JP5965656B2 - コントラストを向上させる素子を具備するtemにおける光学素子をセンタリングするための方法 - Google Patents
コントラストを向上させる素子を具備するtemにおける光学素子をセンタリングするための方法 Download PDFInfo
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Description
図1aは、概略的にボーシュ(Boersch)位相板を示す、
図1bは、概略的にボーシュ(Boersch)位相板の断面を示す、
図2aは、概略的にゼルニケ(Zernike)位相板を示す、
図2bは、概略的にゼルニケ(Zernike)位相板の断面を示す、
図3は、概略的にボーシュ(Boersch)位相板のCTFを示す、
図4は、概略的に位相板を備えたTEMの回折平面における光線を示す、
図5は、概略的に発明に従ったTEMを示す、及び、
図6は、概略的にセンタリングの方法を示す。
クレーム
1. 透過型電子顕微鏡(TEM)における一つの若しくはより多い光学素子を調節する又はそれを整列させるための方法であって、前記TEM(500)が試料(508)へ電子のビームをガイドするための対物レンズ(512)が備え付けられたものであると共に前記TEMが少なくとも散乱されてない電子のビームが集束させられる回折平面(514)を示すものであると共に、前記TEMがコントラスト伝達関数(CTF)を向上させるための構造体(518)が備え付けられたものであると共に、上記の構造体が前記回折平面又はそれのイメージに位置を定められたものであると共に、前記方法が前記光学素子を調節すること又はそれを整列させることを具備する、方法において、上記の調節すること又は整列させることの間における前記構造体の散乱されてない電子での照射は、前記構造体から離れて前記散乱されてない電子のビームを偏向させることによって予防されることにおいて特徴付けられた、方法。
Claims (6)
- 透過型電子顕微鏡における一つの若しくはより多い光学素子を調節する又はそれを整列させるための方法であって、
前記TEMが、電子のビームをガイドするための対物レンズが備え付けられたものであると共に、
前記TEMが、少なくとも散乱れてない電子のビームが集束させられる回折平面を示すものであると共に、
前記TEMが、コントラスト伝達関数を向上させるための構造体が備え付けられたものであると共に、
上記の構造体が、前記回折平面又はそれのイメージに位置を定められたものであると共に、
前記方法が、前記光学素子を調節すること又はそれを整列させることを具備する、
方法において、
上記の調節すること又は整列させることの間における前記構造体の散乱されてない電子での照射は、前記構造体から離れて前記散乱されてない電子のビームを偏向させることによって予防され、
前記構造体は、ホルダーの部分である又はそれに取り付けられたものであると共に、
前記ホルダーに対する前記構造体の位置は、知られたものであると共に、
前記構造体は、前記ホルダーの一つの又はより多い特徴部を位置決めすることによってセンタリングされる、
ことを特徴とする、方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記構造体は、位相板である又は単側波帯イメージングデバイスである、方法。 - 請求項1又は2に記載の方法において、
前記構造体は、光軸を囲んで位置させられたものであると共に、
前記ビームは、前記構造体の照射を予防するために前記光軸から離れて曲げられると共に、
前記ビームは、一つの又はより多い偏向器及び/又はレンズを使用することで前記軸へと逆戻りに曲げられると共に前記軸へ整列させられる、
方法。 - 請求項1ないし3のうちいずれか一項に記載の方法において、
前記ホルダーは、円形の穴を示すと共に、
前記円形の穴の中心は、前記構造体と一致するものであると共に、
前記特徴部は、前記円形の穴のへりである、
方法。 - 請求項1ないし4のうちいずれか一項に記載の方法において、
前記方法は、さらに、前記一つの又はより多い特徴部に対する前記構造体の位置を決定することを具備する、方法。 - 請求項1から5までのいずれかに記載の方法において、
前記回折平面は、前記対物レンズの後方焦点面と一致する、方法。
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