JPS6217646A - 表面状態表示装置 - Google Patents
表面状態表示装置Info
- Publication number
- JPS6217646A JPS6217646A JP15907985A JP15907985A JPS6217646A JP S6217646 A JPS6217646 A JP S6217646A JP 15907985 A JP15907985 A JP 15907985A JP 15907985 A JP15907985 A JP 15907985A JP S6217646 A JPS6217646 A JP S6217646A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- defect
- frame memory
- analog
- optical unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば金属板等の表面を検査す゛る表面欠
陥検査装置に接続される表面状態表示装置に関するもの
である。
陥検査装置に接続される表面状態表示装置に関するもの
である。
従来、金属平面板の表面欠陥検査装置に、この種表示装
置が接続された例はなかった。従って、本発明に最も近
い従来例として、金属平面板の表面欠陥検査装置を引用
する。この例としては、例えば第４図に示す「三菱電機
技報ＶＯｔ５６ ｌ！Ｌ５１９８ｇ Ｐ１８Ｊ記載のよ
うなレーデ式表面検査装置がある。
置が接続された例はなかった。従って、本発明に最も近
い従来例として、金属平面板の表面欠陥検査装置を引用
する。この例としては、例えば第４図に示す「三菱電機
技報ＶＯｔ５６ ｌ！Ｌ５１９８ｇ Ｐ１８Ｊ記載のよ
うなレーデ式表面検査装置がある。
図において、＋１１は光学ユニット、（２１はこの光学
ユニツ） １１＋内に収納された走査器（例えば電磁振
動鏡）の駆動回路、（３）はアナログ処理回路、＋４７
はデジタルデータ収集回路、ｆ６）はマイクロプロセッ
サ（ｕ−ＣＰＩ、（６）はロータリエンコーダ、（７）
ハエンコーダ・インタフェース、（８）は被検査板であ
る。
ユニツ） １１＋内に収納された走査器（例えば電磁振
動鏡）の駆動回路、（３）はアナログ処理回路、＋４７
はデジタルデータ収集回路、ｆ６）はマイクロプロセッ
サ（ｕ−ＣＰＩ、（６）はロータリエンコーダ、（７）
ハエンコーダ・インタフェース、（８）は被検査板であ
る。
次に動作について説明する。光学ユニット＋１１はレー
ザ発光部、レンズ、電磁振動鏡（走査器）、光電子増倍
管、（いずれも図示せず）等から構成され、被検査板（
８）の表面を走査し、表面欠陥を光学的に検出し、電気
信号に変換してアナログ処理回路（３）へ出力する。ア
ナログ処理回路（３１は、光学ユニット（１）からの信
号、増巾した後、欠陥信号レベル分類を行ない、デジタ
ル信号として出力する。デジタルデータ収婆回路（４１
は、アナログ処理回路（３）で処理されたデジタル信号
を収集し、後続の演算判定に必要なデータ（例えば欠陥
の長さ、巾、密集度など）の形にそろえる。マイクロプ
ロセッサ＋５１ ｕ 、デジタルデータ収集回路（４）
で、そろえられたデータを集め、あらかじめ決められた
欠陥判定アルゴリズムに従って演算などを行い、個別欠
陥の種類。
ザ発光部、レンズ、電磁振動鏡（走査器）、光電子増倍
管、（いずれも図示せず）等から構成され、被検査板（
８）の表面を走査し、表面欠陥を光学的に検出し、電気
信号に変換してアナログ処理回路（３）へ出力する。ア
ナログ処理回路（３１は、光学ユニット（１）からの信
号、増巾した後、欠陥信号レベル分類を行ない、デジタ
ル信号として出力する。デジタルデータ収婆回路（４１
は、アナログ処理回路（３）で処理されたデジタル信号
を収集し、後続の演算判定に必要なデータ（例えば欠陥
の長さ、巾、密集度など）の形にそろえる。マイクロプ
ロセッサ＋５１ ｕ 、デジタルデータ収集回路（４）
で、そろえられたデータを集め、あらかじめ決められた
欠陥判定アルゴリズムに従って演算などを行い、個別欠
陥の種類。
程度等を判定する。（６）はロータリエンコーダで被検
査板（８）の長さ方向の情報をエンコーダインタフェー
ス（７）全経由してマイクロプロセッサ（６）に入力す
る。これによシ欠陥の長さ計測、被検査板の長さ判定を
行なう＠ 〔発明が解決しようとする問題点〕 従来の表面検査装置は以上のように構成されているので
、欠陥信号発生時には、ラインを停止して欠陥の有無や
欠陥の種類程度を目視で検査するため、熟練を要する上
、多大な作業労力と作業時間が必要で９ＪＪ率化が望ま
れていた。
査板（８）の長さ方向の情報をエンコーダインタフェー
ス（７）全経由してマイクロプロセッサ（６）に入力す
る。これによシ欠陥の長さ計測、被検査板の長さ判定を
行なう＠ 〔発明が解決しようとする問題点〕 従来の表面検査装置は以上のように構成されているので
、欠陥信号発生時には、ラインを停止して欠陥の有無や
欠陥の種類程度を目視で検査するため、熟練を要する上
、多大な作業労力と作業時間が必要で９ＪＪ率化が望ま
れていた。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、被検査板の表面状態をＴＶ画像として観察
できると同時に、欠陥信号をアナログ信号上に重ね合わ
せ表示することにより欠陥の判定が容易に実現できる表
面状態表示装置全提供することを目的とする。
れたもので、被検査板の表面状態をＴＶ画像として観察
できると同時に、欠陥信号をアナログ信号上に重ね合わ
せ表示することにより欠陥の判定が容易に実現できる表
面状態表示装置全提供することを目的とする。
この発明に係る表面状態表示装置は、従来の表面検査装
置のアナログ信号と、欠陥信号とを夫々フレームメモリ
装置に記録するとともに、この２種類の信号を重ね合わ
せてＴＶモニタに表示できるようにしたものである。
置のアナログ信号と、欠陥信号とを夫々フレームメモリ
装置に記録するとともに、この２種類の信号を重ね合わ
せてＴＶモニタに表示できるようにしたものである。
この発明におけるフレームメモリ装置は、光学ユニット
から被検査板の表面状態を示すアナ。グ信号ト、そのア
ナログ信号から得られた欠陥信号とを入力記録し、ＴＶ
モニタに重ね合わせて表示することＫより欠陥判定を、
従来以上に確スなものにすることができる。
から被検査板の表面状態を示すアナ。グ信号ト、そのア
ナログ信号から得られた欠陥信号とを入力記録し、ＴＶ
モニタに重ね合わせて表示することＫより欠陥判定を、
従来以上に確スなものにすることができる。
以下この発明の一実施例全図につ−て説明すり。第１図
において（９）はフレームメモリ装置、（ｌＯ）はＴＶ
モニタである。
において（９）はフレームメモリ装置、（ｌＯ）はＴＶ
モニタである。
このフレームメモリ装置（９）ハ、同期信号入力端子ａ
υ、アナログ信号入力端子圀、欠陥信号入力端子、η、
ＴＶ信信号出力端子金備えておシ、同期信号入力端子θ
υには電磁振動鏡等からなる駆動回路（２）からレーザ
ビームの走査に同期した同期信号が、アナログ信号入力
端子・（至）にはアナログ処理回路（３１からのアナロ
グビデオ信号が、また欠陥信号入力端子側にはアナログ
信号から抽出した欠陥信号がそれぞれ印加される。７レ
ームノそり装置（９）ではこれらの信号を夫々記録し、
ＴＶ信号の形でＴＶＶ号出力端子環からＴＶモニタ（１
０１に出力する。
υ、アナログ信号入力端子圀、欠陥信号入力端子、η、
ＴＶ信信号出力端子金備えておシ、同期信号入力端子θ
υには電磁振動鏡等からなる駆動回路（２）からレーザ
ビームの走査に同期した同期信号が、アナログ信号入力
端子・（至）にはアナログ処理回路（３１からのアナロ
グビデオ信号が、また欠陥信号入力端子側にはアナログ
信号から抽出した欠陥信号がそれぞれ印加される。７レ
ームノそり装置（９）ではこれらの信号を夫々記録し、
ＴＶ信号の形でＴＶＶ号出力端子環からＴＶモニタ（１
０１に出力する。
第２図はフレームメモリ装置（９）の−例である。
図において、（財）は％変換回路、側はフレームメモリ
装置鏝はＤ／Ａ変換回路、罰はビデオプロセス回路、閤
はフレームメモリ装置全体制御回路、国は欠陥信号入力
端子、１ηは欠陥信号の整形回路、（１０１） ｔ４欠
陥信号用のフレームメモＩＪ Ｂである。
装置鏝はＤ／Ａ変換回路、罰はビデオプロセス回路、閤
はフレームメモリ装置全体制御回路、国は欠陥信号入力
端子、１ηは欠陥信号の整形回路、（１０１） ｔ４欠
陥信号用のフレームメモＩＪ Ｂである。
アナログ信号入力端予鈴に入力されたアナログビデオ信
号は、％変換回路・綱で１ドツトあたり６〜８ピツトの
デジタルデータに変換され、フレームメモリＡ・頭に記
録される。また、欠陥信号入力端子側から入力された欠
陥信号は、整形回路用で整形された後、欠陥信号用のフ
レームメモリＢ （１０１）に記録される。これらフレ
ームメモリＡ ８１とフレームメモリＢ （ｌｏｔ）
ｎ、制御回路槽により同一タイミングで動作するよう制
御される。
号は、％変換回路・綱で１ドツトあたり６〜８ピツトの
デジタルデータに変換され、フレームメモリＡ・頭に記
録される。また、欠陥信号入力端子側から入力された欠
陥信号は、整形回路用で整形された後、欠陥信号用のフ
レームメモリＢ （１０１）に記録される。これらフレ
ームメモリＡ ８１とフレームメモリＢ （ｌｏｔ）
ｎ、制御回路槽により同一タイミングで動作するよう制
御される。
次に、フレームメモリＡ（至）とフレームメモリＢ （
１０１）に記録された信号は制御回路鏝で発生されたＴ
Ｖの同期信号に同期して、それぞれ読み出すれる。フレ
ームメモリＡ ９ｒ）から読み出された信号ＦｉＤ／Ａ
変声回路変声回路口グ信号に変換された後、ビデオプロ
セス回路側に印加される。一方、フレームメモリＢ （
１０１）から読み出された信号もビデオプロセス回路側
に印加される。このビデオプロセス回路副では、アナロ
グ信号と欠陥信号の混合の他に、Ｔ Ｖ同期信号混合等
の処理を行ない、ＴＶ傷信号してＴＶ信号出力端子器よ
り出力する。
１０１）に記録された信号は制御回路鏝で発生されたＴ
Ｖの同期信号に同期して、それぞれ読み出すれる。フレ
ームメモリＡ ９ｒ）から読み出された信号ＦｉＤ／Ａ
変声回路変声回路口グ信号に変換された後、ビデオプロ
セス回路側に印加される。一方、フレームメモリＢ （
１０１）から読み出された信号もビデオプロセス回路側
に印加される。このビデオプロセス回路副では、アナロ
グ信号と欠陥信号の混合の他に、Ｔ Ｖ同期信号混合等
の処理を行ない、ＴＶ傷信号してＴＶ信号出力端子器よ
り出力する。
々お、上記実施例では、欠陥信号とアナログ信号とを同
時に重ね合わせ表示する場合を述べたが１例えばスイッ
チ等によシ、欠陥信号の表示をＯＮ１０ Ｆ Ｆ制御可
能にしておけば、重畳部分の細かな観察も可能になる。
時に重ね合わせ表示する場合を述べたが１例えばスイッ
チ等によシ、欠陥信号の表示をＯＮ１０ Ｆ Ｆ制御可
能にしておけば、重畳部分の細かな観察も可能になる。
また、欠陥信号は１種類の場合としたが、数種類（例え
ば軽欠陥。
ば軽欠陥。
中欠陥、喧欠陥等）の信号が得られる場合は、第２図の
整形回１％ ｉｌ）にエンコーダを設け、コードデータ
としてフレームメモリＢ （１０１）に記録し、出力時
、ビデオプロセス回ＦＩ！Ｉ＠で濃淡データとして、ア
ナログ信号と混合表示してもよい。
整形回１％ ｉｌ）にエンコーダを設け、コードデータ
としてフレームメモリＢ （１０１）に記録し、出力時
、ビデオプロセス回ＦＩ！Ｉ＠で濃淡データとして、ア
ナログ信号と混合表示してもよい。
又、欠陥の種類をカラーで表示することもできる。
この例を第８図に示す。第８図において（３０１）（３
０２（３０３） ｉｌｔ欠陥信１号の入力端子、（１０
４）（３０５）（ｓｏａ） ｔ６欠陥用フレームメモリ
、（１１０７）（＋３０８）（３０９） ｄフレームメ
モリからの出力信号ライン、（３０１） ［カラーＴＶ
モニタである。欠陥種類が、軽、中９重の８種類と仮定
した場合、軽欠陥をフレームメモリ（１０４）に記録し
、カラーＴＶ％二り（３０１）のＢ（青）入力に入れ、
中欠陥全フレームメモリ（３０５）に記録し、カラーＴ
Ｖモニタ（３０１）のＧ（緑）入力に入れ、重欠陥ｔフ
レームメモリ（ＳＯａ）に記録し、カラーＴＶモニタ（
３１Ｇ）のＲ（赤）入力に入れることによシ、アナログ
信号上に欠陥がカラーで表示可能となる。
０２（３０３） ｉｌｔ欠陥信１号の入力端子、（１０
４）（３０５）（ｓｏａ） ｔ６欠陥用フレームメモリ
、（１１０７）（＋３０８）（３０９） ｄフレームメ
モリからの出力信号ライン、（３０１） ［カラーＴＶ
モニタである。欠陥種類が、軽、中９重の８種類と仮定
した場合、軽欠陥をフレームメモリ（１０４）に記録し
、カラーＴＶ％二り（３０１）のＢ（青）入力に入れ、
中欠陥全フレームメモリ（３０５）に記録し、カラーＴ
Ｖモニタ（３０１）のＧ（緑）入力に入れ、重欠陥ｔフ
レームメモリ（ＳＯａ）に記録し、カラーＴＶモニタ（
３１Ｇ）のＲ（赤）入力に入れることによシ、アナログ
信号上に欠陥がカラーで表示可能となる。
又、本実施例では、金属平面板を対象として述べたが、
例えばフィルム、ガラス等金属以外の平面板状の対象に
対しても同様の効果が得られるごとは言う迄もない０ 〔発明の効果〕 以上説明したように、この発明によれば被検査板の表面
状態と欠陥ｆＣＴＶ画像として観察することができるの
で、欠陥信号が発生した時にその部分を本装置で記録し
、真に欠陥なのか、欠陥の場合は、その種類や程度はど
うなのか、又は欠陥ではない油滴や汚れなのかを判断す
る事ができる。従って、従来のように欠陥信号が発生す
る度にラインを停止して目視検査する方式に比べて、大
中な作業効率の改善や作業者の作業条件改善費には製品
の生産増や歩留り向上にも貢献することができる。
例えばフィルム、ガラス等金属以外の平面板状の対象に
対しても同様の効果が得られるごとは言う迄もない０ 〔発明の効果〕 以上説明したように、この発明によれば被検査板の表面
状態と欠陥ｆＣＴＶ画像として観察することができるの
で、欠陥信号が発生した時にその部分を本装置で記録し
、真に欠陥なのか、欠陥の場合は、その種類や程度はど
うなのか、又は欠陥ではない油滴や汚れなのかを判断す
る事ができる。従って、従来のように欠陥信号が発生す
る度にラインを停止して目視検査する方式に比べて、大
中な作業効率の改善や作業者の作業条件改善費には製品
の生産増や歩留り向上にも貢献することができる。
第１図は、この発明の一実施例による表面状態表示装置
のブロック図、第２図は第１図のフレームメモリ装置の
詳細ブロック図、第８図はこの発明の他の実施例金示す
ブロック図、第４図は本発明に最も近い従来例を示すブ
ロック図である。 田は光学ユニツ）、＋２１は駆動回路、１３）はアナロ
グ処理回路、（４）はデジタルデータ収集回路、（５）
ハマイクロプロセッサ、ｆ６１Ｈロータリエンコータ、
＋７１ｆｌエンコーダ、インタフェース、ｔ８Ｈ−を被
検査板、（９）はフレームメモリ装置、ｔｔｏ＋はＴＶ
モニタ装置である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
のブロック図、第２図は第１図のフレームメモリ装置の
詳細ブロック図、第８図はこの発明の他の実施例金示す
ブロック図、第４図は本発明に最も近い従来例を示すブ
ロック図である。 田は光学ユニツ）、＋２１は駆動回路、１３）はアナロ
グ処理回路、（４）はデジタルデータ収集回路、（５）
ハマイクロプロセッサ、ｆ６１Ｈロータリエンコータ、
＋７１ｆｌエンコーダ、インタフェース、ｔ８Ｈ−を被
検査板、（９）はフレームメモリ装置、ｔｔｏ＋はＴＶ
モニタ装置である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 被検査板の表面欠陥を検量する欠陥検査装置において、
上記被検査板を走査し、その表面を撮像する走査器およ
び光電変換器を収納する光学ユニット、この光学ユニッ
ト内に収納された上記走査器を駆動する駆動回路、上記
光学ユニット内に収納された上記光電変換器からのアナ
ログ信号を処理して欠陥信号を検出するアナログ処理回
路、このアナログ処理回路からの欠陥信号を後続の演算
判定に必要なデジタルデータの形に整えるデジタルデー
タ収集回路、上記アナログ信号と欠陥信号とを入力デー
タとし、上記駆動回路の信号を同期信号としてメモリに
記録し、ＴＶ信号として出力するフレームメモリ装置及
びこのＴＶ信号を表示するＴＶモニタを備え、上記アナ
ログ信号に欠陥信号を重畳表示することを特長とする表
面状態表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15907985A JPS6217646A (ja) | 1985-07-16 | 1985-07-16 | 表面状態表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15907985A JPS6217646A (ja) | 1985-07-16 | 1985-07-16 | 表面状態表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6217646A true JPS6217646A (ja) | 1987-01-26 |
Family
ID=15685760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15907985A Pending JPS6217646A (ja) | 1985-07-16 | 1985-07-16 | 表面状態表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6217646A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03188358A (ja) * | 1989-12-19 | 1991-08-16 | Hajime Sangyo Kk | 物体の表面検査装置 |
| JPH04233440A (ja) * | 1990-12-14 | 1992-08-21 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 光学的検査装置 |
| US7410159B2 (en) | 2004-03-15 | 2008-08-12 | Fujitsu Limited | Paper feeding device with independent pickup rollers |
-
1985
- 1985-07-16 JP JP15907985A patent/JPS6217646A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03188358A (ja) * | 1989-12-19 | 1991-08-16 | Hajime Sangyo Kk | 物体の表面検査装置 |
| JPH04233440A (ja) * | 1990-12-14 | 1992-08-21 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 光学的検査装置 |
| US7410159B2 (en) | 2004-03-15 | 2008-08-12 | Fujitsu Limited | Paper feeding device with independent pickup rollers |
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