JPH01251546A - 携帯用走査電子顕微鏡 - Google Patents
携帯用走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH01251546A JPH01251546A JP29842688A JP29842688A JPH01251546A JP H01251546 A JPH01251546 A JP H01251546A JP 29842688 A JP29842688 A JP 29842688A JP 29842688 A JP29842688 A JP 29842688A JP H01251546 A JPH01251546 A JP H01251546A
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- JP
- Japan
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- scanning electron
- electron microscope
- column
- portable scanning
- spot
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 7
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は携帯用走査電子顕微鏡に関するものである。
最近において、製造工程における検査のため又、特に疲
労効果を検査する時のような表面変形観察のため等に好
ましくは使用される焦点深度の大きい走査電子顕微鏡の
数が増加して来ている。
労効果を検査する時のような表面変形観察のため等に好
ましくは使用される焦点深度の大きい走査電子顕微鏡の
数が増加して来ている。
かかる従来技術の走査電子顕微鏡の主な欠点は検査され
る対象物が検査のだ杓の破壊方法を使用することを要求
するものであって、検査されるサンプルの寸法が試料チ
ャンバーの開口部（ｏｐｅｎｉｎｇ）を越えない場合に
は該検査対象物の寸法が限定されることであって、それ
故そこからサンプルが採られる部分の劣化或は回復しが
たい破壊が頻繁に発生していた。
る対象物が検査のだ杓の破壊方法を使用することを要求
するものであって、検査されるサンプルの寸法が試料チ
ャンバーの開口部（ｏｐｅｎｉｎｇ）を越えない場合に
は該検査対象物の寸法が限定されることであって、それ
故そこからサンプルが採られる部分の劣化或は回復しが
たい破壊が頻繁に発生していた。
かかる欠点を除去するため電子顕微鏡はその真空部分が
極めて小さい代表的には３０マイクロメーターの直径を
有するダイアフラムによって周辺雲囲気から分離され、
又該真空部分は非常に強力なポンプユニットにより空に
させられておりそれがこの人工的に誘発される真空もれ
を補償するように設計されていた。
極めて小さい代表的には３０マイクロメーターの直径を
有するダイアフラムによって周辺雲囲気から分離され、
又該真空部分は非常に強力なポンプユニットにより空に
させられておりそれがこの人工的に誘発される真空もれ
を補償するように設計されていた。
かかる解決方法の主な欠点は該ダイアフラムの顕微鏡的
サイズにより視野の範囲が非常に制限されていることで
あり、光学軸領域（ｏｐｔｉｃａｌ ａｘｉｓｒｅｇｉ
ｏｎ） における真空不均質性（ｖａｃｕｕｍ ｈｅｔ
ｅｒｇｅｎｉｔｙ）及び画像の低画質を生じせしめると
いう対象物により散乱帰還（ｓｃａｔｔｅｒｅｄ ｂａ
ｃｋ） した電子による拡散である。
サイズにより視野の範囲が非常に制限されていることで
あり、光学軸領域（ｏｐｔｉｃａｌ ａｘｉｓｒｅｇｉ
ｏｎ） における真空不均質性（ｖａｃｕｕｍ ｈｅｔ
ｅｒｇｅｎｉｔｙ）及び画像の低画質を生じせしめると
いう対象物により散乱帰還（ｓｃａｔｔｅｒｅｄ ｂａ
ｃｋ） した電子による拡散である。
これ等の欠点を除去するため、携帯用電子走査顕微鏡は
、その試料チャンバーはその底部において開口せしめら
れ、又検査位置上における対象物の固体表面上に真空に
より緊密に据え付けられるように適合せしめられるよう
に設計されていた。
、その試料チャンバーはその底部において開口せしめら
れ、又検査位置上における対象物の固体表面上に真空に
より緊密に据え付けられるように適合せしめられるよう
に設計されていた。
又該走査電子顕微鏡のカラム（ｃｏｌｕｍｎ）はよりよ
い検査されるべき場所を選択するために該カラムがもた
れかかることが出来る練状のシートを通して試料チャン
バーの中に埋め込まれることが出来る。
い検査されるべき場所を選択するために該カラムがもた
れかかることが出来る練状のシートを通して試料チャン
バーの中に埋め込まれることが出来る。
然し、この様な解決方法の欠点はカラムのより大きな傾
斜は画像の変形を来すとともに検査表面と光学システム
の最終レンズとの間の距離の変化により画像の倍率も又
変ってくるという結果になる。
斜は画像の変形を来すとともに検査表面と光学システム
の最終レンズとの間の距離の変化により画像の倍率も又
変ってくるという結果になる。
かかる解決方法の他の欠点は観察されるスポットの周辺
は平坦でなければならず、その寸法は問題となっている
走査電子顕微鏡、鏡の試料チャンバーの底部の遮蔽寸法
より大きくなければならない。
は平坦でなければならず、その寸法は問題となっている
走査電子顕微鏡、鏡の試料チャンバーの底部の遮蔽寸法
より大きくなければならない。
本発明の目的は従来技術における解決方法についての上
記した欠点を取り除いた携帯用の走査電子顕微鏡を提供
しようとするものである。
記した欠点を取り除いた携帯用の走査電子顕微鏡を提供
しようとするものである。
本発明は上記目的を達成するため携帯用走査電子顕微鏡
は次の構成を有するものである。即ち、該携帯用走査電
子顕微鏡はその試料チャンバーがその底部の中央部分に
おいて照準開口部（ｓｉｇｈｔｏｐｅｎ ｉｎｇ）を有
しておりその寸法は、該照準開口部平面における最大ス
ポットの変動よりも大きいものであり、又該照準開口部
と係合しているホールと共にその中央部分に設けられて
いる基板（ｂａｓｅｂｏａｒｄ）上に緊密にかつ横方向
に移動可能なように位置せしめられている真空部分が存
在しており、該基板は更に該ホールを取り囲む第１のシ
ールが該基板の底面に設けられるように構成されている
。
は次の構成を有するものである。即ち、該携帯用走査電
子顕微鏡はその試料チャンバーがその底部の中央部分に
おいて照準開口部（ｓｉｇｈｔｏｐｅｎ ｉｎｇ）を有
しておりその寸法は、該照準開口部平面における最大ス
ポットの変動よりも大きいものであり、又該照準開口部
と係合しているホールと共にその中央部分に設けられて
いる基板（ｂａｓｅｂｏａｒｄ）上に緊密にかつ横方向
に移動可能なように位置せしめられている真空部分が存
在しており、該基板は更に該ホールを取り囲む第１のシ
ールが該基板の底面に設けられるように構成されている
。
好ましい具体例においては、該基板は調整ネジが設けら
れておりそして又は該試料チャンバーには移動ネジが設
けられている。
れておりそして又は該試料チャンバーには移動ネジが設
けられている。
他の好ましい具体例としては、底面の寸法と形状、更に
はそれぞれの基板の第１のシールが異なる１つの代表的
な検査表面に適合せしめられるように構成された１組の
基板群が用意されている。
はそれぞれの基板の第１のシールが異なる１つの代表的
な検査表面に適合せしめられるように構成された１組の
基板群が用意されている。
本発明における携帯用走査電子顕微鏡の利点は、特に、
顕微鏡における観察に対し好ましいスポットを求める場
合に、歪を来すこともなく、又電子ビームの傾斜にもと
ずく画像の倍率の変化を来すこともないということにあ
る。
顕微鏡における観察に対し好ましいスポットを求める場
合に、歪を来すこともなく、又電子ビームの傾斜にもと
ずく画像の倍率の変化を来すこともないということにあ
る。
かかる解決方法における他の利点は、異なる検査表面に
対して、シールを有し、その形状や寸法が観察すべきス
ポットの個々の周辺に適合せしめられた取り替え可能な
基板の提供が可能であるということにある。
対して、シールを有し、その形状や寸法が観察すべきス
ポットの個々の周辺に適合せしめられた取り替え可能な
基板の提供が可能であるということにある。
本発明における検査について本発明の携帯用走査電子顕
微鏡の好ましい具体例を図説している添付の図面を参照
して以下により詳細に説明する。
微鏡の好ましい具体例を図説している添付の図面を参照
して以下により詳細に説明する。
図において、基板２に設けられているホール４を取り囲
む第１の真空シール３が設けられた基板２が検査表面１
上に載置されている。該基板２の上に、試料チャンバー
５がはめ込まれておりそして該試料チャンバー５の底部
には照準開口部６が設けられている。
む第１の真空シール３が設けられた基板２が検査表面１
上に載置されている。該基板２の上に、試料チャンバー
５がはめ込まれておりそして該試料チャンバー５の底部
には照準開口部６が設けられている。
該試料チャンバー５はカラム７を支持しており、又両者
はポンプ装置８に接続されている。
はポンプ装置８に接続されている。
該基板２は調節ネジ９が設けられており一方該試料チャ
ンバー５には移動ネジ１０が設けられている。該試料５
と該基板２との間には、第２の真空シール１１が配置さ
れている。
ンバー５には移動ネジ１０が設けられている。該試料５
と該基板２との間には、第２の真空シール１１が配置さ
れている。
本発明にかかる携帯用走査電子顕微鏡の機能について述
べるならば、操作者は該顕微鏡を検査すべき対象物の表
面１に持って行き、そしてその基板２を検査すべき対象
物１０表面上に置く。
べるならば、操作者は該顕微鏡を検査すべき対象物の表
面１に持って行き、そしてその基板２を検査すべき対象
物１０表面上に置く。
それによって、検査されるべき表面１は該基板２０ホー
ル４の内に入り、次で第１の真空シール３が検査される
スポットの周りの該検査される表面上のその全周辺を含
んで据えつけられる。
ル４の内に入り、次で第１の真空シール３が検査される
スポットの周りの該検査される表面上のその全周辺を含
んで据えつけられる。
次で、顕微鏡はポンプユニット８により真空化され、そ
して特に振動に対するより大なる抵抗のために該検査表
面１に対して押しつけるネジ９をしめることによって安
定化される。
して特に振動に対するより大なる抵抗のために該検査表
面１に対して押しつけるネジ９をしめることによって安
定化される。
顕微鏡は次で操作に供せられ、電子ビームは電子光学シ
ステムの軸近傍において検査表面１の小スポットを横切
るように走査する。
ステムの軸近傍において検査表面１の小スポットを横切
るように走査する。
試料チャンバー５を有するカラム７は次で移動ネジ１０
の助けにより又好ましくは調査倍率モード（ｓｕｒｖｅ
ｙ ｍａｇｎｉｆｉｃａｔｉｏｎ ｍｏｄｅ）において
検査表面の上を摺動せしめられることが出来そして操作
者が捜していた適切なスポットが見出されると、検査が
開始される。
の助けにより又好ましくは調査倍率モード（ｓｕｒｖｅ
ｙ ｍａｇｎｉｆｉｃａｔｉｏｎ ｍｏｄｅ）において
検査表面の上を摺動せしめられることが出来そして操作
者が捜していた適切なスポットが見出されると、検査が
開始される。
本発明は好ましくは例えば飛行機の翼、ミサイルの部分
及び他の大きな機械の部分に関する疲労効果の検査のた
めにより大きな表面についての非破壊表面解析に使用さ
れうる。
及び他の大きな機械の部分に関する疲労効果の検査のた
めにより大きな表面についての非破壊表面解析に使用さ
れうる。
第１図は本発明の携帯用走査電子顕微鏡の概略を示す断
面図である。 １・・・検査表面、 ２・・・基板、 ３・・・第１の真空シーノベ ４・・・ホーノへ ５・・・試料チャンバー、 ６・・・照準開口部、 ７・・・カラム、 ８・・・ポンプ、 ９・・・調整ネジ、 １０・・・移動ネジ、 １１・・・第２の真空シール。
面図である。 １・・・検査表面、 ２・・・基板、 ３・・・第１の真空シーノベ ４・・・ホーノへ ５・・・試料チャンバー、 ６・・・照準開口部、 ７・・・カラム、 ８・・・ポンプ、 ９・・・調整ネジ、 １０・・・移動ネジ、 １１・・・第２の真空シール。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、試料チャンバーがその底部の中央部分において照準
開口部を有しておりその寸法は、該照準開口部平面にお
ける最大スポットの変動よりも大きいものであり、又該
照準開口部と係合しているホールと共にその中央部分に
設けられている基板（ｂａｓｅ ｂｏａｒｄ）上に緊密
にかつ横方向に移動可能なように位置せしめられている
真空部分が存在しており、該基板は更に該ホールを取り
囲む第１のシールが該基板の底面に設けられるように構
成されていることを特徴とする携帯用走査電子顕微鏡。 ２、該基板に調整ネジが設けられていることを特徴とす
る請求項１記載の携帯用走査電子顕微鏡。 ３、該試料チャンバーに移動ネジが設けられていること
を特徴とする請求項１乃至２記載の携帯用走査電子顕微
鏡。 ４、それぞれの基板の寸法と底面の形状及び第１のシー
ルが異なる代表的な検査表面に適合されている一組の基
板群が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３
記載の携帯用走査電子顕微鏡。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS9449-87 | 1987-12-18 | ||
| CS879449A CS267642B1 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Portable rastering electron microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01251546A true JPH01251546A (ja) | 1989-10-06 |
Family
ID=5444734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29842688A Pending JPH01251546A (ja) | 1987-12-18 | 1988-11-28 | 携帯用走査電子顕微鏡 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01251546A (ja) |
| CN (1) | CN1035583A (ja) |
| CS (1) | CS267642B1 (ja) |
| DE (1) | DE3842757A1 (ja) |
| GB (1) | GB2213984A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1026547C2 (nl) * | 2004-07-01 | 2006-01-03 | Fei Co | Apparaat voor het evacueren van een sample. |
| CN101221882B (zh) * | 2007-12-14 | 2010-09-01 | 中国科学院物理研究所 | 透射电子显微镜样品台转接头和所用基片及基片的制造方法 |
| JP5259688B2 (ja) | 2010-12-09 | 2013-08-07 | 本田技研工業株式会社 | 走査型電子顕微鏡 |
| CN102426269B (zh) * | 2011-08-31 | 2013-05-08 | 北京大学 | 一种低温扫描近场光学显微镜 |
| NL2013432B1 (en) * | 2014-09-05 | 2016-09-28 | Delmic B V | Compact inspection apparatus comprising a combination of a Scanning Electron Microscope and an Optical microscope. |
| CN107991512B (zh) * | 2017-11-09 | 2021-03-26 | Tcl华星光电技术有限公司 | 基于原子力显微镜的检测平台 |
| CN115116812B (zh) * | 2022-08-29 | 2022-11-11 | 深圳市宗源伟业科技有限公司 | 一种高精度电子显微镜 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE630465A (ja) * | 1962-04-02 | |||
| JPS5523746Y2 (ja) * | 1976-02-05 | 1980-06-06 |
-
1987
- 1987-12-18 CS CS879449A patent/CS267642B1/cs unknown
-
1988
- 1988-11-28 JP JP29842688A patent/JPH01251546A/ja active Pending
- 1988-12-08 GB GB8828748A patent/GB2213984A/en not_active Withdrawn
- 1988-12-17 CN CN 88108716 patent/CN1035583A/zh active Pending
- 1988-12-19 DE DE19883842757 patent/DE3842757A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3842757A1 (de) | 1989-06-29 |
| CS944987A1 (en) | 1989-06-13 |
| CS267642B1 (en) | 1990-02-12 |
| GB2213984A (en) | 1989-08-23 |
| CN1035583A (zh) | 1989-09-13 |
| GB8828748D0 (en) | 1989-01-11 |
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