JPH0887972A - 試料ホールダ - Google Patents
試料ホールダInfo
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- JPH0887972A JPH0887972A JP22475494A JP22475494A JPH0887972A JP H0887972 A JPH0887972 A JP H0887972A JP 22475494 A JP22475494 A JP 22475494A JP 22475494 A JP22475494 A JP 22475494A JP H0887972 A JPH0887972 A JP H0887972A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】従来、集束イオンビーム(ＦＩＢ)装置と透過電
子顕微鏡（ＴＥＭ）装置間で共用できる試料ホールダに
は、一軸傾斜方式しかなく、格子像を観察できるＴＥＭ
試料作製は困難であった。本発明は容易に格子像を観察
できる高品質なＴＥＭ試料を簡単に作製できる試料ホー
ルダを提供することを目的にしている。 【構成】ＴＥＭ観察で使用するサイドエントリー方式の
二軸傾斜ホールダにおいて、二軸目の傾斜角度を９０度
以上可能な構造にするとともに、ＴＥＭの試料作製に使
用するＦＩＢの入射領域を確保するために試料台の一部
を切り欠いた構造にする。 【効果】試料の入替え無しにＦＩＢ加工と二軸傾斜のＴ
ＥＭ観察や、ＴＥＭ観察後の再度ＦＩＢ加工が容易にな
り、高品質のＴＥＭ試料作製を簡単に行うことが可能に
なる。
子顕微鏡（ＴＥＭ）装置間で共用できる試料ホールダに
は、一軸傾斜方式しかなく、格子像を観察できるＴＥＭ
試料作製は困難であった。本発明は容易に格子像を観察
できる高品質なＴＥＭ試料を簡単に作製できる試料ホー
ルダを提供することを目的にしている。 【構成】ＴＥＭ観察で使用するサイドエントリー方式の
二軸傾斜ホールダにおいて、二軸目の傾斜角度を９０度
以上可能な構造にするとともに、ＴＥＭの試料作製に使
用するＦＩＢの入射領域を確保するために試料台の一部
を切り欠いた構造にする。 【効果】試料の入替え無しにＦＩＢ加工と二軸傾斜のＴ
ＥＭ観察や、ＴＥＭ観察後の再度ＦＩＢ加工が容易にな
り、高品質のＴＥＭ試料作製を簡単に行うことが可能に
なる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は試料ホールダに係り、特
に、集束イオンビーム加工及び透過電子顕微鏡観察に共
用して使用可能な試料ホールダに関する。
に、集束イオンビーム加工及び透過電子顕微鏡観察に共
用して使用可能な試料ホールダに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、透過電子顕微鏡（以下ＴＥＭと
記す）を用いて試料を観察するためには、試料の観察部
分を非常に薄い薄膜形状（例えば、１００ｎｍ程度の薄
膜）に加工する必要がある。また、最近、試料の作成の
ため、集束イオンビーム（以下ＦＩＭと記す）を用い
て、試料を加工することが多くなってきた。
記す）を用いて試料を観察するためには、試料の観察部
分を非常に薄い薄膜形状（例えば、１００ｎｍ程度の薄
膜）に加工する必要がある。また、最近、試料の作成の
ため、集束イオンビーム（以下ＦＩＭと記す）を用い
て、試料を加工することが多くなってきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に、ＦＩＢを用い
て試料を加工する場合、重力の方向（上から下）に集束
ビームを照射して試料を加工する。したがって、重力と
垂力方向に膜厚をもった試料が作成される。
て試料を加工する場合、重力の方向（上から下）に集束
ビームを照射して試料を加工する。したがって、重力と
垂力方向に膜厚をもった試料が作成される。
【０００４】また、一般に、ＴＥＭを用いた試料を観察
する場合も、同様に、重力の方向（上から下）に、電子
ビームを試料を照射する。したがって、ＦＩＢで作成し
た試料を、ＴＥＭを用いて観察するには、試料を約９０
度回転させる必要がある。また、ＴＥＭを用いた観察し
た試料をＦＩＢで加工する際にも、試料を約９０度回転
させる必要がある。
する場合も、同様に、重力の方向（上から下）に、電子
ビームを試料を照射する。したがって、ＦＩＢで作成し
た試料を、ＴＥＭを用いて観察するには、試料を約９０
度回転させる必要がある。また、ＴＥＭを用いた観察し
た試料をＦＩＢで加工する際にも、試料を約９０度回転
させる必要がある。
【０００５】従来では、ＦＩＢでの試料加工とＴＥＭ観
察の間は試料を取りはずし、試料を９０度回転させてい
た。
察の間は試料を取りはずし、試料を９０度回転させてい
た。
【０００６】このように、ＦＩＢ加工と、ＴＥＭ観察の
遷移のときに、必ず、試料を取りはずしていたので、こ
のときに、試料ホールダと試料の距離関係がなくなって
しまう。そのため、ＦＩＢ加工した面をＴＥＭで観察す
るのに困難を要していた。また、ＴＥＭで観察した面を
ＦＩＢ加工するのにも困難を要していた。
遷移のときに、必ず、試料を取りはずしていたので、こ
のときに、試料ホールダと試料の距離関係がなくなって
しまう。そのため、ＦＩＢ加工した面をＴＥＭで観察す
るのに困難を要していた。また、ＴＥＭで観察した面を
ＦＩＢ加工するのにも困難を要していた。
【０００７】本発明の目的は、試料の取りはずしがなく
ても、ＦＩＢ加工とＴＥＭ観察の間で移すことが可能な
試料ホールダを提供することにある。
ても、ＦＩＢ加工とＴＥＭ観察の間で移すことが可能な
試料ホールダを提供することにある。
【０００８】また、ＴＥＭ観察において、試料の二軸傾
斜機能は、試料の結晶方位をＴＥＭ観察時の透過電子線
の方向に合わせるのに絶対必要な機能であり、上記ＴＥ
Ｍ試料作製用ＦＩＢ加工装置でも、その能力を最大限に
発揮するためには、ＦＩＢ装置とＴＥＭで共用できるサ
イドエントリー方式二軸傾斜ホールダが待ち望まれてい
た。一方ＴＥＭ用二軸傾斜ホールダの試料固定部まわり
は、電子顕微鏡の磁場レンズのわずかなギャップ間に挿
入されるため全体で４mm程度の厚さに抑える必要がある
ことと、数十万倍以上の像観察が可能なように、傾斜角
度を必要最小限に抑え、外部振動のひろいにくい構造に
なっていることから、ＦＩＢ−ＴＥＭ共用の二軸傾斜ホ
ールダは実現されていなかった。このため、ＦＩＢ加工
で作製したＴＥＭ試料の格子像観察を行うためには、Ｆ
ＩＢ加工後に試料を従来のＴＥＭ用二軸傾斜ホールドに
移し変えることが必要であった。ＴＥＭ試料の観察部分
は１００ｎｍ程度の非常に薄い薄膜になっており、その
取扱いは大変丁寧に行う必要がある。また、一旦ホール
ダから外した場合、その薄さゆえ、観察部分を再度ＦＩ
Ｂ加工するのは不可能に近いことであった。
斜機能は、試料の結晶方位をＴＥＭ観察時の透過電子線
の方向に合わせるのに絶対必要な機能であり、上記ＴＥ
Ｍ試料作製用ＦＩＢ加工装置でも、その能力を最大限に
発揮するためには、ＦＩＢ装置とＴＥＭで共用できるサ
イドエントリー方式二軸傾斜ホールダが待ち望まれてい
た。一方ＴＥＭ用二軸傾斜ホールダの試料固定部まわり
は、電子顕微鏡の磁場レンズのわずかなギャップ間に挿
入されるため全体で４mm程度の厚さに抑える必要がある
ことと、数十万倍以上の像観察が可能なように、傾斜角
度を必要最小限に抑え、外部振動のひろいにくい構造に
なっていることから、ＦＩＢ−ＴＥＭ共用の二軸傾斜ホ
ールダは実現されていなかった。このため、ＦＩＢ加工
で作製したＴＥＭ試料の格子像観察を行うためには、Ｆ
ＩＢ加工後に試料を従来のＴＥＭ用二軸傾斜ホールドに
移し変えることが必要であった。ＴＥＭ試料の観察部分
は１００ｎｍ程度の非常に薄い薄膜になっており、その
取扱いは大変丁寧に行う必要がある。また、一旦ホール
ダから外した場合、その薄さゆえ、観察部分を再度ＦＩ
Ｂ加工するのは不可能に近いことであった。
【０００９】本発明の目的は、このような問題を解決す
ることにある。
ることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、ホールダと、試料を固定する試料台を
有し、さらに、ホールダと試料台を約９０度回転可能と
した。
め、本発明では、ホールダと、試料を固定する試料台を
有し、さらに、ホールダと試料台を約９０度回転可能と
した。
【００１１】さらに好ましくは、試料台を９０度以上傾
斜（回転）させる機構として、プーリとベルトを使う方
法，プーリとワイヤーを使う方法，歯車の組合せを使う
方法等を採用するとともに、ベルトやワイヤー部分での
外部振動による共振を抑えるための押さえローラの追
加、ベルトやワイヤー部分の緩みや歯車噛み合わせ部の
バックラッシュを無くすための逆方向ひきバネを追加す
る。
斜（回転）させる機構として、プーリとベルトを使う方
法，プーリとワイヤーを使う方法，歯車の組合せを使う
方法等を採用するとともに、ベルトやワイヤー部分での
外部振動による共振を抑えるための押さえローラの追
加、ベルトやワイヤー部分の緩みや歯車噛み合わせ部の
バックラッシュを無くすための逆方向ひきバネを追加す
る。
【００１２】
【作用】上記の構成によれば、ホールダを固定したま
ま、試料台を回転させることができる。
ま、試料台を回転させることができる。
【００１３】このため、ＦＩＢ加工が終了すると、試料
台を回転させることにより、試料を回転させることがで
き、したがって、試料を試料ホールダからはずすことな
く、ＦＩＢ加工とＴＥＭ観察の欄で移ることができる。
台を回転させることにより、試料を回転させることがで
き、したがって、試料を試料ホールダからはずすことな
く、ＦＩＢ加工とＴＥＭ観察の欄で移ることができる。
【００１４】また、好ましくは、プーリとベルト，プー
リとワイヤ，歯車の組合せ等の機構により試料台を９０
度以上傾斜させることが可能になり、９０度傾斜させた
時に上にくる部分にＦＩＢ加工ビーム入射のための切り
欠きをつくることで、ＦＩＢ加工とＴＥＭ観察を一つの
試料台で実施できるようになる。さらに、ベルトやワイ
ヤの押さえローラと逆方向ひきバネを追加することによ
り、外部振動による共振を抑えることが可能になり、高
倍率のＴＥＭ観察ができる。
リとワイヤ，歯車の組合せ等の機構により試料台を９０
度以上傾斜させることが可能になり、９０度傾斜させた
時に上にくる部分にＦＩＢ加工ビーム入射のための切り
欠きをつくることで、ＦＩＢ加工とＴＥＭ観察を一つの
試料台で実施できるようになる。さらに、ベルトやワイ
ヤの押さえローラと逆方向ひきバネを追加することによ
り、外部振動による共振を抑えることが可能になり、高
倍率のＴＥＭ観察ができる。
【００１５】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて説明する。ま
ず、ＦＩＢ加工で作製するＴＥＭ試料１は図２（ａ：Ｆ
ＩＢ加工前，ｂ：ＦＩＢ加工時，ｃ：ＴＥＭ観察時）に
示すような形をしており、ＦＩＢ加工時のイオンビーム
１１の入射方向と、ＴＥＭ観察時の電子ビーム１２の入
射方向は９０度ずれている。このため、上記ＦＩＢ加工
装置で使用しているサイドエントリー方式と似た形状の
試料ホールダ２１は、図３に示すように試料固定部の一
部が切り欠いてあり、この切り欠き部の方向からイオン
ビーム１１を入射させ、ＦＩＢ加工を実施している。
尚、上記ＦＩＢ加工装置で使用している試料ホールダ
は、ホールダ内に試料駆動機構を持たないＦＩＢ−ＴＥ
Ｍ共用一軸傾斜方式のものだけである。
ず、ＦＩＢ加工で作製するＴＥＭ試料１は図２（ａ：Ｆ
ＩＢ加工前，ｂ：ＦＩＢ加工時，ｃ：ＴＥＭ観察時）に
示すような形をしており、ＦＩＢ加工時のイオンビーム
１１の入射方向と、ＴＥＭ観察時の電子ビーム１２の入
射方向は９０度ずれている。このため、上記ＦＩＢ加工
装置で使用しているサイドエントリー方式と似た形状の
試料ホールダ２１は、図３に示すように試料固定部の一
部が切り欠いてあり、この切り欠き部の方向からイオン
ビーム１１を入射させ、ＦＩＢ加工を実施している。
尚、上記ＦＩＢ加工装置で使用している試料ホールダ
は、ホールダ内に試料駆動機構を持たないＦＩＢ−ＴＥ
Ｍ共用一軸傾斜方式のものだけである。
【００１６】ＦＩＢ−ＴＥＭ共用二軸傾斜ホールダの試
料台部分の詳細構造図である。試料１は直径３mmの単孔
メッシュの一部を切り欠いた切欠きメッシュ２に接着固
定されており、さらにリングバネ３で試料台４に固定さ
れている。試料台４の両端は円錐形状（ピボット）４ａ
になっており、これをホールダ５にあけた孔５ａで受
け、試料台４を回転可能にしている。試料台４の中央の
切欠きメッシュ固定部４ｃの両側には金属製ベルト６を
巻き付け固定するプーリ４ｂと、試料台４に傾斜の駆動
方向と逆方向の力を常時加えるためのコイルバネ７を取
り付ける部分４ｄを設けている。なお、ホールダ５は図
の一点鎖線を中心として回転可能となっている。また、
試料台４の傾斜（回転）駆動はホールダ５を同軸構造５
ｂ，５ｃにし、内側の軸５ｃを軸方向に前後させること
で行っている。当然のことながら、金属製ベルト６はそ
の一端が試料台のプーリ４ｂに巻き付け固定され、反対
側は上記傾斜駆動用軸５ｃに固定されている。さらに、
上記傾斜駆動用軸５ｃと試料台４の間に押さえローラ８
を入れ、これで金属製ベルト６の途中を押さえている。
なお、ホールダの一軸目の傾斜はホールダ全体をホール
ダ５ｂの軸を中心にして回転させることで実現している
（一軸目の駆動機構は図示せず）。押さえローラ８の役
割は金属製ベルト６が外部振動の影響を受けにくくする
ものであり、その設置位置は、試料台４に近い程良い。
料台部分の詳細構造図である。試料１は直径３mmの単孔
メッシュの一部を切り欠いた切欠きメッシュ２に接着固
定されており、さらにリングバネ３で試料台４に固定さ
れている。試料台４の両端は円錐形状（ピボット）４ａ
になっており、これをホールダ５にあけた孔５ａで受
け、試料台４を回転可能にしている。試料台４の中央の
切欠きメッシュ固定部４ｃの両側には金属製ベルト６を
巻き付け固定するプーリ４ｂと、試料台４に傾斜の駆動
方向と逆方向の力を常時加えるためのコイルバネ７を取
り付ける部分４ｄを設けている。なお、ホールダ５は図
の一点鎖線を中心として回転可能となっている。また、
試料台４の傾斜（回転）駆動はホールダ５を同軸構造５
ｂ，５ｃにし、内側の軸５ｃを軸方向に前後させること
で行っている。当然のことながら、金属製ベルト６はそ
の一端が試料台のプーリ４ｂに巻き付け固定され、反対
側は上記傾斜駆動用軸５ｃに固定されている。さらに、
上記傾斜駆動用軸５ｃと試料台４の間に押さえローラ８
を入れ、これで金属製ベルト６の途中を押さえている。
なお、ホールダの一軸目の傾斜はホールダ全体をホール
ダ５ｂの軸を中心にして回転させることで実現している
（一軸目の駆動機構は図示せず）。押さえローラ８の役
割は金属製ベルト６が外部振動の影響を受けにくくする
ものであり、その設置位置は、試料台４に近い程良い。
【００１７】図１（ａ）はＴＥＭ観察を行う時の試料台
位置を示しており、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断
面を示している。図１（ｂ）においてＴＥＭ観察用の電
子ビーム１２は図示の方向から入射する。また、ＦＩＢ
加工時は傾斜駆動用軸５ｃを引き、試料台４を９０度回
転（回転方向は図１(ｂ)において反時計方向になる）さ
せる。この時のＦＩＢ加工用イオンビームはＴＥＭ観察
用の電子ビーム１２と同じ方向（図１（ｂ）の場合、図
の上側から下側に向かう）になる。これにより、試料１
のＦＩＢ加工部にイオンビームを正面から入射させるこ
とが可能になる。
位置を示しており、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断
面を示している。図１（ｂ）においてＴＥＭ観察用の電
子ビーム１２は図示の方向から入射する。また、ＦＩＢ
加工時は傾斜駆動用軸５ｃを引き、試料台４を９０度回
転（回転方向は図１(ｂ)において反時計方向になる）さ
せる。この時のＦＩＢ加工用イオンビームはＴＥＭ観察
用の電子ビーム１２と同じ方向（図１（ｂ）の場合、図
の上側から下側に向かう）になる。これにより、試料１
のＦＩＢ加工部にイオンビームを正面から入射させるこ
とが可能になる。
【００１８】本実施例によれば、ＦＩＢ−ＴＥＭ共用二
軸傾斜ホールドに一旦試料を固定した後は、試料の入替
え無しにＦＩＢ加工と二軸傾斜のＴＥＭ観察が可能とな
るとともに、ＴＥＭ観察後に再度ＦＩＢ加工を行うこと
もでき、高品質のＴＥＭ試料を簡単に作製できるように
なる。
軸傾斜ホールドに一旦試料を固定した後は、試料の入替
え無しにＦＩＢ加工と二軸傾斜のＴＥＭ観察が可能とな
るとともに、ＴＥＭ観察後に再度ＦＩＢ加工を行うこと
もでき、高品質のＴＥＭ試料を簡単に作製できるように
なる。
【００１９】本実施例では、二軸目の傾斜駆動にプーリ
と金属製ベルトを使用したが、金属製ベルトのかわりに
金属製ワイヤを使用しても同様の効果が得られることは
あきらかである。また、歯車の組合せでも同様の効果が
得られることはあきらかである。
と金属製ベルトを使用したが、金属製ベルトのかわりに
金属製ワイヤを使用しても同様の効果が得られることは
あきらかである。また、歯車の組合せでも同様の効果が
得られることはあきらかである。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、試料の入替え無しにＦ
ＩＢ加工とのＴＥＭ観察や、ＴＥＭ観察後の再度ＦＩＢ
加工が容易になり、高品質のＴＥＭ試料作製を可能にす
る効果を得られる。
ＩＢ加工とのＴＥＭ観察や、ＴＥＭ観察後の再度ＦＩＢ
加工が容易になり、高品質のＴＥＭ試料作製を可能にす
る効果を得られる。
【図１】本発明の一実施例に係る図面であって、ＦＩＢ
−ＴＥＭ共用二軸傾斜ホールダの試料台部分の詳細構造
図である。
−ＴＥＭ共用二軸傾斜ホールダの試料台部分の詳細構造
図である。
【図２】ＦＩＢ加工でＴＥＭ試料を作製する場合の試料
形状ならびに、試料とＦＩＢ加工用イオンビーム、試料
とＴＥＭ観察用電子ビームの関係を示す図である。
形状ならびに、試料とＦＩＢ加工用イオンビーム、試料
とＴＥＭ観察用電子ビームの関係を示す図である。
【図３】従来技術に係る図面であって、ＦＩＢ−ＴＥＭ
共用一軸傾斜ホールダの形状を示す図である。
共用一軸傾斜ホールダの形状を示す図である。
１…試料、２…切欠きメッシュ、３…リングバネ、４…
試料台、５…ホールダ、６…金属製ベルト、７…コイル
バネ、８…押さえローラ、１１…ＦＩＢ加工用イオンビ
ーム、１２…ＴＥＭ観察用電子ビーム、２１…ＦＩＢ−
ＴＥＭ共用一軸傾斜ホールダ。
試料台、５…ホールダ、６…金属製ベルト、７…コイル
バネ、８…押さえローラ、１１…ＦＩＢ加工用イオンビ
ーム、１２…ＴＥＭ観察用電子ビーム、２１…ＦＩＢ−
ＴＥＭ共用一軸傾斜ホールダ。
Claims (8)
- 【請求項１】ホールダと、試料を固定する試料台とを有
し、前記ホールダと前記試料台が約９０度回転可能に構
成されていることを特徴とする試料ホールダ。 - 【請求項２】透過電子顕微鏡の観察で使用する試料ホー
ルダにおいて、試料を保持する試料台の傾斜角度を９０
度以上可能な構造にするとともに、透過電子顕微鏡の試
料作製に使用する集束イオンビームの入射領域を確保す
るように前記試料台の一部を切り欠いたことを特徴とす
る試料ホールダ。 - 【請求項３】請求項２に記載の試料ホールダにおいて、
前記試料台の軸端部にプーリを設け、そこに金属製ベル
トをかけて引き、コイルバネでこの引力と逆方向の回転
力をかけて前記試料台と傾斜させるように構成すること
を特徴とする試料ホールダ。 - 【請求項４】請求項２に記載の試料ホールダにおいて、
試料台の軸端部にプーリを設け、そこに金属製ワイヤー
をかけて引き、コイルバネでこの引力と逆方向の回転力
をかけて前記試料台を傾斜させるように構成することを
特徴とする試料ホールダ。 - 【請求項５】請求項３，４に記載の試料ホールダにおい
て、前記試料台に回転力をかける部品として渦巻バネを
用いることを特徴とする試料ホールダ。 - 【請求項６】請求項３，４，５に記載の試料ホールダに
おいて、前記試料台の傾斜動作を駆動する手段のゆるみ
を抑えるとともに外部振動の吸収を防ぐように、前記試
料台の近くに押さえローラを設置したことを特徴とする
試料ホールダ。 - 【請求項７】請求項２に記載の試料ホールダにおいて、
前記試料台の軸端部にプーリを設け、そこに金属製ワイ
ヤーを複数回巻きつけてその片方をコイルバネで常に引
っ張り、もう片方を引いたり戻したりして前記試料台を
傾斜させ、さらに金属製ワイヤーのゆるみを抑えるとと
もに外部振動の吸収を防ぐように、前記試料台の近くに
押さえローラを設置したことを特徴とする試料ホール
ダ。 - 【請求項８】請求項２に記載の試料ホールダにおいて、
歯車の組合せにより前記試料台の傾斜動作駆動し、前記
歯車のバックラッシュを無くすようにコイルバネあるい
は渦巻バネで試料台に逆方向の回転力をかけるようにし
たことを特徴とする試料ホールダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22475494A JPH0887972A (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | 試料ホールダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22475494A JPH0887972A (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | 試料ホールダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0887972A true JPH0887972A (ja) | 1996-04-02 |
Family
ID=16818719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22475494A Pending JPH0887972A (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | 試料ホールダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0887972A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19839871A1 (de) * | 1998-09-02 | 2000-03-16 | Dresden Ev Inst Festkoerper | Manipulator zur Positionierung von Proben in Apparaturen und Kammern |
| JP2001066231A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-16 | Hitachi Ltd | 試料作成装置および試料作成方法 |
| JP2005228608A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子顕微鏡装置および電子顕微鏡観察方法 |
| JP2009117196A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Jeol Ltd | 隔膜型ガス雰囲気試料ホルダ |
| JP2010133739A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 観察試料作製方法及び観察試料作製装置 |
| WO2012026365A1 (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子装置用試料ホルダ |
| WO2013111453A1 (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-01 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡用試料ホルダ |
-
1994
- 1994-09-20 JP JP22475494A patent/JPH0887972A/ja active Pending
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| DE19839871C2 (de) * | 1998-09-02 | 2000-06-15 | Dresden Ev Inst Festkoerper | Manipulator zur Positionierung von Proben in Apparaturen und Kammern |
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| WO2012026365A1 (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子装置用試料ホルダ |
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