JPH0243091Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (ア) 産業上の利用分野 この考案は、電子顕微鏡等における試料保持装
置の改良に関する。

(イ) 技術の背景 電子顕微鏡等の一例として特に透過型電子顕微
鏡を挙げると、その構造例としては、一般的に第
１図に示すようなものがある。これは、電子銃３
と、集束レンズ５とを内蔵し、集束レンズ５の下
方に励磁コイル８，１０を備えた対物レンズ９を
配置し、さらにその下方に中間レンズ１１と投影
レンズ１２とを備えた顕微鏡本体１、及び顕微鏡
本体１の下方に配置され且つ当該顕微鏡本体１に
固定されると共に内部に投影スクリーン１４を配
置した中空の室１３を形成する観察室２から成つ
ている。顕微鏡本体１の中央部分には電子銃３か
ら発射された電子線の軸（以下、光軸という）６
に沿つて長手方向に延びる中空孔７が形成されて
いる。対物レンズ９は励磁コイル８及び励磁コイ
ル１０によつて励磁される上側磁極１６と、下側
磁極１７とを有し、上側磁極１６と下側磁極１７
との間には試料保持装置２０が挿入、引出し可能
に配置される。

このような電子顕微鏡の試料保持装置２０にお
いては、真空状態での電子線照射による試料の漂
流を防ぐため、シートメツシユ上には極薄の試料
用支持膜が張られ、また電子線を透過できるよう
に試料も超薄切片として載置されるなど、観察の
精度を高めるために試料は慎重に取扱われるもの
である。特にシリコン、ゲルマニウム、ガリウム
砒素等の半導体やその他の脆い試料を薄膜にして
直接載置する場合は試料を破壊しないよう特に慎
重に取扱われるものである。

(ウ) 従来技術 電子顕微鏡に用いられる上記試料保持装置２０
には各種のものがあるが、従来、第２図および第
３図に示すように試料保持アーム２２を有し、ア
ーム先端の試料保持部２３において試料２９周縁
部を押圧固定する試料保持装置２０が用いられる
ことがある。これは、試料保持アーム２２の一端
がピン２８で回動自在に軸支され、断面略Ｕ字形
状の後端部をスプリング３０によつて付勢された
球２５が押圧することによつて、試料保持アーム
２２は上下方向の力が加えられるとその力の方向
へ作動するようになつており、試料保持アーム２
２が下方へ作動したときに試料保持部２３が試料
２９を押圧固定するものである。しかし、斯かる
試料保持装置２０では、スプリング３０によつて
付勢された球２５がＶ字形状のアーム後端部を押
圧しているため、試料支持アーム２２が下方へ回
動するときはアーム先端の試料保持部２３が試料
２９の周縁部を衝打することとなり、試料２９な
いしは、試料２９下部に張られる極薄の試料支持
膜を破損することがあり、良好な状態で試料の観
察ができない場合が生ずるという問題があつた。

(エ) 考案の目的 この考案は以上のような問題点に鑑みてなされ
たものであり、試料保持アーム先端の試料保持部
が試料の周縁部を衝打しないようにして、試料又
は試料支持膜の破損を防止し、良好な試料の観察
を可能とする試料保持装置を提供することを目的
とする。

(オ) 考案の構成 この考案は、電子顕微鏡等の試料保持装置２０
であつて、電子通過孔２６上方に試料２９を載置
する試料載置部２７を設けた試料保持部本体２１
と、該試料保持部本体２１の上部において一端が
ピン２８で回動自在に軸支されており他端には試
料２９周縁部を上方から押圧固定する試料保持部
２３が形成されている試料保持アーム２２からな
るものであつて、上記保持部本体２１から上方に
突出して、下方へ回動する試料保持アーム２２を
試料２９の上方で受け止めた後該試料保持アーム
２２を緩降下させるアーム制御部材２４を設けた
構成を有する。

(カ) 実施例 以下、添付図面に基いて本考案の実施例を説明
する。

第４図乃至第６図は、本考案の第一の実施例を
示しており、試料保持装置２０は、保持部本体２
１と試料保持アーム２２とで構成され、保持部本
体２１は、電子通過孔２６と該電子通過孔２６上
部に設けられた試料載置部２７並びにアーム制御
部材であるネジ２４を有するとともに、その一部
に設けられた凹所内に収容されたスプリング３０
と該スプリング３０によつて付勢され上記試料保
持アーム２２の後端部を押圧する球２５からな
り、上記試料保持アーム２２は、一端がピン２８
で保持部本体２１に回動自在に軸支され、その後
端部は断面略Ｖ字形状に形成されており、他端に
試料２９周縁部を上方から押圧固定する試料保持
部２３が形成されている。

それ故、この試料保持装置２０によれば、検鏡
の際に試料２９を電子通過孔２６の上方に形成さ
れた試料載置部２７に載置し、試料保持アーム２
２に対して下方への力を加えると保持部本体２１
の凹所内に収納されたスプリング３０によつて付
勢された球２５が試料保持アーム２２の後端部に
形成された断面略Ｖ字状の頂点を越えて下方へ移
るため、試料保持アーム２２は球２５の押圧によ
つて下方への回動を始めるが、試料保持アーム２
２が一定の位置まで回動すると保持部本体２１の
下方から突出したアーム制御部材であるネジ２４
の頭部が試料２９の上方でそれを受け止めるから
試料保持部２３が試料２９周縁部を衝打すること
が防止されることとなる。そして、アーム制御部
材であるネジの頭部２４が試料保持アーム２２を
受け止めた後にネジ２４を回転して下降させるこ
とにより、アーム先端の試料保持部２３はゆつく
りと下方へ回動し、試料２９周縁部を静かに押圧
固定する。

尚、アーム制御部材であるネジ２４は、第７図
にあるように、試料保持装置２０を載置する台４
０の下方から通すようにすることも出来る。

次に、第８図は本考案の第二の実施例を示すも
のであり、アーム制御部材２０として編心カム４
１を用いたものであり、試料保持アーム２２の下
方への回動を受け止めて制止させた後、編心カム
４１を180゜回転することによつて試料保持アーム
２２を緩やかに下方へ回動させ、試料保持部２３
が試料２９周縁部を静かに押圧固定するようにし
たものである。

尚、以上の実施例においては、試料保持アーム
２２を作動させる機構として保持部本体２１の凹
所内に収納されたスプリング３０及び球２５を用
いて説明したが、それらに限らずアームの回動を
付勢する機構であれば良い。また、第７図に示す
ように試料保持アーム２２がピン２８によつて保
持部本体２１に軸支されているだけであつても本
考案を適用することができる。また、アーム制御
部材２４は、保持部本体２１に取付けられ、上下
動して試料保持アーム２２を静かに回動させるこ
とのできるものであればよい。

なお、上記実施においては、透過型電子顕微鏡
の対物レンズ磁極ギヤツプ間に試料を挿入保持す
るための保持装置について説明して来たが、走査
型電子顕微鏡においても分解能を向上させるため
に対物レンズ磁極間隙内に試料を挿入することが
ある。この様な場合においても本考案を有効に適
用することができる。更に、電子顕微鏡に限ら
ず、同様の機能を有する他の装置も適用すること
が可能である。

(キ) 効果 本考案は、以上のように上下動可能のアーム制
御部材を設けたから、試料保持アームは下方への
回動を受け止められると共に、アーム制御部材の
下降に伴つて静かに下方へ回動して試料を固定す
ることができる。従つて、試料保持部の衝打によ
つて試料が破損するということがなくなるから、
良好な状態で試料を観察でき、観察の精度を向上
させることができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来からの電子顕微鏡の一般的な構
造例を示す断面図、第２図及び第３図は従来の試
料保持部を示す断面図、第４図乃至第６図は本考
案の第１の実施例に係る試料保持装置を示す断面
図、第７図は上記第１実施例における試料保持装
置の載置台下部からアーム制御部材を通した状態
を示す断面図、第８図は本考案の第２の実施例を
示す断面図である。 ２０……試料保持装置、２１……保持部本体、
２２……試料保持アーム、２３……試料保持部、
２４……アーム制御部材、２６……電子通過孔、
２７……試料載置部、２９……試料。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 電子通過孔２６および該電子通過孔２６の上方
   に試料２９を載置する試料載置部２７を設けた保
   持部本体２１と、該保持部本体２１に一端が回動
   自在に軸支され、他端に試料２９の周縁部を上方
   から押圧固定する試料保持部２３を形成した試料
   保持アーム２２とからなる試料保持装置２０にお
   いて、上記保持部本体２１から上方に突出して、
   下方へ回動する試料保持アーム２２を試料２９の
   上方で受け止め制止した後該試料保持アーム２２
   を緩降下させるアーム制御部材２４を設けたこと
   を特徴とする電子顕微鏡等の試料保持装置。