JPS63298211A - 共焦レーザー走査顕微鏡 - Google Patents
共焦レーザー走査顕微鏡Info
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- JPS63298211A JPS63298211A JP63059205A JP5920588A JPS63298211A JP S63298211 A JPS63298211 A JP S63298211A JP 63059205 A JP63059205 A JP 63059205A JP 5920588 A JP5920588 A JP 5920588A JP S63298211 A JPS63298211 A JP S63298211A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、点光源としてレーザーと、ライン及びフレー
ム走査のための偏向システム及びレンズ・システムと、
物体の近くにある少なくとも１つの対物レンズと、物体
ステージと、空間周波数フィルター及び検出器と、電子
制御及び画像処理システムとを提供された共焦レーザー
走査顕微鏡であって、ここで、物体は、光ビームによっ
て点毎に走査され、点光源が焦点を合わせられた所のみ
の測定が検出器で行われ、その結果焦点外光は検出され
ず、その結果分解能とコントラストは、３つの次元にお
いて、特に画像平面に対する軸方向において、相当に改
良され、そして３次元情報が物体から導出される共焦レ
ーザー走査顕微鏡に関する。そのような共焦レーザー走
査顕微鏡は、Ｔ。
ム走査のための偏向システム及びレンズ・システムと、
物体の近くにある少なくとも１つの対物レンズと、物体
ステージと、空間周波数フィルター及び検出器と、電子
制御及び画像処理システムとを提供された共焦レーザー
走査顕微鏡であって、ここで、物体は、光ビームによっ
て点毎に走査され、点光源が焦点を合わせられた所のみ
の測定が検出器で行われ、その結果焦点外光は検出され
ず、その結果分解能とコントラストは、３つの次元にお
いて、特に画像平面に対する軸方向において、相当に改
良され、そして３次元情報が物体から導出される共焦レ
ーザー走査顕微鏡に関する。そのような共焦レーザー走
査顕微鏡は、Ｔ。
ウィルソンとＣ，シェパード著の題名「走査光顕微鏡の
理論と実際」、アカデミツク出版、から公知である。
理論と実際」、アカデミツク出版、から公知である。
従来の技術
このような顕微鏡において、焦点を合わせられたレーザ
ースポットが、静止物体又は被検体に対して走査される
。ライン走査とフレーム走査の両方に対し、焦点を合わ
せられたレーザースポットの該走査移動において、ミラ
ー検流計（ｍ ｉ ｒ ｒｏｒ ｇａｌｖａｎｏｍｅ
ｔｅｒ）を使用した検流計の偏向が、一般に使用される
。物体はまた、しばしば、静止焦点レーザースポットに
関する移動物体ステージ手段により走査される。
ースポットが、静止物体又は被検体に対して走査される
。ライン走査とフレーム走査の両方に対し、焦点を合わ
せられたレーザースポットの該走査移動において、ミラ
ー検流計（ｍ ｉ ｒ ｒｏｒ ｇａｌｖａｎｏｍｅ
ｔｅｒ）を使用した検流計の偏向が、一般に使用される
。物体はまた、しばしば、静止焦点レーザースポットに
関する移動物体ステージ手段により走査される。
発明が解決しようとする問題点
そのような走査方法の欠点は、それらが機械的特性を有
し、そしてこのため、本質的に低速であることである。
し、そしてこのため、本質的に低速であることである。
これはまた、長いフレーム時間を生ずる。
本発明の目的は、これらの問題を除去することであり、
そして共焦レーザー走査顕微鏡において、高速かつ柔軟
に、即ち、゛可変走査振幅と種々の形式の顕微鏡検査法
により操作することができ、そして光学的に比較的簡単
な実施態様を有する偏向を達成することである。迅速な
ライン及びフレーム走査の結果として、非常に短い時間
で、増大した焦点深度により画像を形成するために、多
数の薄い画像部分を電子的に結合することが可能である
。
そして共焦レーザー走査顕微鏡において、高速かつ柔軟
に、即ち、゛可変走査振幅と種々の形式の顕微鏡検査法
により操作することができ、そして光学的に比較的簡単
な実施態様を有する偏向を達成することである。迅速な
ライン及びフレーム走査の結果として、非常に短い時間
で、増大した焦点深度により画像を形成するために、多
数の薄い画像部分を電子的に結合することが可能である
。
問題点を解決するための手段
導入部で述べた形式の共焦レーザー走査顕微鏡において
、これは、より迅速なライン走査に対して、偏向システ
ムが音響−光デフレクターを具備し、そして低速なフィ
ールド走査に対して、偏向システムが復帰光ビームのフ
レーム走査移動が完全に無くされる如く構成された別の
デフレクタ−を具備し、その結果復帰光は空間周波数フ
ィルターに焦点を合わせられるという、本発明により達
成される。
、これは、より迅速なライン走査に対して、偏向システ
ムが音響−光デフレクターを具備し、そして低速なフィ
ールド走査に対して、偏向システムが復帰光ビームのフ
レーム走査移動が完全に無くされる如く構成された別の
デフレクタ−を具備し、その結果復帰光は空間周波数フ
ィルターに焦点を合わせられるという、本発明により達
成される。
音響−光デフレクターの使用は、非共焦レーザー走査顕
微鏡検査法の場合においてそれ自体公知である。しかし
、それが共焦顕微鏡において使用されるならば、公知の
分散特性の欠点及び幾つかのレンズを使用する必要性が
発生し、その結果、物体に入射する光の波長以外の波長
の観測光（蛍光等）を使用する共焦顕微鏡法は、容易に
は可能ではなく、そしてまた使用されるレンズの表面に
おける反射による妨害効果は、相当なものである。
微鏡検査法の場合においてそれ自体公知である。しかし
、それが共焦顕微鏡において使用されるならば、公知の
分散特性の欠点及び幾つかのレンズを使用する必要性が
発生し、その結果、物体に入射する光の波長以外の波長
の観測光（蛍光等）を使用する共焦顕微鏡法は、容易に
は可能ではなく、そしてまた使用されるレンズの表面に
おける反射による妨害効果は、相当なものである。
さらに、レーザーは、収差を回避するために、良品質で
なければならない。
なければならない。
都合の良い実施態様において、偏向システムにおける他
のデフレクタ−は、ミラー検流計を含む。
のデフレクタ−は、ミラー検流計を含む。
音響−光デフレクターの後の復帰光ビームを分裂させ、
そして続く対物レンズを通してそれを検出器に向けるた
めに、ビーム・スプリッターが光路に組み込まれるよう
な、さらに都合の良い実施態様は、音響−光デフレクタ
ーを備えた偏向システムがまた、復帰光ビームのライン
走査移動が完全に無くされる如く構成され、そして空間
周波数フィルターが続く検出器と共に点検出器を形成す
るピンホール・フィルターであることを特徴とする。
そして続く対物レンズを通してそれを検出器に向けるた
めに、ビーム・スプリッターが光路に組み込まれるよう
な、さらに都合の良い実施態様は、音響−光デフレクタ
ーを備えた偏向システムがまた、復帰光ビームのライン
走査移動が完全に無くされる如く構成され、そして空間
周波数フィルターが続く検出器と共に点検出器を形成す
るピンホール・フィルターであることを特徴とする。
都合の良いことに、本発明による共焦レーザー走査顕微
鏡において、幾つかのレンズを使用する関連した必要性
により、音響−光デフレクターの使用により生成された
外部経路において光反射の妨害効果を抑止するために、
四分の一波長板が対物レンズの前の外部への光路に組み
込まれる。そして、その偏光方向が外部への光の偏光方
向に垂直である偏光フィルターが、反射光ビームの経路
に組み込まれる。外部への直線偏光は、四分の一波長板
によって円偏光に変換される。物体による反射の後、該
円偏光は、再び、四分の一反射板を通過し、その結果光
は、入射ビームの方向に垂直な偏光方向に直線偏光され
る。反射光の経路に組み込まれた偏光フィルターは、外
部ビームの方向に垂直な偏光方向を有する光のみを伝達
し、そしてこれは、それから、点検出器により検出され
る。
鏡において、幾つかのレンズを使用する関連した必要性
により、音響−光デフレクターの使用により生成された
外部経路において光反射の妨害効果を抑止するために、
四分の一波長板が対物レンズの前の外部への光路に組み
込まれる。そして、その偏光方向が外部への光の偏光方
向に垂直である偏光フィルターが、反射光ビームの経路
に組み込まれる。外部への直線偏光は、四分の一波長板
によって円偏光に変換される。物体による反射の後、該
円偏光は、再び、四分の一反射板を通過し、その結果光
は、入射ビームの方向に垂直な偏光方向に直線偏光され
る。反射光の経路に組み込まれた偏光フィルターは、外
部ビームの方向に垂直な偏光方向を有する光のみを伝達
し、そしてこれは、それから、点検出器により検出され
る。
本発明を、今、図面を参照して、例示の実施態様に基づ
いて、さらに詳細に説明する。
いて、さらに詳細に説明する。
第１の実施態様を、第１図を参照して説明する。
レーザー光ビームｌは、最初、ビーム拡大光学システム
を共に形成するレンズ２と３を通過し、次に、ビーム・
スズリッター４、入口側と出口側の両方において乎円柱
レンズ５．１と平凸レンズ５゜２とを備えた音響−光デ
フレクタ−５、レンズ６、ミラー検流計であるデフレク
タ−７、レンズ８、四分の一波長板１６、及び対物レン
ズ９を通過する。物体平面ＩＯにおいて、物体は、図示
されていないが、さらに静止物体ステージに置かれる。
を共に形成するレンズ２と３を通過し、次に、ビーム・
スズリッター４、入口側と出口側の両方において乎円柱
レンズ５．１と平凸レンズ５゜２とを備えた音響−光デ
フレクタ−５、レンズ６、ミラー検流計であるデフレク
タ−７、レンズ８、四分の一波長板１６、及び対物レン
ズ９を通過する。物体平面ＩＯにおいて、物体は、図示
されていないが、さらに静止物体ステージに置かれる。
反射光は、外部経路と同一の復帰経路をビーム・スズリ
ッター４まで横断し、その後それは分裂され、偏光フィ
ルター１１．続く対物レンズ１３、空間周波数フィルタ
ー１４、レンズ１７、帯域又はカットオフ・フィルター
１２、及び最後に検出器１５に達する。
ッター４まで横断し、その後それは分裂され、偏光フィ
ルター１１．続く対物レンズ１３、空間周波数フィルタ
ー１４、レンズ１７、帯域又はカットオフ・フィルター
１２、及び最後に検出器１５に達する。
前述の拡大光学システムは３の拡大係数を有するが、他
の光学的要素と組み合わされて、光が対物レンズ９の入
射瞳を完全に充填することを保証する。ビーム・スプリ
ッター４は、物体によって反射された光が外部へのレー
ザー光から分離されることを保証する。音響−光デフレ
クタ−５は、物体についてのより迅速なライン走査を保
証し、そしてミラー検流計７は、物体についての比較的
低速のフレーム走査を保証する。この点において、音響
−光デフレクターは、ビデオ速度又はより高速で行われ
るような高い周波数でレーザー・ビームの偏向を達成す
ることができる。
の光学的要素と組み合わされて、光が対物レンズ９の入
射瞳を完全に充填することを保証する。ビーム・スプリ
ッター４は、物体によって反射された光が外部へのレー
ザー光から分離されることを保証する。音響−光デフレ
クタ−５は、物体についてのより迅速なライン走査を保
証し、そしてミラー検流計７は、物体についての比較的
低速のフレーム走査を保証する。この点において、音響
−光デフレクターは、ビデオ速度又はより高速で行われ
るような高い周波数でレーザー・ビームの偏向を達成す
ることができる。
レンズ６は、レーザー・ビームが音響−光デフレクター
によって偏向される角度を増大する。レーザー・ビーム
の焦点は、対物レンズが正しい方法で使用されるような
位置において結ばれる。ミラー検流計７は、該レンズの
焦点にあり、そしてレンズ８の中心点に置かれる。この
結果として、レーザー・ビームは、ミラー検流計と、対
物レンズの後側の両方において静止し、その結果これら
の位置において、レーザー・ビームの入射位置で 〜は
なく、入射角度のみが、変化する。この点について、第
２図を比較せよ。
によって偏向される角度を増大する。レーザー・ビーム
の焦点は、対物レンズが正しい方法で使用されるような
位置において結ばれる。ミラー検流計７は、該レンズの
焦点にあり、そしてレンズ８の中心点に置かれる。この
結果として、レーザー・ビームは、ミラー検流計と、対
物レンズの後側の両方において静止し、その結果これら
の位置において、レーザー・ビームの入射位置で 〜は
なく、入射角度のみが、変化する。この点について、第
２図を比較せよ。
対物レンズ９は、物体上に外部へのレーザー・ビーム１
８の焦点を合わせる。物体は、例えば、生物学被検体又
は他の物体である。物体によって反射又は散乱されたレ
ーザー光１９は、ビーム・スプリッター４まで逆の同一
光路に従う。この後、反射光は、要素１１１３．１４．
１７と１２を通って検出器１５まで、すでに指定された
経路に従う。音響−光検出器とミラー検流計によって導
入されたレーザー・ビームの走査Ｘ−Ｙ移動は、復帰経
路において再び無くされ、その結果反射光は、ピンホー
ル・フィルター（２ミクロン・ホール）である静止空間
周波数フィルター１４に焦点を合わせられる。このフィ
ルターは、それの直後に検出器と共に点検出器を形成す
る。この結果として、顕微鏡は、共焦特性を有する。
８の焦点を合わせる。物体は、例えば、生物学被検体又
は他の物体である。物体によって反射又は散乱されたレ
ーザー光１９は、ビーム・スプリッター４まで逆の同一
光路に従う。この後、反射光は、要素１１１３．１４．
１７と１２を通って検出器１５まで、すでに指定された
経路に従う。音響−光検出器とミラー検流計によって導
入されたレーザー・ビームの走査Ｘ−Ｙ移動は、復帰経
路において再び無くされ、その結果反射光は、ピンホー
ル・フィルター（２ミクロン・ホール）である静止空間
周波数フィルター１４に焦点を合わせられる。このフィ
ルターは、それの直後に検出器と共に点検出器を形成す
る。この結果として、顕微鏡は、共焦特性を有する。
本発明による第１の実施態様において、音響−光デフレ
クターによって外部への経路に導入された妨害反射は、
対物レンズ９の前に組み込まれた四分の一波長板１６と
、ビーム・スプリッターの後に組み込まれた偏光フィル
ター１１とにより、除去される。外部へ向かう直線偏光
は、四分の一波長板１６によって円偏光に変換され、そ
の後調光は、反射の後、再び該四分の一反射板を通過し
、そして入射ビームに垂直な偏光方向にて再び直線偏光
に変換される。ビーム・スプリッターの後に組み込まれ
た偏光フィルター１１はまた、この偏光方向に調整され
、その結果物体と対物レンズ９からの反射のみが検出さ
れる。
クターによって外部への経路に導入された妨害反射は、
対物レンズ９の前に組み込まれた四分の一波長板１６と
、ビーム・スプリッターの後に組み込まれた偏光フィル
ター１１とにより、除去される。外部へ向かう直線偏光
は、四分の一波長板１６によって円偏光に変換され、そ
の後調光は、反射の後、再び該四分の一反射板を通過し
、そして入射ビームに垂直な偏光方向にて再び直線偏光
に変換される。ビーム・スプリッターの後に組み込まれ
た偏光フィルター１１はまた、この偏光方向に調整され
、その結果物体と対物レンズ９からの反射のみが検出さ
れる。
さらに不都合な効果は、多分、音響−光デフレクターの
分散特性によって引き起こざる。この結果レーザー光以
外の波長の復帰光（例えば蛍光）はもはや空間周波数フ
ィルター１４を通過しない。
分散特性によって引き起こざる。この結果レーザー光以
外の波長の復帰光（例えば蛍光）はもはや空間周波数フ
ィルター１４を通過しない。
そのような場合には、空間周波数フィルター１４を置き
換えることによって処理される。そのような空間周波数
フィルターは、都合の良いことに、３つの圧電性結晶に
よって置き換えられ、各々は、第３図に示されたように
、゛ｘ−ｙｚ座標系の３軸の１つに向かっている。
換えることによって処理される。そのような空間周波数
フィルターは、都合の良いことに、３つの圧電性結晶に
よって置き換えられ、各々は、第３図に示されたように
、゛ｘ−ｙｚ座標系の３軸の１つに向かっている。
都合の良いことに、そのような顕微鏡は、蛍光特性を本
質的に有するか又はこの目的のために選び出された蛍光
被検体を検査するために使用することができる。光が物
体に入射されたとき、その結果として放射された光は外
部へのレーザー光の波長以外の波長を有する。復帰経路
において、復帰光の予期された波長に一致した帯域フィ
ルター又はカットオフ・フィルター１２を使用すること
により、復帰光は選択的に伝達され、その結果妨害効果
は反射レーザー光から経験されない。異なる波長の光は
また、音響−光デフレクタ−５において異なる偏向を受
けるために、空間周波数フィルター１２は、音響−光デ
フレクターの角度分散に対応する別の位置に配置されな
ければならない。
質的に有するか又はこの目的のために選び出された蛍光
被検体を検査するために使用することができる。光が物
体に入射されたとき、その結果として放射された光は外
部へのレーザー光の波長以外の波長を有する。復帰経路
において、復帰光の予期された波長に一致した帯域フィ
ルター又はカットオフ・フィルター１２を使用すること
により、復帰光は選択的に伝達され、その結果妨害効果
は反射レーザー光から経験されない。異なる波長の光は
また、音響−光デフレクタ−５において異なる偏向を受
けるために、空間周波数フィルター１２は、音響−光デ
フレクターの角度分散に対応する別の位置に配置されな
ければならない。
第４図は、第２の実施態様を示す。ダイクロマテイツク
・ミラー２０が、平円柱レンズ５．１とレンズ６との間
の光路に組み込まれている。該ミラーは、（短い波長の
）レーザー光を伝達し、そして例えば蛍光から発する長
い波長の復帰光を偏向させる。この光は、修正レンズ２
１を通過し、そしてスプリット・フィルター（３３０ｍ
ｘ１ｍ）である特殊空間周波数フィルター２３上に対物
レンズ２２により焦点を合わせられ、その結果システム
は、共焦特性を有する。この方法により、ライン検出器
が、続くレンズ２４と検出器２６により形成される。レ
ンズ２４と検出器２６との間に、帯域又はカットオフ・
フィルター１２と同じ機能を有する、さらに１つの帯域
又はカットオフ・フィルター２５が組み込まれている。
・ミラー２０が、平円柱レンズ５．１とレンズ６との間
の光路に組み込まれている。該ミラーは、（短い波長の
）レーザー光を伝達し、そして例えば蛍光から発する長
い波長の復帰光を偏向させる。この光は、修正レンズ２
１を通過し、そしてスプリット・フィルター（３３０ｍ
ｘ１ｍ）である特殊空間周波数フィルター２３上に対物
レンズ２２により焦点を合わせられ、その結果システム
は、共焦特性を有する。この方法により、ライン検出器
が、続くレンズ２４と検出器２６により形成される。レ
ンズ２４と検出器２６との間に、帯域又はカットオフ・
フィルター１２と同じ機能を有する、さらに１つの帯域
又はカットオフ・フィルター２５が組み込まれている。
この実施態様により、外部への光の波長以外の波長を有
する復帰光は、もしも音響−光デフレクターが調光に対
し非常に低い有効性を有する、即ち、非常に大きな減衰
を引き起こすならば、都合良く測定することができる。
する復帰光は、もしも音響−光デフレクターが調光に対
し非常に低い有効性を有する、即ち、非常に大きな減衰
を引き起こすならば、都合良く測定することができる。
この顕微鏡で、例えば、２０ｋＨ２のライン周波数にお
いて毎秒２０画像を集めることが可能である。即ち、各
画像は１００ラインを含む。そのように多数の毎秒２０
，０００ラインと、そしてライン当たり１０００画像点
又は画素があるならば、画素のハーフトーンを測定する
検出器と続く電子装置は、少なくとも５０ｎｓｅｃを越
えない応答時間を有さなければならない。都合の良いこ
とに、そのような高速画像アセンブリにより、焦点深度
の増大した画像が、多数の薄い画像部分を結合すること
により組み立てられる。上記の実施例により、互いに下
に位置付けられる２０のセクションは１秒間で結合され
、その結果２０のセクション厚の６体は完全なシャープ
さで再現される。
いて毎秒２０画像を集めることが可能である。即ち、各
画像は１００ラインを含む。そのように多数の毎秒２０
，０００ラインと、そしてライン当たり１０００画像点
又は画素があるならば、画素のハーフトーンを測定する
検出器と続く電子装置は、少なくとも５０ｎｓｅｃを越
えない応答時間を有さなければならない。都合の良いこ
とに、そのような高速画像アセンブリにより、焦点深度
の増大した画像が、多数の薄い画像部分を結合すること
により組み立てられる。上記の実施例により、互いに下
に位置付けられる２０のセクションは１秒間で結合され
、その結果２０のセクション厚の６体は完全なシャープ
さで再現される。
生物学の分野において使用されるほかに、例えば２０
３０ｋＨｚのライン走査周波数と、例えば９０Ｈｚのフ
レーム走査周波数とを有する本発明による顕微鏡は、ま
た、法医学の検査とマイクロエレクトロニクス産業にお
いて使用される。総ての場合において、この顕微鏡では
真空下で物体を取り扱う必要はないという事実は、非常
な利点である。被検体が薄い導電性金属層で覆われなけ
ればならない走査型電子顕微鏡とは対照的に、この方法
は、また、非破壊的である。本発明による顕微鏡におい
て、機械的力が被検体に及ぼされないという事実は、ま
た、被検体が走査されるシステムにおいての利点である
。マイクロエレクトロニクス産業において、この顕微鏡
は、ＬＳＩ及びＶＬＳＩチップの生産制御、 「カスタ
ム設計」チップの生産、そしてまた所謂「光ビーム誘導
電流」方法によるチップの機能的制御のために使用する
ことができる。
３０ｋＨｚのライン走査周波数と、例えば９０Ｈｚのフ
レーム走査周波数とを有する本発明による顕微鏡は、ま
た、法医学の検査とマイクロエレクトロニクス産業にお
いて使用される。総ての場合において、この顕微鏡では
真空下で物体を取り扱う必要はないという事実は、非常
な利点である。被検体が薄い導電性金属層で覆われなけ
ればならない走査型電子顕微鏡とは対照的に、この方法
は、また、非破壊的である。本発明による顕微鏡におい
て、機械的力が被検体に及ぼされないという事実は、ま
た、被検体が走査されるシステムにおいての利点である
。マイクロエレクトロニクス産業において、この顕微鏡
は、ＬＳＩ及びＶＬＳＩチップの生産制御、 「カスタ
ム設計」チップの生産、そしてまた所謂「光ビーム誘導
電流」方法によるチップの機能的制御のために使用する
ことができる。
本顕微鏡はまた、光メモリを検査するために都合良く使
用される。
用される。
第１図は、本発明による共焦レーザー走査顕微鏡の第１
の実施態様の概略図。 第２図は、光ビームが対物レンズに入射される方法の概
略図。 第３図は、第１図の顕微鏡における空間周波数フィルタ
ーの詳細図。 第４図は、本発明による共焦レーザー走査顕微鏡の第２
実施態様の概略図。 図中、 ｌ・・・・レーザービーム、２．３．８．１７及び２４
・・・・レンズ、４・・・・ビーム・スプリッター、５
・・・・音響−光デフレクター、５．１・・・・千円柱
レンズ、５．２・・・・平凸レンズ、７・・・・ミラー
検流計、９．１３及び２２・・・・対物レンズ、ｌＯ・
・・・物体平面、１１・・・・偏向フィルター、１２及
び２５・・・中帯域又はカットオフ・フィルター、１４
・・・・空間周波数フィルター、１５及び２６・・・・
検出器、１６・・・・四分の一波長板、２０・・・・ダ
イクロマチイック・ミラー、２１・・・・修正レンズ、
２３・・・・スプリット・フィルター。 日」 ヂ １ ＝＝＊ Ｌ＋− 手続補正書彷幻 昭和６３年６月７ 日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿 ■、事件の表示 昭和６３年特許願第５９２０５号 ２、発明の名称 共焦レーザー走査顕微鏡 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 〒１０７ ５、補正命令の日付 昭和６３年５月３１日（発送日）
６、補正の対象
の実施態様の概略図。 第２図は、光ビームが対物レンズに入射される方法の概
略図。 第３図は、第１図の顕微鏡における空間周波数フィルタ
ーの詳細図。 第４図は、本発明による共焦レーザー走査顕微鏡の第２
実施態様の概略図。 図中、 ｌ・・・・レーザービーム、２．３．８．１７及び２４
・・・・レンズ、４・・・・ビーム・スプリッター、５
・・・・音響−光デフレクター、５．１・・・・千円柱
レンズ、５．２・・・・平凸レンズ、７・・・・ミラー
検流計、９．１３及び２２・・・・対物レンズ、ｌＯ・
・・・物体平面、１１・・・・偏向フィルター、１２及
び２５・・・中帯域又はカットオフ・フィルター、１４
・・・・空間周波数フィルター、１５及び２６・・・・
検出器、１６・・・・四分の一波長板、２０・・・・ダ
イクロマチイック・ミラー、２１・・・・修正レンズ、
２３・・・・スプリット・フィルター。 日」 ヂ １ ＝＝＊ Ｌ＋− 手続補正書彷幻 昭和６３年６月７ 日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿 ■、事件の表示 昭和６３年特許願第５９２０５号 ２、発明の名称 共焦レーザー走査顕微鏡 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 〒１０７ ５、補正命令の日付 昭和６３年５月３１日（発送日）
６、補正の対象
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、点光源としてレーザーと、ライン及びフレーム走査
のための偏向システム及びレンズ・システムと、物体の
近くにある少なくとも１つの対物レンズと、物体ステー
ジと、空間周波数フィルター及び検出器と、電子制御及
び画像処理システムとを備えた共焦レーザー走査顕微鏡
であつて、ここで、物体は光ビームによつて点毎に走査
され、点光源が焦点を合わせられた所のみの測定が検出
器で行われ、その結果焦点外の光は検出されず、その結
果分解能とコントラストは、３次元において、特に画像
平面に対する軸方向において、相当に改良され、そして
３次元情報が物体から導出される； より迅速なライン走査のために、偏向システムは音響−
光デフレクターから成り、そして低速のフレーム走査の
ために、偏向システムは、少なくとも復帰光ビームのフ
レーム走査移動が完全に無くされる如く構成された別の
デフレクターから成り、その結果復帰光は空間周波数フ
ィルターに焦点を合わせられることを特徴とする共焦レ
ーザー走査顕微鏡。 ２、偏向システムにおける該他のデフレクターが、ミラ
ー検流計から成ることを特徴とする特許請求の範囲第１
項に記載の共焦レーザー走査顕微鏡。 ３、ビーム・スプリッターが光路に組み込まれ、該ビー
ム・スプリッターが音響−光デフレクターの後の復帰光
ビームを分裂させ、かつ続く対物レンズを経てそれを検
出器に向け、この場合音響−光デフレクターを備えた偏
向システムはまた、復帰光ビームのライン走査移動が完
全に無くされる如く構成され、そして空間周波数フィル
ターは続く検出器と共に点検出器を形成するピンホール
・フィルターであることを特徴とする特許請求の範囲第
１項又は第２項のいづれか１項に記載の共焦レーザー走
査顕微鏡。 ４、四分の一波長板が対物レンズの前の外部への光路に
組み込まれ、そして偏光フィルターがビーム・スプリッ
ターの後の復帰光路に組み込まれ、そして外部への光路
の光学的構成要素における反射の妨害効果を無くするこ
とを特徴とする特許請求の範囲第３項に記載の共焦レー
ザー走査顕微鏡。 ５、空間周波数フィルターが３つの圧電性結晶に取り付
けられ、従つて、３次元座標系において移動することが
でき、その結果反射レーザー光以外の角度により偏向さ
れた異なる波長の復帰光における音響−光デフレクター
の分散特性の効果が、無くされ、そして相応して一致し
た帯域又はカットオフ・フィルターが、反射レーザー光
をフィルターするために復帰光路に組み込まれることを
特徴とする、復帰光ビームの波長が外部への光ビームの
波長と異なる蛍光顕微鏡検査法又は他の形式の顕微鏡検
査法での使用における特許請求の範囲第４項に記載の共
焦レーザー走査顕微鏡。 ６、該他のデフレクターの後で異なる波長を有する復帰
光ビームを偏向し、かつ、それを続く対物レンズと続く
空間周波数フィルターを通して続く検出器に向けるため
に、ダイクロマテイツク・ミラーが音響−光デフレクタ
ーと該他のデフレクターとの間の光路に組み込まれ、続
く空間周波数フィルターは、続く検出器と共にライン検
出器を形成するスプリット・フィルターであることを特
徴とする、復帰光ビームの波長が外部への光ビームの波
長と異なる蛍光顕微鏡検査法又は他の形式の顕微鏡検査
法での使用における特許請求の範囲第１項又は第２項の
いづれか１項に記載の共焦レーザー走査顕微鏡。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8700612A NL8700612A (nl) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | Confocale laserscanning microscoop. |
| NL8700612 | 1987-03-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298211A true JPS63298211A (ja) | 1988-12-06 |
Family
ID=19849704
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63059205A Pending JPS63298211A (ja) | 1987-03-13 | 1988-03-12 | 共焦レーザー走査顕微鏡 |
| JP1999000819U Expired - Lifetime JP2607804Y2 (ja) | 1987-03-13 | 1999-02-22 | 共焦点レーザー走査顕微鏡 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1999000819U Expired - Lifetime JP2607804Y2 (ja) | 1987-03-13 | 1999-02-22 | 共焦点レーザー走査顕微鏡 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4863226A (ja) |
| EP (1) | EP0284136B1 (ja) |
| JP (2) | JPS63298211A (ja) |
| AT (1) | ATE79476T1 (ja) |
| DE (1) | DE3873570T2 (ja) |
| ES (1) | ES2034154T3 (ja) |
| NL (1) | NL8700612A (ja) |
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| JPH02268254A (ja) * | 1989-04-07 | 1990-11-01 | Hamamatsu Photonics Kk | 螢光特性検査装置 |
| JP2006189640A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Olympus Corp | レーザ走査型顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH11135U (ja) | 1999-11-09 |
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| ES2034154T3 (es) | 1993-04-01 |
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