JPH0737964B2 - 超音波顕微鏡用画像表示装置 - Google Patents
超音波顕微鏡用画像表示装置Info
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- JPH0737964B2 JPH0737964B2 JP60102042A JP10204285A JPH0737964B2 JP H0737964 B2 JPH0737964 B2 JP H0737964B2 JP 60102042 A JP60102042 A JP 60102042A JP 10204285 A JP10204285 A JP 10204285A JP H0737964 B2 JPH0737964 B2 JP H0737964B2
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- ultrasonic
- scanning
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/52—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
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- G01S7/52053—Display arrangements
- G01S7/52057—Cathode ray tube displays
- G01S7/52071—Multicolour displays; using colour coding; Optimising colour or information content in displays, e.g. parametric imaging
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
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- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は超音波ビームの集束スポツトにより形成される
走査平面に対応した試料超音波像をCRT上に表示する超
音波顕微鏡用画像表示装置において、特に順次得られる
超音波像のうちＺ軸方向の任意の離間した３つの像をR,
G,B合成カラー画像として表示するようにしたものであ
る。
走査平面に対応した試料超音波像をCRT上に表示する超
音波顕微鏡用画像表示装置において、特に順次得られる
超音波像のうちＺ軸方向の任意の離間した３つの像をR,
G,B合成カラー画像として表示するようにしたものであ
る。
一般に超音波顕微鏡の基本構成は第５図に示すように制
御部１からの制御信号に同期した周期で高周波のバース
ト状高周波信号を発生する高周波送信部２からの高周波
バースト信号は、サーキユレータ３を経て、電気信号と
超音波信号を可逆変換する圧電トランスデユーサ４に加
わり、超音波に変換される。この超音波は、音響レンズ
５によつて集束され、超音波伝達媒体６たとえば水を介
して試料７の面上に微小スポツトとして照射される。こ
の照射された超音波は、試料７の音響的特性に応じて反
射し、音響レンズ５により受波されて電気信号に変換さ
れ、再びヤーキユレータ３を介して受信部８に導かれ
る。この受信部８に導かれた前記電気信号は、ここで制
御部１からのゲート信号によりゲートされて不必要な信
号が除去された後、増幅および検波されて試料７からの
反射強度に応じた検波出力信号となる。このようにして
得た検波出力信号は、Ｘ方向走査部９およびＹ方向走査
部10からの試料７の走査位置に関するＸ方向およびＹ方
向情報信号とともにスキヤンコンバータ11に導かれ、こ
こで輝度信号として記録された後、これをテレビジヨン
信号に変換して読み出し、表示部12たとえばテレビジヨ
ン画像モニタにより試料７の超音波顕微鏡像として画像
表示する。なお、Ｘ方向走査部９およびＹ方向走査部10
は、それぞれ制御部１からの制御信号によつて駆動され
て、そのＸ方向走査部９により音響レンズ５がＸ方向に
高速加振され、そのＹ方向走査部10により試料台13がＹ
方向に低速移動する構成となつている。
御部１からの制御信号に同期した周期で高周波のバース
ト状高周波信号を発生する高周波送信部２からの高周波
バースト信号は、サーキユレータ３を経て、電気信号と
超音波信号を可逆変換する圧電トランスデユーサ４に加
わり、超音波に変換される。この超音波は、音響レンズ
５によつて集束され、超音波伝達媒体６たとえば水を介
して試料７の面上に微小スポツトとして照射される。こ
の照射された超音波は、試料７の音響的特性に応じて反
射し、音響レンズ５により受波されて電気信号に変換さ
れ、再びヤーキユレータ３を介して受信部８に導かれ
る。この受信部８に導かれた前記電気信号は、ここで制
御部１からのゲート信号によりゲートされて不必要な信
号が除去された後、増幅および検波されて試料７からの
反射強度に応じた検波出力信号となる。このようにして
得た検波出力信号は、Ｘ方向走査部９およびＹ方向走査
部10からの試料７の走査位置に関するＸ方向およびＹ方
向情報信号とともにスキヤンコンバータ11に導かれ、こ
こで輝度信号として記録された後、これをテレビジヨン
信号に変換して読み出し、表示部12たとえばテレビジヨ
ン画像モニタにより試料７の超音波顕微鏡像として画像
表示する。なお、Ｘ方向走査部９およびＹ方向走査部10
は、それぞれ制御部１からの制御信号によつて駆動され
て、そのＸ方向走査部９により音響レンズ５がＸ方向に
高速加振され、そのＹ方向走査部10により試料台13がＹ
方向に低速移動する構成となつている。
上記の如き構成の超音波顕微鏡によつて、試料７の所定
平面のうち、音響レンズ５の走査により形成される走査
平面に一致した面の試料超音波像が、走査の順に得られ
るわけである。したがつて、上記走査平面の間隔、すな
わち音響レンズ５と試料台13とを相対的に遠近させる単
位ステツプ量（以下Ｚ方向の移動分解能という）が小さ
ければ小さい程、試料７の内部観察が確実となり、微少
なクラツチも見逃すことがないものである。
平面のうち、音響レンズ５の走査により形成される走査
平面に一致した面の試料超音波像が、走査の順に得られ
るわけである。したがつて、上記走査平面の間隔、すな
わち音響レンズ５と試料台13とを相対的に遠近させる単
位ステツプ量（以下Ｚ方向の移動分解能という）が小さ
ければ小さい程、試料７の内部観察が確実となり、微少
なクラツチも見逃すことがないものである。
ところで、得られる超音波像は、通常CRT画面上に表示
したり、写真撮影にて各層ごとに観察する。したがつ
て、Ｚ方向の分解能を向上した場合、観察像数が増え、
さしたる内部情報の変化がない場合同じような画像を比
較することになり、微少な異物、クラツクを見逃がす確
率が多くなるという欠点があつた。特に、CRTによる表
示の場合には、前の画像の記憶が薄れ、顕著な変化しか
発見することができない。また、写真撮影では前の画像
と十分に見較べることはできるが、撮影枚数が増え経済
的に不利であつた。
したり、写真撮影にて各層ごとに観察する。したがつ
て、Ｚ方向の分解能を向上した場合、観察像数が増え、
さしたる内部情報の変化がない場合同じような画像を比
較することになり、微少な異物、クラツクを見逃がす確
率が多くなるという欠点があつた。特に、CRTによる表
示の場合には、前の画像の記憶が薄れ、顕著な変化しか
発見することができない。また、写真撮影では前の画像
と十分に見較べることはできるが、撮影枚数が増え経済
的に不利であつた。
上記目的を達成するため、本発明は、音響レンズの順次
の走査により形成されるＺ軸方向の任意の離間した走査
面に対応する３つの超音波像を、上記走査ごとに順次切
換え表示可能にするとともに、R,G,Bの３原色信号に対
応させてそれぞれカラー画像化し、これらR,G,Bの３原
色信号に対応したカラー画像を単独もしくは重ねて出力
するように構成した。
の走査により形成されるＺ軸方向の任意の離間した走査
面に対応する３つの超音波像を、上記走査ごとに順次切
換え表示可能にするとともに、R,G,Bの３原色信号に対
応させてそれぞれカラー画像化し、これらR,G,Bの３原
色信号に対応したカラー画像を単独もしくは重ねて出力
するように構成した。
以下、本発明を図示の実施例について説明する。
第１図は本発明にかかる画像表示装置の一実施例を示す
ブロツク図であり、第２図は同上装置を含む超音波顕微
鏡全体の概要図、第３図（Ａ），（Ｂ）はその操作パネ
ル面を示す平面図、第４図は本発明による3Zモードカラ
ー表示手法の一例を説明する説明図である。
ブロツク図であり、第２図は同上装置を含む超音波顕微
鏡全体の概要図、第３図（Ａ），（Ｂ）はその操作パネ
ル面を示す平面図、第４図は本発明による3Zモードカラ
ー表示手法の一例を説明する説明図である。
本発明は第１図に示すように、コンピユータ・システム
31（以下CPUとする）を利用して、音響レンズ22から得
られる各異る平面層の超音波像を走査順に切換可能にす
るとともに、これら表示手段での像からカラー画像表示
するものである。
31（以下CPUとする）を利用して、音響レンズ22から得
られる各異る平面層の超音波像を走査順に切換可能にす
るとともに、これら表示手段での像からカラー画像表示
するものである。
符号33は超音波顕微鏡本体を示し、その構成は、第５図
で説明したように高周波送信部、サーキユレータおよび
受信部等から成り、音響レンズ22をＸ方向に走査する加
振器34は、本体33からの信号で駆動される。
で説明したように高周波送信部、サーキユレータおよび
受信部等から成り、音響レンズ22をＸ方向に走査する加
振器34は、本体33からの信号で駆動される。
また、本体33は音響レンズ22で得られた電気信号をスキ
ャンコンバータ40に転送し、スキャンコンバータ40のど
の画像メモリ37,38,39に記憶するかは、インターフェー
ス回路35を介してCPU31よりコントロールする。
ャンコンバータ40に転送し、スキャンコンバータ40のど
の画像メモリ37,38,39に記憶するかは、インターフェー
ス回路35を介してCPU31よりコントロールする。
ここで、上記スキヤン・コンバータ40は、３つの画像メ
モリ37〜39に書き込まれた顕微鏡像を、CRT41,42,43で
表示可能な信号に変換するものであるが、各画像メモリ
37〜39による画像は、例えば音響レンズ22を相対的に試
料台32に所定ステップでＺ方向に遠近させたとき、Ｚ方
向へ走査して得られる試料の同一位置で深さの異なる３
つの像あるいは、同一平面上での（同一のＺ値での）異
なる平面位置の像を表示することができるものである。
そして、これらの像は、音響レンズ22による一画面分の
走査が終了するごとに前に表示した像の順から更新させ
ることができる。また、各CRT41,42,43は白黒画像用で
あるが、スキャンコンバータ40は更に３つの画像メモリ
に対応するビデオ信号を出力することができ、各メモリ
37,38,39にそれぞれR,G,Bの３原色を割り当ててカラー
画像CRT100に接続することで、R,G,Bのカラー画像を合
成して出力することができる。このCRT100に表示される
合成カラー画像は、画像のバックグランドが白で観察像
の変化した部分のみをカラー画像として表示することが
できる。
モリ37〜39に書き込まれた顕微鏡像を、CRT41,42,43で
表示可能な信号に変換するものであるが、各画像メモリ
37〜39による画像は、例えば音響レンズ22を相対的に試
料台32に所定ステップでＺ方向に遠近させたとき、Ｚ方
向へ走査して得られる試料の同一位置で深さの異なる３
つの像あるいは、同一平面上での（同一のＺ値での）異
なる平面位置の像を表示することができるものである。
そして、これらの像は、音響レンズ22による一画面分の
走査が終了するごとに前に表示した像の順から更新させ
ることができる。また、各CRT41,42,43は白黒画像用で
あるが、スキャンコンバータ40は更に３つの画像メモリ
に対応するビデオ信号を出力することができ、各メモリ
37,38,39にそれぞれR,G,Bの３原色を割り当ててカラー
画像CRT100に接続することで、R,G,Bのカラー画像を合
成して出力することができる。このCRT100に表示される
合成カラー画像は、画像のバックグランドが白で観察像
の変化した部分のみをカラー画像として表示することが
できる。
次に、符号45は試料台32を保持したＸ−Ｙステージであ
り、このＸ−Ｙステージ45は、ステツプモータを主体に
構成されたＸ方向駆動手段46、Ｙ方向駆動手段47にシヤ
フト48,49を介して連設されている。また、図ではＸ−
Ｙステージ45はＺ方向に駆動されるようにシヤフト50を
介してＺ方向駆動手段51に連設されているが、実際には
音響レンズ22をＺ方向に駆動するようにしても良い。そ
して、各X,Y,Z方向駆動手段46,47,51は、CPU31からの駆
動信号によつてその方向にステージ45を移動することが
できる。また、Ｘ−Ｙステージ45のX,Y方向への移動量
およびＺ方向への移動量は、それぞれの駆動手段からの
回転パルスを検出するエンコーダを主体としたX,Y,Z方
向移動量検出手段52,53,54によつて検出可能となつてお
り、それらの検出信号は、それぞれインターフエイス回
路35を通してCPU31に供給される。
り、このＸ−Ｙステージ45は、ステツプモータを主体に
構成されたＸ方向駆動手段46、Ｙ方向駆動手段47にシヤ
フト48,49を介して連設されている。また、図ではＸ−
Ｙステージ45はＺ方向に駆動されるようにシヤフト50を
介してＺ方向駆動手段51に連設されているが、実際には
音響レンズ22をＺ方向に駆動するようにしても良い。そ
して、各X,Y,Z方向駆動手段46,47,51は、CPU31からの駆
動信号によつてその方向にステージ45を移動することが
できる。また、Ｘ−Ｙステージ45のX,Y方向への移動量
およびＺ方向への移動量は、それぞれの駆動手段からの
回転パルスを検出するエンコーダを主体としたX,Y,Z方
向移動量検出手段52,53,54によつて検出可能となつてお
り、それらの検出信号は、それぞれインターフエイス回
路35を通してCPU31に供給される。
本発明は以上のように構成されるが、更に本発明を適用
した超音波顕微鏡の全体的概要を説明して理解の一助と
する。
した超音波顕微鏡の全体的概要を説明して理解の一助と
する。
第２図において、64は入力装置、65は超音波顕微鏡本体
33に相当するが、送信部および受信部を含む高周波回路
部66は別体にて示し、その他の第１図と共通部分には同
一符号を記す。
33に相当するが、送信部および受信部を含む高周波回路
部66は別体にて示し、その他の第１図と共通部分には同
一符号を記す。
入力装置64は、グループ１のコントロール機能67、グル
ープ２のコントロール機能68及び各種動作モード表示用
LED群69を備え、コントロール機能67は、第２図の第１
エリア103に設けられた、スイツチ及びモニタ素子に対
応し、コントロール機能68は、102にて示すスイツチ群
にて達成される。
ープ２のコントロール機能68及び各種動作モード表示用
LED群69を備え、コントロール機能67は、第２図の第１
エリア103に設けられた、スイツチ及びモニタ素子に対
応し、コントロール機能68は、102にて示すスイツチ群
にて達成される。
グループ１のコントロール機能67は、スキヤン・コンバ
ータ40およびステージコントローラ70に接続され、超音
波像書き込み開始スイツチング（Foward,Backward）、
Ｘ方向走査のスイツチング、Ｙ方向走査の停止、スキヤ
ン幅（SCAN−WIDTH）切換を行う。そして、ステージコ
ントローラ70のＸおよびＹ走査駆動信号は、それぞれ加
振器34およびＹ方向書込み送りモータ71に供給される。
尚、D.S.Cリセツトスイツチ機能72は、スキヤン・コン
バータ40に接続される。スキヤン・コンバータ40は、３
つの画像メモリ37〜39を有していることにより、これに
対応したチヤンネル出力端CH1,CH2,CH3は、出力切替回
路73を介して外部モニタ出力端子74およびTVモニタ75に
導出可能である。このTVモニタ75は、後述する写真撮影
装置と対向して写真撮影を可能としている。
ータ40およびステージコントローラ70に接続され、超音
波像書き込み開始スイツチング（Foward,Backward）、
Ｘ方向走査のスイツチング、Ｙ方向走査の停止、スキヤ
ン幅（SCAN−WIDTH）切換を行う。そして、ステージコ
ントローラ70のＸおよびＹ走査駆動信号は、それぞれ加
振器34およびＹ方向書込み送りモータ71に供給される。
尚、D.S.Cリセツトスイツチ機能72は、スキヤン・コン
バータ40に接続される。スキヤン・コンバータ40は、３
つの画像メモリ37〜39を有していることにより、これに
対応したチヤンネル出力端CH1,CH2,CH3は、出力切替回
路73を介して外部モニタ出力端子74およびTVモニタ75に
導出可能である。このTVモニタ75は、後述する写真撮影
装置と対向して写真撮影を可能としている。
尚、スキヤン・コンバータ40の各出力端CH1〜CH3は、同
期信号端SYNCと共にCRT41,42,43を接続可能に構成され
ていることが判る。
期信号端SYNCと共にCRT41,42,43を接続可能に構成され
ていることが判る。
また、スキヤン・コンバータ40は、TVカメラ76を接続で
き音響レンズ22からの電気信号は、高周波回路部66、ロ
グアンプ77およびビデオ信号処理回路78を介して超音波
像入力端USに取り込んでいる。さらにログアンプ77の出
力はバツフア79を介して受信信号出力端80に導出され、
波形観測可能である。
き音響レンズ22からの電気信号は、高周波回路部66、ロ
グアンプ77およびビデオ信号処理回路78を介して超音波
像入力端USに取り込んでいる。さらにログアンプ77の出
力はバツフア79を介して受信信号出力端80に導出され、
波形観測可能である。
また、コントロール機能68は、極性切換スイツチング
（NEGA/POSI）、映像消去（ERASE）、XY相関スイツチン
グ（スムージング処理のオン・オフ）、TV/US切換、オ
ーバレイ選択（オーバレイメモリ（CPU31からの図形情
報表示用）スイツチング、キーボードキヤラクタ出力選
択スイツチング（KEYBOARD CHARACTER）、スケールキ
ヤラクタオンオフスイツチング（SCALECHARACTER）、TV
リアル／フリーズ（TVカメラ信号をメモリする）、外部
モニタ用出力切換スイツチング（EXTRNAL MONITOR）、
ゲートタイミング切換スイツチング（GATE TIMING Ｉ
−II）等を備え、さらに前記出力切替回路73を制御する
ことで、画像メモリ37〜39の書込みブレーン選択および
外部出力ブレーン選択ができるようになつている。
（NEGA/POSI）、映像消去（ERASE）、XY相関スイツチン
グ（スムージング処理のオン・オフ）、TV/US切換、オ
ーバレイ選択（オーバレイメモリ（CPU31からの図形情
報表示用）スイツチング、キーボードキヤラクタ出力選
択スイツチング（KEYBOARD CHARACTER）、スケールキ
ヤラクタオンオフスイツチング（SCALECHARACTER）、TV
リアル／フリーズ（TVカメラ信号をメモリする）、外部
モニタ用出力切換スイツチング（EXTRNAL MONITOR）、
ゲートタイミング切換スイツチング（GATE TIMING Ｉ
−II）等を備え、さらに前記出力切替回路73を制御する
ことで、画像メモリ37〜39の書込みブレーン選択および
外部出力ブレーン選択ができるようになつている。
このほか、リモートLEDは、スキヤンコンバータ40がCPU
31で制御されているとき点灯し、トーカLEDは、スキヤ
ンコンバータ40の画像メモリの内容をCPU31に転送中に
点灯し、リスナLEDは書き込み中のとき点灯し、GP−IB
アクセスチヤンネル表示LEDはCPU31がアクセスしたコン
バータ40のチヤンネルを表示し、GB−IBアクセスオーバ
レイメモリLEDは、CPU31がアクセスしたコンバータ40の
オーバレイメモリを表示する。
31で制御されているとき点灯し、トーカLEDは、スキヤ
ンコンバータ40の画像メモリの内容をCPU31に転送中に
点灯し、リスナLEDは書き込み中のとき点灯し、GP−IB
アクセスチヤンネル表示LEDはCPU31がアクセスしたコン
バータ40のチヤンネルを表示し、GB−IBアクセスオーバ
レイメモリLEDは、CPU31がアクセスしたコンバータ40の
オーバレイメモリを表示する。
また、81は、アツテネータ量および周波数の切換え機
能、82は処理回路78の制御機能、83は試料台32の温度制
御機能であり、サーミスタ84およびヒータ85に接続され
ている。86は光学顕微鏡87の制御機能であり、光源コン
トローラ88に接続され、光源コントローラ88は、光学顕
微鏡87への照明光を制御している。さらに、本超音波顕
微鏡は、写真撮影装置89を備え、このための制御機能90
を備えている。また、CPU31は、フロツピー装置91を備
え、各種の画像処理および傾き調整を行うことができ
る。
能、82は処理回路78の制御機能、83は試料台32の温度制
御機能であり、サーミスタ84およびヒータ85に接続され
ている。86は光学顕微鏡87の制御機能であり、光源コン
トローラ88に接続され、光源コントローラ88は、光学顕
微鏡87への照明光を制御している。さらに、本超音波顕
微鏡は、写真撮影装置89を備え、このための制御機能90
を備えている。また、CPU31は、フロツピー装置91を備
え、各種の画像処理および傾き調整を行うことができ
る。
尚、符号46′,47′,51′はＸ方向,Y方向,Z方向駆動手段
46,47,51のモータを示し、52′,53′,54′はＸ方向,Y方
向,Z方向移動量検出手段52,53,54のエンコーダを示し、
各ステツプモータ46′,47,51はCPU31によつて制御され
るコントロール／ドライバ92によつて駆動され、エンコ
ーダ52′,53′,54′の出力はカウンタ93を介してCPU31
にインプツトされる。
46,47,51のモータを示し、52′,53′,54′はＸ方向,Y方
向,Z方向移動量検出手段52,53,54のエンコーダを示し、
各ステツプモータ46′,47,51はCPU31によつて制御され
るコントロール／ドライバ92によつて駆動され、エンコ
ーダ52′,53′,54′の出力はカウンタ93を介してCPU31
にインプツトされる。
更に、第３図（Ｂ）において104はリアパネルであり、C
H1〜CH3の出力端子（VIDEO−OUT）、同期信号出力端（S
YNC）GP−IB コネクタ、VIDEO−IN 端子、EXT、MONI
−OUT、Ｖ−OUT,Z−IN,RF−A,RF−B,RE−C,C1,C2,C3コ
ネクタを備えている。
H1〜CH3の出力端子（VIDEO−OUT）、同期信号出力端（S
YNC）GP−IB コネクタ、VIDEO−IN 端子、EXT、MONI
−OUT、Ｖ−OUT,Z−IN,RF−A,RF−B,RE−C,C1,C2,C3コ
ネクタを備えている。
次に、本発明の動作を第４図を参照して説明する。
第４図は、例えば音響レンズ22を、試料に対してＺ方向
に所定ステツプ幅で移動して得られる３つの超音波像に
基いてR,G,Bのカラー画像信号を得るようにした3Zモー
ドカラー表示手法の動作説明図であり、移動量がＺ＝０
のときの走査平面P1で、試料の表面情報Ｒが得られ、Z1
だけ音響レンズ22を試料側に近づけると、そのZ1平面に
沿う内部情報Ｇが得られ、さらにZ1より大きく音響レン
ズ22を試料側に近づけると、Z2平面に沿う内部情報Ｂが
得られることを示している。
に所定ステツプ幅で移動して得られる３つの超音波像に
基いてR,G,Bのカラー画像信号を得るようにした3Zモー
ドカラー表示手法の動作説明図であり、移動量がＺ＝０
のときの走査平面P1で、試料の表面情報Ｒが得られ、Z1
だけ音響レンズ22を試料側に近づけると、そのZ1平面に
沿う内部情報Ｇが得られ、さらにZ1より大きく音響レン
ズ22を試料側に近づけると、Z2平面に沿う内部情報Ｂが
得られることを示している。
そこで、音響レンズ22を図の矢印方向に移動（走査）し
て、Ｚ＝０平面での表面情報をスキヤン・コンバータ40
の画像メモリ37に記憶するとともに、1chCRT41に表示
し、次にZ1平面に移動した音響レンズ22の受信出力信号
を、画像メモリ38に記憶して2chCRT42に表示し、さらに
Z2平面に移動した音響レンズ22の受信出力信号を、画像
メモリ39に記憶して3chCRT43に表示することで、各メモ
リ37〜39にＺ−０、Z1,Z2平面における試料の画像情報
を蓄積し、且つ、異る平面層ごとの超音波像を同時に観
察することができる。また、カラーCRT100には各メモリ
37,38,39からのR,G,Bの３原色に対応した画像を合成し
たカラー画像が表示される。さらにCPU31は、これら各
画像メモリ37,38,39に記憶した情報により、表面で観察
されない内部欠陥等はR,G,Bの３原色に対応したカラー
で表示され、内部欠陥のないバックグラウンド部分は白
で表示されるので、視覚的に言えば、内部変化のある部
分だけが着色された画像となり、内部欠陥等の識別が容
易に行える等の利点を有する。
て、Ｚ＝０平面での表面情報をスキヤン・コンバータ40
の画像メモリ37に記憶するとともに、1chCRT41に表示
し、次にZ1平面に移動した音響レンズ22の受信出力信号
を、画像メモリ38に記憶して2chCRT42に表示し、さらに
Z2平面に移動した音響レンズ22の受信出力信号を、画像
メモリ39に記憶して3chCRT43に表示することで、各メモ
リ37〜39にＺ−０、Z1,Z2平面における試料の画像情報
を蓄積し、且つ、異る平面層ごとの超音波像を同時に観
察することができる。また、カラーCRT100には各メモリ
37,38,39からのR,G,Bの３原色に対応した画像を合成し
たカラー画像が表示される。さらにCPU31は、これら各
画像メモリ37,38,39に記憶した情報により、表面で観察
されない内部欠陥等はR,G,Bの３原色に対応したカラー
で表示され、内部欠陥のないバックグラウンド部分は白
で表示されるので、視覚的に言えば、内部変化のある部
分だけが着色された画像となり、内部欠陥等の識別が容
易に行える等の利点を有する。
また、本発明では、３つのCRT41,42,43の画像が、１回
の走査の終了ごとに更新されていくので、前の情報とを
並べて比較することができる。これにより、微細な異物
やクラツプの発見が容易となるものである。
の走査の終了ごとに更新されていくので、前の情報とを
並べて比較することができる。これにより、微細な異物
やクラツプの発見が容易となるものである。
以上説明したように本発明によれば、一つの試料の様々
な視野、位置、深さの観察を、次々と自動的に行うこと
ができ、しかも高精度の試料判定を行い、超音波顕微鏡
の使用効率を高めるものである。
な視野、位置、深さの観察を、次々と自動的に行うこと
ができ、しかも高精度の試料判定を行い、超音波顕微鏡
の使用効率を高めるものである。
また、Ｚ軸方向に異なる３つの超音波像をR,G,Bの３原
色に対応させてカラー画像化して合成することにより、
白のバックグラウンドに内部欠陥等の部分がカラー表示
されるので、視覚的にカラーで表示された欠陥部が非常
に見やすくなり、欠陥部を容易に識別することができ
る。
色に対応させてカラー画像化して合成することにより、
白のバックグラウンドに内部欠陥等の部分がカラー表示
されるので、視覚的にカラーで表示された欠陥部が非常
に見やすくなり、欠陥部を容易に識別することができ
る。
第１図は本発明にかかる超音波顕微鏡用画像表示装置の
一実施例を示すブロツク図、第２図及び第３図は本発明
を適用した超音波顕微鏡の全体概略図およびパネル平面
図、第４図は本発明の動作を説明する説明図、第５図は
一般的超音波顕微鏡の基本構成図である。 22……音響レンズ、31……CPU、 32……試料台、33……超音波顕微鏡本体、 34……加振器、37〜39……画像メモリ、 40……スキヤン・コンバータ、 41〜43……CRT、44……カラーCRT。
一実施例を示すブロツク図、第２図及び第３図は本発明
を適用した超音波顕微鏡の全体概略図およびパネル平面
図、第４図は本発明の動作を説明する説明図、第５図は
一般的超音波顕微鏡の基本構成図である。 22……音響レンズ、31……CPU、 32……試料台、33……超音波顕微鏡本体、 34……加振器、37〜39……画像メモリ、 40……スキヤン・コンバータ、 41〜43……CRT、44……カラーCRT。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−201849（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−116342（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−137041（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−205352（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】音響レンズの順次の走査により形成される
Ｚ軸方向の任意の離間した走査面に対応する３つの超音
波像を、上記走査ごとに順次切換え表示可能にするとと
もに、R,G,Bの３原色信号に対応させてそれぞれカラー
画像化し、これらR,G,Bの３原色信号に対応したカラー
画像を単独もしくは重ねて出力するようにしたことを特
徴とする超音波顕微鏡用画像表示装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60102042A JPH0737964B2 (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | 超音波顕微鏡用画像表示装置 |
| US06/859,926 US4706185A (en) | 1985-05-14 | 1986-05-05 | Apparatus for displaying ultrasonic image |
| DE19863616214 DE3616214A1 (de) | 1985-05-14 | 1986-05-14 | Vorrichtung zum darstellen von ultraschallbildern |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60102042A JPH0737964B2 (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | 超音波顕微鏡用画像表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6236556A JPS6236556A (ja) | 1987-02-17 |
| JPH0737964B2 true JPH0737964B2 (ja) | 1995-04-26 |
Family
ID=14316712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60102042A Expired - Lifetime JPH0737964B2 (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | 超音波顕微鏡用画像表示装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4706185A (ja) |
| JP (1) | JPH0737964B2 (ja) |
| DE (1) | DE3616214A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005114429A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Junichi Kushibiki | 高精度超音波材料特性解析装置及びその温度制御方法 |
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| JPH0232251A (ja) * | 1988-07-21 | 1990-02-02 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡装置のフォーカシング機構 |
| JPH0255949A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-26 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡 |
| JPH04326056A (ja) * | 1991-04-25 | 1992-11-16 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡 |
| DE4229817C2 (de) * | 1992-09-07 | 1996-09-12 | Siemens Ag | Verfahren zur zerstörungsfreien und/oder nichtinvasiven Messung einer Temperaturänderung im Inneren eines insbesondere lebenden Objektes |
| DE9302548U1 (de) * | 1993-02-22 | 1993-08-12 | Siemens AG, 80333 München | Schaltung zur Wiedergabe von Farbdarstellungen von zeitlichen Verläufen |
| EP0995991A4 (en) * | 1998-05-12 | 2001-09-12 | Kawasaki Steel Co | METHOD AND DEVICE FOR REPRESENTING THE SIGNAL GENERATED BY A MEASURING SAMPLE |
| CN102419439A (zh) * | 2011-08-18 | 2012-04-18 | 上海华碧检测技术有限公司 | 一种塑封元件芯片倾斜的判别方法 |
| US20130099791A1 (en) * | 2011-10-24 | 2013-04-25 | Baker Hughes Incorporated | Methodologies to Improve Reliability of Transducer Electrical Interconnections |
| CN103808804A (zh) * | 2014-03-06 | 2014-05-21 | 北京理工大学 | 一种超声显微伪彩色快速映射成像方法 |
| CN109556705B (zh) * | 2018-10-29 | 2021-08-03 | 苏州佳世达电通有限公司 | 超音波探头及其制作方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5519392B2 (ja) * | 1973-07-25 | 1980-05-26 | ||
| JPS5848070B2 (ja) * | 1978-03-30 | 1983-10-26 | 工業技術院長 | 映像信号の表示方法 |
| JPS55116342A (en) * | 1979-02-28 | 1980-09-06 | Aloka Co Ltd | Ultrasoniccwave diagnosis device |
| JPS57201849A (en) * | 1981-06-08 | 1982-12-10 | Olympus Optical Co Ltd | Ultrasonic microscope |
| JPS59137041A (ja) * | 1983-01-27 | 1984-08-06 | 株式会社島津製作所 | 超音波診断装置 |
| US4541281A (en) * | 1983-04-03 | 1985-09-17 | Noriyoshi Chubachi | Ultrasonic microscope system |
| JPS59196459A (ja) * | 1983-04-22 | 1984-11-07 | Hitachi Ltd | 超音波顕微鏡 |
| US4596145A (en) * | 1983-09-20 | 1986-06-24 | Smith Stephen W | Acoustic orthoscopic imaging system |
| JPS60205352A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-16 | Honda Keisuke | カラ−多重表示超音波顕微鏡 |
-
1985
- 1985-05-14 JP JP60102042A patent/JPH0737964B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-05-05 US US06/859,926 patent/US4706185A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-05-14 DE DE19863616214 patent/DE3616214A1/de active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005114429A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Junichi Kushibiki | 高精度超音波材料特性解析装置及びその温度制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4706185A (en) | 1987-11-10 |
| JPS6236556A (ja) | 1987-02-17 |
| DE3616214C2 (ja) | 1987-12-23 |
| DE3616214A1 (de) | 1986-12-18 |
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