JP2013152831A - 電子顕微鏡用試料ホルダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料ホルダ1の先端部には、ホルダ先端開口部9が設けられている。また、試料ホルダ1の後端部には、ツマミ5、回転機構6、粗動機構7およびコネクタ8を有している。ツマミ5を押すことにより回転機構6の固定が解除され、回転機構6から後端部、また試料ホルダの先端部が回転することになる。本回転機構により、透過型電子顕微鏡により観察する場合と集束イオンビーム装置により透過型電子顕微鏡用試料を作製する場合の試料の配置を回転することができる。また、粗動機構7および微動機構119により試料台が移動可能である。
【選択図】 図1
Description
2 ガイドピン
3 ガイドカバー
4 ガイドピン穴
5 ツマミ
6 回転機構
7 粗動機構
8 コネクタ
9 ホルダ先端開口部
11、17 試料台押さえ板
12、16 押さえネジ
13、14,41,42 試料台
15 駆動用試料ステージ
18 試料ステージ
19、20 高さ調整ネジ
21 試料台駆動用ロッド
31 押さえネジ用開口部
32、33、34 試料固定箇所
43、44 保護膜
45、46 測定試料
47 スペクトルの取得領域
48、49 試料片
101 透過型電子顕微鏡
102 電子源
103 電子線
104 集束レンズ
106 対物レンズ
107 結像レンズ系
108 電子分光器
109 蛍光板
110 磁場セクタ
111、112 多重極子レンズ
113 画像検出器
114 画像表示装置
115 データ記憶装置
116 中央制御装置
117 視野制限スリット
118 試料ホルダ移動装置
119 微動機構
120 試料微動制御装置
Claims (16)
- 荷電粒子装置により観察される試料を支持する荷電粒子線装置用試料ホルダにおいて、試料台を設置可能な試料ステージと前記試料台を移動可能な試料駆動部と前記試料ホルダの先端を回転させるための回転機構を備え、前記試料駆動部は、前記回転機構の回転に伴って回転することを特徴とする荷電粒子線装置用試料ホルダ。
- 請求項1に記載の荷電粒子線用試料ホルダにおいて、前記試料駆動部は、試料ホルダの長軸方向に移動可能な粗動機構ならびに直交した三軸方向に移動可能な微動機構を備えたことを特徴とする荷電粒子線用試料ホルダ。
- 請求項1に記載の荷電粒子線装置用試料ホルダにおいて、前記試料ホルダの先端には荷電粒子線を通過させるための開口部を備えることを特徴とする荷電粒子装置用試料ホルダ。
- 請求項1に記載の荷電粒子線装置用試料ホルダにおいて、前記試料台を設置可能な試料ステージが複数個あり、複数個の試料ステージのうち少なくとも一つが前記試料駆動部により試料ステージを移動させることが可能な荷電粒子線用試料ホルダ。
- 請求項1に記載の荷電粒子線装置用試料ホルダにおいて、前記試料台は前記試料ステージに試料台押さえ板および押さえネジにより固定されることを特徴とする荷電粒子装置用試料ホルダ。
- 透過型電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、試料台を設置可能な試料ステージと前記試料台を移動可能な試料駆動部と前記試料ホルダの先端を回転させるための回転機構を備え、前記試料駆動部は、前記回転機構の回転に伴って回転することを特徴とする透過型電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 請求項6に記載の透過型電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、前記試料駆動部は試料ホルダの長軸方向に移動可能な粗動機構ならびに直交した三軸方向に移動可能な微動機構を備えたことを特徴とする透過型電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 請求項6に記載の透過型電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、前記試料ホルダの先端部に電子線の通過方向とは異なる方向に開放されているホルダ先端開口部を備えたことを特徴とする透過型電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 請求項8に記載の透過型電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、ホルダ先端開口部は電子線の通過方向に対して垂直な方向に開放されているホルダ先端開口部を備えることを特徴とする透過型電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 請求項6に記載の透過型電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、試料ステージに試料台の高さを可変することができる高さ調整ネジを備えることを特徴とする透過型電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 請求項6に記載の透過型電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、前記試料台を設置可能な試料ステージが複数個あり、複数個の試料ステージのうち少なくとも一つが前記試料駆動部により試料ステージを移動させることが可能な透過型電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 請求項6に記載の透過型電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、前記試料台を設置可能な試料ステージが複数個あり、複数個の試料ステージのうち少なくとも一つが前記試料駆動部により試料ステージを移動させることでき、試料台に固定された試料は透過型電子顕微鏡に付随した電子分光器のエネルギー分散軸に直行する方向に配置されることを特徴とする透過型電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 透過型電子顕微鏡用の試料を設置するため試料台において、前記試料を固定させるための試料固定箇所および試料台を固定するための押さえネジを通過させるための押さえネジ用開口部を有することを特徴とする試料台。
- イオンビームにより試料を薄片化し、前記薄片化した試料の観察や元素分析するための電子線の入射方向に対して少なくとも垂直な方向に開放されたホルダ先端開口部を有し、複数個の試料台を設置可能な試料ホルダに固定された試料に対し、前記ホルダ先端開口部から前記イオンビームを照射し、前記イオンビームの入射方向とは垂直な方向に前記試料を薄片化するステップと前記試料支持部に支持させた状態で前記透過像や元素分布結果を得るステップを備えたことを特徴とする試料分析方法。
- 請求項1乃至5の荷電粒子線装置用試料ホルダにおいて、
前記荷電粒子線装置用試料ホルダは、透過電子顕微鏡および集束イオンビーム装置に共用可能であることを特徴とする荷電粒子線装置用試料ホルダ。 - 請求項1乃至5の荷電粒子線装置用試料ホルダを搭載した荷電粒子線装置。
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