JP2838323B2 - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
走査型電子顕微鏡Info
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- JP2838323B2 JP2838323B2 JP3053809A JP5380991A JP2838323B2 JP 2838323 B2 JP2838323 B2 JP 2838323B2 JP 3053809 A JP3053809 A JP 3053809A JP 5380991 A JP5380991 A JP 5380991A JP 2838323 B2 JP2838323 B2 JP 2838323B2
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- Japan
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- insulating film
- magnetic
- electron microscope
- scanning electron
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査型電子顕微鏡に関
し、特にいわゆるインレンズ型対物レンズをもつ走査型
電子顕微鏡において対物レンズの磁極間隔を短くしかつ
試料の表面を平面磁極に接近させることが可能な試料保
持技術に関する。
し、特にいわゆるインレンズ型対物レンズをもつ走査型
電子顕微鏡において対物レンズの磁極間隔を短くしかつ
試料の表面を平面磁極に接近させることが可能な試料保
持技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、一対の磁極を備えかつ該磁極の間
に試料を挿入するいわゆるインレンズ型の対物レンズを
備えた走査型電子顕微鏡が知られている。（例えば、特
開昭６１−２２４９号）。このような走査型電子顕微鏡
においては、磁気レンズの一方の磁極を構成する電磁軟
鉄や熱処理を行なったパーマロイなどの強磁性体の板の
上に半導体ウェーハなどの試料が保持装置によって固定
される構造となっていた。このような構造を有する走査
型電子顕微鏡では、半導体ウェーハのような大きな試料
を短い焦点距離の対物レンズで観察でき、高分解能での
像観察などを行なうことが可能であった。
に試料を挿入するいわゆるインレンズ型の対物レンズを
備えた走査型電子顕微鏡が知られている。（例えば、特
開昭６１−２２４９号）。このような走査型電子顕微鏡
においては、磁気レンズの一方の磁極を構成する電磁軟
鉄や熱処理を行なったパーマロイなどの強磁性体の板の
上に半導体ウェーハなどの試料が保持装置によって固定
される構造となっていた。このような構造を有する走査
型電子顕微鏡では、半導体ウェーハのような大きな試料
を短い焦点距離の対物レンズで観察でき、高分解能での
像観察などを行なうことが可能であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
な従来の走査型電子顕微鏡においては、一方のレンズ磁
極の上にウェーハ保持装置が設けられていたが、このウ
ェーハ保持装置としては厚みが大きい静電チャック装置
や機械的なウェーハ保持装置が用いられていた。このた
め、磁気レンズの磁極間距離をあまり短くすることがで
きず、色収差係数をあまり小さくできないという不都合
があった。
な従来の走査型電子顕微鏡においては、一方のレンズ磁
極の上にウェーハ保持装置が設けられていたが、このウ
ェーハ保持装置としては厚みが大きい静電チャック装置
や機械的なウェーハ保持装置が用いられていた。このた
め、磁気レンズの磁極間距離をあまり短くすることがで
きず、色収差係数をあまり小さくできないという不都合
があった。
【０００４】また、ウェーハ表面とレンズ磁場の最も大
きい平面磁極との間の距離が大きく離れるため、電子ビ
ームを集束するためにかなり大きなアンペアターン（Ａ
Ｔ）の励磁電流を必要とするという不都合もあった。
きい平面磁極との間の距離が大きく離れるため、電子ビ
ームを集束するためにかなり大きなアンペアターン（Ａ
Ｔ）の励磁電流を必要とするという不都合もあった。
【０００５】本発明の目的は、このような従来の装置に
おける問題点に鑑みてなされたもので、インレンズ型の
対物レンズを有する走査型電子顕微鏡において、対物レ
ンズを構成する磁気レンズの磁極間隔を大幅に短縮しか
つ試料表面を一方の平面磁極に限りなく接近させ、もっ
て色収差係数を小さくしかつ電子ビームの集束に必要な
励磁電流を低減することにある。
おける問題点に鑑みてなされたもので、インレンズ型の
対物レンズを有する走査型電子顕微鏡において、対物レ
ンズを構成する磁気レンズの磁極間隔を大幅に短縮しか
つ試料表面を一方の平面磁極に限りなく接近させ、もっ
て色収差係数を小さくしかつ電子ビームの集束に必要な
励磁電流を低減することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、一対の磁極を備えかつ該磁極の間に試
料を挿入するインレンズ型の対物レンズを有する走査型
電子顕微鏡において、前記磁極の一方を形成する磁性材
料部材に前記試料を静電吸着させる手段を設けたことを
特徴とする。
め、本発明では、一対の磁極を備えかつ該磁極の間に試
料を挿入するインレンズ型の対物レンズを有する走査型
電子顕微鏡において、前記磁極の一方を形成する磁性材
料部材に前記試料を静電吸着させる手段を設けたことを
特徴とする。
【０００７】具体的には、前記磁極の一方を形成する磁
性材料部材上に薄い絶縁膜を設け、かつこの絶縁膜上に
載置される試料と前記磁性材料部材との間に電圧を印加
する手段を設ける。
性材料部材上に薄い絶縁膜を設け、かつこの絶縁膜上に
載置される試料と前記磁性材料部材との間に電圧を印加
する手段を設ける。
【０００８】あるいは、前記磁極の一方を形成する磁性
材料部材上に薄い絶縁膜を設け、この絶縁膜上に導電性
電極膜を形成し、該導電性電極膜上にさらに第２の薄い
絶縁膜を形成し、この第２の絶縁膜上に載置された試料
と前記導電性電極膜との間に電圧を印加する手段を用い
る。
材料部材上に薄い絶縁膜を設け、この絶縁膜上に導電性
電極膜を形成し、該導電性電極膜上にさらに第２の薄い
絶縁膜を形成し、この第２の絶縁膜上に載置された試料
と前記導電性電極膜との間に電圧を印加する手段を用い
る。
【０００９】さらに別の態様として、前記磁極の一方を
形成する磁性材料部材上に薄い絶縁膜を設け、この絶縁
膜上に少なくとも一対の導電膜電極を設け、この導電膜
電極上にさらに第２の薄い絶縁膜を設け、前記導電膜電
極の間に電圧を印加する手段を用いる。
形成する磁性材料部材上に薄い絶縁膜を設け、この絶縁
膜上に少なくとも一対の導電膜電極を設け、この導電膜
電極上にさらに第２の薄い絶縁膜を設け、前記導電膜電
極の間に電圧を印加する手段を用いる。
【００１０】また、本発明に係わる走査型電子顕微鏡
は、別の観点から見れば、穴付磁極よりなる第１極と、
穴なし平面磁極よりなる第２極とを有し、前記第１極と
前記第２極との間に、静電吸着装置に吸着固定した試料
を挿入するインレンズ型の対物レンズ、を備えた走査型
電子顕微鏡において、前記第２極を前記静電吸着装置の
基台として兼用した構成を有する。
は、別の観点から見れば、穴付磁極よりなる第１極と、
穴なし平面磁極よりなる第２極とを有し、前記第１極と
前記第２極との間に、静電吸着装置に吸着固定した試料
を挿入するインレンズ型の対物レンズ、を備えた走査型
電子顕微鏡において、前記第２極を前記静電吸着装置の
基台として兼用した構成を有する。
【００１１】
【作用】上記構成に係わる走査型電子顕微鏡において
は、前記磁極の一方を形成する磁性材料部材と試料との
間に絶縁膜を介して電圧を印加することにより試料を静
電吸着する。この場合、絶縁膜の厚さを数ミクロン程度
と薄くすることによりウェーハのような試料が前記一方
の磁極を形成する磁性材料部材上に強力に吸着される。
特に、一方の磁極として穴なし平面磁極を用いることに
より、ウェーハが該平面磁極に吸着されかつ平面矯正さ
れるから高精度の走査型電子顕微鏡が実現できる。ま
た、レンズの磁極間にはウェーハとわずか数ミクロンの
厚さの絶縁膜しかないので、磁極間隔をきわめて短くす
ることが可能になり、レンズの色収差係数、球面収差係
数をきわめて小さくすることができる。
は、前記磁極の一方を形成する磁性材料部材と試料との
間に絶縁膜を介して電圧を印加することにより試料を静
電吸着する。この場合、絶縁膜の厚さを数ミクロン程度
と薄くすることによりウェーハのような試料が前記一方
の磁極を形成する磁性材料部材上に強力に吸着される。
特に、一方の磁極として穴なし平面磁極を用いることに
より、ウェーハが該平面磁極に吸着されかつ平面矯正さ
れるから高精度の走査型電子顕微鏡が実現できる。ま
た、レンズの磁極間にはウェーハとわずか数ミクロンの
厚さの絶縁膜しかないので、磁極間隔をきわめて短くす
ることが可能になり、レンズの色収差係数、球面収差係
数をきわめて小さくすることができる。
【００１２】また、前記磁極の一方を形成する磁性材料
部材上に絶縁膜を介して導電性電極膜を形成し、さらに
その上に第２の絶縁膜を形成した構造においては、第２
の絶縁膜上に載置された試料と導電性電極膜との間に電
圧を印加することにより同様にして試料の吸着を行なう
ことができ、かつ磁極間距離もかなり短くすることがで
きる。また、この場合は一方の磁極を構成する磁性材料
部材に電圧を印加する必要がなく該磁性材料部材をグラ
ンドから絶縁する等の必要性がなくなる。
部材上に絶縁膜を介して導電性電極膜を形成し、さらに
その上に第２の絶縁膜を形成した構造においては、第２
の絶縁膜上に載置された試料と導電性電極膜との間に電
圧を印加することにより同様にして試料の吸着を行なう
ことができ、かつ磁極間距離もかなり短くすることがで
きる。また、この場合は一方の磁極を構成する磁性材料
部材に電圧を印加する必要がなく該磁性材料部材をグラ
ンドから絶縁する等の必要性がなくなる。
【００１３】また、前記磁極の一方を形成する磁性材料
部材上に絶縁膜を設け、この絶縁膜上に一対の導電膜電
極を形成する場合には、この導電膜電極にそれぞれ正お
よび負の電圧を印加することにより試料を吸着すること
ができるとともに、試料および前記磁極の一方を形成す
る磁性材料部材との間に電圧を印加しあるいはアースか
ら絶縁する必要性がなくなる。
部材上に絶縁膜を設け、この絶縁膜上に一対の導電膜電
極を形成する場合には、この導電膜電極にそれぞれ正お
よび負の電圧を印加することにより試料を吸着すること
ができるとともに、試料および前記磁極の一方を形成す
る磁性材料部材との間に電圧を印加しあるいはアースか
ら絶縁する必要性がなくなる。
【００１４】すなわち、本発明に係わる走査型電子顕微
鏡においては、通常穴なし平面磁極とされる一方の磁極
を静電吸着装置の基台として兼用することにより磁極間
隔をきわめて短くし、かつ試料表面を該平面磁極に接近
させることが可能になる。
鏡においては、通常穴なし平面磁極とされる一方の磁極
を静電吸着装置の基台として兼用することにより磁極間
隔をきわめて短くし、かつ試料表面を該平面磁極に接近
させることが可能になる。
【００１５】
【実施例】以下、図面により本発明の実施例を説明す
る。図１は、本発明の第１の実施例に係わる走査型電子
顕微鏡の主要部である対物レンズ近傍の構造を示す。同
図の装置は、穴を有するレンズ磁極１と、パーマロイの
ような磁性体で構成される穴なし平板磁極４とを具備
し、これらの磁極１および４によって磁気レンズを構成
している。穴付レンズ磁極１内部には電子ビームによる
走査のための偏向コイル１０が設けられている。
る。図１は、本発明の第１の実施例に係わる走査型電子
顕微鏡の主要部である対物レンズ近傍の構造を示す。同
図の装置は、穴を有するレンズ磁極１と、パーマロイの
ような磁性体で構成される穴なし平板磁極４とを具備
し、これらの磁極１および４によって磁気レンズを構成
している。穴付レンズ磁極１内部には電子ビームによる
走査のための偏向コイル１０が設けられている。
【００１６】平板磁極４の上面はレンズ性能を満たすた
めに平面度あるいは面粗度が十分よくなるように研磨さ
れている。この平板磁極４の表面にアルミナ（Ａｌ２Ｏ
３）などの絶縁膜３が例えばＲＦスパッタによって例え
ば３ミクロン程度の厚さに被着されている。なお、平板
磁極４は例えば磁気的な力が局部的に働いてもそりなど
が生じないように十分な厚さを有している。また、この
平板磁極４は絶縁膜５を介してステージ６に取付けられ
ており、該ステージ６はベース７上に載置されている。
めに平面度あるいは面粗度が十分よくなるように研磨さ
れている。この平板磁極４の表面にアルミナ（Ａｌ２Ｏ
３）などの絶縁膜３が例えばＲＦスパッタによって例え
ば３ミクロン程度の厚さに被着されている。なお、平板
磁極４は例えば磁気的な力が局部的に働いてもそりなど
が生じないように十分な厚さを有している。また、この
平板磁極４は絶縁膜５を介してステージ６に取付けられ
ており、該ステージ６はベース７上に載置されている。
【００１７】また、絶縁膜３上には被観察試料としての
半導体ウェーハ２が置かれており、該ウェーハ２を接地
するために接地針８が設けられている。接地針８は電気
的に接地されておりかつウェーハ２の例えば側面に接触
している。
半導体ウェーハ２が置かれており、該ウェーハ２を接地
するために接地針８が設けられている。接地針８は電気
的に接地されておりかつウェーハ２の例えば側面に接触
している。
【００１８】さらに、平板磁極４には電源９から例えば
−１００Ｖ程度の電圧が印加されている。
−１００Ｖ程度の電圧が印加されている。
【００１９】このような構成を有する走査型電子顕微鏡
においては、接地針８によりウェーハ２が接地されてい
るから電源９の電圧Ｖｓが絶縁膜３をはさんで平板磁極
４とウェーハ２との間に印加される。これにより、絶縁
膜３に高電界が発生し、ウェーハ２は平板磁極４に強力
に吸着される。また、この場合ウェーハ２が平板磁極４
によって平面矯正される。なお、絶縁膜３の厚みを例え
ば３ミクロン程度とし、印加電圧Ｖｓを−１００Ｖとす
ると絶縁膜３に形成される電界の強さは３×１０５Ｖ／
ｃｍとなり、ウェーハ２を吸着するに十分な吸着力が発
生する。
においては、接地針８によりウェーハ２が接地されてい
るから電源９の電圧Ｖｓが絶縁膜３をはさんで平板磁極
４とウェーハ２との間に印加される。これにより、絶縁
膜３に高電界が発生し、ウェーハ２は平板磁極４に強力
に吸着される。また、この場合ウェーハ２が平板磁極４
によって平面矯正される。なお、絶縁膜３の厚みを例え
ば３ミクロン程度とし、印加電圧Ｖｓを−１００Ｖとす
ると絶縁膜３に形成される電界の強さは３×１０５Ｖ／
ｃｍとなり、ウェーハ２を吸着するに十分な吸着力が発
生する。
【００２０】図１の構成においては、穴付レンズ磁極１
および平板磁極４の間にはウェーハ２と薄い絶縁膜３し
か存在しないから、磁極１および４の間隔をきわめて小
さくすることが可能となり、レンズの色収差係数および
球面収差係数を小さくすることができる。また、ウェー
ハ表面とレンズ磁場の最も大きい平板磁極４との間の距
離が短くなり、電子ビームの集束のために必要とされる
励磁電流が小さくできる。
および平板磁極４の間にはウェーハ２と薄い絶縁膜３し
か存在しないから、磁極１および４の間隔をきわめて小
さくすることが可能となり、レンズの色収差係数および
球面収差係数を小さくすることができる。また、ウェー
ハ表面とレンズ磁場の最も大きい平板磁極４との間の距
離が短くなり、電子ビームの集束のために必要とされる
励磁電流が小さくできる。
【００２１】なお、上記実施例おいて、絶縁膜３の上に
薄い導電膜電極を形成し、この導電膜電極の上にさらに
第２の絶縁膜を形成することもできる。この場合は、静
電吸着用の電圧は該導電膜電極と接地針８との間に印加
され、平板磁極４をアースあるいは他の部材から絶縁支
持する必要がなくなる。
薄い導電膜電極を形成し、この導電膜電極の上にさらに
第２の絶縁膜を形成することもできる。この場合は、静
電吸着用の電圧は該導電膜電極と接地針８との間に印加
され、平板磁極４をアースあるいは他の部材から絶縁支
持する必要がなくなる。
【００２２】図２は、本発明の第２の実施例に係わる走
査型電子顕微鏡の主要部の構成を示す。図２において図
１と同様の要素は同じ参照数字で示されている。図２に
示される装置においては、穴付レンズ磁極１と平板磁極
４とを備え、これらの磁極１および４によって磁気レン
ズが構成されている点は図１の装置と同じである。な
お、穴付磁極１には励磁コイル１１が設けらており、か
つ図１の装置と同様に磁極１の内部には電子ビーム走査
用の偏向コイル１０が設けられている。
査型電子顕微鏡の主要部の構成を示す。図２において図
１と同様の要素は同じ参照数字で示されている。図２に
示される装置においては、穴付レンズ磁極１と平板磁極
４とを備え、これらの磁極１および４によって磁気レン
ズが構成されている点は図１の装置と同じである。な
お、穴付磁極１には励磁コイル１１が設けらており、か
つ図１の装置と同様に磁極１の内部には電子ビーム走査
用の偏向コイル１０が設けられている。
【００２３】図２の装置においては、平板磁極４の上に
絶縁膜１４が形成され、この絶縁膜１４の上に導電性薄
膜による静電チャック用の電極１２および１３が形成さ
れている。これらの電極１２および１３は互いに対向す
る半円形とされる。さらに、これらの電極１２および１
３の上には第２の絶縁膜１５が形成されている。なお、
各電極１２および１３に電圧を与えることを可能にする
ため、絶縁膜１５は絶縁膜１４よりも小さく作り、電極
１２および１３の一部を絶縁膜１５より外側に延長形成
し、リード線１６をボンディングによって接続する。
絶縁膜１４が形成され、この絶縁膜１４の上に導電性薄
膜による静電チャック用の電極１２および１３が形成さ
れている。これらの電極１２および１３は互いに対向す
る半円形とされる。さらに、これらの電極１２および１
３の上には第２の絶縁膜１５が形成されている。なお、
各電極１２および１３に電圧を与えることを可能にする
ため、絶縁膜１５は絶縁膜１４よりも小さく作り、電極
１２および１３の一部を絶縁膜１５より外側に延長形成
し、リード線１６をボンディングによって接続する。
【００２４】図２の装置においては、各導電膜電極１２
および１３の間に電圧を印加することによってウェーハ
２を接地することなく該ウェーハを平板磁極４に吸着す
ることができる。そして、各電極１２および１３にそれ
ぞれ絶対値の等しい正および負の電圧を印加することに
より、ウェーハ２および平板磁極４を実質的にグランド
電位とすることができる。また、平板磁極４もアースあ
るいは他の部分から絶縁支持する必要がなく例えばアー
ス電位で使用することができる。
および１３の間に電圧を印加することによってウェーハ
２を接地することなく該ウェーハを平板磁極４に吸着す
ることができる。そして、各電極１２および１３にそれ
ぞれ絶対値の等しい正および負の電圧を印加することに
より、ウェーハ２および平板磁極４を実質的にグランド
電位とすることができる。また、平板磁極４もアースあ
るいは他の部分から絶縁支持する必要がなく例えばアー
ス電位で使用することができる。
【００２５】この実施例においても、各磁極１および４
の間にはウェーハ２と各々薄膜で構成される絶縁膜およ
び電極膜が入るのみであるから、磁極間距離を短くし、
かつウェーハ２の表面と平板磁極４との距離も短縮でき
る。
の間にはウェーハ２と各々薄膜で構成される絶縁膜およ
び電極膜が入るのみであるから、磁極間距離を短くし、
かつウェーハ２の表面と平板磁極４との距離も短縮でき
る。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、インレ
ンズ型対物レンズの磁極間には試料となるウェーハと薄
膜が１〜３層弁在するのみであるから、磁極間隔をきわ
めて短くすることができ、色収差係数および球面収差係
数を小さくすることができる。
ンズ型対物レンズの磁極間には試料となるウェーハと薄
膜が１〜３層弁在するのみであるから、磁極間隔をきわ
めて短くすることができ、色収差係数および球面収差係
数を小さくすることができる。
【００２７】また、被観察試料の表面を平板磁極側の磁
極に接近させることができるから、磁場の強い場所を有
効利用することができ、小さな励磁電流で集束条件を満
たすことが可能となる。
極に接近させることができるから、磁場の強い場所を有
効利用することができ、小さな励磁電流で集束条件を満
たすことが可能となる。
【００２８】さらに、平板磁極を構成する軟らかいパー
マロイなどの表面がアルミナなどの硬い酸化膜で保護さ
れるため、ウェーハのロードおよびアンロード時などに
パーマロイ磁極に傷や圧跡がつく心配がなく、非点収差
などの問題も発生しない。
マロイなどの表面がアルミナなどの硬い酸化膜で保護さ
れるため、ウェーハのロードおよびアンロード時などに
パーマロイ磁極に傷や圧跡がつく心配がなく、非点収差
などの問題も発生しない。
【図１】本発明の第１の実施例に係わる走査型電子顕微
鏡の主要部分を示す部分断面的説明図である。
鏡の主要部分を示す部分断面的説明図である。
【図２】本発明の第２の実施例に係わる走査型電子顕微
鏡の主要部分を示す部分的正面図（ａ）および平面図
（ｂ）である。 １ 穴付磁極 ２ 被観察試料 ３ 絶縁膜 ４ 平板磁極 ５ 絶縁板 ６ ステージ ７ ベース ８ 接地針 ９ 電源 １０ 走査用コイル １１ 励磁コイル １２，１３ 導電膜電極 １４ 絶縁膜 １５ 第２の絶縁膜 １６ リード線
鏡の主要部分を示す部分的正面図（ａ）および平面図
（ｂ）である。 １ 穴付磁極 ２ 被観察試料 ３ 絶縁膜 ４ 平板磁極 ５ 絶縁板 ６ ステージ ７ ベース ８ 接地針 ９ 電源 １０ 走査用コイル １１ 励磁コイル １２，１３ 導電膜電極 １４ 絶縁膜 １５ 第２の絶縁膜 １６ リード線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−197951（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−157651（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−315935（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−108243（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 37/20 H01J 37/141 H01J 37/28
Claims (5)
- 【請求項１】 １対の磁極を備えかつ該磁極の間に試料
を挿入するインレンズ型の対物レンズを有する走査型電
子顕微鏡であって、 前記磁極の一方を形成する磁性材料部材に前記試料を静
電吸着させる手段を具備することを特徴とする走査型電
子顕微鏡。 - 【請求項２】 前記試料を静電吸着させる手段は前記磁
極の一方を形成する磁性材料部材上に設けた絶縁膜、お
よびこの絶縁膜上に載置される試料と前記磁性材料部材
との間に電圧を印加する手段を備えたことを特徴とする
請求項１に記載の走査型電子顕微鏡。 - 【請求項３】 前記試料を静電吸着させる手段は前記磁
極の一方を形成する磁性材料部材上に設けた絶縁膜、こ
の絶縁膜上に形成された導電性電極膜、該導電性電極膜
上に形成された第２の絶縁膜、およびこの第２の絶縁膜
上に載置される試料と前記導電性電極膜との間に電圧を
印加する手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載
の走査型電子顕微鏡。 - 【請求項４】 前記試料を静電吸着させる手段は前記磁
極の一方を形成する磁性材料部材上に設けた絶縁膜、こ
の絶縁膜上に形成された少なくとも１対の導電膜電極、
および前記導電膜電極上に形成された第２の絶縁膜、お
よび前記導電膜電極の間に電圧を印加する手段を備えた
ことを特徴とする請求項１に記載の走査型電子顕微鏡。 - 【請求項５】 穴付磁極よりなる第１極と、穴なし平面
磁極よりなる第２極とを有し、前記第１極と前記第２極
との間に、静電吸着装置に吸着固定した試料を挿入する
インレンズ型の対物レンズ、を備えた走査型電子顕微鏡
において、 前記第２極を前記静電吸着装置の基台として兼用したこ
とを特徴とする走査型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3053809A JP2838323B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 走査型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3053809A JP2838323B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 走査型電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05174766A JPH05174766A (ja) | 1993-07-13 |
| JP2838323B2 true JP2838323B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=12953122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3053809A Expired - Lifetime JP2838323B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 走査型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2838323B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8445862B2 (en) * | 2010-12-14 | 2013-05-21 | Hermes Microvision, Inc. | Apparatus of plural charged particle beams with multi-axis magnetic lens |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1991
- 1991-02-26 JP JP3053809A patent/JP2838323B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05174766A (ja) | 1993-07-13 |
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