JP2994903B2 - 顕微鏡の試料加熱装置 - Google Patents
顕微鏡の試料加熱装置Info
- Publication number
- JP2994903B2 JP2994903B2 JP5049968A JP4996893A JP2994903B2 JP 2994903 B2 JP2994903 B2 JP 2994903B2 JP 5049968 A JP5049968 A JP 5049968A JP 4996893 A JP4996893 A JP 4996893A JP 2994903 B2 JP2994903 B2 JP 2994903B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- heated
- heating
- microscope
- heating device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は走査トンネル顕微鏡な
どで観察される試料を加熱する顕微鏡の試料加熱装置に
関する。
どで観察される試料を加熱する顕微鏡の試料加熱装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】 走査トンネル顕微鏡で観察される試料
の処理の１つに試料加熱がある。この試料加熱は、試料
のクリーニングと、加熱状態での試料の観察を目的とし
て行われる。試料の加熱方式としては、直接試料に電流
を流して加熱する通電加熱方式と、ヒータなどで試料を
間接的に加熱する傍熱方式とがある。
の処理の１つに試料加熱がある。この試料加熱は、試料
のクリーニングと、加熱状態での試料の観察を目的とし
て行われる。試料の加熱方式としては、直接試料に電流
を流して加熱する通電加熱方式と、ヒータなどで試料を
間接的に加熱する傍熱方式とがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】 前記通電加熱方式を
採用した試料装置を使用すれば、試料を比較的高温に加
熱することができるので、試料のクリーニングを良好に
行なうことができる。しかし、加熱状態の試料を観察す
るために試料に電流を流すと、試料の表面構造が変化し
たり、また、試料を均一の電位に保つことができなくな
る。このため、加熱状態の試料を良好に観察することが
できない。
採用した試料装置を使用すれば、試料を比較的高温に加
熱することができるので、試料のクリーニングを良好に
行なうことができる。しかし、加熱状態の試料を観察す
るために試料に電流を流すと、試料の表面構造が変化し
たり、また、試料を均一の電位に保つことができなくな
る。このため、加熱状態の試料を良好に観察することが
できない。
【０００４】また、傍熱方式を採用した試料装置を採用
した試料ホルダを使用すれば、試料に電流を流さないの
で、電流を流すことによる影響を与えることなく試料を
観察することができる。しかし、傍熱方式においては試
料を高温に加熱することができないので、試料のクリー
ニングを十分に行なうことができない。
した試料ホルダを使用すれば、試料に電流を流さないの
で、電流を流すことによる影響を与えることなく試料を
観察することができる。しかし、傍熱方式においては試
料を高温に加熱することができないので、試料のクリー
ニングを十分に行なうことができない。
【０００５】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、試料のクリーニングを良好に行なえ、且つ、加熱
状態の試料を良好に観察できる顕微鏡の試料加熱装置を
提供することにある。
ので、試料のクリーニングを良好に行なえ、且つ、加熱
状態の試料を良好に観察できる顕微鏡の試料加熱装置を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 本発明の顕微鏡の試料
加熱装置は、試料を保持するための手段と、該試料への
加熱電流の供給を制御するための手段と、前記試料の近
傍に配置された被加熱部材と、該被加熱部材への加熱を
制御するための手段と、前記被加熱部材と前記試料との
接触を制御するための手段とを備えている。
加熱装置は、試料を保持するための手段と、該試料への
加熱電流の供給を制御するための手段と、前記試料の近
傍に配置された被加熱部材と、該被加熱部材への加熱を
制御するための手段と、前記被加熱部材と前記試料との
接触を制御するための手段とを備えている。
【０００７】
【実施例】 以下、図面を参照して本発明を詳述する。
図１は走査トンネル顕微鏡に使用される試料加熱装置の
実施例を示したものである。図１（ａ）はその装置の断
面図を、図１（ｂ）は平面図を示したものである。
図１は走査トンネル顕微鏡に使用される試料加熱装置の
実施例を示したものである。図１（ａ）はその装置の断
面図を、図１（ｂ）は平面図を示したものである。
【０００８】図において１は試料である。試料１は電極
２，２' に押さえ金具３，３' により固定されている。
４，４' は、押さえ金具３，３' を電極２，２' に固定
するためのビスである。電極２，２' は碍子５にビス
６，６' ，６''，６''' により固定されている。碍子５
の中央部には円筒状の溝が形成されており、この溝の底
部には円板状のバイメタル７が置かれ、その上に、傍熱
加熱体８が載置されている。８ａはヒータ部で、碍子８
ｂに巻き付けられたタングステン線などのヒータ線８ｃ
を加熱することによりヒータ部８ａは加熱される。図に
おいてはヒータ線を２層構造としたが、必要とする熱量
に応じて層数を変えてもよい。ヒータ線８ｃの巻き始め
と巻き終わりは電極９，９' にスポット溶接されてお
り、電極９，９' は碍子５にビス１０，１０' により固
定されている。１１はベースで、ベース１１は碍子５に
ビス１２，１２' により固定されている。１３はピン
で、この試料装置を走査トンネル顕微鏡の試料ホルダに
セットする時に掴む部分である。なお、図示していない
が、試料ステージには電極４，４' ，９，９' と接続さ
れる電極が設けられており、外部から通電可能な構造に
なっている。
２，２' に押さえ金具３，３' により固定されている。
４，４' は、押さえ金具３，３' を電極２，２' に固定
するためのビスである。電極２，２' は碍子５にビス
６，６' ，６''，６''' により固定されている。碍子５
の中央部には円筒状の溝が形成されており、この溝の底
部には円板状のバイメタル７が置かれ、その上に、傍熱
加熱体８が載置されている。８ａはヒータ部で、碍子８
ｂに巻き付けられたタングステン線などのヒータ線８ｃ
を加熱することによりヒータ部８ａは加熱される。図に
おいてはヒータ線を２層構造としたが、必要とする熱量
に応じて層数を変えてもよい。ヒータ線８ｃの巻き始め
と巻き終わりは電極９，９' にスポット溶接されてお
り、電極９，９' は碍子５にビス１０，１０' により固
定されている。１１はベースで、ベース１１は碍子５に
ビス１２，１２' により固定されている。１３はピン
で、この試料装置を走査トンネル顕微鏡の試料ホルダに
セットする時に掴む部分である。なお、図示していない
が、試料ステージには電極４，４' ，９，９' と接続さ
れる電極が設けられており、外部から通電可能な構造に
なっている。
【０００９】次に、このような構成の装置の動作を説明
する。
する。
【００１０】まず、試料をクリーニングする場合、電極
２，２' 間に電流を流し、試料１を通電加熱する。試料
１は通電加熱により高温に加熱され、試料１のクリーニ
ングが良好に行われる。この時、ヒータ部８ａは試料に
接触しておらず、試料は熱を放出することなく効率的に
加熱される。
２，２' 間に電流を流し、試料１を通電加熱する。試料
１は通電加熱により高温に加熱され、試料１のクリーニ
ングが良好に行われる。この時、ヒータ部８ａは試料に
接触しておらず、試料は熱を放出することなく効率的に
加熱される。
【００１１】次に、試料１を加熱状態で観察する場合、
電極９，９' に電流を流し、ヒータ線８ｃを加熱する。
その結果、ヒータ線８ｃの発熱によりヒータ部８ａが加
熱される。また、傍熱加熱体８の発熱により、それに接
触しているバイメタル７が加熱され、バイメタル７は図
に示すように湾曲する。このバイメタル７の湾曲によ
り、傍熱加熱体８が上方に持ち上げられ、ヒータ部８ａ
が試料１に接触する。この接触により試料１は効率的に
加熱され、加熱状態の試料を良好に観察することができ
る。
電極９，９' に電流を流し、ヒータ線８ｃを加熱する。
その結果、ヒータ線８ｃの発熱によりヒータ部８ａが加
熱される。また、傍熱加熱体８の発熱により、それに接
触しているバイメタル７が加熱され、バイメタル７は図
に示すように湾曲する。このバイメタル７の湾曲によ
り、傍熱加熱体８が上方に持ち上げられ、ヒータ部８ａ
が試料１に接触する。この接触により試料１は効率的に
加熱され、加熱状態の試料を良好に観察することができ
る。
【００１２】以上、本発明の試料加熱装置を走査トンネ
ル顕微鏡に使用する場合について説明したが、本発明は
走査電子顕微鏡の試料加熱装置にも適用する事ができ
る。
ル顕微鏡に使用する場合について説明したが、本発明は
走査電子顕微鏡の試料加熱装置にも適用する事ができ
る。
【００１３】
【発明の効果】 本発明の顕微鏡の試料加熱装置は、試
料を保持するための手段と、該試料への加熱電流の供給
を制御するための手段と、前記試料の近傍に配置された
被加熱部材と、該被加熱部材への加熱を制御するための
手段とを備えているので、試料をクリーニングする際に
は試料に電流を流し、また、試料を加熱した状態で観察
する際には前記被加熱部材により試料を加熱すれば、試
料のクリーニングおよび試料観察を良好に行なうことが
できる。また、前記被加熱部材と前記試料との接触を制
御するための手段を備えており、試料をクリーニングす
る際には被加熱部材を試料に接触しないように制御すれ
ば、試料を熱放出なく効率的に加熱することができ、ま
た、試料を被加熱部材により加熱する際には被加熱部材
が試料に接触するように制御すれば、試料を効率的に加
熱することができる。
料を保持するための手段と、該試料への加熱電流の供給
を制御するための手段と、前記試料の近傍に配置された
被加熱部材と、該被加熱部材への加熱を制御するための
手段とを備えているので、試料をクリーニングする際に
は試料に電流を流し、また、試料を加熱した状態で観察
する際には前記被加熱部材により試料を加熱すれば、試
料のクリーニングおよび試料観察を良好に行なうことが
できる。また、前記被加熱部材と前記試料との接触を制
御するための手段を備えており、試料をクリーニングす
る際には被加熱部材を試料に接触しないように制御すれ
ば、試料を熱放出なく効率的に加熱することができ、ま
た、試料を被加熱部材により加熱する際には被加熱部材
が試料に接触するように制御すれば、試料を効率的に加
熱することができる。
【図１】本発明の顕微鏡の試料加熱装置の実施例を示し
たものである。
たものである。
１ 試料 ２，２' 電極 ３，３' 押さえ金具 ４，４' ビス ５ 碍子 ６，６' ，６''，６''' ビス ７ バイメタル ８ 傍熱加熱体 ８ａ ヒータ部 ８ｂ 碍子 ８ｃ ヒータ線 ９，９' 電極 １０，１０' ビス １１ ベース １２，１２' ビス １３ ピン
Claims (1)
- 【請求項１】 試料を保持するための手段と、該試料へ
の加熱電流の供給を制御するための手段と、前記試料の
近傍に配置された被加熱部材と、該被加熱部材への加熱
を制御するための手段と、前記被加熱部材と前記試料と
の接触を制御するための手段とを備えた顕微鏡の試料加
熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5049968A JP2994903B2 (ja) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | 顕微鏡の試料加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5049968A JP2994903B2 (ja) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | 顕微鏡の試料加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06241715A JPH06241715A (ja) | 1994-09-02 |
| JP2994903B2 true JP2994903B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=12845829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5049968A Expired - Fee Related JP2994903B2 (ja) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | 顕微鏡の試料加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2994903B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3280205B2 (ja) * | 1995-09-20 | 2002-04-30 | 日本電子株式会社 | ホルダ受および試料ホルダ |
| JP3504831B2 (ja) * | 1997-08-19 | 2004-03-08 | 日本電子株式会社 | 試料ホルダ |
| CN106443075A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-02-22 | 南京大学 | 一种用于原子力显微镜的温控样品台和温控系统 |
-
1993
- 1993-02-16 JP JP5049968A patent/JP2994903B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06241715A (ja) | 1994-09-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2006352114A (ja) | 電気コネクタをクランプする基板支持体 | |
| JP2994903B2 (ja) | 顕微鏡の試料加熱装置 | |
| JPH03200333A (ja) | 電気導体に開路を形成する装置 | |
| JP3998409B2 (ja) | 走査形プローブ顕微鏡 | |
| JP2875066B2 (ja) | トンネル顕微鏡用探針清浄化装置 | |
| JPH0340388A (ja) | 電気ヒータ及びそれを用いた加熱方法 | |
| JPWO2010027054A1 (ja) | カンチレバー加熱機構、それを用いたカンチレバーホルダ、及び、カンチレバー加熱方法 | |
| JPH0684450A (ja) | 熱電界放射陰極 | |
| JP2003315225A (ja) | 試料ホルダ、走査プローブ顕微鏡及び半導体試料加熱方法 | |
| JP2856583B2 (ja) | 顕微鏡の試料保持装置 | |
| JP2000234961A (ja) | 半導体処理装置用温度センサー及び熱電対 | |
| JPH06310069A (ja) | 電子顕微鏡の試料支持装置および方法 | |
| JP2001135543A (ja) | 熱処理装置 | |
| JPH06243776A (ja) | 熱電界放射電子銃 | |
| JPH03291501A (ja) | 探針保持具 | |
| KR20050044753A (ko) | 반도체 처리 장치용 전기 히터 | |
| JPH06136433A (ja) | 被加熱体の直接通電加熱法 | |
| JPH0718153Y2 (ja) | ヒーター | |
| JP2723589B2 (ja) | Ｐｔ複合線の製造方法 | |
| KR100880966B1 (ko) | 열처리 장치 및 열처리 장치를 조립하는 방법 | |
| JP2933670B2 (ja) | 陰極線管用陰極構体の製造方法 | |
| JPH10289944A (ja) | 静電吸着装置及び静電吸着方法 | |
| JPH06236856A (ja) | プラズマ処理装置 | |
| JPH0632680Y2 (ja) | 半導体製造装置の加熱炉 | |
| JPH0575954U (ja) | 電子線照射装置用カソード電極構造 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19991005 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |