JPH0232251A - 超音波顕微鏡装置のフォーカシング機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は超音波顕微鏡、特に超音波伝達媒体として液体
窒素、液体アルゴン、液体ヘリウムのような低温液体を
用いる超音波装置に用いられるフォーカシング機構に関
するものである。

［従来の技術］ 従来、観察されるべき試料を超音波ビームで２次元的に
走査し、試料からの反射波を受波して試料の超音波像を
作成する超音波顕微鏡装置が実用化されている。この装
置では集束された超音波ビームを用いるため、超音波ビ
ームの集束手段、例えば音響レンズと試料表面又は内部
との間隔を焦点深度内に調整するいわゆるフォーカシン
グを行う必要がある。

本出願人による特願昭６３−４３４５８号にはフォーカ
シング方式の一例が述べられている。第６図を用いてそ
のフォーカシング方式を説明する。

一般には音響レンズと試料間に水が伝達媒体として満た
されているが、この装置は液体窒素、液体アルゴン、液
体ヘリウム等の低温液体を伝違媒体として用いており高
い分解能を得ることができる。

第６図は線図的断面図であり、防振台１に断熱容器２を
密封装着し、この断熱容器２内に超音波伝達媒体である
液体チッソ３を収容する。

この断熱容器２の上部は開口し、この開口部と対応する
防振台１の部分も開口させる。断熱容器２は二重真空構
造とされ、この真空槽内に環状槽４を設け、この環状槽
４内に液体チッソを封入して外部からの温度上昇作用を
防止する。

断熱容器２の側部壁にのぞき窓５ａ、５ｂ及び５Ｃを設
け、これらのぞき窓を介して音響レンズと試料との間の
間隔を外部から確認できるようにする。防振台１の上部
にＯリングを介してベースフランジ６を密封装着する。

このベースフランジ６のほぼ中央部に開口を設けると共
に４本のステー７を取り付ける（図面を明瞭にするため
２本のステー７ａ及び７ｂだけを図示する）。これらス
テーの下端にスキャナ支持台８を装着し、このスキャナ
支持台８にｘｙスキャナ９を装着し、このｘｙスキャナ
９に音響レンズ１０を装着する。従って、音響レンズ１
０はｘｙスキャナ９により紙面と直交するｘｙ平面内に
おいて２次元的に駆動されることになる。音響レンズ１
０の上方にＺ方向に延在するサンプルロッド１１を配置
し、このサンプルロッド１１の下端に試料台１２を取り
付け、この試料台１２に観察すべき試料１３を装着する
。音響レンズ１０から発射した超音波ビームは伝達媒体
である液体チッソ３を経て試料１３に到達し、従って試
料１３は超音波ビームによって２次元的に走査されるこ
とになる。試料１３からの反射波は音響レンズ１３によ
って集められ、圧電トランスジユーサにより電気信号に
変換されサーキュレータ及び信号処理回路を経て画像信
号に変換される。サンプルロッド１１はステンレス製の
中空パイプで構成する。これら音響レンズ及びｘｙスキ
ャナ用のリード線は、断熱容器２の側壁部又はベースフ
ランジ６に形成した孔及びシール装着を介して外部まで
延在させて外部回路に接続するものとする。尚、サンプ
ルロッド１１をステー７と熱膨張率がほぼ同一の材料で
構成すれば、液体チッソの液面が変化しても音響レンズ
１０に対する試料１３のＺ方向の変位の発生を防止する
ことができる。

尚、断熱容器２の開口部付近に環状の断熱部材１４を配
置して開口部側における断熱効果を達成する。ベースフ
ランジ６の上側にＯリングを介してゲートバルブ１５を
取り付け、バルブを開閉することによって試料を交換す
るときに断熱容器２の内部を密閉する。尚、このゲート
バルブ１５は種々の型式のものを用いることができ、こ
こではその詳細な説明は省略する。このゲートバルブ１
５の上側にＯリングを介してフランジ１６を装着し、こ
のフランジ１６の上側にＯリングを介してＺ方向調整機
構１７のベース１７ａを同軸的に装着する。このＺ方向
調整機構１７は、後述するサンプルロッドを支持するス
ライドシールを介してサンプルロッド１１をＺ方向に移
動して焦点調整を行うものであり、マイクロメータ１７
ｂを侵しこのマイクロメータ１７ｂを回動させることに
より図示しない連結機構を介して可動テーブル１７ｃを
Ｚ方向に自在に移動させる。このＺ方向調整機構１７は
種々の型式のものを用いることができ、ここでは詳細な
説明は省略する。Ｚ方向調整機構１７のベース１７ａに
スリーブ１８及びベローズ１９を同軸状に装着する。こ
のベローズ１９は、Ｚ方向並びにこのＺ方向と直交する
Ｘ及びＹ方向に変形可能な中空密閉部材として機能する
。更にベローズ１つの上側にスライドシールを構成する
と共にサンプルロッド１１を保持スるための保持用スリ
ーブ２０を装着する。この保持用スリーブ２０は長手方
向の中央部に形成されサンプルロッド１１の外径よりも
若干大きい径のリング部２０ａ１　リング部２０ａの上
方及び下方にそれぞれ形成されサンプルロッド１１の外
径よりも大きい径の上側スリーブ部２０ｂ及び下側スリ
ーブ２０ｃを有し、上側スリーブ分２０ｂとサンプルロ
ッド１１との間の環状空間内に第１のＯリング２１、第
１スＩＪ　−フ２２、第２のＯリング２３及び第２スリ
ーブ２４を順次嵌合装着する。更に上側スリーブ部２０
ｂの外周側にエンドキャップ２５を螺合し、このエンド
キャップ２５を締め付けることにより第１及び第２のＯ
リング２１及び２３を介してサンプルロッド１１の端部
を密閉状で支持する。

従って、これら部材によりスライドシール２６が構成さ
れると共にサンプルロッド１１を保持することになる。

このスライドシール２６は、エンドキャップ２５の締め
付は量に応じて３種類の動作状態を選択的にとることが
できる。すなわち第１にエンドキャップ２５を完全にゆ
るめた場合であって、サンプルロッドをスライドシール
に対して相対移動させてサンプルロッドを挿脱し得る動
作状態。第２にエンドキャップ２５をゆるく締め付け、
気密に維持しながらサンプルロッドをＺ方向に移動し得
る動作状態。

第３にエンドキャップを完全に締め付はスライドシール
とサンプルロッドとが一体に移動する動作状態をとるこ
とができる。サンプルロッド１１の周囲にゲートバルブ
１５、スライドシール２６、ベローズ１９等の中空部材
によってＸ方向、Ｘ方向及びＺ方向に変形可能な密封空
間を画成することになる。尚、以後の説明において、こ
の空間をトップローディング空間と称することにする。

更に、保持用スリーブ２０の上側スリーブ部２０ｃにボ
ンピングライン２７を接続し、このポンピングラインを
介してトップローディング空間の真空排気又は特定ガス
の充填を行なう。一方、Ｚ方向調整機構１７の可動テー
ブル１７ｃ上にＸ方向移動機構及びＸ方向移動機構を配
置する。これらＸ方向移動機構及びＸ方向移動機構はサ
ンプルロッド１１をＸ方向及びＸ方向にそれぞれ平行移
動させる作用を達成する。これらＸ方向移動機構及びＸ
方向移動機構は共に同一構造をしており、図面を明瞭な
ものとするためＸ方向移動機構２８だけを図示する。Ｘ
方向移動機構２８はマイクロメータ２８ａを有し、この
マイクロメータ２８ａを回動することにより図示しない
スピンドルを介してＸ方向移動テーブル２８ｂをＸ方向
に摺動させる。また、Ｘ方向移動機構用のマイクロメー
タはＸ方向移動機構２８のマイクロメータ２８ａと直交
する方向（紙面に直交する方向）に位置し、このマイク
ロメータを回動することによりＸ方向移動テーブル２８
ｂ上に摺動自在に装着されているＸ方向移動テーブル２
９をＸ方向に移動させる。これらＸ方向移動機構及びＸ
方向移動機構を操作することによって密閉状態でサンプ
ルロッド１１がＸ方向及びＸ方向にそれぞれ平行移動し
、従ってサンプルロッド１１の先端に装着されている試
料１３が音響レンズ１０に対してＸ及びＸ方向に平行移
動し、この移動範囲において試料の所望の部位を視野内
に位置合わせすることができる。これらＸ方向移動機構
及びＸ方向移動機構の移動範囲は、１ｍｍ程度に設定す
れば、試料の所望の部位を視野内に十分位置合わせする
ことができる。このように構成すれば、断熱容器及びト
ップローディング空間の気密状態を破ることなく所望の
観察視野を選択することができる。Ｘ方向移動テーブル
２９上に球面ゴニオから成るＸＹ傾き調整機構３０を配
置し、サンプルロッド１１のＸ方向及びＸ方向の傾き調
整を行う。このＸＹ傾き調整機構３０は凹形球面部材に
凸形球面部材を嵌合し、マイクロメータ３０ａ及びマイ
クロメータ３０ｂを操作することによってサンプルロッ
ドのＸ及びＸ方向の傾き調整を行う。尚、この球面ゴニ
オから成る傾き調整機構は既知であるため詳細な説明は
省略する。さらに、エンドキャップ２５に２本のネジ３
１ａ及び３１ｂを介してブラケット３２を連結する。こ
のブラケット３２に差動マイクロメータ３３を装着し、
この差動マイクロメータ３３のスピンドル３４を連結ネ
ジ３５によりサンプルロッド１１の端部に連結する。こ
の差動マイクロメータ３３はサンプルロッド１１のＺ方
向に対する超微動移動装置としての機能を達成する。す
なわち、スライドシール２６のエンドキャップ２５を気
密が破られない程度にゆるめた状態で、差動マイクロメ
ータ３３を操作することによりす・ンブルロッドのＺ方
向の微調整を行なう。このように構成することにより、
極めて高精度に焦点調整を行なうことができ、−層鮮明
な超音波画像を得ることができる。さらに、本例ではベ
ースフランジ６にチューブ３６の一端を連結する。この
チューブ３６は、後述するように断熱容器内の液体チッ
ソ３と接する空間の内圧を一定の圧力に維持するための
ものであり、検鏡中にチューブ３６を介して上記空間内
のチッソガスを外部に排気する。

次に試料交換の操作について説明する。試料観察が終了
した後、連結ネジ３５をゆるめ差動マイクロメータ３３
のスピンドル３４とサンプルロッドとの間の連結を解除
してからスライドシール２６のエンドキャップ２５を気
密状態を破らない程度にゆるめ、サンプルロッド１１を
試料台１２がゲートバルブ１５の上方に位置するまで引
き出す。次にゲートバルブ１５を閉じ断熱容器２及びト
ップローディング空間をそれぞれ気密状態にする。この
状態でポンピングライン２７を介してトップローディン
グ空間を排気し真空状態としてサンプルロッド１１及び
試料１３が室温になるまで待つ。この場合ポンピングラ
インから高温又は室温の乾燥空気やチッソガスを送り込
んでサンプルロッド等の温度を短詩間で室温まで上げる
こともできる。サンプルロッド等の温度が室温まで上昇
してからスライドシール２６を開放してサンプルロッド
及び試料を外部に取り出す。このようにすれば、サンプ
ルロッド及び試料に外気中の水分が付着することがない
。次に、試料が交換されたサンプルロッドをスライドシ
ール２６を経てトップローディング空間に挿入する。次
にスライドシール２６を閉じてトップローディング空間
を排気し真空状態とする。これによりサンプルロッド及
び試料が乾燥される。次にゲートバルブ１５を開くと共
に気密状態が破られないようにスライドシール２６をゆ
るめサンプルロッドヲ図示の状態まで挿入する。このよ
うに構成すれば、トップローディング空間は排気されて
いるので水分を含む空気が断熱容器内に入ることが防止
され、水分付着による悪影響を防止することができる。

尚、試料を所定の観察位置に配置するに際しのぞき窓５
ａ〜５ｃを介して音響レンズに対する試料の位置を確認
することができるので試料配置作業が容易になる。更に
、試料観察に当ってＺ方向調整機構１７及びサンプルロ
ッドの端部に連結した差動マイクロ機構３３を操作して
焦点調整を行い、更にｘｙ傾き調整機構３０を操作して
試料の傾き調整を行うと共に、Ｘ方向移動機構及びＹ方
向移動機構を操作することによって試料の所望の観察部
位を選定することができる。

［発明が解決しようとする課題］ 従来のフォーカシング方式では試料側すなわち、サンプ
ルロッドを変位して粗調及び微調動作を行うようにして
いたため、次に述べる問題が生じていた。

■サンプルロッドは試料交換毎に出し入れされるため、
サンプルロッドはフォーカシング機構からいちいち取り
外す必要がある。しかも、試料交換はひんばんに行われ
るから容易に取り外せなければならない。従って、フォ
ーカシング機構に対して、ロッドの着脱機構しかも容易
に着脱できる機構を設けなければならないので構成が複
雑化する。

■サンプルロッドは、その上端部付近で支持されている
が、この支持部には真空をシールするためにＯ−リング
が嵌合している。０−リングがあるために、サンプルロ
ッドは機械的に確実な安定した固定状態にはなっていな
いことになる。従って、不安定なサンプルロッドをフォ
ーカシング方向に変位させて確実な位置決めを行わせる
のは容易には成し遂げることができない。

そこで、本発明は以上の問題点を解決して単純な構成で
確実に動作する超音波顕微鏡のフォーカシング機構を提
供することを目的とする。

［課題を解決するための手段および作用］本発明は少な
くとも音響レンズをフォーカシング方向、すなわち音響
レンズと試料との間隔を変化させる方向に移動させる手
段を設けたものである。

［実施例］ 第１図は本発明の第１実施例を現わしており、音響レン
ズの周辺部のみを示している。スキャナ支持台８は底部
が閉塞された円筒状の部分と円筒部分の上端に外接する
円板状のフランジ部とからなる。円筒部分の内部には、
底面より上方に向って突設された細長い円筒形のスプリ
ング９１が設けられている。スプリング９１の先端には
レンズ支持台９２が固定され、支持台９２の上面の中心
部には音響レンズ１０がスプリング９１と同軸に装着さ
れている。一方、支持台９２の上面の外周側にはスプリ
ング９１と音響レンズ１０の軸に対して対称な位置にＸ
−ドライブコイル９３及びＸ−センスコイル９４が設け
られている。また、コイル９３．９４を各々上下から挾
むようにマグネット９５．９７及びヨーク９６．９８が
スキャナ支持台８上に取り付けられている。そして、Ｘ
−ドライブコイル９３に駆動信号を加えることによりレ
ンズ１０はＸ方向へ走査される。Ｘ−センスコイル９４
は、レンズ１０のＸ方向の速度信号を得るもので、検出
出力をＸ−ドライブコイル９３のドライバの入力にフィ
ードバックすることにより走査の安定化を計っている。

同様の走査機構が紙面と垂直な方向（Ｙ方向）に設けら
れており、Ｙ方向への走査を可能にしている。音響レン
ズ１０とレンズ支持台９２の間にはＺ方向圧電体アクチ
ュエータ１００が取り付けられておりフォーカシング方
向への音響レンズ１０の移動を可能にしている。これに
対し、サンプルロッドの構成はＺ方向の調整機構を全く
持たないものが考えられる。この場合は、Ｚ方向圧電体
アクチュエータ１００のみでフォーカシングを行うよう
にする。あるいは、第６図におけるＺ方向調整機構１７
は持っているが、マイクロ差動メータ３３、スピンドル
３４、連結ネジ３５を除いた構成であっても良い。この
場合は、粗調整をサンプルロッドの移動で行い、微調整
をＺ方向圧電体アクチュエータ１００で行う。超音波顕
微鏡の他の部分の構成は、第６図に示すものであって良
い。

次に第２図により第２実施例を説明する。第２実施例で
はＸ−Ｙスキャナー９を支持するスキャナー支持台８と
ステー７ａ、７ｂの間にＺ方向圧電体アクチュエータ１
０１ａ、１０１ｂを取り付けている。アクチュエータ１
０１ａ。

１０１ｂを駆動することにより、Ｘ−Ｙスキャナー９全
体が上下し、音響レンズ１０と試料１３との距離を調節
する。この場合も、第１実施例と同じ（サンプルロッド
１１はＺ方向調整機構１７のみで粗調整のみを行っても
良いし、あるいは全（Ｚ方向には調整しない様にしても
良い。なお、図示していないが、紙面と垂直な方向にも
一対のステーとＺ方向圧電体アクチュエータが設けられ
ている。

第３図（ａ）、（ｂ）は第３実施例である。

第３図（ｂ）はＺ方向調整機構の詳細を拡大して示して
いる。この実施例は第２実施例と同じ＜Ｘ−Ｙスキャナ
ー９全体を上下させる機構になっている。Ｘ−Ｙスキャ
ナー９を保持するスキャナ支持台８は４本のステー７ａ
〜７ｄ（紙面と垂直方向のステーは図示していない）に
より吊り下げられている。ステー７ａの上端は真空シー
ルを保ちながらベースフランジ６の上まで延びており、
マイクロメータヘッド１０２の先端に連結ネジ１０３に
より固定されている。

第３図（ｂ）に示すようにマイクロメータヘッド１０２
はステー７ａと同軸上にあるようにマイクロメータベー
ス１０４の上ｔＪ１０４　ａに取り付けられる。マイク
ロメータベース１０４自体はその脚部１０４ｂにてベー
スフランジ６上にネジ止めされている。ベースフランジ
６には、ステー７ａを通すために貫通孔１０５が形成さ
れるが、孔１０５の形状はベースフランジ６の上面に臨
んでいる部分１０５ａの方が下面に臨んでいる部分１０
５ｂより大きな径となっていて、両者はテーパー状の部
分１０５ｃを介してつながっている。テーパ部分１０５
Ｃにはステー７ａに外装された０−リング１０６が密着
嵌合し、気密状態を保つようになっている。孔１０５は
上からキャップ１０７で塞がれており、キャップ１０７
はベースフランジ６上にネジ止めされる。

他のステー７ｂ〜７ｄも同様の構成になっており、４個
のマイクロメータを回して調節することによりステー７
ａ〜７ｄを介してＸ−Ｙスキャナー９全体を上下させ、
フォーカシングを行う。サンプルロッドに関しては、第
１、第２実施例と同様の構成であり、他の部分について
は、第６図の構成をとることができる。第２、第３実施
例では、４コのＺ方向調整機構を独立に動作させること
が可能なので、試料の傾き、すなわちレンズの２次元走
査面と試料表面との平行度のずれを補正することができ
る。その場合、第６図に招けるｘｙ傾き調整機構を省略
することも可能である。補正を行うには、ｘｙ方向に試
料を移動させて数ケ所でＶ（Ｚ）信号を検出し、その値
が１シぼどの場所でも一定になる様にＺ方向調整機構を
動作させれば良い。一定の値が得られるのは、平行にな
ったことを意味している。

第６図の従来の装置では、断熱容器２内の液体窒素３が
沸騰して発生するアワによる微小振動を防止するために
、液体窒素３と接する空間の内圧を高め、アワを止めて
いる。しかしながら、完全にアワの発生を止められない
ので内圧が更に上昇しサンプルロッド１１をもち上げフ
ォーカシングがずれることがあった。アワの発生は外部
からの熱の流入があることを示し、サンプルロッドを介
しての流入が問題となる。これは、サンプルロッドの一
端が室温中にあり、他端が液体窒素内に置かれているか
らである。

熱の流入はより低温の液体ヘリウムを用いた場合に特に
大きな問題となるが、第６図の構造ではフォーカシング
機構ごと低温液体内に閉じ込めることは不可能であるの
で熱の流入を防ぐことができない。

次の例によればフォーカシング機構も含めて低温液体内
に閉じ込めることができる。第４図において、フレーム
１１０には、音響レンズと試料、並びにｘ、ｙ、ｚの全
ての方向への移動機構が取り付けられている。フレーム
１１０は上下二つの枠体１１０ａ、１１０ｂからなり、
上枠体１１０ａには試料１１１をフォーカシング方向（
Ｚ方向）に移動可能にするボイスコイル機構１１２が取
り付けられている。ボイスコイル機構１１２は三本の腕
部を持ったヨーク１１３．１１４とヨークの中央部に嵌
合している磁石１１５．１１６およびヨーク１１３．１
１４の中央の腕部に嵌装されるコイル１１７．１１８か
らなる。ヨーク１１３．１１４と磁石１１５．１１６は
フレーム１１０の上枠体１１０ａに対向して配置される
。ヨーク１１４の中央の腕部はシャフト１１９を通すた
めに貫通孔があけられている。フィル１１７．１１８は
シャフト１１９の上端と中央部に取り付けられる。

シャフト１１９の下端には試料１２０が装着さし、フォ
ーカシング方向への移動を可能にした形で固定される。

一方、下枠体１１０ｂには試料１２０に対向して音響レ
ンズ１２１とＸ−Ｙスキャナー１２２とが取り付けられ
ている。動作を説明する。

コイル１１７にドライブ回路１２３からＤ　Ｃ７４圧を
加えるとその電圧値に応じてシャフト１１９は移動し重
力とバネ１２３．１２４の弾性力とのつり合った点で静
止する。コイル１１８は周囲の振動等でシャフト１１９
が振動すると変位速度に応じ元々ゼロであった出力がゼ
ロでな（なり、この信号がドライブ回路１２５の入力に
フィードバックされてシャフト１１９を静止させる働き
を果たす。従って、コイル１１８は）イ／１ｚｌ１７で
決定されたシャフト１１９の位置をロックする働きをな
すことになる。フォーカス調整は、コイル１１７に加之
るＤ　ＣＮ圧を変化させることにより行われる。第５図
はボイスコイル機構の他の例である。これは、第１図の
Ｘ−Ｙスキャナーと同じ構造で、コイル１２９はボビン
１３０に巻回され、ボビン１２９はそのフランジ部分に
てシャフト１３１に固定している。

さて、第４図、第５図の方式では、一つのフレーム内に
音響レンズと試料並びに両者の位置関係を調整するＸ−
Ｙ及びＺ方向調整機構が設置され、しかも、調整機構は
外部からの電気信号により遠隔操作することができる。

従って、フレーム全体を低温液体に漬けることとが可能
になる。この構成により、外部からの熱の流入が防げる
と共に、低温液体の気化による内圧の上昇があったとし
ても試料を取り付けたシャフトには一方向のみから力が
働くことがないので、フォーカスがずれるという問題点
が生じなくなる。なお、外部からの熱の流入は妨げると
しても、電流をコイルに流しているからコイル自体から
の発熱がある。これは、コイルを超伝導線で作ることで
解決される。

［発明の効果コ 本発明によれば、試料は交換の際にいちいち気密された
ハウジング外に取り出さなければならないため、試料を
支持する試料支持手段のみにフォーカシングの機構を持
たせるには構造の複雑化が避けられない点に着目し、少
なくとも音響レンズをフォーカシング方向に移動させる
ようにしたものである。音響レンズ側は交換の必要性が
全くないわけではないが、試料に比べれば交換の頻度が
少ないからフォーカシング機構を取り付けても、交換の
際に誤ってフォーカシング機構を破損する可能性が低（
なる。また、フォーカシング機構に対する着脱機構につ
いても特に容易に着脱される機能を要求されるわけでは
ないから設計の幅が拡がる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図（ａ）（ｂ）、第４図、第５図
は各々この発明の第１〜第５実施例を説明する図、第６
図は従来の超音波顕微鏡装置を示す図である。 １００＋１０１ａ。 アクチュエータ １０２・・・マイクロメータヘッド １１３．１１４，１２７・・・ヨーク １１５．１１６，１２６・・・磁石 １１７．１１８，１２９・・・コイル １０１ｂ・・・・・・Ｚ方向圧電体 １０しンス゛ 特許出願人　　　オリンパス光学工業株式会社第１図 第２図 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 超音波ビームを試料に投射する音響レンズと、この試料
   を支持する試料支持手段と、少なくとも前記音響レンズ
   と試料手段との間の前記超音波ビームの移動空間を満た
   す超音波伝達媒体である低温液体と、前記音響レンズと
   前記試料支持手段と前記低温液体とを収容すると共に、
   気密性を有するハウジングと、このハウジングの一部に
   気密保持状態と気密解除状態とを切換えて発生させ、気
   密解除状態で前記試料を前記ハウジングより取り出すこ
   とを可能にする気密切換手段とを有する超音波顕微鏡装
   置において、少なくとも前記音響レンズを前記試料との
   間隔を変化させる方向に移動させる手段を有することを
   特徴とする超音波顕微鏡装置のフォーカシング機構。