JPS6099771U - 試料交換装置 - Google Patents
試料交換装置Info
- Publication number
- JPS6099771U JPS6099771U JP19269883U JP19269883U JPS6099771U JP S6099771 U JPS6099771 U JP S6099771U JP 19269883 U JP19269883 U JP 19269883U JP 19269883 U JP19269883 U JP 19269883U JP S6099771 U JPS6099771 U JP S6099771U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- exchange device
- arm
- tip
- sample exchange
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置の垂直断面図、第２図は他の従来装置
の斜視図、第３図および第４図はその交換状態を示す正
面図、第５図ないし第７図はそれぞれこの考案の一実施
例を示す水平断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、１は走
査電子顕微鏡本体、３はゴニオステージ、４は受台、５
はカンナ台、６は試料ホルダ、７はアリ溝、１１は交−
１１２はつまみ、１６′はアーム、１８は板ばね、１９
，２４はスプリング、２０はロッド、２１は摺動子、２
２はシャフト、２３はブロックである。 第２図
の斜視図、第３図および第４図はその交換状態を示す正
面図、第５図ないし第７図はそれぞれこの考案の一実施
例を示す水平断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、１は走
査電子顕微鏡本体、３はゴニオステージ、４は受台、５
はカンナ台、６は試料ホルダ、７はアリ溝、１１は交−
１１２はつまみ、１６′はアーム、１８は板ばね、１９
，２４はスプリング、２０はロッド、２１は摺動子、２
２はシャフト、２３はブロックである。 第２図
Claims (4)
- （１）試料交換棒の先端部に両側から開閉して試料ホル
ダをつかむように設けられたアームと、このアームの内
側の対向面に前記試料ホルダを押圧するように設けられ
た第１の押圧機構と、前記試料交換棒の先端部から試料
ホルダを押圧するように設けられた第２の押圧機構とを
備えたことを特徴とする試料交換装置。 - （２）アームが交換棒の先端部に回転可能に設けられ、
交換棒内に設けられたシャフトの回転により開閉可能と
された実用新案登録請求の範囲第１項記載の試料交換装
置。 - （３）アームが先端部に試料と係合する折曲部を有する
実用新案登録請求の範囲第１項または第２項記載の試料
交換装置。 - （４）押圧機構が板ばねまたはコイルスプリングである
実用新案登録請求の範囲第１項ないし第３項のいずれか
に記載の試料交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19269883U JPS6099771U (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 試料交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19269883U JPS6099771U (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 試料交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6099771U true JPS6099771U (ja) | 1985-07-08 |
| JPH0227495Y2 JPH0227495Y2 (ja) | 1990-07-25 |
Family
ID=30414636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19269883U Granted JPS6099771U (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 試料交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6099771U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013196863A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Hitachi High-Tech Science Corp | 荷電粒子ビーム装置及び試料搬送装置 |
-
1983
- 1983-12-14 JP JP19269883U patent/JPS6099771U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013196863A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Hitachi High-Tech Science Corp | 荷電粒子ビーム装置及び試料搬送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0227495Y2 (ja) | 1990-07-25 |
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