JPH0712553A

JPH0712553A - 原子間力顕微鏡

Info

Publication number: JPH0712553A
Application number: JP5159684A
Authority: JP
Inventors: Masatoshi Suzuki; 正敏鈴木; Toru Fujii; 藤井　　透
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1993-06-29
Filing date: 1993-06-29
Publication date: 1995-01-17

Abstract

(57)【要約】【目的】液体中で試料を走査する際の作業能率を向上
させる。【構成】原子間力顕微鏡において、探針９と試料２４
とを相対移動させるアクチュエータ２、３と、探針を支
持する探針支持手段７と、アクチュエータと探針との間
に設けられた変形可能な材料からなる第１の封止手段５
と、第１の封止手段５および支持手段７が形成するそれ
ぞれの面と接する面を有することでこれら各面によって
囲まれる空間Ａを形成する変形可能な材料からなる第２
の封止手段６とを設けた。そして、探針と試料を前記空
間Ａ内に配置した。また、第１の封止手段と第２の封止
手段の接触部が探針に対して相対移動できるようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、試料の表面形状を観察
する走査型プローブ顕微鏡の一種である、原子間力顕微
鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】試料の表面形状を観察する手段として、
原子間力顕微鏡（以下、ＡＦＭと略す）が知られてい
る。ＡＦＭは、板バネ状のカンチレバーのような可撓性
を有する部材に設けられた探針を試料の表面で走査し、
走査中の探針の上下の変位量を測定することで試料の表
面形状を求めるものである。ＡＦＭは、生体分子等の絶
縁物や電子顕微鏡では観察が難しかった磁性体を高分解
能で観察できることから、今後の応用が期待されてい
る。

【０００３】図３は、ＡＦＭの構成の一例を示す概略図
である。このＡＦＭは、可撓性を有するカンチレバー３
１、このレバー３１の先端に設けられた探針３２、試料
３４をＸＹＺ方向に移動させるアクチュエータ３３、カ
ンチレバー３１の背面に設けられた反射面３１ａにレー
ザ光３５を照射する光源３６、反射面３１ａで反射した
レーザ光３５を受光する２つの受光部からなる２分割光
検出器３７、アクチュエータ３３を制御する制御手段３
８、得られた表面形状を表示する表示手段３９とを備え
ている。試料３４の表面を観察する際は、制御手段３８
によってアクチュエータ３３を制御して、試料３４表面
におけるＸＹ平面上の所定の領域で探針３２を走査す
る。走査によって探針３２と試料３４との間に力が作用
してこの力の大きさによってカンチレバー３１が撓み探
針３２が変位するので、カンチレバー３１の撓み量が一
定となるように制御しながら探針３２を走査していけば
試料３４の表面形状が求まる。カンチレバー３１の撓み
量を一定にするには、カンチレバー３１の反射面３１ａ
で反射したレーザ光３５を２分割光検出器３７で受光
し、各受光部からの出力が等しくなるように制御手段３
７によってアクチュエータ３３を制御して試料３４をＺ
方向に移動制御すればよい。

【０００４】前述のように、ＡＦＭは生体分子等を観察
できる。このような生体分子を試料として観察する場
合、試料表面に水の皮膜が存在するため、探針が毛細管
現象によって試料表面に吸い寄せられて探針が破損して
しまう。そこで、試料を液体中で保持し、この液体中で
探針を走査することで、前記毛細管現象による探針の損
傷を防止していた。このような、液体中で探針を走査す
るＡＦＭにおいては、試料を液体中で保持できるように
液体を入れる空間（以下、液体セルという）を設ける必
要がある。図４は、従来の液体セルの構成を示す概略図
である。なお、図４では液体セルの構成に関する箇所の
み図示してあり、それ以外の構成要件（カンチレバーの
撓み量を検出する手段や表示手段等）は省略してある。
図４に示す構成では、探針保持プレート４１に、探針４
２を有するカンチレバー４３とＯリング４５とが取り付
けられている。カンチレバー４３は、図４に示すように
Ｏリング４５の内側に取り付けられている。そして、ア
クチュエータ４４に設置された試料４６をＯリング４５
に密着させることで、探針保持プレート４１、Ｏリング
４５、試料４６で囲まれた液体セルＢが形成される。探
針保持プレート４１にはＯリング４５内側に開口が設け
られた導入路４８が形成されており、試料４６をＯリン
グ４５に密着させた状態でこの導入路４８を通して所望
の液体を液体セル４７内に注入できるようになってい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、通常のＡＦ
Ｍにおける探針の走査量は微小（30μｍ程度）である。
そこで、試料の観察（測定）に際しては、変位量が数mm
の粗動機構によって探針を試料の観察領域に近づけた
後、微動機構を用いてこの微小な観察領域で探針を走査
させていた。しかし、図４に示す構成においては、一
旦、液体セル４７内に液体を注入すると、液体の漏れを
防ぐためにＯリング４５を所定の圧力で試料４６に押し
付けておかなければならない。そのため、試料４６を移
動させると前記圧力による摩擦力が発生し、微動機構を
用いてＸＹ方向への走査を行なってもこの摩擦力によっ
て走査が妨げられ、所望の走査量が得られないという問
題があった。また、所定の観察領域に探針４２を移動さ
せる粗動動作は、試料４６の移動量が微動動作よりも大
きくなるため困難であった。その結果、粗動動作を行な
う際は、前記液体を一旦液体セルＢ内から排出してＯリ
ング４５を試料４６から離し、粗動動作の後にＯリング
４５を試料４６に押し付けて再度セルＢ内に液体を注入
していた。従って、非常に能率が悪かった。また、前記
摩擦力によってアクチュエータのリニアリティが悪化し
てしまい、所定の精度で走査できなくなるという問題も
あった。

【０００６】本発明は、このような問題を解決すること
を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的のために、本発
明では、試料の表面を探針で走査し、走査時の前記探針
の変位量に基づいて前記試料の表面形状を得る原子間力
顕微鏡において、前記探針と試料とを相対移動させるア
クチュエータと、前記探針を支持する探針支持手段と、
前記アクチュエータと探針との間に設けられた変形可能
な材料からなる第１の封止手段と、該第１の封止手段お
よび前記探針支持手段が形成するそれぞれの面と接する
面を有することでこれら各面によって囲まれる空間を形
成する変形可能な材料からなる第２の封止手段とを設
け、前記探針および試料を前記空間内に配置するととも
に、前記第１の封止手段と第２の封止手段の接触部が前
記探針に対して相対移動できるように構成した。

【０００８】

【作用】本発明のＡＦＭでは、試料を移動させることで
探針を試料表面で走査するための微動動作を行なうアク
チュエータと試料との間に、アクチュエータ防水用の第
１の封止部材を設けた。また、第１の封止部材と探針を
支持する探針支持手段との間に、これら第１の封止部材
および支持手段とで形成される面を接続する面を形成す
る第２の封止部材を設けた。そして、第１の封止部材、
第２の封止部材および探針支持手段とで囲まれた空間に
より液体セルを形成し、このセル内に液体を注入するよ
うにした。

【０００９】第１の封止部材は、試料が載置される領域
よりも広い面積を有する膜（シート）状に形成され、前
記領域の外側において固定される。その際、第１の封止
部材は、固定位置の内側（試料が載置される領域）に弛
みを持った状態で固定しておく。第２の封止部材は、弾
性物のように変形し易い物質からなり、試料が載置され
る領域よりも外側で第１の封止部材に固定される。この
第２の封止物質は、探針支持部材に固定せず、接触状態
を保つだけで液体セルを形成できるように自立可能（適
当な表現を見つけて下さい）な強度を有するものを使用
する。アクチュエータは、第１の封止部材の固定位置の
内側でこの第１の封止部材と接する位置に配置される。
試料は、ＸＹＺ所定の方向に移動できるように、第１の
封止部材を介してアクチュエータに載置されて固定され
る。

【００１０】このような構成においては、試料の観察
（測定）に際してアクチュエータを駆動して前記微動動
作を行なうと、第１の封止部材のアクチュエータと試料
との間で挟まれた部分（以下、移動部という）は、これ
らアクチュエータおよび試料ともに移動する。このと
き、第１の封止部材では前記移動部と固定部との間の相
対位置が変化するが、互いの位置が近づくときは部材自
身が弛み、また、離れるときはあらかじめ持たせておい
た弛みが伸びるため、移動方向に関わらず移動部の動き
が妨げられることがない。微動動作時のアクチュエータ
の移動量は少ない（30μｍ程度）ため、このときの移動
分は前記弛みの伸び縮みによって全て補うことが可能で
ある。従って、微動動作時にアクチュエータが抵抗力を
受けて走査領域が制限されることがない。また、この力
によって生じるアクチュエータのリニアリティの悪化も
防止できる。さらに、従来の構成では走査の際にアクチ
ュエータがＯリングごと液体セル内の液体および試料を
移動させていたため、液体の量を増やすとアクチュエー
タが移動させる重量（つまり、負荷）も増えてこのアク
チュエータの応答特性を悪化させていた。しかし、本発
明では、走査時は液体セルの側壁を形成する第２の封止
部材が固定されるため、セル内の液体を移動させる必要
がなく、前記応答特性の悪化を防止できる。

【００１１】また、本発明では、アクチュエータ、第１
の封止部材が固定されている固定部および第２の封止部
材と第１の封止部材との固定部が同一の部材（例えば、
ＸＹステージ）で支持されており、前記粗動動作を行な
う際は一緒に移動するようになっている。ＸＹ平面（走
査領域と平行な面）内での粗動動作が行われると、探針
を支持する探針支持手段と試料が載置されるアクチュエ
ータにに固定された状態にある第１の封止部材との間で
相対位置が変化する。第２の封止部材は第１の封止部材
に固定されているので、この固定部分は探針支持部材に
対して相対移動を行なう。また、探針支持部材との接触
部分も、この動きに同調して接触状態を維持したまま固
定部と同じ方向に移動する。そのため、液体セル内部の
液体を封止したままでの試料の粗動が可能である。さら
に、Ｚ方向への粗動動作か行われて探針支持手段との相
対位置がＺ方向で変化しても、この移動（変化）量は第
２の封止部材での変形に置き換えられるため液体セルの
封止機能を維持することができる。従って、粗動時の移
動量を想定して第２の封止部材の寸法を適宜設定してお
けば所望の移動量での粗動動作を行なうことができる。

【００１２】本発明では、第２の封止部材を自立可能に
形成したので、第２の封止部材か探針支持手段と離れた
場合でもこの第２の封止部材と第１の封止部材とによっ
て液体を保持することが可能である。そのため、試料の
交換作業等を楽に行なうことができる。

【００１３】

【実施例】図１は、本発明の一実施例のＡＦＭの構成を
示す概略断面図であり、試料２４を観察する（探針を走
査する）状態を示している。このＡＦＭは、ベース１上
にＸＹ方向に移動可能なＸＹステージ２が設けられてい
る。ＸＹステージ２は、試料２４の観察に際して、試料
２４の所望の面と探針９との大まかな位置合わせを行な
うときに粗動機構として用い、その粗動ストロークは基
準点から±３mmとなっている。ＸＹステージ２上にはチ
ューブスキャナ３と、チューブスキャナ３と同心にこの
スキャナ３を内包するように設置された円筒４とが設け
られている。チューブスキャナ３は、図５に示すよう
に、Ｘ方向走査用の圧電素子を駆動するための電極６１
ａ、６１ｂおよびＹ方向走査用の圧電素子を駆動するた
めの電極６２ａ、６２ｂが、それぞれＸ方向、Ｙ方向同
士の電極が対向するように円筒状の圧電セラミックスの
外周面に設置されている。圧電セラミックス６０の内周
面には、これら各電極６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ
に対する共通電極６３が設けられている。そして、試料
２４をＸまたはＹ方向に移動させるときは、それぞれの
方向の対向電極間に大きさが同じで符号の異なる電位を
設定すればよい。また、試料２４をＺ方向に移動させる
ときは、正負どちらか一方の電圧を設定してこの電圧を
Ｘ、Ｙ全ての外周面の各電極と共通電極６３との間にそ
れぞれ等しく印加することで、前記素子をＺ方向に伸縮
させればよい。このアクチュリエータ３は、試料２４表
面を探針９で走査する際の微動機構として用いる。

【００１４】円筒４は、肉厚が約１mmで、チューブスキ
ャナ３とほぼ同一の高さを有する。また、スキャナ３よ
り10mm程太い外径を有する。なお、円筒４の材料にはス
テンレスを用いたがこれに限定されるものではない。円
筒４の上面には、円筒４の外径より数mm程大きな直径を
有する略円形の封止用シート５が被せられている。封止
用シート５は、厚さ約30μｍの塩化ビニル製で、円筒４
に、この円筒４の側面まで回り込むように被せてある。
封止用シート５の材料は、塩化ビニルの他にテフロン等
を用いることもできる。この封止用シート５は、円筒４
の側面まで回り込んだ部分４ａが、封止用弾性部材６の
基体６ａと円筒４とで挟まれることで固定される。封止
用弾性部材６として本実施例では、商品名「Ｖリング」
（日本ジークリング社製）を使用した。このＶリング
は、図１に示すように基体６ａと２つのリップ６ｂ、６
ｃからなり、断面が略Ｖ字状に形成されている。一方の
リップ６ｂは、他方のリップ６ｃよりも薄く形成されて
おり、上下方向に３mm程度変形可能である。また、ＸＹ
平面内においても１mm程度変形することができる。さら
に、リップ６ｂは自立可能であり、探針保持プレート７
から離れても液体セルＡの側壁を構成するので内部の液
体をこぼす恐れはない。Ｖリングは、基体６ａのＶリン
グ単体時の内径が円筒４の外径より小さいものを選び、
円筒４と封止用シート５の円筒４の側面まで回り込んだ
部分４ａとを弾性力で挟み込むことで、円筒４、封止用
シート５および封止用弾性部材６を固定される。なお、
封止用シート５の固定に際しては、シート５に多少の弛
みが生じるようにしておく。チューブスキャナ３外周の
上端部には、磁石２１が、その１面がスキャナ３の上端
の面と同一平面となるように固定されている。この磁石
２１には、試料２４を保持するための、着磁性を有する
材料（磁性体）からなる試料ホルダ２３が、封止用シー
ト５を介して着脱可能に取り付けられる。

【００１５】封止用弾性部材６のリップ６ｂは、試料２
４を観察する際は探針支持プレート７の下面７ａに接し
ている。そして、この探針支持プレート７、封止用弾性
部材６および封止用シート５で囲まれた空間により液体
セルＡを形成する。探針支持プレート７は、ベース１に
設置された３つの（図では２つのみ示す）Ｚ方向駆動手
段８によってＺ方向に移動できるように構成される。探
針支持プレート７の円筒４に対応する位置には、直径15
mmの開口７ｂが形成されている。また、探針支持プレー
ト７には、探針９が設けられた可撓性を有するカンチレ
バー１０が設置されている。探針９とカンチレバー１０
は、一般的なＡＦＭと同様、フォトリソグラフィー技術
を用いて製作した。カンチレバー１０は、探針支持プレ
ート７の開口７ｂの縁に取り付けてある。この開口７ｂ
は、カバーガラス１５によって閉じることができる。探
針支持プレート７の上方には、カンチレバー１０の撓み
量を検出する撓み量測定系１１が設置されている。この
測定系１１は、カンチレバー１０の背面に設けられた反
射面１０ａにレーザ光１２を照射するための光源１３
と、反射面１０ａで反射したレーザ光１２を受光する２
つの受光部からなる２分割光検出器１４とを備えてい
る。光源１３を出射したレーザ光１２は、カバーガラス
１５および開口７ｂを通過して反射面１０ａで反射した
後、再度開口７ｂとカバーガラス１５を通過して２分割
光検出器１４で受光される。

【００１６】探針支持プレート７に設けられた開口７ｂ
は、液体セルＡ内に液体を入れる際の注入口として用い
ることができるが、図２に示すように探針支持プレート
７に液体の注入、排出を行なう注入管２５および排出管
２６を設けてもよい。このような構成により、それぞれ
の管を用いて試料２４を観察しながら液体を循環させる
ことができる。これにより、液体の注入、排出を遠隔操
作することも可能となる。

【００１７】ＸＹステージ２、チューブスキャナ３およ
びＺ方向駆動手段８は、制御手段１６によって駆動制御
される。この制御手段１６は、２分割光検出器１４にお
ける各受光部からの出力が等しくなるように、チューブ
スキャナ３をＺ方向に駆動する。また、制御手段１６
は、試料２４に対する探針９の位置と、この位置におけ
るチューブスキャナ３のＺ方向への駆動量に基づく情報
から試料２４の表面形状を求める。制御手段１６には表
示手段１７が接続されており、得られた表面形状を画面
上に表示できるようになっている。

【００１８】ここで、本実施例のＡＦＭによる試料２４
の観察（測定）過程を説明する。まず、試料２４を試料
ホルダ２３で保持し、このホルダ２３をチューブスキャ
ナ３の上部に載置する。チューブスキャナ３の上端部に
は磁石２１が設置されているため、着磁性を有する物質
（磁性体）からなる試料ホルダ２３は封止用シート５を
介してこの磁石２１に磁力によって固定される。このと
き、探針支持プレート７は、Ｚ方向駆動手段８によって
上方に（封止用シート５から離れる方向に）移動させて
おき、試料ホルダ２３を載置するときにこのホルダ２３
や作業者の手が探針９やカンチレバー１０と接触するの
を防ぐようにする。次に、Ｚ方向駆動手段８によって探
針支持プレート７を下方に（封止用シート５に近づくよ
うに）移動させて、探針９と前記試料２４との距離が所
定の値となるように設定する。なお、この状態で封止用
弾性部材６のリップ６ｂが探針支持プレート７の下面７
ａに接するように、予めこの弾性部材６の位置や寸法を
調整しておく。こうして、探針支持プレート７、封止用
弾性部材６および封止用シート５で囲まれた空間によっ
て液体セルＡが形成される。スポイト等を用いて所望の
液体（本実施例ではH₂O ）を開口７ｂから液体セルＡ内
に注入し、液体セルＡ内が液体で満たされたら開口７ｂ
をカバーガラス１５で塞いで液体セルＡを密閉する。な
お、液体セルＡ内に注入する液体はH₂O に限定されるも
のではない。試料の種類に応じて、培養液等所定の液体
を注入すればよい。

【００１９】この後、探針９が試料２４の所望の観察
（測定）領域付近に位置するように、制御手段１６によ
ってＸＹステージ２を駆動制御して試料２４を移動させ
る。ＸＹステージ２が移動すると封止用弾性部材６も移
動するが、この弾性部材６のリップ６ｂと探針支持プレ
ート７の下面７ａとは接しているだけなので接触圧は小
さく、リップ６ｂとプレート７との間に発生する摩擦力
も小さい。そのため、試料２４の移動が妨げられること
がなく、ＸＹステージ２のストロークを満たすだけの移
動量が確保できる。

【００２０】探針９による試料２４表面の走査は、制御
手段１６によってチューブスキャナ３を駆動することで
行われる。制御手段１６は、試料２４の所定の領域を走
査するためにチューブスキャナ３をＸＹ平面内で駆動し
て、探針９と試料２４との相対位置を変える。また、カ
ンチレバー１０の撓み量が一定となるように、２分割光
検出器１４における各受光部からの出力が等しくなるよ
うにスキャナ３をＺ方向に駆動する。チューブスキャナ
３の駆動されると、スキャナ３に固定された磁石２１に
磁力で吸着している試料ホルダ２３もスキャナ３の動き
に合わせてＸＹ平面内またはＺ方向に移動する。そのた
め、封止用シート５における磁石２１と試料ホルダ２３
との間に挟まれた部分もチューブスキャナ３とともに移
動することになるが、前述のように封止用シート５には
あらかじめ弛みを持たせてあるのでＸＹ平面内またはＺ
方向への移動分はこの弛みによって吸収される。従っ
て、円筒４がＸＹステージ２に固定されて移動しなくて
も、液体セルＡの密閉を保ったまま試料２４の所望の領
域で探針９を走査することができる。なお、一般のＡＦ
Ｍにおける走査領域は狭い（30μｍ四方）ため、この領
域内での封止用シート５の移動は全てシート５の弛みで
吸収することが可能である。また、封止用弾性部材６は
円筒４に固定されているため、チューブスキャナ３の駆
動を妨げることはない。従って、チューブスキャナ３の
リニアリティが悪化することはなく、所定の精度で試料
２４表面を探針９て走査することができる。

【００２１】制御手段１６は、探針９による試料２４表
面の走査の際の試料２４に対する探針９の位置と、この
位置におけるチューブスキャナ３のＺ方向への駆動量に
基づく情報から試料２４の表面形状を求める。得られた
試料２４の表面形状は、表示手段１７に送られ画面上に
表示される。このように、本発明によれば、液体セルＡ
内に液体を入れた状態でも試料と探針の相対位置をＸＹ
平面内またはＺ方向に対して大きく変えることができ
る。また、この相対位置を変えるための試料の移動を妨
げないので、観察（測定）時に所定の精度で探針を走査
することができる。

【００２２】さらに、本実施例のＡＦＭは、チューブス
キャナ３の外周部に磁石２１を設置し、封止用シート５
を挟んでスキャナ３上に試料ホルダ２３を磁力によって
固定するようにした。そのため、ホルダ固定用の機構を
別途設ける必要がなく、試料ホルダ２３の厚さを１mm程
度まで薄くすることができ、試料ホルダ２３と探針支持
プレート７の下面７ａとの間隔を0.5mm 以下にすること
が可能となった。その結果、例えば、試料２４と探針９
とを光学顕微鏡で観察するためにＡＦＭと光学顕微鏡と
を組み合わせた構成とした場合、光学顕微鏡の対物レン
ズの動作距離が短くても（例えば、倍率60、ＮＡ0.7 で
ＷＤ約1.6 mm）試料２４と探針９とを観察することが可
能になる。

【００２３】また、封止用弾性部材６のリップ６ｂを自
立可能に形成して探針支持プレート７の下面７ａに接す
るようにしたので、第２の封止部材か探針支持手段と離
れた場合でもこの第２の封止部材と第１の封止部材とに
よって液体を保持することができる。そのため、試料２
４の交換作業等の際は、探針支持プレート７とリップ６
ｂとの距離を離すことで作業を楽に行なうことができ
る。

【００２４】

【発明の効果】以上のように、本発明のＡＦＭでは、探
針と試料周辺に液体を密封する液体セルを形成する構成
の一部が変形し易くなっているため、液体中で探針を走
査することで毛細管現象による吸着力の影響を減らすこ
とができるとともに、試料の観察（測定）に際して探針
を走査する際、走査のためのアクチュエータの動きが制
限され難い。そのため、従来よりも走査量を大きくする
ことができ、前記液体セル内に液体を密封した状態での
粗動動作が可能になる。その結果、試料の観察領域に探
針を移動させ易くなり、能率良く試料の観察を行なうこ
とができる。

【００２５】また、アクチュエータの動きが制限され難
いため、アクチュエータのリニアリティの悪化による走
査時の精度の低下を防止できる。さらに、探針を走査す
る時は液体セルの側壁を形成する第２の封止手段が固定
されるため、セル内の液体を移動させる必要がなく、液
体の重量によるアクチュエータの応答特性の悪化を防止
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】は、本発明の一実施例の構成を示す概略断面図
である。

【図２】は、本発明の他の構成を示す概略断面図であ
る。

【図３】は、ＡＦＭの構成の一例を示す概略図である。

【図４】は、従来の液体セルの構成を示す概略図であ
る。

【図５】は、実施例で使用したチューブスキャナの構成
を示す概略斜視図である。

【主要部分の符号の説明】

１ベース２ＸＹステージ（アクチュエータ）３チューブスキャナ（アクチュエータ）４円筒５封止用シート（第１の封止手段）６封止用弾性部材（第２の封止手段）７探針支持プレート７ｂ開口８Ｚ方向駆動手段９探針１０カンチレバー１１撓み量測定系１５カバーガラス（透明部材）１６制御手段１７表示手段２１磁石２４試料２５注入管２６排出管Ａ液体セル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】試料の表面を探針で走査し、走査時の前
記探針の変位量に基づいて前記試料の表面形状を得る原
子間力顕微鏡において、前記探針と試料とを相対移動させるアクチュエータと、
前記探針を支持する探針支持手段と、前記アクチュエー
タと探針との間に設けられた変形可能な材料からなる第
１の封止手段と、該第１の封止手段および前記探針支持
手段が形成するそれぞれの面と接する面を有することで
これら各面によって囲まれる空間を形成する変形可能な
材料からなる第２の封止手段とを備え、前記探針および試料が前記空間内に配置されるととも
に、前記第１の封止手段と第２の封止手段の接触部が前
記探針との間で相対移動可能に構成されていることを特
徴とする原子間力顕微鏡。
【請求項２】請求項１記載の原子間力顕微鏡におい
て、前記空間内に該空間外部から液体を導入するための導入
手段を有することを特徴とする原子間力顕微鏡。
【請求項３】請求項１記載の原子間力顕微鏡におい
て、前記探針支持手段が開口を有するとともに、該開口を塞
ぐように設置された可視光を透過する透明部材を有する
ことを特徴とする原子間力顕微鏡。