JP5097512B2 - 荷電粒子ビーム用軌道補正器、及び荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Description
δ=Csα3+CcdV/V+・・・ (1)
と表せることが知られている。ここでCsは球面収差係数、Ccは色収差係数と呼ばれる。その他の寄与は軸外で発生する。ここでαに依存したビーム電流分布やエネルギー分散が発生すると、上式に従いビームぼけが発生する。一般に荷電粒子ビーム装置では、その信号量や加工速度を上げるためには大電流が必要であり、光源より発した荷電粒子ビームを広く取り込む必要がある。その結果、収束レンズ内の軌道分布が広がり、収差量の増加とトレードオフの条件となり、原理的な性能を規定する。
V1=V8=Vx,V2=V7=aVx,V3=V6=−aVx,V4=V5=−Vx (2)
となる補正電圧Vxを電圧加算すればよい。但し補正係数aは電極形状にも依存する。図16はX軸方向の軸ずれを補正する場合であるが、Y軸方向にも軸ずれがある一般の場合には、VxをVyに置き換えた(2)式の関係を90度回転して加算すればよい。また何らかの影響により発生する非点も
V1=V5=Vs,V3=V7=−Vs,V2=V6=Vt,V4=V8=−Vt (3)
と交互に反転した電圧Vs,Vtを加算すれば、補正可能である。磁場型コイルを8極子で配列して補正も可能である。その他、高次の非点も更なる多極子化で補正が可能である。
Claims (3)
- 荷電粒子ビームの入射軸の周囲にトロイダル状に巻線され、前記巻線の間を前記荷電粒子ビームが通るコイルを有し、
前記入射軸から離れるほど前記コイルの巻線の数が多く、
前記コイルの発生する磁場によって前記荷電粒子ビームの軌道を制御することを特徴とする荷電粒子ビーム用軌道補正器。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム用軌道補正器において、前記コイルの巻線の絶縁層の表面に導電膜を有することを特徴とする荷電粒子ビーム用軌道補正器。
- 請求項1に記載の荷電粒子ビーム用軌道補正器において、前記コイルの前記入射軸に平行な方向の長さは、前記入射軸に近い側より遠い側の方が長いことを特徴とする荷電粒子ビーム用軌道補正器。
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