JPS59196459A - 超音波顕微鏡 - Google Patents

超音波顕微鏡

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JPS59196459A
JPS59196459A JP58069956A JP6995683A JPS59196459A JP S59196459 A JPS59196459 A JP S59196459A JP 58069956 A JP58069956 A JP 58069956A JP 6995683 A JP6995683 A JP 6995683A JP S59196459 A JPS59196459 A JP S59196459A
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JP
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sample
signal
echo
magnitude
lens
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JP58069956A
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Hiroshi Kanda
浩 神田
Kiyoshi Ishikawa
潔 石川
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Publication date
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    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S15/00Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
    • G01S15/88Sonar systems specially adapted for specific applications
    • G01S15/89Sonar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
    • G01S15/8906Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H3/00Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
    • G01H3/10Amplitude; Power
    • G01H3/12Amplitude; Power by electric means
    • G01H3/125Amplitude; Power by electric means for representing acoustic field distribution

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Remote Sensing (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、超音波エネルギを用いた撮像装置、特に超音
波顕微鏡に関する。
〔発明の背景〕
近年、医学界において人体の内部構造を観察するのに有
効な波動として応用されている超音波は、光や電子線に
は不可能な光学的に不透明な物体をも透過する性質を持
っておシ、その周波数が高ければ高い程より微細な対象
物まで描き出す事が可能である。その上、超音波が取シ
出す情報は対象物の弾性、密度、粘性等の力学的性質を
反映している為、光や電子線では得られない内部の構造
までみる事が出来る。
音波周波数IGHz、従って水中での青波長として約1
μmに及ぶ超高周波音波を利用して、上記の超音波の特
徴を生かした超音波顕微鏡が検討されている(R,A、
レモン氏とC,F、クウェーツ氏のA i9canni
ng Acoustic Microscopeと題す
るI E E E cat、 A 73 CH1482
9SU PP423−426に掲載の文献)。
この超音波顕微鏡の原理は、約1μm位まで細く絞った
超音波ビームによって試料面を機械的に2次元走査しな
がら、試料によって惹起された散乱、反射、透過減衰と
いったしよう乱音波を集音して電気信号に変換し、この
電気信号をブラウン管上に、上記機械走査と同期して2
次元表示する事によシ顕微画像を得るものである。
本発明は、主として試料からの反射超音波を検出描画す
る反射型超音波顕微鏡に関するので、第1図を用いてそ
の従来基本構成を説明する。
超音波を発生検出するトランスデユーサは、主として圧
電薄膜20、音響レンズ40から構成される。即ち、レ
ンズ結晶40(例えば、サファイア、石英ガラス等の円
柱状結晶)は、その一端面41は光学研磨された平面で
あり、他端面には微小な曲率半径(例えば0.1〜1 
mm )の半球穴42が形成されている。端面41に蒸
着等によって設けられた上部電極10、圧電薄膜20及
び下部電極11からなる層構造の上下電極間に、RFパ
ルス発振器100の出力電気信号を印加すれば、上記圧
電薄膜の圧電効果により、レンズ結晶40内に平面波の
RFパルス超音波80が放射される。
この平面超音波は上記半球穴42と媒質50(一般に純
水が用いられる)との界面で形成される正の音響球面レ
ンズにより所定焦点面におかれた試料60上に集束され
る。
試料60によって反射された超音波は、上記音響レンズ
により集音され、平面超音波に変換されてレンズ結晶4
0内を伝播し、最終的に圧電薄膜20の逆圧電効果によ
pRFパルス電気信号に変換される。このRFパルス電
気信号はR,F受信器110で増巾検波後、ビデオ信号
(1〜10 M Hz )に変換されブラウン管130
の輝度信号(Z入力)として用いられる。
かかる構成において、試料ステージ70上に貼付された
試料60をx ”−y面内の2次元機械走査系120に
よって、2次元機械振動を行なわせながら、上記ビデオ
信号をこの走査と同期してブラウン管130上に表示す
れば、顕微画像が得られる事に々る。
この様子をビデオ周波数領域でみると第2図の如くなる
。ここで横軸は時間軸を、縦軸は信号強度を表わしてい
る。図中Aは打ち出しエコー(echo)を、Bはレン
ズ界面42からのエコー(echo)を、又Cは試料か
らの反射x コ−(echo )を表わしており、これ
等は繰シ返し時間tRで反復され、一画素一画素を構成
していくのである。
反射エコーCは試料の音響的性質や試料の走査によって
変化するから、この反射エコーCの大いさを繰シ返し周
期に同期して標本化し、かかる信号を試料を機械走査さ
せつつ、これと同期してブラウン管上に表示すれば音波
像が得られるわけである。
ところで、反射エコーCの大いさは、第3図に示す様な
構成で、生物組織切片を見た場合、生物試料の減衰率を
反映した情報になる。第3図で、生物試料143は、ガ
ラスや金属等その音響インピーダンスが、試料の音響イ
ンピーダンスより大きな試料台144によって裏打ちさ
れている。生物試料143の上面をt11下面をt2と
し、厚みをdとすると、試料上方よシ入射した超音波ビ
ーム141はまず界面t1で一部反射し、大部分は試料
143中へ伝播する。ここで、生物試料143の音響イ
ンピーダンスと媒質142の音響インピーダンスの大い
さが近い為、この反射fjk?−1著しく弱いのである
。さて、試料143中を伝播した音波は界面t2で反射
され、試料中を図中上方へ伝播し、界面t1を介して水
中142に出、反射音波として探触子系140によって
検出されるのである。もし、裏打ち材144の音響イン
ピーダンスが生物試料のそれよシ充分に大きければ、界
面t2での反射は完全反射とみなしてよく、この図の様
な構成では反射信号は事実上界面t2からの反射信号で
決まるといえるのである。
実際、生物試料、水、裏打ち材の音響インピーダンスを
それぞれZs 、Zw、Znとすると1反射率Rは、 ・・・・・・・・・・・・(1) ここで θ−2(k−jαs)d;に波数 で与えられるから、ZB>ZI+、ZW及びZs=Zw
十ΔZ、ΔZ/ZW<1として、 R=e−”Sd         ・・・・・・・・・
・・・・・・(2)α6 ;試料の減衰率 と表わされる。即ち、かかる構成では反射信号は生物試
料内を2度伝播した時の透過信号と等価で、得られるコ
ントラストは2乗の関係で秀れてお多、試料の減衰率α
Sを反映している事がわかる。
従来はこの反射率Rに比例した電気信号(反射超音波そ
のもの)をCRT上に輝度表示していた。
ところで、上記事情は、反射エコーCの大いさを調べる
事により、試料の減衰率という試料固有の物理量の2次
元分布そのものを求め得る事を示し−ている。本発明者
等はこの難点から従来の単に反射強度そのものを輝度表
示する方法を吟味すると、本質的な難点の存在する事を
見出したのである。
まず、従来のエコーCの処理方法を説明する。
即ち、第4図に示す圭うにBE’パルス発振器150の
出力パルス(太いさE)を方向性結合器151及び整合
器152を介して、ランスや圧電薄膜からなるトランス
デユーサ153に印加する。
試料からの反射超音波信号(第2図の如き)を含むRF
電気信号は、整合器152及び方向性結合器151を介
して、可変RF増巾器154(増巾度G)で増巾後、ビ
デオ検波器150でダイオード検波後(前記第2図の波
形はこの出力波形に対応する)、標本化回路156によ
りエコーCのみの犬いさとして取り出されCRTの輝度
信号としているのである。
このように、従来の方法では、印加RFパルスの太いさ
Eを固定して、反射エコーCの大いさがCRTを適度に
輝らせるレベルになる様増巾器154のゲインをマニュ
アルで調整している。
従って従来の方法では試料の減衰率とCRT上の輝度信
号との間に確定した関係がなく、得られた音波像の濃淡
情報を計測データとして使う事は不可能であった。かか
る点に鑑み本発明の一つの目的は、試料の反射率そのも
のの大いさを定量的に表示する手段を提供する事である
。本発明者等が見出した従来法の第2の難点は、従来の
表示方法では試料の減衰率が大きく変化する場合、減衰
率の微妙な差を明確に表示しきれないという欠点を見出
しだのである。即ち、減衰率の分布は小はOdBから犬
は1. OOd Bにも及び、これ等広い範囲にわたっ
て変化する減衰率の分布全体をブラウン管上に階調性よ
く表示する事は極めて困難であり、単に圧縮や伸長とい
った非線型処理では不可能だからである。
本発明者等は第1の課題に対して、従来回路を検討した
結果、従来表示されている輝度信号と試料の反射率Rと
の間の比例定数は、主として、トランスデユーサ153
に印加するBP’パルスの太いさE、)ランスデューサ
の送受波感度γ及びビデオ領域まで含めた受信系の増巾
度Gの積で表わされる事を見出した。
従って、試料の減衰率を定量的に求める為には、これ等
3つの量を制御すればよい。勿論、従来のように印加R
Fパルスの太いさEを固定して、反射エコーがある設定
した大いさになる様調整した時の増巾度Gを反射エコー
の大いさの絶対値とする方法ではこの目的にそぐわない
。というのは使用する超音波周波数をかえたり、センサ
そのものをかえると、l−ランスデューサの送受波感度
そのものが変化する為、反射エコーの大いさの絶対的基
準として上記増巾度Gを用いる為には、センサ毎に又使
用超音波周波数毎に較正表を作成する必要があり、繁雑
すぎて到底実用にならないのである。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、RFパルスの太いさEl トランスデ
ユーサの送受波感度T及び受信器の増巾度Gによって変
化しない様な反射エコーの大いさの表示及びそれに必要
な基準レベルを提供する事を目的とする。
〔発明の概要〕
本発明は従来むしろ無用なものとして扱われてきたレン
ズと媒質の界面からのエコーBを基準信号として用いよ
うとするものである。
勿論、このレンズ界面からのエコーHの犬いさそのもの
も、試料からのエコーCの太いさと同様上記の3つの量
、印加RFパルスの太いさE、)ランスデューサの送受
波感度T1可変増巾器のゲインGに比例するのであるが
、両者の比はこれ等の量に依存しない事を見出したので
ある。
以下、第5図を用いて定量的にこの事情を説明する。第
5図において、レンズ界面からのエコーBは、圧電薄膜
210からレンズ材220中発生した超音波パルスがレ
ンズ界面230で反射される現象よシ生ずるから、エコ
ーBの太いさVBは、ここで、ZL :レンズ材の音響
インピーダンスで与えられる。(Zw  ZL)/(Z
W+ZL)はレンズ界面そのものの反射率である。
他方、試料からの反射エコーCは、上記のレンズ界面2
30に到達した超音波パルスが更に媒質240中を減衰
しつつ伝播し、試料250で反射され再びレンズにより
集音される過程であるから、エコーCの太いさVcは、 ここで、αW:媒質中の単位伝播距p当りの減衰率 d :レンズー試料間の距9 で与えられる。4 ZL ZW / (ZL +ZW 
)2の項はレンズ界面を2度通過する際の透過率を、又
e−2″wdは媒質中を距り2dだけ往復する除核むる
減衰率を表わしている。
従って、レンズ界面からのエコーBの大いさを基準とし
て、試料からの反射エコーCの大いさを表わせば、 となり、上記3つの変化量E、T、Gによらない反射エ
コーCの絶対レベルを設定する事が出来る。
かくすれば、最適な画像を得る為に、E、T。
Gの設定を変えても、反射エコーCの大いさをレンズ界
面からのエコーBの大いさを基準として表現してた童は
不変であるから、画像観察に適したケイン設定等を行な
っても、試料の減衰率の2次元分布という計測は独立か
つ定量的に行なう事が出来るのである。
本発明はさらに、以上のようにして得られた試料の減衰
率の値をブラウン管上に表示するに際して、OdB〜−
100dBという減衰率の分布をいつも表示する必要は
ないという発明者等の使用経験から生れたものである。
即ち、生物試料を観察している場合には結合組織では 
−20〜−30d13程度であり又ある種のガン化領域
を観察する場合には、−40〜−60dBであるという
様に、観察対象によってその減衰率の大いさが局在化し
ているという使用経験である。従って局在化した減衰率
の付近のみの範囲の分布のみを取り出して表示するなら
、減衰率の2次元分布に基づく画像のコントラストをよ
p明確にする事が期待されるのである。この目的の為に
は、減衰率の大いさがある範囲(例えば−20dBから
一30dB)のみを表示すればよく、又この範囲を任意
に可変出来る様にすればよい。
以上述べた如く、本発明によれば、第1にRFパルスの
太いさE、)ランスデューサの送受波感度T及び受信器
の増巾度Gに依存しないような、試料からの反射超音波
エコーの荷う情報、即ち試料の反射率そのものを計測す
る事が出来、反射率から試料の減衰率を演算により求め
る事が出来るのである。この2つの手段の提供によって
始めて、反射エコーCの大いさから試料の減衰率が定量
的に得られる事を強調しだい。
〔発明の実施例〕
第6図は、本発明の一実施例を示す図で、RF連続波発
振器300で発生したRF連続波電気信号(例えばIG
H2)をアナログスイッチ310で継続時間td (例
えばtoons)のRFノくルス信号にかえ、(第7図
(6)の制御信号)、方向性結合器320を介してトラ
ンスデユーサ系330に印加する。反射検出信号を方向
性結合器320を介して、AGC受信アンプ350、及
びRF可変増巾器360で増巾後、ダイオード検波器3
70でビデオ信号(帯域〜10MHz)に変換し、タイ
ムゲート標本化回路380を用いて所望の信号である試
料からの反射信号Cを標本化して(第7図(d)の制御
信号)撮像用信号としている。更にAGC受信アンプ3
60の出力(第7図(a)波形)は、ダイオード検波器
390でビデオ帯域で変換後、タイムゲート標本化回路
400(第7図(C)の制御波形)でレンズ界面からの
エコーBの大いさを検出し、これとあらかじめ設定した
基準電圧とノ差ヲコンパレータ410で検出、このコン
パレータ410の出力を零にする様にAGC受信器36
0のゲインを制御する構成になっている。なお、コント
ロール回路360は、繰シ返し周期1、で第7図(b)
〜(d)なる制御信号を発生させる回路である。
かかる構成によれば、前述の印加RFパルスの太いさE
l トランスデユーサの送受波感度Tによらず、常にあ
らかじめ設定した基準電圧値にレンズ界面からのエコー
Bの大いさが一致する様、AGCアンプ350のゲイン
が調整される(この時の4GCアンプのゲインをG。と
する)。従って、試料からの反射エコーも自動的にG。
倍増中されるから、可変増巾器360の増巾率Glを用
いて、 Vc二G1・Vs        ・・・・・・・・・
(6)なる関係で、常にレンズ界面からのエコーBの大
いさを基準として、試料からの反射エコーの荷う情報の
うち、減衰率によるもののみを取シ出す事が出来る。本
実施例では、この減衰率標本化出力は、ロブ圧縮回路5
00を介して、減衰率レベル選択回路600に加えられ
、その出力はCRTの輝度信号として用いられるのであ
る。
第8図は、減衰率レベル選択回路の一実施例を示したも
ので、上記減衰率を表わすディジタル量(例えば8bi
t)出力をDA変換器610でアナログ信号に変換し、
これをアナログSW630を介してCRT用輝度信号と
している。上記アナログ信号は、ウィンドウコンパレー
タ620に入力され、操作者の指定した減衰率の下限し
)ルX1ト上限レベルx2の間の振巾の時、コンパレー
タ620の出力をアナログSWがONする様になってい
る。かくすれば、x−X1〜X2の範囲の信号はそのま
まCJ%T上に表示されるが、これ以外の信号はアナロ
グSWがOFFになっている為、表示されず、かかる構
成で減衰率レベル選択の役目を果す事は明らかであろう
本実施例では、レベル選択回路として、アナログコンパ
レータを用いたが、ディジタル化してマイクロコンピュ
ータによる演算制御を用いてもよい。
最後に、減衰率の絶対値たるOdBの校正には、生物試
料のない時の裏打ち材たる鏡の反射信号を用いて装置の
校正を行なえばよい。
以上述べたように、本発明によれば、減衰率という試料
固有の量を、操作条件によらずいつも表示する事が出来
るばかりでなく、減衰率の2次元分布の変化を素直なス
クールに変換してコントラストよく表示する事を可能に
し、最後に観察対象の減衰率の局在化レベルに応じて、
任意の減衰率の範囲のみをスライスして表示する事が出
来、超音波顕微鏡の画像のコントラストの明確化に大き
な効果を発揮し、当業界への富力は極めて大である。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来の超音波顕微鏡の探触子系の概略構成を
示す図、第2図はその動作を説明するだめの図、第3図
は、反射構成を説明する図、第4図は、反射波の処理方
法を説明するだめのブロック図、第5図は、レンズ界面
と試料からのそれぞれのエコーの大きさを説明する図、
第6図は、本発明の一実施例の構成を示す図、第7図は
、その動作を説明するだめの図、第8図は、本発明の要
雨 1  図 方 Z 図 第 3 (2) 第 47 罰 5 口 第6図 L 6°911IL  、−一丁−−七r>)O−11z2
(d):、2)。−2,3 を 消  8  図 しへ)し レヘフレ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、集束する超音波ビームの焦点領域を試料が実効的に
    2次元に走査する事によって得られるしよう乱超音波を
    用いて、該試料の超音波像を得る超音波顕微鏡において
    、該試料の減衰率の2次元分布のうち、ある特定の範囲
    の大いさにある減衰率のみを表示計測する手段を具備す
    る事を特徴とする超音波顕微鏡。
JP58069956A 1983-04-22 1983-04-22 超音波顕微鏡 Pending JPS59196459A (ja)

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JP58069956A JPS59196459A (ja) 1983-04-22 1983-04-22 超音波顕微鏡
GB08410297A GB2139356B (en) 1983-04-22 1984-04-19 Acoustic microscope
US06/601,960 US4577504A (en) 1983-04-22 1984-04-19 Acoustic microscope
DE3415283A DE3415283C2 (de) 1983-04-22 1984-04-24 Akustisches Mikroskop

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