇所２の周辺に磁
場歪み補正コイル６１ａ〜６１ｄを有する。各磁場歪み
補正コイル６１ａ〜６１ｄに流れる電流の強度と向きを
変化させることにより、試料装着箇所２に装着した試料
近傍の磁場分布を変化させる。これによって、電子顕微
鏡外から試料の近くの磁場の強度と方向を制御可能であ
る。図１３には４個の磁場歪み補正コイルを配置した
が、磁場歪み補正コイルの数は１個であっても構わな
い。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、電子顕微鏡を用いて磁
性材料などを観察する際に生じる対物レンズ磁場の乱れ
を容易に補正することができる。
性材料などを観察する際に生じる対物レンズ磁場の乱れ
を容易に補正することができる。
【図１】試料の断面略図。
【図２】磁性材料からなる試料に開けた穴が試料の中心
から偏心している場合の影響について説明する図。
から偏心している場合の影響について説明する図。
【図３】本発明による電子顕微鏡用試料ホールダの一例
の先端部の分解組立図。
の先端部の分解組立図。
【図４】図３に示した電子顕微鏡用試料ホールダ先端部
の詳細図。
の詳細図。
【図５】試料と磁場歪み補正片の組み合わせの例を示す
図。
図。
【図６】磁性体部分と非磁性体部分とをつなぎ合わせて
一体化したリング状磁場歪み補正片の例を示す図。
一体化したリング状磁場歪み補正片の例を示す図。
【図７】試料ホールダへの試料及び磁場歪み補正片の固
定方法を示す図。
定方法を示す図。
【図８】本発明による試料ホールダの他の例を説明する
図。
図。
【図９】磁場歪み補正片の例を示す図。
【図１０】磁場歪み補正片を試料ホールダに装着した様
子を示す図。
子を示す図。
【図１１】磁場歪み補正片を試料ホールダに装着した様
子を示す図。
子を示す図。
【図１２】磁場歪み補正片を試料ホールダに装着した様
子を示す図。
子を示す図。
【図１３】本発明による試料ホールダの他の例を示す平
面模式図。
面模式図。
１…試料ホールダ、２ａ…試料台、２ｂ…補正片装着箇
所、３，３ａ，３ｂ…試料、４…磁場歪み補正片、５…
試料押さえ、６…押さえネジ、７…電子線、８…対物レ
ンズ、９…電子線像、１０…試料押さえ、１１…穴、１
４，１４ａ〜１４ｄ…磁場歪み補正片、２４…磁場歪み
補正片、３２ａ…試料台、３３…試料、３４…磁場歪み
補正片、３４ａ…枠体、３４ｂ…磁性体、３５…試料押
さえ、４４…磁場歪み補正片、４４ａ，４４ｂ…磁性
体、４４ｃ…バネ、５４…磁場歪み補正片、５４ａ…磁
性体、５４ｂ…保持体、６１ａ〜６１ｄ…磁場歪み補正
コイル
所、３，３ａ，３ｂ…試料、４…磁場歪み補正片、５…
試料押さえ、６…押さえネジ、７…電子線、８…対物レ
ンズ、９…電子線像、１０…試料押さえ、１１…穴、１
４，１４ａ〜１４ｄ…磁場歪み補正片、２４…磁場歪み
補正片、３２ａ…試料台、３３…試料、３４…磁場歪み
補正片、３４ａ…枠体、３４ｂ…磁性体、３５…試料押
さえ、４４…磁場歪み補正片、４４ａ，４４ｂ…磁性
体、４４ｃ…バネ、５４…磁場歪み補正片、５４ａ…磁
性体、５４ｂ…保持体、６１ａ〜６１ｄ…磁場歪み補正
コイル
Claims (8)
- 【請求項１】 試料装着箇所と、磁性材料で作られた磁
場歪み補正片の装着箇所とを有し、試料と前記磁場歪み
補正片の配置関係を調整することにより磁性試料によっ
て生じる試料近傍の磁場分布の乱れを補正する機能を有
することを特徴とする電子顕微鏡用試料ホールダ。 - 【請求項２】 請求項１記載の電子顕微鏡用試料ホール
ダにおいて、前記磁場歪み補正片は取り外し可能である
ことを特徴とする電子顕微鏡用試料ホールダ。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の電子顕微鏡用試料
ホールダにおいて、前記磁場歪み補正片は不均一な磁場
を発生するものであることを特徴とする電子顕微鏡用試
料ホールダ。 - 【請求項４】 請求項１、２又は３記載の電子顕微鏡用
試料ホールダにおいて、前記磁場歪み補正片は、材質、
形状の異なる複数個の磁場歪み補正片から選択可能であ
ることを特徴とする電子顕微鏡用試料ホールダ。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか１項記載の電子
顕微鏡用試料ホールダにおいて、前記磁場歪み補正片を
試料に対して水平移動及び／又は回転させる機構を備え
たことを特徴とする電子顕微鏡用試料ホールダ。 - 【請求項６】 請求項１〜４のいずれか１項記載の電子
顕微鏡用試料ホールダにおいて、前記磁場歪み補正片は
厚さが不均一なリング状の形状を有することを特徴とす
る電子顕微鏡用試料ホールダ。 - 【請求項７】 請求項１〜５のいずれか１項記載の電子
顕微鏡用試料ホールダにおいて、前記磁場歪み補正片
は、磁性材料と非磁性材料とが一体となった構造を有し
て磁性材料と非磁性材料との体積比率が異なる複数の磁
場歪み補正片から選択可能であることを特徴とする電子
顕微鏡用試料ホールダ。 - 【請求項８】 試料装着箇所の周辺に一個又は複数個の
磁場歪み補正コイルを設け、前記磁場歪み補正コイルに
よって発生する磁場を変化させることにより、試料近傍
の磁場分布を補正する機能を有することを特徴とする電
子顕微鏡用試料ホールダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9124122A JPH10312763A (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 電子顕微鏡用試料ホールダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9124122A JPH10312763A (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 電子顕微鏡用試料ホールダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10312763A true JPH10312763A (ja) | 1998-11-24 |
Family
ID=14877477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9124122A Pending JPH10312763A (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 電子顕微鏡用試料ホールダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10312763A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012018827A3 (en) * | 2010-08-02 | 2012-05-03 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
| JP2012129137A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Hitachi Ltd | 磁場印加試料保持装置およびそれを用いた荷電粒子線装置 |
| WO2013063208A1 (en) * | 2011-10-28 | 2013-05-02 | Fei Company | Sample block holder |
| US8937282B2 (en) | 2012-10-26 | 2015-01-20 | Fei Company | Mineral identification using mineral definitions including variability |
| US9048067B2 (en) | 2012-10-26 | 2015-06-02 | Fei Company | Mineral identification using sequential decomposition into elements from mineral definitions |
| US9091635B2 (en) | 2012-10-26 | 2015-07-28 | Fei Company | Mineral identification using mineral definitions having compositional ranges |
| US9188555B2 (en) | 2012-07-30 | 2015-11-17 | Fei Company | Automated EDS standards calibration |
| US9194829B2 (en) | 2012-12-28 | 2015-11-24 | Fei Company | Process for performing automated mineralogy |
| US9778215B2 (en) | 2012-10-26 | 2017-10-03 | Fei Company | Automated mineral classification |
| US9837746B2 (en) | 2012-11-16 | 2017-12-05 | Protochips, Inc. | Method for forming an electrical connection to a sample support in an electron microscope holder |
| US9997330B2 (en) | 2014-06-03 | 2018-06-12 | Protochips, Inc. | Method for optimizing fluid flow across a sample within an electron microscope sample holder |
-
1997
- 1997-05-14 JP JP9124122A patent/JPH10312763A/ja active Pending
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9324539B2 (en) * | 2010-08-02 | 2016-04-26 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
| US10043633B2 (en) | 2010-08-02 | 2018-08-07 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
| JP2013535795A (ja) * | 2010-08-02 | 2013-09-12 | プロトチップス，インコーポレイテッド | ２つの半導体デバイスでガスまたは液体セルを形成するための電子顕微鏡サンプルホルダ |
| US20130264476A1 (en) * | 2010-08-02 | 2013-10-10 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
| WO2012018827A3 (en) * | 2010-08-02 | 2012-05-03 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
| US8829469B2 (en) * | 2010-08-02 | 2014-09-09 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
| JP2018085349A (ja) * | 2010-08-02 | 2018-05-31 | プロトチップス，インコーポレイテッド | ２つの半導体デバイスでガスまたは液体セルを形成するための電子顕微鏡サンプルホルダおよびサンプルを結像する方法 |
| US20160126056A1 (en) * | 2010-08-02 | 2016-05-05 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
| US20150162164A1 (en) * | 2010-08-02 | 2015-06-11 | Protochips, Inc. | Electron microscope sample holder for forming a gas or liquid cell with two semiconductor devices |
| JP2012129137A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Hitachi Ltd | 磁場印加試料保持装置およびそれを用いた荷電粒子線装置 |
| US8624199B2 (en) | 2011-10-28 | 2014-01-07 | Fei Company | Sample block holder |
| US9087673B2 (en) | 2011-10-28 | 2015-07-21 | Fei Company | Sample block holder |
| WO2013063208A1 (en) * | 2011-10-28 | 2013-05-02 | Fei Company | Sample block holder |
| US9188555B2 (en) | 2012-07-30 | 2015-11-17 | Fei Company | Automated EDS standards calibration |
| US9091635B2 (en) | 2012-10-26 | 2015-07-28 | Fei Company | Mineral identification using mineral definitions having compositional ranges |
| US9048067B2 (en) | 2012-10-26 | 2015-06-02 | Fei Company | Mineral identification using sequential decomposition into elements from mineral definitions |
| US9778215B2 (en) | 2012-10-26 | 2017-10-03 | Fei Company | Automated mineral classification |
| US8937282B2 (en) | 2012-10-26 | 2015-01-20 | Fei Company | Mineral identification using mineral definitions including variability |
| US9837746B2 (en) | 2012-11-16 | 2017-12-05 | Protochips, Inc. | Method for forming an electrical connection to a sample support in an electron microscope holder |
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| US9997330B2 (en) | 2014-06-03 | 2018-06-12 | Protochips, Inc. | Method for optimizing fluid flow across a sample within an electron microscope sample holder |
| US10373800B2 (en) | 2014-06-03 | 2019-08-06 | Protochips, Inc. | Method for optimizing fluid flow across a sample within an electron microscope sample holder |
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