JP2001001223A - 基板ホルダ支持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ゴミの発生のない基板ホルダ支持機構を提
供する。 【解決手段】 基板ホルダ４２を支持するためのホルダ
台４０は、或る方向に移動可能で、その方向の一端部と
中間部にそれぞれホルダずらし用ローラ４５とホルダ固
定用ローラ４６が取り付けられた移動体４４を載置して
おり、ホルダ固定用ローラと共に接触することにより基
板ホルダ４２を固定するための固定ローラ５８，５９，
６０が取り付けられている。カム５３の回転により移動
体４４を移動させる様に成したレバー４８を設け、カム
５３の回転に基づいてホルダ固定用ローラ４６と前記固
定ローラが基板ホルダ４２に接触して基板ホルダを固定
する状態、ホルダずらし用ローラ４５が基板ホルダ４２
に接触して基板ホルダの固定を解除できる状態、何れの
ローラも基板ホルダ４２に接触しない状態が維持出来る
ようにカム５３を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する分野】本発明は、基板がセットされたホ
ルダの支持機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】描画装置においては、例えば、ウエハの
如き基板上にＩＣパターンを描画している。又、観察，
検査，分析，測定装置等においては、ＩＣパターンが描
かれた基板（この様な基板を通常、試料と称している）
について、それぞれパターンの観察，パターン欠陥等の
検査，基板上に付着しているごみ等の分析，パターンの
測長等を行っている。

【０００３】通常、前記描画，観察，検査，分析，測定
等の処理を行う処理チャンバーの隣に、ゲートバルブを
介して予備チャンバーが設けられており、ウエハの如き
基板は予備チャンバーを介して外部（大気側）から処理
チャンバーへ入れたり、処理チャンバーから外部へ出し
たりしている。

【０００４】尚、前記予備チャンバーにおいては基板の
一次アライメントが行われており、該一次アライメント
を行った基板を処理チャンバーに送って、そこで精密な
アライメントを行った後、所定の処理を行うようにして
いる。

【０００５】図１はこの様な装置の一例を示したもの
で、１は処理チャンバーの一例で、走査電子顕微鏡の試
料室である。該試料室内部にはＸ方向及びＹ方向に移動
可能なステージ２が設けられており、該ステージ２上に
ウエハ３が載置される。

【０００６】該試料室には隣接して予備チャンバー４が
設けられており、該試料室１と予備チャンバー４との間
にはゲートバルブ５が設けられており、両室は独立に真
空排気されるように構成されている。

【０００７】該予備チャンバー４内には、ウエハ３をホ
ールドするためのホルダ台６、ウエハ３を載せるテーブ
ル７、該テーブルを上下移動及び回転させるための駆動
軸８，アーム付きウエハ搬送機構９が備えられている。
尚、ホルダ台６にはテーブル７を通過させるための孔が
開けられている。又、該予備チャンバーと外部（大気
側）との間にはゲートバルブ１０が設けられている。

【０００８】１１は複数のウエハを貯蔵したキャリア
で、テーブル１２の上に載置されている。１３は該テー
ブルを上下移動させるための駆動軸である。１４はアー
ム付きウエハ搬送機構である。

【０００９】この様な装置において、ゲードバルブ５を
閉じ、ゲートバルブ１０を開けた状態で、キャリア１１
に貯蔵されたウエハを予備チャンバー４内に運ぶ。その
時、予備チャンバー４内においてはテーブル７が駆動軸
８によりホルダ台６の上面より所定の距離だけ上方に移
動されており、この状態でテーブル１２の上下動により
取り出すべきウエハの棚をウエハ搬送位置に持って来
て、ウエハ搬送機構１４のアーム（図示せず）にキャリ
ア１１内のウエハを載せ、予備チャンバー４内のテーブ
ル７上に載せる。そして、ウエハ搬送機構１４を外部に
移動させた後にゲートバルブ１０を閉じ、駆動軸８によ
りテーブル７を適宜回転させ、ウエハ３をアライメント
し（この様なアライメントは従来から行われているので
特に説明しない）、該アライメント後に駆動軸８により
テーブル７を下降させ、ウエハ３をホルダ台６にホール
ドさせる。そして、ゲートバルブ５を開け、予備チャン
バー４内において、ホルダ台６上でのウエハ３の固定状
態を解除した後、駆動軸８によりテーブル７をホルダ台
６の上面より所定の距離だけ上方に移動させ、ウエハ搬
送機構９のアーム（図示せず）にテーブル７上のウエハ
３を載せ、試料室１のステージ２上に載せる。そして、
ウエハ搬送機構９を予備チャンバー４内に戻してからゲ
ートバルブ５を閉じる。そして、試料室１内においてス
テージ２上のウエハの位置の微調整が行われた後、ステ
ージ２の移動によって観察すべきウエハ３内の領域が走
査電子顕微鏡の光軸位置に移動させられ、該領域の観察
が実行される。

【００１０】試料室１からウエハを予備チャンバー４に
取り出す時は、ゲートバルブ５を開け、ウエハ搬送機構
９のアーム（図示せず）に試料室１内のステージ２に載
置された検査済みウエハを載せ、予備チャンバー４内で
ホルダ台６上面より上に来ているテーブル７に載せ、ゲ
ードバルブ５を閉じる。そして、該テーブルを下降させ
て一旦ウエハ３をホルダ台６に固定する。そして、ゲー
トバルブ１０を開け、ホルダ台６の固定を解除した後、
駆動軸８によりテーブル７をホルダ台６の上面より所定
の距離だけ上昇させ、この状態でウエハ搬送機構１４の
アーム（図示せず）にテーブル７上のウエハを載せ、外
部に運び出し、テーブル１２の上下動によりウエハ搬送
位置に来たキャリア１１の所定の棚に戻す。

【００１１】さて、最近、サイズの大きいウエハが作ら
れるようになり、同一の走査電子顕微鏡で、いろいろな
サイズのウエハが取り扱いできることが望まれている。
しかし、現状のホルダ台では特定のサイズのウエハしか
取り扱えない構造になっており、いろいろなサイズのウ
エハを取り扱えるようにするには、ホルダ台の構造を大
幅に変える必要がある。

【００１２】そこで、最近、どんなサイズのウエハでも
固定出来るように成した共通ホルダをホルダ台の上にセ
ットした基板ホルダ支持機構が提案されている。

【００１３】図２は共通ホルダをホルダ台に固定した状
態の基板ホルダ支持機構を真横から見た図、図３は図２
のＡ−Ａ断面図である。図中前記図１にて使用した番号
と同一番号が付されたものは同一構成要素である。図中
２０は、中心部に大テーブル７ａが通過可能な孔２１を
有し、それぞれ外径の異なった２段の円筒部２０Ａ，２
０Ｂから成るホルダ台で、外径の大きい円筒部２０Ａの
周辺部で中心Ｏに対して対称な位置２カ所には切り欠き
部２２，２３が設けられている。

【００１４】前記円筒部２０Ａの下面には、前記２つの
切り欠き部２２と２３を結ぶラインＬ上に沿って移動可
能な可動板２５が取り付けられている。該可動板２５の
前記ラインＬ上に沿った２か所にそれぞれ長穴２６，２
７が開けられており、各長穴２６，２７を介して可動板
２５が円筒部２０Ａの下面にねじで移動可能に止められ
ている。更に、前記長穴２７の近傍の前記ラインＬ上に
沿ってバネの如き弾性体２８の一方が該可動板２５に、
他方が前記円筒部２０Ａの下面に取り付けられている。
従って、可動板２５は常に、図の右側方向に引っ張られ
ていることになる。

【００１５】前記可動板２５の一方の端部には前記切り
欠き部２２の中で移動可能な押し戻しピン２９が取り付
けられており、他方の端部には前記切り欠き部２３の中
で移動可能な可動ピン３０が取り付けられている。

【００１６】前記ホルダ台２０の上面周囲には、ウエハ
を固定するための３個の固定ピン３１，３２，３３が取
り付けられている。該固定ピンの内、固定時、３１，３
２は共通ホルダ１５のフラット部３４に接触し、３３は
フラット部３４以外の部分に接触するように取り付けら
れている。

【００１７】尚３５は前記可動板２５の突起部３６を前
記ラインＬに沿って押すための押し棒である。又、この
例では、テーブルと駆動軸が２重構造になっており、大
テーブル７ａの内部に小テーブル７ｂが、大テーブル駆
動用の外駆動軸８ａの内部に小テーブル駆動用の内駆動
軸８ｂが配置されている。又、共通ホルダ１５にも、小
テーブル７ｂが通過可能な孔２１´が中心部に設けられ
ているこの様な基板ホルダ支持機構を前記図１のウエハ
支持機構に代えて設置した場合、次の様に動作する。ゲ
ートバルブ１０を開けた状態で、キャリア１１に貯蔵さ
れたウエハを予備チャンバー内に運ぶ。その時、予備チ
ャンバー４内においては小テーブル７ｂが駆動軸８ｂに
より共通ホルダー１５の上面より所定の距離だけ上方に
移動されており、この状態でテーブル１２の上下動によ
り取り出すべきウエハの棚をウエハ搬送位置に持って来
て、ウエハ搬送機構１４のアーム（図示せず）にキャリ
ア１１内のウエハを載せ、予備チャンバー４内の小テー
ブル７ｂ上に載せる。そして、ウエハ搬送機構１４を外
部に移動させた後にゲートバルブ１０を閉じ、駆動軸８
により小テーブル７ｂを適宜回転させ、ウエハ３をアラ
イメントし、該アライメント後に駆動軸８ｂにより小テ
ーブル７ｂを下降させ、ウエハ３を共通ホルダー１５に
固定させる。尚、この際、予め、共通ホルダー１５はア
ライメントされてホルダー台２０に固定されている。そ
して、ゲートバルブ５を開け、予備室４内において、ホ
ルダ台２０上での共通ホルダー１５の固定状態を次の様
にして解除する。

【００１８】押し棒３５により可動板２５の突起部３６
をラインＬに沿って図の左方向に押す。すると、可動板
２５がラインＬに沿って図の左方向に移動し、図４に示
す様に、押し戻しピン２９が共通ホルダ１５の周辺部に
接触する位置に来て、他の可動ピン３０や固定ピン３
１，３２，３３は共通ホルダ１５の周辺部に接触しない
位置に来る。

【００１９】この様に解除した後、外駆動軸８ａにより
大テーブル７ａをホルダ台２０の上面より所定の距離だ
け上方に移動させ、ウエハ搬送機構９のアーム（図示せ
ず）に大テーブル７ａ上の共通ホルダ１５を載せ、試料
室１のステージ２上に載せる。そして、ウエハ搬送機構
９を予備チャンバー４内に戻してからゲートバルブ５を
閉じる。そして、試料室１内においてステージ２上の共
通ホルダー１５の位置の微調整が行われた後、ステージ
２の移動によって観察すべきウエハ３内の領域が走査電
子顕微鏡の光軸位置に移動させられ、該領域の観察が実
行される。試料室１からウエハをキャリア１１に戻す時
には、ゲートバルブ５を開け、ウエハ搬送機構９のアー
ム（図示せず）に試料室１内のステージ２に載置された
共通ホルダ１５を載せ、予備チャンバー４内でホルダ台
２０上面より上に来ている大テーブル７ａに載せ、ゲー
ドバルブ５を閉じる。そして、該大テーブル７ａを下降
させて一旦共通ホルダー１５をホルダ台２０に次の様に
して固定する。

【００２０】押し棒３５をラインＬに沿って図の右方向
に移動させると、可動板２５がラインＬに沿って図の右
方向に移動し、図２，３に示す様に、共通ホルダ１５は
押し戻しピン２９から離れ、その周辺部に他の可動ピン
３０や固定ピン３１，３２，３３が接触し、この結果、
共通ホルダ１５はホルダ台２０に固定されることにな
る。

【００２１】次に、ゲートバルブ１０を開け、ウエハ３
の固定を解除した後、内駆動軸８ｂにより小テーブル７
ｂを共通ホルダ１５の上面より所定の距離だけ上昇さ
せ、この状態でウエハ搬送機構１４のアーム（図示せ
ず）に小テーブル７ｂ上のウエハを載せ、外部に運び出
し、テーブル１２の上下動によりウエハ搬送位置に来た
キャリア１１の所定の棚に戻す。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】さて、この様なウエハ
ホルダ支持機構において、大テーブル７ａに載置された
共通ホルダ１５をホルダ台２０上に載せる場合、及び、
ホルダ台２０に固定されている共通ホルダ１５を大テー
ブル７ａに載せる場合、何れの場合も図４に示す状態
（押し戻しピン２９が共通ホルダ１５の周辺部に接触す
る位置に来て、他の可動ピン３０や固定ピン３１，３
２，３３は共通ホルダ１５の周辺部に接触しない位置に
来る状態）にして行っている。しかし、大テーブル７ａ
の上昇及び下降時に極く僅かな揺れがある場合が多々あ
る。その場合、共通ホルダ１５が押し戻しピン２９に強
く触れ、ゴミが発生し、共通ウエハにホールドされてい
るウエハの上に載ってしまうことがある。その為に、試
料室１内でのウエハ上のパターン検査などに支障を来す
ことになる。

【００２３】又、前記押し出しピン２９は図２に示す様
に、円錐台状の形状をしている為に、大テーブル７ａに
極く僅かな揺れが入っても、後者の場合には前者に比べ
て比較的共通ホルダ１５が押し戻しピン２９からスムー
ズに離れるが、前者の場合には、共通ホルダ１５が押し
戻しピン２９に強く触れるためにゴミが発生する。

【００２４】本発明は、この様な問題を解決するもの
で、新規な基板ホルダ支持機構を提供するものである。

【００２５】

【課題を解決するための手段】 本発明の基板ホルダ支
持機構は、或る方向に移動可能で、その方向の一端部と
中間部にそれぞれホルダずらし用ローラとホルダ固定用
ローラが取り付けられた移動体を載置しており、前記ホ
ルダ固定用ローラと共に接触することにより基板ホルダ
を固定するための１つ以上の固定ローラが取り付けられ
ているホルダ台を有する基板ホルダ支持機構であって、
前記ホルダずらし用ローラにより前記基板ホルダの固定
を解除できるように成し、且つ、前記ホルダ台上で前記
何れのローラも前記基板ホルダに接触しない状態を維持
出来るように成したことを特徴としている。

【００２６】又、本発明の基板ホルダ支持機構は、或る
方向に移動可能で、その方向の一端部と中間部にそれぞ
れホルダずらし用ローラとホルダ固定用ローラが取り付
けられた移動体を載置しており、前記ホルダ固定用ロー
ラと共に接触することにより基板ホルダを固定するため
の１つ以上の固定ローラが取り付けられているホルダ台
を有する基板ホルダ支持機構であって、カムの回転によ
り固定軸を回転中心として回転することにより前記移動
体を移動させる様に成したレバーを設け、カムの回転に
基づいて少なくとも前記ホルダ固定用ローラと１つ以上
の固定ローラが前記基板ホルダに接触して該基板ホルダ
を固定する状態、前記ホルダずらし用ローラが前記基板
ホルダに接触して該基板ホルダの固定を解除できる状
態、及び、前記何れのローラも前記基板ホルダに接触し
ない状態が維持出来るように前記カムを形成したことを
特徴としている。

【００２７】又、本発明の基板ホルダ支持機構は、基板
ホルダの一部に前記ホルダずらし用ローラが挿入可能な
穴を開け、前記基板ホルダをホルダ台に載せた時にその
穴の中に前記ホルダずらし用ローラが入るように成した
ことを特徴としている。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。

【００２９】図５及び図６は本発明の基板ホルダ支持機
構の一例を示したもので、図５は基板ホルダをホルダ台
に固定した状態の基板ホルダ支持機構を真横から見た
図、図６は図５のＢ−Ｂ断面図である。図中前記図２，
３及び４にて使用した記号と同一記号の付されたものは
同一構成要素である。図中４０は中心部に大テーブル７
ａが通過可能な孔４１を有するホルダ台、４２は中心部
に小テーブル７ｂが通過可能な孔４１´を有する共通ホ
ルダである。該共通ホルダ４２は、それぞれ外径の異な
った２段の円筒部４２Ａ，４２Ｂから成り、外径の大き
い円筒部４２Ａの上に種々のサイズのウエハがホールド
可能に構成されている。外径の小さい円筒部４２Ｂに穴
４３が設けられておりいる。この穴４３の開放部に対向
する前記ホルダ台４０の上面には移動体４４が該ホルダ
台上面で移動可能に載置されている。その移動体４４の
一端部の上面にはホルダずらし用ローラ４５が前記穴４
３内で移動体４４の移動に伴って動ける様に取り付けら
れている。又、移動体４４のほぼ中央部上面にはホルダ
固定用ローラ４６が取り付けられている。又、移動体４
４の他方の端部には長穴４７が開けられており、その長
穴にレバー４８の一端に取り付けられたピン４９がその
長穴内で移動可能に挿入されている。該レバー４８は軸
５０を介して予備チャンバー（図１の４）の下壁５１に
取り付けられている。このレバー４８の他端部には引っ
張り用バネ５２の一端が接続されており、該引っ張り用
バネの他端は他のベース体に固定されている。例えば、
前記予備チャンバーの下壁５１に垂直に取り付けられた
棒体（図示せず）に固定されている。又、レバー４８の
軸５０の取り付け部と引っ張り用バネ５２の取り付け部
の中間部には、カム５３の回転に基づくカムの押圧力を
直接受けるカムフォロア５４が取り付けられている。前
記カム５３は軸５５を介して予備チャンバー（図１の
４）の下壁５１に取り付けられている。尚、ホルダ台４
０の中心と共通ホルダ４２の中心が重なった時に、共通
ホルダ４２の周辺部とフラット部にそれぞれ接触する固
定ローラ５８，５９，６０がホルダ台４０の上面に取り
付けられている。

【００３０】この様な構成の基板ホルダ支持機構を前記
図１のウエハ支持機構に代えて設置した場合、次の様に
動作する。ゲートバルブ１０を開けた状態で、キャリア
１１に貯蔵されたウエハを予備チャンバー４内に運ぶ。
その時、予備チャンバー４内においては小テーブル７ｂ
が駆動軸８ｂにより共通ホルダ４２の上面より所定の距
離だけ上方に移動されており、この状態でテーブル１２
の上下動により取り出すべきウエハの棚をウエハ搬送位
置に持って来て、ウエハ搬送機構１４のアーム（図示せ
ず）にキャリア１１内のウエハを載せ、予備チャンバー
４内の小テーブル７ｂ上に載せる。そして、ウエハ搬送
機構１４を外部に移動させた後にゲートバルブ１０を閉
じ、駆動軸８ｂにより小テーブル７ｂを適宜回転させ、
ウエハ３をアライメントし、該アライメント後に駆動軸
８ｂにより小テーブル７ｂを下降させ、ウエハ３を共通
ホルダ４２に固定させる。尚、この際、予め、共通ホル
ダ４２はアライメントされてホルダ台４０に図５，図６
に示す様に固定されている。そして、ゲートバルブ５を
開け、予備チャンバー４内において、ホルダ台４０上で
の共通ホルダ４２の固定状態を次の様にして解除する。

【００３１】例えば、エアシリンダ（図示せず）により
軸５５を回転させ、該軸に固定されているカム５３を反
時計方向（矢印５６）に回転させる。該カムが回転する
と、カムフォロア５４は図９に示す如く変位する様にカ
ム５３の形状が加工されている。従って、共通ホルダ４
２がホルダ台４０に固定されている時のカム５３の回転
角を０度とすると、カムが反時計方向に回転し、回転角
θが増していくと、対応してカムフォロア５４も反引っ
張り方向（引っ張り用バネ５２の引っ張り方向の反対方
向）への変位を増して行き、軸５０に関してカムフォロ
ア５４側と反対側のレバー部分が軸５０を中心に大略時
計方向（矢印５７）に移動する。該移動により、レバー
４８に固定されたピン４９によって移動体４４が大略矢
印５７方向に移動する。この移動体４４の移動により、
該移動体に取り付けられ、共通ホルダ４２の穴４３に挿
入されているホルダずらし用ローラ４５も同様に移動す
るので、該ローラが穴４３の内壁に直ぐに接触して共通
ホルダ４２を大略矢印５７方向に移動させる。従って、
最初周辺に接触していた固定ローラ５８，５９，６０及
び移動体４４に取り付けられたホルダ固定用ローラ４６
から共通ホルダ４２が離れていく。図７はカム５３の回
転角がθａに達して、カムフォロア５４が最も大きく変
位したときのホルダ台４０に対する共通ホルダ４２の位
置状態を示している。更に、カム５３を回転させると、
図９に示す様にカムフォロア５４が引っ張り方向に少し
戻る。この戻り量は前記図７の状態の各ローラと共通周
辺部の隔たり量より可成り小さい。この戻りにより、該
戻り量に対応した分、前記ホルダずらし用ローラ４５が
矢印５７と反対方向に戻る。当然のことながら、この戻
りが発生している場合、共通ホルダ４２は前記図７に示
す位置から全く移動しない。図８はこの時のホルダ台４
０に対する共通ホルダ４２の位置状態を示しており、Ｆ
がホルダずらし用ローラ４５の戻り量に対応している。
この図８の状態においても、図７に示す様に、固定ロー
ラはウエハ３の周辺部に接触しない位置にある。

【００３２】この様に解除した後、外駆動軸８ａにより
大テーブル７ａをホルダ台４０の上面より所定の距離だ
け上方に移動させ、ウエハ搬送機構９のアーム（図示せ
ず）に大テーブル７ａ上の共通ホルダ４２を載せ、試料
室１のステージ２上に載せる。そして、ウエハ搬送機構
９を予備チャンバー４内に戻してからゲートバルブ５を
閉じる。そして、試料室１内においてステージ２上の共
通ホルダ４２の位置の微調整が行われた後、ステージ２
の移動によって観察すべきウエハ３内の領域が走査電子
顕微鏡の光軸位置に移動させられ、該領域の観察が実行
される。試料室１からウエハをキャリア１１に戻す時に
は、ゲートバルブ５を開け、ウエハ搬送機構９のアーム
（図示せず）に試料室１内のステージ２に載置された共
通ホルダ４２を載せ、予備チャンバー４内でホルダ台４
０上面より上に来ている大テーブル７ａに載せ、ゲード
バルブ５を閉じる。そして、該大テーブル７ａを下降さ
せると、共通ホルダ４２の穴４３にホルダずらし用のロ
ーラ４５が入り込み、共通ホルダ４２がホルダ台４０の
上面に載せられる（図８の状態）。そして、次の様にし
て共通ホルダー４２がホルダ台４０に固定される。

【００３３】図８の状態から、エアシリンダ（図示せ
ず）により軸５５を時計方向に回転させ、該軸に固定さ
れているカム５３を時計方向（矢印５６の反対方向）に
回転させる。該カムが回転し、回転角θが減っていく
と、前記固定を解除する場合と丁度逆の動きをし、一旦
移動体４４が矢印５７方向に移動して（この時、共通ホ
ルダ４２は移動しない）ホルダずらし用ローラ４５が穴
の一方の内測壁に接触する（図７の状態）。そして、更
にカム５３を時計方向に回転させると、移動体４４が矢
印５７と逆の方向に移動し、カムの回転角θが０度に達
すると、ホルダ固定用ローラ４６，固定ローラ５８が共
通ホルダ４２の円周部に、固定ローラ５９，６０が共通
ホルダ４２のフラット部に接触し、共通ホルダ４２がホ
ルダ台４０に固定される（図５，６）。次に、ゲートバ
ルブ１０を開け、ウエハ３の固定を解除した後、内駆動
軸８ｂにより小テーブル７ｂを共通ホルダ４２の上面よ
り所定の距離だけ上昇させ、この状態でウエハ搬送機構
１４のアーム（図示せず）に小テーブル７ｂ上のウエハ
を載せ、外部に運び出し、テーブル１２の上下動により
ウエハ搬送位置に来たキャリア１１の所定の棚に戻す。

【００３４】尚、レバー４８に取り付ける弾性体として
は、バネに限定されず、弾性力の強い硬質のゴム部材で
も良い。

【００３５】又、前記例では基板としてオリフラ付きウ
エハを例に上げたが、ノッチ付きウエハ等他の基板つい
ても本発明が応用可能であることは言うまでもない。

【００３６】又、前記例では、走査電子顕微鏡によるウ
エハの検査の場合の予備室内のウエハホルダ支持機構に
ついて説明したが、荷電粒子ビーム描画装置のパターン
描画や、走査電子顕微鏡などの他の荷電粒子ビーム装置
の試料観察，試料分析，試料測定等を行う場合の予備チ
ャンバー内のウエハホルダ支持機構についても本発明が
応用可能であることは言うまでもない。

【００３７】又、前記例では、予備チャンバー内の基板
ホルダ支持機構について説明したが、このような基板ホ
ルダ支持機構は試料室内のステージにも応用可能であ
る。

【００３８】以上説明した様に、本発明は、テーブルに
載置された基板ホルダをホルダ台上に載せたり、該ホル
ダ台上に載置された基板ホルダをテーブルに載せたりす
る時に、ホルダ台上で何れのローラも基板ホルダに接触
しないように成した。その為、テーブルに載置された基
板ホルダをホルダ台上に載せる場合、及びホルダ台に固
定されている基板ホルダをテーブルに載せる場合、何れ
の場合もホルダ固定ローラに触れることはない。又、各
固定ローラは従来の様に円錐台状の形状ではなく、円柱
状なので、テーブルに僅かな揺れが入っても、前記各場
合において、基板ホルダが各固定ローラに触れることは
ない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 走査電子顕微鏡による基板を検査する装置の
概略を示している。

【図２】 従来の基板ホルダ支持機構を真横から見た図
である。

【図３】 図２のＡ−Ａ断面図を示している。

【図４】 共通ホルダをホルダ台の固定から解除した状
態の従来の基板ホルダ支持機構の断面図を示している。

【図５】 本発明の基板ホルダ支持機構の一例を示し、
特に、基板ホルダをホルダ台に固定した状態の基板ホル
ダ支持機構を真横から見た図である。

【図６】 図５のＢ−Ｂ断面図である。

【図７】 本発明の基板ホルダ支持機構の一例を示し、
特に、共通ホルダをホルダ台の固定から解除した状態を
示している。

【図８】 本発明の基板ホルダ支持機構の一例を示し、
特に、共通ホルダをホルダ台の固定から解除した状態を
示している。

【図９】 図５，図６に示す本発明の基板ホルダ支持機
構の一例におけるカムの回転角とカムフォロアの変位の
関係を示す図である。

【符号の説明】

１…試料室 ２…ステージ ３…ウエハ ４…予備チャンバー ５，１０…ゲートバルブ ６…ホルダ台 ７，１２…テーブル ８，１３…駆動軸 ９，１４…ウエハ搬送機構 １１…キャリア ７ａ…大テーブル ７ｂ…小テーブル ８ａ…外駆動軸 ８ｂ…内駆動軸 ２０…ホルダ台 ２０Ａ，２０Ｂ…円筒部 ２１，２１´…孔 ２２，２３…切り欠き部 ２５…可動板 ２６，２７…長穴 ２８…弾性体 ２９…押し戻しピン ３０…可動ピン ３１，３２，３３…固定ピン ３４…フラット部 ３５…押し棒 ３６…突起部 ４０…ホルダ台 ４１，４１´…孔 ４２…共通ホルダ ４３…穴 ４４…移動体 ４５…ホルダずらし用ローラ ４６…ホルダ固定用ローラ ４７…長穴 ４８…レバー ４９…ピン ５０…軸 ５１…下壁 ５２…引っ張り用バネ ５３…カム ５４…カムフォロア ５５…軸 ５８，５９，６０…固定ローラ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 或る方向に移動可能で、その方向の一端
   部と中間部にそれぞれホルダずらし用ローラとホルダ固
   定用ローラが取り付けられた移動体を載置しており、前
   記ホルダ固定用ローラと共に接触することにより基板ホ
   ルダを固定するための１つ以上の固定ローラが取り付け
   られているホルダ台を有する基板ホルダ支持機構であっ
   て、前記ホルダずらし用ローラにより前記基板ホルダの
   固定を解除できるように成し、且つ、前記ホルダ台上で
   前記何れのローラも前記基板ホルダに接触しない状態を
   維持出来るように成した基板ホルダ支持機構。
2. 【請求項２】 或る方向に移動可能で、その方向の一端
   部と中間部にそれぞれホルダずらし用ローラとホルダ固
   定用ローラが取り付けられた移動体を載置しており、前
   記ホルダ固定用ローラと共に接触することにより基板ホ
   ルダを固定するための１つ以上の固定ローラが取り付け
   られているホルダ台を有する基板ホルダ支持機構であっ
   て、カムの回転により固定軸を回転中心として回転する
   ことにより前記移動体を移動させる様に成したレバーを
   設け、カムの回転に基づいて少なくとも前記ホルダ固定
   用ローラと１つ以上の固定ローラが前記基板ホルダに接
   触して該基板ホルダを固定する状態、前記ホルダずらし
   用ローラが前記基板ホルダに接触して該基板ホルダの固
   定を解除できる状態、及び、前記何れのローラも前記基
   板ホルダに接触しない状態が維持出来るように前記カム
   を形成した基板ホルダ支持機構。
3. 【請求項３】 前記基板ホルダの一部に前記ホルダずら
   し用ローラが挿入可能な穴を開け、前記基板ホルダをホ
   ルダ台に載せた時にその穴の中に前記ホルダずらし用ロ
   ーラが入るように成した請求項１〜３記載の基板ホルダ
   支持機構。