CS267642B1 - Portable rastering electron microscope - Google Patents
Portable rastering electron microscope Download PDFInfo
- Publication number
- CS267642B1 CS267642B1 CS879449A CS944987A CS267642B1 CS 267642 B1 CS267642 B1 CS 267642B1 CS 879449 A CS879449 A CS 879449A CS 944987 A CS944987 A CS 944987A CS 267642 B1 CS267642 B1 CS 267642B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- electron microscope
- scanning electron
- portable
- chamber
- aperture
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Description
Vynález se týká přenosného rastrovacího elektronového mikroskopu.The invention relates to a portable scanning electron microscope.
V poslední době se velice rozšířilo používání rastrovacích elektronových mikroskopu, které jsou pro svou velikou hloubku ostrosti zvláště ceněny při kontrole výrobních procesu a při studiu deformací povrchu, zvláště při zkouškách namáhání.Recently, the use of scanning electron microscopes has become widespread, which, due to their great depth of field, is particularly appreciated in the control of manufacturing processes and in the study of surface deformations, especially in stress tests.
Nevýhodou dosavadních rastrovacích olektronových mikroskopů je však omezená velikost pozorovaného objektu, což vede к nutnosti použití destruktivních metod zkoumaní, při nichž se pozorovaný vzorek musí odebrat v takové velikosti, aby se vešel do komory preparátu, takže často dochází ke zhoršení nebo nenapravitelné deformaci součásti, z níž bylo zkoumané místo odebráno.However, the disadvantage of the prior art scanning electron microscopes is the limited size of the observed object, which necessitates the use of destructive methods of investigation, in which the observed sample must be taken in such a size as to fit into the specimen chamber. where the site was removed.
Pro odstranění této nevýhody byl zkonstruován elektronový mikroskop, jehož vakuová část je od okolního prostoru oddělena clonou o velmi malém průměru, typicky JO mikrometrů, přičemž tato vakuová část je čorpána výkonným čerpacím zařízením, trvalo kompenzujícím tuto umele zavedenou vakuovou netěsnost.To overcome this drawback, an electron microscope has been constructed whose vacuum part is separated from the surrounding space by a very small diameter orifice, typically 10 micrometers, and the vacuum part is pumped by a powerful pumping device, permanently compensating for this artificial vacuum leak.
Nevýhody tohoto řešení spočívají zejména ve velmi omezeném pozorovacím poli, daném mikroskopickými rozměry otvoru membrány, v nehomogenitě vakua v úrovni optické osy a v difúzi elektronů zpětně rozptylovaných předmětem, což má za následek jen prostřední kvalitu obrazu.The disadvantages of this solution lie mainly in the very limited observation field given by the microscopic dimensions of the diaphragm opening, the inhomogeneity of the vacuum at the level of the optical axis and the diffusion of the electrons backscattered by the object, resulting in only intermediate image quality.
Pro odstranění těchto nevýhod byl zkonstruován přenosný rastrovací elektronoví’ mikroskop, opatřený komorou, která je ve své spodní části otevřená a uzpůsoboná pro vakuotěsné uložení na pevnou plochu předmětu v pozorovaném místě. Vlastní tubus rastrovacího elektronového mikroskopu může byt pro lepší možnost výběru pozorovaného místa spojen s komorou preparátu kulovým lůžkem, kolem kterého lze tubus naklánět a měnit tak umístění centrálního svazku elektronu.To overcome these drawbacks, a portable scanning electron microscope has been constructed, provided with a chamber that is open at its bottom and capable of being vacuum-sealed onto a solid surface of the object at the observed location. The scanning electron microscope tube itself can be connected to the specimen chamber by a spherical bed, for better choice of the observed spot, around which the tube can be tilted to change the position of the central electron beam.
Nevýhody tohoto řešení spočívají v tom, že při větších úhlech vyklopení tubusu dochází ke zkreslení obrazu a že vlivem zvětšoné vzdálenosti mezi pozorovaným povrchem a výstupní Čočkou optické soustavy dochází ke změně zvětšení obrazu. Další nevýhodou tohoto řešení pak je, žo к uskutečnění pozorování je třoba, aby okolí pozorovaného místa vykazovalo rovnou plochu o rozměru, který přesně kopíruje rozměr těsnění dna komory preparátu použitého rastrovacího elektronového mikroskopu.The disadvantages of this solution are that the image distortion occurs at larger tube tilt angles and that the magnification of the image changes due to the increased distance between the observed surface and the output lens of the optical system. A further disadvantage of this solution is that, in order to carry out the observation, it is a friction that the surroundings of the observed spot exhibit a flat surface of a size that exactly copies the seal chamber bottom seal of the used scanning electron microscope.
Uvedené nevýhody dosud známých řešení do značné míry odstraňuje přenosný rastrovací elektronový mikroskop podle vynálezu, jehož podstatou je, že komora preparátu je ve středu s\'ého dna opatřona průzorem, jehož velikost je větší než maximální rozmítnutí rastrovacího elektronového svazku v rovině průzoru a je vakuotesně suvne uložena na základní desce, která je opatřena ve své středové části na průzor navazujícím otvorem a na své spodní ploše prvním vakuovým těsněním, obepínajícím otvor. Výhodné při tor.: je, Jestliže základní desix: jc opatřena stavčcími šrouby a/nebo jestližo komora jo opatřena pohybovými Šrouby. Výhodné přitom rovněž je, jestliže tento milxroskop jc opatřen sadou základních desek, z nicliž leaždá má svou spodní plochu a první vakuové těsnění velikostí a tA*arem přizpůsobené jiné typické sledované pozorované ploše.The above-mentioned disadvantages of the prior art solutions are largely overcome by the portable scanning electron microscope according to the invention, which is characterized in that the specimen chamber is provided with a viewing window at the center of the bottom of the sample larger than the maximum scanning of the scanning electron beam. slidably mounted on the base plate, which is provided in its central part with a window opening through the aperture and on its bottom surface with a first vacuum seal surrounding the aperture. Preferably, the base desix is provided with set screws and / or the chamber is provided with movement screws. It is also advantageous if the millxroscope is provided with a set of base plates but has its bottom surface and a first vacuum seal of size and size adapted to another typical viewing surface.
Výhody přenosného rastrovacího elektronového mikroskopu podle vynálezu spočívají zejména v tom, že při posuvu tubusu mikroskopu při hlodání vhodného místa к pozorování nedochází ani kc zkreslení, ani ко změně zvětšení obrazu v důsledku změny náklonu rastrovacího elektronového svazku. Další výhodou tohoto řešení je, že pro různé pozorované plochy lze snadno zajistit výměnné základní desky s těsněním, jehož velikost a tvar jsou přizpůsobeny danému okolí pozorovaného místa.The advantages of the portable scanning electron microscope according to the invention are, in particular, that there is no distortion or magnification of the image due to a change in the inclination of the scanning electron beam when the microscope tube is moved to a suitable spot for observation. A further advantage of this solution is that replaceable base plates with gaskets, the size and shape of which are adapted to the surroundings of the observed site, can easily be provided for the various viewing surfaces.
Vynález bude dále podrobněji popsán podle přiloženého výkresu, na něr.iž jc znázorněno příkladné provedení přenosného rastrovacího elektronového mikroskopu podle vynálezu.The invention will now be described in more detail with reference to the accompanying drawing, in which an exemplary embodiment of a portable scanning electron microscope according to the invention is shown.
Na výkrese jc na pozorované ploše £ uložena základní doska 2 opatřená prvním vakuovým těsněním Д, obepínajícím otvor ó v základní desce Na základní desce je uložena komora 5 preparátu, v jejímž dnu je uspořádán průzor 6_. Na komoře 5 preparátu je usazenIn the drawing, a base plate 2 provided with a first vacuum seal D enclosing an opening 6 in the base plate is placed on the surface to be observed. A base chamber 5 accommodates a specimen chamber 5 in the bottom of which a window 6 is arranged. It is deposited on the specimen chamber 5
CS 267 6h2 Dl tubus 7 a s komorou 5 preparátu Jo dálo spojeno čerpací ústrojí 8. Základní doslca £ jo opatřena stavěcími šrouby 9 a komora 5 jo opatřena pohybovými šrouby 10. Mezi komorou £ preparátu a základní deskou 2 jo uspořádáno druhé vakuové těsnění 11.CS 267 6h2 D1 tube 7 and the pump chamber 8 are further connected to the pump chamber 8. The base plate 10 is provided with set screws 9 and the chamber 5 is provided with movement screws 10. A second vacuum seal 11 is arranged between the slide chamber 8 and the base plate 2.
V Činnosti přenosného rastrovacího elektronového mikroskopu podlo vynálezu so mikroskop přenose ke sledovanému místu a jeho základní deska £ se usadí na pozorované ploše £ tak, aby sledované místo bylo uvnitř otvoru *4 a aby první vakuové těsnění Д dosodlo celým svým obvodom na pozorovanou plochu £ okolo sledovaného místa. Pak se tubus 7 mikroskopu vyčerpá čerpacím ústrojím 8, a přitažením stavěčích šroubů 9, které tlačí proti pozorované plošo 1, se mikroskop stabilizuje, zejména pro větší odolnost vůči vibracím. Colý mikroskop se uvodo do chodu a elektronový· paprsok se nechá rastrovat po pozorované plošo 1 v blízkosti osy tubusu 7. Pohybovými šrouby 10 se při přehledovém zvětšení posouvá tubus 7 s komorou 5 proparátu nad pozorovanou plochu £ a po naložení hledaného dotailu so přistoupí к vlastnímu pozorování.In the operation of the portable scanning electron microscope according to the invention, the microscope is transferred to the site of interest and its base plate 6 is seated on the observation surface 8 so that the site of interest is within the aperture * 4 and monitored place. Then, the microscope tube 7 is exhausted by the pumping device 8, and by tightening the set screws 9, which press against the observed surface 1, the microscope stabilizes, in particular for greater resistance to vibration. The microscope is actuated and the electron beam is rasterized over the observation surface 1 near the axis of the tube 7. The movement screws 10 move the tube 7 with the chamber 5 of the proparate above the observed surface 8 at a magnified magnification. observation.
Vynález lzo s výhodou využít pro nedestruktivní povrchovou analýzu větších ploch, například pro zjišťování únavových deformací křídel letadel, součástek raketové tcclinilcy a jiných větších strojních částí.The invention can be advantageously used for non-destructive surface analysis of larger surfaces, for example for the determination of fatigue deformations of aircraft wings, missile components and other larger machine parts.
Claims (4)
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS879449A CS267642B1 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Portable rastering electron microscope |
| JP29842688A JPH01251546A (en) | 1987-12-18 | 1988-11-28 | Portable scanning electron microscope |
| GB8828748A GB2213984A (en) | 1987-12-18 | 1988-12-08 | A portable scanning electron microscope |
| CN 88108716 CN1035583A (en) | 1987-12-18 | 1988-12-17 | Postable scanning electron microscope |
| DE19883842757 DE3842757A1 (en) | 1987-12-18 | 1988-12-19 | PORTABLE GRID ELECTRON MICROSCOPE |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS879449A CS267642B1 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Portable rastering electron microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS944987A1 CS944987A1 (en) | 1989-06-13 |
| CS267642B1 true CS267642B1 (en) | 1990-02-12 |
Family
ID=5444734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS879449A CS267642B1 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Portable rastering electron microscope |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01251546A (en) |
| CN (1) | CN1035583A (en) |
| CS (1) | CS267642B1 (en) |
| DE (1) | DE3842757A1 (en) |
| GB (1) | GB2213984A (en) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1026547C2 (en) * | 2004-07-01 | 2006-01-03 | Fei Co | Device for evacuating a sample. |
| CN101221882B (en) * | 2007-12-14 | 2010-09-01 | 中国科学院物理研究所 | Adapter of transmission electron microscope example bench, its substrate and manufacturing method thereof |
| JP5259688B2 (en) | 2010-12-09 | 2013-08-07 | 本田技研工業株式会社 | Scanning electron microscope |
| CN102426269B (en) * | 2011-08-31 | 2013-05-08 | 北京大学 | Low-temperature scanning near field optical microscope |
| NL2013432B1 (en) * | 2014-09-05 | 2016-09-28 | Delmic B V | Compact inspection apparatus comprising a combination of a Scanning Electron Microscope and an Optical microscope. |
| CN107991512B (en) * | 2017-11-09 | 2021-03-26 | Tcl华星光电技术有限公司 | Detection platform based on atomic force microscope |
| CN115116812B (en) * | 2022-08-29 | 2022-11-11 | 深圳市宗源伟业科技有限公司 | High-precision electron microscope |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL290956A (en) * | 1962-04-02 | |||
| JPS5523746Y2 (en) * | 1976-02-05 | 1980-06-06 |
-
1987
- 1987-12-18 CS CS879449A patent/CS267642B1/en unknown
-
1988
- 1988-11-28 JP JP29842688A patent/JPH01251546A/en active Pending
- 1988-12-08 GB GB8828748A patent/GB2213984A/en not_active Withdrawn
- 1988-12-17 CN CN 88108716 patent/CN1035583A/en active Pending
- 1988-12-19 DE DE19883842757 patent/DE3842757A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3842757A1 (en) | 1989-06-29 |
| GB2213984A (en) | 1989-08-23 |
| GB8828748D0 (en) | 1989-01-11 |
| CS944987A1 (en) | 1989-06-13 |
| CN1035583A (en) | 1989-09-13 |
| JPH01251546A (en) | 1989-10-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Maser et al. | Soft X‐ray microscopy with a cryo scanning transmission X‐ray microscope: I. Instrumentation, imaging and spectroscopy | |
| KR100849767B1 (en) | Modular manipulation system for manipulating a sample under study with a microscope | |
| US7777185B2 (en) | Method and apparatus for a high-resolution three dimensional confocal scanning transmission electron microscope | |
| US3885158A (en) | Specimen block and specimen block holder | |
| US4802748A (en) | Confocal tandem scanning reflected light microscope | |
| US6967335B1 (en) | Manipulation system for manipulating a sample under study with a microscope | |
| EP1953791A1 (en) | Apparatus for observing a sample with a particle beam and an optical microscope | |
| EP2061067A2 (en) | Beam device and system comprising a particle beam device and an optical microscope | |
| US5280178A (en) | Specimen holder for use in a charged particle beam device | |
| CS267642B1 (en) | Portable rastering electron microscope | |
| JPH07335165A (en) | Electron microscope for observation of lattice fault | |
| JPS58500386A (en) | Scanning electron microscope operated in the field | |
| Geissinger | A precise stage arrangement for correlative microscopy for specimens mounted on glass slides, stubs or EM grids | |
| US2843751A (en) | Design, construction, and application of a device for obtaining radiographs of microscopic objects in a commercial model electron microscope | |
| KR101735696B1 (en) | Scanning electron microscopy and method for observing a sample using thereof | |
| EP3958035A1 (en) | Lens assembly for microscopic imaging and corresponding microscope and imaging method | |
| Basha et al. | Microscopy and Specimen Preparation | |
| RU2645437C1 (en) | Scanning probe nanotomograph with optical analysis module | |
| JP3039562B2 (en) | Composite device with built-in scanning electron microscope | |
| Denninger et al. | Diffraction contrast analysis of dislocations in 2D materials using true dark-field and 4D-STEM in SEM | |
| Haar et al. | Developments and applications of confocal theta microscopy | |
| GB2233757A (en) | Apparatus and method for examining photo-luminescence of a sample of material at low temperature | |
| JPS643168Y2 (en) | ||
| KR960011065B1 (en) | Scanning electron microscope for visualization of wet sample | |
| JP2002221666A (en) | Convergent light bright- and dark-field microscopic apparatus and convergent light bright- and dark-field microscopic observation method |