JP6351196B2 - 荷電粒子ビーム用電磁レンズの球面収差補正装置 - Google Patents
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- 230000004075 alteration Effects 0.000 title claims description 115
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 35
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 61
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 19
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 15
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000007142 ring opening reaction Methods 0.000 description 7
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical group [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/12—Lenses electrostatic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/145—Combinations of electrostatic and magnetic lenses
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description
荷電粒子ビームを集束するレンズは正の球面収差をもたらす。分解能を向上させるためには、球面収差を補正する必要がある。
特許文献1〜4と非特許文献1に、上記の球面収差補正装置が開示されている。
非特許文献1の球面収差装置は、図13(1)に模式的に示すように、円形開孔を持つ電極の円形開孔に、円柱形状の電極を挿入し、両者の間に電位差を加える。非特許文献1は、上記構成によって球面収差を補正できるとする計算結果を示している。特許文献4にも、図13(1)に示す装置が開示されており、円柱電極(以下では内側電極という)と円形開孔を持つ電極(以下では外側電極という)の間に電位差を加える。
非特許文献1と特許文献4の技術では、円形開孔の中心と円柱の中心を一致させる必要があり、両者間を絶縁する必要があり、両者間に電位差を加える必要がある。実際に制作することは難しい。
例えば図13(2)は、外側電極と内側電極を同軸に維持するために、両者間にブリッジを形成した仮想構造を例示している。この場合、外側電極と内側電極とブリッジの全部が一体物であれば、微細な切削加工等によって実際に製造することができる。しかしながら、それでは外側電極と内側電極間に電位差を加えることができない。外側電極と内側電極を絶縁しながら両者を同軸に維持する構造を実際に製造することは難しい。特許文献4では、予め制作しておいた支持体に内側電極と外側電極を固定し、内側電極に達する配線を巡らせることによって電位差を加える構造を採用しているが、精度よく製造することが困難であり、製造精度を高めるためには多額のコストが必要となる。本発明では、同軸に維持された状態で絶縁されている外側電極と内側電極の間に電位差を加えるという発想から飛躍し、安価に製造できる球面収差補正装置を提案する。
2枚のプレートは下記の関係を満たしている。
(1)円形開孔と円環開孔の中心が荷電粒子ビームの中心線上にあり、
(2)入射プレートと射出プレートが荷電粒子ビームの中心線に直交しており、
(3)円形開孔の径をφ3とし、円環開孔の外径をφ2とし、円環開孔の内径をφ1としたときにφ3≧φ2>φ1であり、
(4)荷電粒子が負電荷である場合は「円環開孔が形成されているプレートの電位>円形開孔が形成されているプレートの電位」の関係であり、荷電粒子が正電荷である場合は「円環開孔が形成されているプレートの電位<円形開孔が形成されているプレートの電位」の関係におく。円環開孔の内側部材と外側部材は導通しており、同電位におく。
走査電子顕微鏡の場合、偏向コイルによって電子ビームの進行方向を走査する。ただしその走査範囲は微小であり、偏向角も微小である。前記(1)でいう「中心線上にある」と前記(2)でいう「直交する」は、微小な偏向角まで加味したものでなく、機械部品の配置作業の際の精度レベルにおけるものである。
また試料側に円環プレートを配置することが好ましい。これによっても、球面収差補正装置が試料に与える影響を低減することができる。
また上記の積層体を絶縁性の筒内に収容しておくことが好ましい。円環開孔と円形開孔を同軸の位置関係に調節して維持する作業が容易化される。
円環開孔を形成する内側の部材の中心に貫通孔を設けることができる。中心に貫通孔を設けると、円形開孔の中心と円環開孔の中心が荷電粒子ビームの中心線上に位置する位置関係に調整しやすい。
本明細書が開示する技術の詳細とさらなる改良は以下の「発明を実施するための形態」にて説明する。
(特徴1)金属板に集束イオンビームを照射して円環開孔を形成する。
(特徴2)モリブデンの板に集束イオンビームを照射して円環開孔を形成する。
(特徴3)電子顕微鏡の鏡筒に貫通孔が形成されており、その貫通孔に脱着可能な絞りホルダを流用し、そのホルダに球面収差補正装置を取り付けておく。
(特徴4)球面収差補正装置に印加する電圧は、増減調整可能である。
本実施例は、コンデンサレンズ6,8による球面収差は無視でき、専ら対物レンズ12による球面収差が測定分解能を下げるケースにも適用することができるし、コンデンサレンズ6,8と対物レンズ12の組み合わせによって生じる球面収差が測定分解能を下げるケースにも適用することができる。前者の場合は、対物レンズ12に対して球面収差補正装置10を設計すればよく、後者の場合は、コンデンサレンズ6,8と対物レンズ12の組み合わせに対して球面収差補正装置10を設計すればよい。後記するように、球面収差補正装置10に印加する電圧は調整可能であり、その電圧の大きさによって球面収差を補正する強度が変わってくる。最も鮮明な画像が得られる電圧を印加すれば、観測の質を低下させる球面収差が補正される。実施例の球面収差補正装置10によると、観測の質を低下させる球面収差がどの電磁レンズによるものかを知る必要はない。また、観測の質を低下させる球面収差をもたらす電磁レンズの種類によって制約を受けることなく、実施例の球面収差補正装置10を適用することができる。
図4の場合、電子ビームは、球面収差補正装置10を通過する際に負の球面収差をとなるように屈折する。電子ビーム用の電磁レンズ12は正の球面収差をもたらす。図4の場合、球面収差補正装置10による負の球面収差が、対物レンズ12による正の球面収差を補正する関係にあることがわかる。図3(4)の関係によって球面収差を補正することが確認できる。
図3(3)からも明らかに、電磁レンズが上流側に配置されて球面収差補正装置が下流側に配置されていてもよい。図5がその例を示す。図5は、試料14を透過した電子線を対物レンズ12で結像させる透過電子顕微鏡の場合に相当する。
図4と図5、あるいは、図3の(3)と(4)に示すように、球面収差補正装置10と電磁レンズ12の配置順序は制約されず、球面収差補正装置10が上流側にあってもよいし、電磁レンズが上流側にあってもよい。また複数個の電磁レンズの組み合わせによってもたらされる球面収差を補正する場合は、複数個の電磁レンズの中間に球面収差補正装置を配置してもよい。
本実施例では、φ3=225μm、φ2=150μm、φ1=54.4μm、プレート間間隔G=50μmのものと、φ3=100μm、φ2=68μm、φ1=54.4μm、プレート間間隔G=50μmのものを製造した。円孔プレート20は、フォトリソグラフィ法で制作した。円環プレート22は、直径3mmで厚み10μmのモリブデン板に、集束イオンビームを照射して制作した。円環開孔の内側22cと外側22dとブリッジ22bは、一体のモリブデン板から形成されており、微細加工技術によって制作することが可能となった。円環開孔の内側22cと外側22dを絶縁しなければならないとしたら、今日の技術によっても容易には制作することができない。
参照番号42は下板であり、40は電極台であり、後記する筒状の絶縁ガイド38を収容する孔40aが形成されている。下板42と電極台40は一体に構成することもできる。38は、筒状の絶縁ガイドであり、円孔プレート20等を受け入れ、円孔プレート20と円環プレート22を同軸に位置決める穴が形成されている。36はスペーサ、22は円環プレート、34は絶縁シート、20は円孔プレート、32は電極押さえ、30は抑え板である。抑え板30と、電極押さえ32と、絶縁シート34には、円孔20aの内径φ3よりも大きく、円孔プレート20の外径よりも小さな径の穴が形成されている。スペーサ36と下板42には、円環開孔22aの外径φ2よりも大きく、円環プレート22の外径よりも小さな径の穴42aが形成されている。電極押さえ32、円孔プレート20、絶縁シート34、円環プレート22、スペーサ36の外径は、絶縁ガイド38の内径に等しく、絶縁ガイド38に挿入すると、電極押さえ32と円孔プレート20と絶縁シート34と円環プレート22とスペーサ36が同軸に揃う。図示しない螺子で上板30と下板42を接近させると、絶縁シート34の上面に円孔プレート20が密着し、絶縁シート34の下面に円環プレート22が密着し、円孔プレート20と円環プレート22の間隔が一定値に調整される。
絞りホルダ10aは、鏡筒2に浅く挿入した位置で鏡筒2に固定することもできるし、鏡筒2に深く挿入した位置で鏡筒2に固定することもできる。それに対応して、図10の実施例では、2種類の補正装置が搭載されている。鏡筒内への挿入深さを選択することで、使用する補正装置を選択することができる。
(a)は、球面収差補正装置10を利用しない場合を示し、周辺部に伸び歪んだ金粒子が観測される。その歪んだ部分が球面収差によるものである。
(b)は、球面収差補正装置10を組み込んだものの、円孔プレートと円環プレート間に電位を加えない状態の観測結果を示す。円環開孔22aによる影が生じる。まだ球面収差は補正されない。
(c)は、円孔プレートと円環プレート間に15ボルトを加えた場合の観測結果を示す。金粒子のコントラストが低下し、球面収差が補正されたことが確認できる。
円環プレートと円形プレート間に電位差を加えることと、円環プレートの内側と外側の間に電位差を加えることは、一見すると類似しているように思われるかもしれないが、負の球面収差を得るためには径方向に変化する電場を必要し、通常に考えると円環プレートの内側と外側の間に電位差を加える必要があると理解される。円環プレートと円形プレート間に電位差を加えることでも負の球面収差を得られるという発想は、長年にわたって認識されてこなかった。また、その改善によって実施化可能となるという着想は長年にわたって得られなかった。
4:電子銃
6:コンデンサレンズ
8:コンデンサレンズ
10:補正装置
12:対物レンズ
14:試料
16:検出器
20:円孔プレート
20a:円形開孔
22:円環プレート
22a:円環開孔
22b:ブリッジ
22c:内側円板
22d:外側リング板
22e:中心貫通孔
24:定電圧電源
50:荷電粒子ビームの中心線
Claims (10)
- 荷電粒子ビーム用の電磁レンズと組み合わせて使用し、前記電磁レンズによる球面収差を補正する装置であり、
前記荷電粒子ビームの入射側に配置する入射プレートと、
前記荷電粒子ビームの射出側に配置する射出プレートを備えており、
前記入射プレートに円形開孔と円環開孔の一方が形成されており、
前記射出プレートに前記円形開孔と前記円環開孔の他方が形成されており、
(1)前記円形開孔と前記円環開孔の中心が前記荷電粒子ビームの中心線上にあり、
(2)前記入射プレートと前記射出プレートが前記中心線に直交しており、
(3)前記円形開孔の径をφ3とし、前記円環開孔の外径をφ2とし、前記円環開孔の内径をφ1としたときにφ3≧φ2>φ1であり、
(4)前記荷電粒子が負電荷である場合は「円環開孔が形成されているプレートの電位>円形開孔が形成されているプレートの電位」の関係であり、前記荷電粒子が正電荷である場合は「円環開孔が形成されているプレートの電位<円形開孔が形成されているプレートの電位」の関係であり、
円環開孔の内側部材と外側部材が導通している補正装置。 - 試料側のプレートが接地されていることを特徴とする請求項1の補正装置。
- 試料側のプレートに前記円環開孔が形成されていることを特徴とする請求項1または2の補正装置。
- 絶縁シートの一方の面に前記入射プレートが密着し、前記絶縁シートの他方の面に前記射出プレートが密着しており、前記絶縁シートに前記円形開孔を包含する開孔が形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかの1項に記載の補正装置。
- 前記入射プレートと前記絶縁シートと前記射出プレートが、絶縁性の筒内に収容されていることを特徴とする請求項4に記載の補正装置。
- 前記円環開孔が形成されているプレートに前記円環開孔の外側と内側を接続するブリッジが形成されており、前記外側と前記ブリッジと前記内側が一体物となっていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかの1項に記載の補正装置。
- 前記ブリッジの入射側端面が、前記外側と前記内側を形成する前記プレートの入射側端面より、射出側にシフトしていることを特徴とする請求項6に記載の補正装置。
- 円環開孔の内側円板の中心に貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれかの1項に記載の補正装置。
- 請求項1〜8のいずれかの1項に記載の補正装置が、前記荷電粒子ビームが通過する鏡筒に形成されている貫通孔に対して脱着される部材に固定されていることを特徴とする補正装置。
- 前記貫通孔に対して脱着可能な前記部材が、複数位置で前記鏡筒に固定可能であり、
前記複数位置に対応して、請求項1〜8のいずれかの1項に記載の補正装置の複数個が前記部材に固定されていることを特徴とする請求項9に記載の補正装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015090241 | 2015-04-27 | ||
JP2015090241 | 2015-04-27 | ||
PCT/JP2016/053691 WO2016174891A1 (ja) | 2015-04-27 | 2016-02-08 | 荷電粒子ビーム用電磁レンズの球面収差補正装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016174891A1 JPWO2016174891A1 (ja) | 2017-10-26 |
JP6351196B2 true JP6351196B2 (ja) | 2018-07-04 |
Family
ID=57199145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017515399A Active JP6351196B2 (ja) | 2015-04-27 | 2016-02-08 | 荷電粒子ビーム用電磁レンズの球面収差補正装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10096448B2 (ja) |
EP (1) | EP3267464B1 (ja) |
JP (1) | JP6351196B2 (ja) |
WO (1) | WO2016174891A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019186938A1 (ja) * | 2018-03-29 | 2019-10-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP6872665B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2021-05-19 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
WO2019186937A1 (ja) * | 2018-03-29 | 2019-10-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
JP7198092B2 (ja) * | 2018-05-18 | 2022-12-28 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム照射方法 |
WO2020230285A1 (ja) * | 2019-05-15 | 2020-11-19 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL285301A (ja) * | 1961-11-15 | |||
DE1905937B1 (de) | 1969-02-06 | 1971-01-14 | Corpuscular Forschungs Stiftun | Stigmator zur elektrischen Kompensation von Abbildungsfehlern bei elektronenoptischen Systemen mit Hohlstrahlen und Ringblendenden |
DE19802409B4 (de) | 1998-01-23 | 2006-09-21 | Ceos Corrected Electron Optical Systems Gmbh | Anordnung zur Korrektur des Öffnungsfehlers dritter Ordnung einer Linse, insbesondere der Objektivlinse eines Elektronenmikroskops |
GB2369241A (en) | 1999-06-03 | 2002-05-22 | Advantest Corp | Charged particle beam exposure device with aberration correction |
JP2001052998A (ja) | 1999-06-03 | 2001-02-23 | Advantest Corp | 荷電粒子ビーム結像方法、荷電粒子ビーム結像装置及び荷電粒子ビーム露光装置 |
US6635891B1 (en) * | 1999-09-22 | 2003-10-21 | Nikon Corporation | Hollow-beam apertures for charged-particle-beam microlithography apparatus and methods for making and using same |
WO2007129376A1 (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-15 | Topcon Corporation | 電子レンズ |
JP5097512B2 (ja) | 2006-11-21 | 2012-12-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビーム用軌道補正器、及び荷電粒子ビーム装置 |
JP5226367B2 (ja) | 2007-08-02 | 2013-07-03 | 日本電子株式会社 | 収差補正装置 |
JP5153348B2 (ja) * | 2008-01-09 | 2013-02-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビーム軌道補正器及び荷電粒子ビーム装置 |
-
2016
- 2016-02-08 EP EP16786168.1A patent/EP3267464B1/en active Active
- 2016-02-08 WO PCT/JP2016/053691 patent/WO2016174891A1/ja active Application Filing
- 2016-02-08 JP JP2017515399A patent/JP6351196B2/ja active Active
- 2016-02-08 US US15/559,967 patent/US10096448B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10096448B2 (en) | 2018-10-09 |
EP3267464A4 (en) | 2018-12-26 |
WO2016174891A1 (ja) | 2016-11-03 |
JPWO2016174891A1 (ja) | 2017-10-26 |
US20180114670A1 (en) | 2018-04-26 |
EP3267464A1 (en) | 2018-01-10 |
EP3267464B1 (en) | 2019-12-25 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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