CS267642B1 - Portable rastering electron microscope - Google Patents
Portable rastering electron microscope Download PDFInfo
- Publication number
- CS267642B1 CS267642B1 CS879449A CS944987A CS267642B1 CS 267642 B1 CS267642 B1 CS 267642B1 CS 879449 A CS879449 A CS 879449A CS 944987 A CS944987 A CS 944987A CS 267642 B1 CS267642 B1 CS 267642B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- electron microscope
- scanning electron
- portable
- chamber
- aperture
- Prior art date
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 5
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Vynález se týká přenosného rastrovacího elektronového mikroskopu.
V poslední době se velice rozšířilo používání rastrovacích elektronových mikroskopu, které jsou pro svou velikou hloubku ostrosti zvláště ceněny při kontrole výrobních procesu a při studiu deformací povrchu, zvláště při zkouškách namáhání.
Nevýhodou dosavadních rastrovacích olektronových mikroskopů je však omezená velikost pozorovaného objektu, což vede к nutnosti použití destruktivních metod zkoumaní, při nichž se pozorovaný vzorek musí odebrat v takové velikosti, aby se vešel do komory preparátu, takže často dochází ke zhoršení nebo nenapravitelné deformaci součásti, z níž bylo zkoumané místo odebráno.
Pro odstranění této nevýhody byl zkonstruován elektronový mikroskop, jehož vakuová část je od okolního prostoru oddělena clonou o velmi malém průměru, typicky JO mikrometrů, přičemž tato vakuová část je čorpána výkonným čerpacím zařízením, trvalo kompenzujícím tuto umele zavedenou vakuovou netěsnost.
Nevýhody tohoto řešení spočívají zejména ve velmi omezeném pozorovacím poli, daném mikroskopickými rozměry otvoru membrány, v nehomogenitě vakua v úrovni optické osy a v difúzi elektronů zpětně rozptylovaných předmětem, což má za následek jen prostřední kvalitu obrazu.
Pro odstranění těchto nevýhod byl zkonstruován přenosný rastrovací elektronoví’ mikroskop, opatřený komorou, která je ve své spodní části otevřená a uzpůsoboná pro vakuotěsné uložení na pevnou plochu předmětu v pozorovaném místě. Vlastní tubus rastrovacího elektronového mikroskopu může byt pro lepší možnost výběru pozorovaného místa spojen s komorou preparátu kulovým lůžkem, kolem kterého lze tubus naklánět a měnit tak umístění centrálního svazku elektronu.
Nevýhody tohoto řešení spočívají v tom, že při větších úhlech vyklopení tubusu dochází ke zkreslení obrazu a že vlivem zvětšoné vzdálenosti mezi pozorovaným povrchem a výstupní Čočkou optické soustavy dochází ke změně zvětšení obrazu. Další nevýhodou tohoto řešení pak je, žo к uskutečnění pozorování je třoba, aby okolí pozorovaného místa vykazovalo rovnou plochu o rozměru, který přesně kopíruje rozměr těsnění dna komory preparátu použitého rastrovacího elektronového mikroskopu.
Uvedené nevýhody dosud známých řešení do značné míry odstraňuje přenosný rastrovací elektronový mikroskop podle vynálezu, jehož podstatou je, že komora preparátu je ve středu s\'ého dna opatřona průzorem, jehož velikost je větší než maximální rozmítnutí rastrovacího elektronového svazku v rovině průzoru a je vakuotesně suvne uložena na základní desce, která je opatřena ve své středové části na průzor navazujícím otvorem a na své spodní ploše prvním vakuovým těsněním, obepínajícím otvor. Výhodné při tor.: je, Jestliže základní desix: jc opatřena stavčcími šrouby a/nebo jestližo komora jo opatřena pohybovými Šrouby. Výhodné přitom rovněž je, jestliže tento milxroskop jc opatřen sadou základních desek, z nicliž leaždá má svou spodní plochu a první vakuové těsnění velikostí a tA*arem přizpůsobené jiné typické sledované pozorované ploše.
Výhody přenosného rastrovacího elektronového mikroskopu podle vynálezu spočívají zejména v tom, že při posuvu tubusu mikroskopu při hlodání vhodného místa к pozorování nedochází ani kc zkreslení, ani ко změně zvětšení obrazu v důsledku změny náklonu rastrovacího elektronového svazku. Další výhodou tohoto řešení je, že pro různé pozorované plochy lze snadno zajistit výměnné základní desky s těsněním, jehož velikost a tvar jsou přizpůsobeny danému okolí pozorovaného místa.
Vynález bude dále podrobněji popsán podle přiloženého výkresu, na něr.iž jc znázorněno příkladné provedení přenosného rastrovacího elektronového mikroskopu podle vynálezu.
Na výkrese jc na pozorované ploše £ uložena základní doska 2 opatřená prvním vakuovým těsněním Д, obepínajícím otvor ó v základní desce Na základní desce je uložena komora 5 preparátu, v jejímž dnu je uspořádán průzor 6_. Na komoře 5 preparátu je usazen
CS 267 6h2 Dl tubus 7 a s komorou 5 preparátu Jo dálo spojeno čerpací ústrojí 8. Základní doslca £ jo opatřena stavěcími šrouby 9 a komora 5 jo opatřena pohybovými šrouby 10. Mezi komorou £ preparátu a základní deskou 2 jo uspořádáno druhé vakuové těsnění 11.
V Činnosti přenosného rastrovacího elektronového mikroskopu podlo vynálezu so mikroskop přenose ke sledovanému místu a jeho základní deska £ se usadí na pozorované ploše £ tak, aby sledované místo bylo uvnitř otvoru *4 a aby první vakuové těsnění Д dosodlo celým svým obvodom na pozorovanou plochu £ okolo sledovaného místa. Pak se tubus 7 mikroskopu vyčerpá čerpacím ústrojím 8, a přitažením stavěčích šroubů 9, které tlačí proti pozorované plošo 1, se mikroskop stabilizuje, zejména pro větší odolnost vůči vibracím. Colý mikroskop se uvodo do chodu a elektronový· paprsok se nechá rastrovat po pozorované plošo 1 v blízkosti osy tubusu 7. Pohybovými šrouby 10 se při přehledovém zvětšení posouvá tubus 7 s komorou 5 proparátu nad pozorovanou plochu £ a po naložení hledaného dotailu so přistoupí к vlastnímu pozorování.
Vynález lzo s výhodou využít pro nedestruktivní povrchovou analýzu větších ploch, například pro zjišťování únavových deformací křídel letadel, součástek raketové tcclinilcy a jiných větších strojních částí.
Claims (4)
1. Přenosný rastrovací elektronový mikroskop, vyznačující se tím, že komora (5) proparátu je vo střodu svého dna opatřena průzorem (6), jehož velikost jo větší, než maximální rozmítnutí rastrovacího elektronového svazku v rovině průzoru (6), a jo vakuotěsně suvně uložona na základní desce (2), která jo opatřena ve své středové části na průzor (6) navazujícím otvorem (4) a na své spodní plošo prvním vakuovým těsněním (3), obepínajícím otvor (4).
2. Přenosný rastrovací elektronový mikroskop podle bodu 1, vyznačující so tím, žo základní doska (2) jo opatřena stavěcími Šrouby (9)-
3. Přenosný rastrovací elektronový mikroskop podle bodu 1 nobo 2, vyznačující so tím, že komora (5) Je opatřena pohybovými šrouby (10),
4. Přenosný rastrovací elektronový mikroskop podlo bodů 1 až 3, vyznačující sc tím, žo je opatřen sadou základních desek (2), z nichž každá má svou spodní plochu a první vakuové těsnění (3) velikostí a tvarem přizpůsobené jiné typické sledované pozorovací ploše (i).
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS879449A CS267642B1 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Portable rastering electron microscope |
| JP63298426A JPH01251546A (ja) | 1987-12-18 | 1988-11-28 | 携帯用走査電子顕微鏡 |
| GB8828748A GB2213984A (en) | 1987-12-18 | 1988-12-08 | A portable scanning electron microscope |
| CN 88108716 CN1035583A (zh) | 1987-12-18 | 1988-12-17 | 移动式电子扫描显微镜 |
| DE19883842757 DE3842757A1 (de) | 1987-12-18 | 1988-12-19 | Tragbares raster-elektronenmikroskop |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS879449A CS267642B1 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Portable rastering electron microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS944987A1 CS944987A1 (en) | 1989-06-13 |
| CS267642B1 true CS267642B1 (en) | 1990-02-12 |
Family
ID=5444734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS879449A CS267642B1 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Portable rastering electron microscope |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01251546A (cs) |
| CN (1) | CN1035583A (cs) |
| CS (1) | CS267642B1 (cs) |
| DE (1) | DE3842757A1 (cs) |
| GB (1) | GB2213984A (cs) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1026547C2 (nl) * | 2004-07-01 | 2006-01-03 | Fei Co | Apparaat voor het evacueren van een sample. |
| CN101221882B (zh) * | 2007-12-14 | 2010-09-01 | 中国科学院物理研究所 | 透射电子显微镜样品台转接头和所用基片及基片的制造方法 |
| JP5259688B2 (ja) | 2010-12-09 | 2013-08-07 | 本田技研工業株式会社 | 走査型電子顕微鏡 |
| CN102426269B (zh) * | 2011-08-31 | 2013-05-08 | 北京大学 | 一种低温扫描近场光学显微镜 |
| NL2013432B1 (en) * | 2014-09-05 | 2016-09-28 | Delmic B V | Compact inspection apparatus comprising a combination of a Scanning Electron Microscope and an Optical microscope. |
| CN107991512B (zh) * | 2017-11-09 | 2021-03-26 | Tcl华星光电技术有限公司 | 基于原子力显微镜的检测平台 |
| CN115116812B (zh) * | 2022-08-29 | 2022-11-11 | 深圳市宗源伟业科技有限公司 | 一种高精度电子显微镜 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE630465A (cs) * | 1962-04-02 | |||
| JPS5523746Y2 (cs) * | 1976-02-05 | 1980-06-06 |
-
1987
- 1987-12-18 CS CS879449A patent/CS267642B1/cs unknown
-
1988
- 1988-11-28 JP JP63298426A patent/JPH01251546A/ja active Pending
- 1988-12-08 GB GB8828748A patent/GB2213984A/en not_active Withdrawn
- 1988-12-17 CN CN 88108716 patent/CN1035583A/zh active Pending
- 1988-12-19 DE DE19883842757 patent/DE3842757A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB8828748D0 (en) | 1989-01-11 |
| GB2213984A (en) | 1989-08-23 |
| CN1035583A (zh) | 1989-09-13 |
| JPH01251546A (ja) | 1989-10-06 |
| DE3842757A1 (de) | 1989-06-29 |
| CS944987A1 (en) | 1989-06-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Maser et al. | Soft X‐ray microscopy with a cryo scanning transmission X‐ray microscope: I. Instrumentation, imaging and spectroscopy | |
| KR100849767B1 (ko) | 현미경으로 연구 중 샘플을 조작하기 위한 모듈 조작 시스템 | |
| US7777185B2 (en) | Method and apparatus for a high-resolution three dimensional confocal scanning transmission electron microscope | |
| US3885158A (en) | Specimen block and specimen block holder | |
| US6967335B1 (en) | Manipulation system for manipulating a sample under study with a microscope | |
| EP1953791A1 (en) | Apparatus for observing a sample with a particle beam and an optical microscope | |
| EP2061067A2 (en) | Beam device and system comprising a particle beam device and an optical microscope | |
| US5280178A (en) | Specimen holder for use in a charged particle beam device | |
| CS267642B1 (en) | Portable rastering electron microscope | |
| JPS58500386A (ja) | 現場で操作する走査電子顕微鏡 | |
| CN106645250B (zh) | 一种具备光学成像功能的扫描透射电子显微镜 | |
| Geissinger | A precise stage arrangement for correlative microscopy for specimens mounted on glass slides, stubs or EM grids | |
| Denninger et al. | Diffraction contrast analysis of dislocations in 2D materials using true dark-field and 4D-STEM in SEM | |
| US2843751A (en) | Design, construction, and application of a device for obtaining radiographs of microscopic objects in a commercial model electron microscope | |
| Gajghate | Introduction to Microscopy | |
| JP2002150983A (ja) | マニピュレータ | |
| Basha | Microscopy and Specimen Preparation | |
| KR101735696B1 (ko) | 주사전자현미경 및 이를 이용한 시료의 관찰 방법 | |
| JP3039562B2 (ja) | 走査型電子顕微手段を内蔵した複合化装置 | |
| RU2645437C1 (ru) | Сканирующий зондовый нанотомограф с модулем оптического анализа | |
| GB2233757A (en) | Apparatus and method for examining photo-luminescence of a sample of material at low temperature | |
| JPS643168Y2 (cs) | ||
| Haar et al. | Developments and applications of confocal theta microscopy | |
| KR960011065B1 (ko) | 습윤 표본을 관찰 가능한 주사형 전자 현미경 | |
| JPS58158847A (ja) | 試験片表面観察装置 |