JPS6148647U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6148647U JPS6148647U JP13228784U JP13228784U JPS6148647U JP S6148647 U JPS6148647 U JP S6148647U JP 13228784 U JP13228784 U JP 13228784U JP 13228784 U JP13228784 U JP 13228784U JP S6148647 U JPS6148647 U JP S6148647U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- sample holder
- electron beam
- holding member
- bearing
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
Description
第1図は本考案の一実施例を示す平面図、第2
図は第1図のCC断面図、第3図は従来例を説明
するための断面図である。 1……試料ホルダ、10……凹部、11……試
料台、12……切欠部、13……試料、14……
窪み、15……押えバネ、16,22,23……
電子線通過穴、17……軸受、18……軸、19
……フツク、20……ピン、21……切欠部。
図は第1図のCC断面図、第3図は従来例を説明
するための断面図である。 1……試料ホルダ、10……凹部、11……試
料台、12……切欠部、13……試料、14……
窪み、15……押えバネ、16,22,23……
電子線通過穴、17……軸受、18……軸、19
……フツク、20……ピン、21……切欠部。
Claims (1)
- 電子線の通路上に試料を配置するための試料ホ
ルダと、前記試料の上面を押えることによりこの
試料を試料ホルダに固定するための電子線通過穴
を有した弾性体からなる押え部材と、該押え部材
の一端を試料ホルダに回転可能に支持するための
軸受と、前記押え部材の他端を試料ホルダに着脱
可能に掛止するための手段とを備え、前記軸受の
回転中心を電子線の光軸と略直交する平面内に配
置したことを特徴する電子顕微鏡における試料保
持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984132287U JPH0310603Y2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984132287U JPH0310603Y2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6148647U true JPS6148647U (ja) | 1986-04-01 |
JPH0310603Y2 JPH0310603Y2 (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=30690854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1984132287U Expired JPH0310603Y2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0310603Y2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02181351A (ja) * | 1989-01-06 | 1990-07-16 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
JP2005522833A (ja) * | 2002-04-08 | 2005-07-28 | イー エイ フィシオネ インストルメンツ インコーポレーテッド | 試料保持装置 |
EP2824448A1 (en) * | 2013-07-08 | 2015-01-14 | Bruker Nano GmbH | Sample holder for electron backscatter diffraction |
EP3699948A1 (en) * | 2019-02-21 | 2020-08-26 | FEI Company | Sample holder for a charged particle microscope |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5024072A (ja) * | 1973-07-04 | 1975-03-14 | ||
JPS52126744U (ja) * | 1976-03-24 | 1977-09-27 | ||
JPS54140874A (en) * | 1978-04-24 | 1979-11-01 | Jeol Ltd | Sample holder |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP1984132287U patent/JPH0310603Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5024072A (ja) * | 1973-07-04 | 1975-03-14 | ||
JPS52126744U (ja) * | 1976-03-24 | 1977-09-27 | ||
JPS54140874A (en) * | 1978-04-24 | 1979-11-01 | Jeol Ltd | Sample holder |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02181351A (ja) * | 1989-01-06 | 1990-07-16 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
JP2005522833A (ja) * | 2002-04-08 | 2005-07-28 | イー エイ フィシオネ インストルメンツ インコーポレーテッド | 試料保持装置 |
EP2824448A1 (en) * | 2013-07-08 | 2015-01-14 | Bruker Nano GmbH | Sample holder for electron backscatter diffraction |
EP3699948A1 (en) * | 2019-02-21 | 2020-08-26 | FEI Company | Sample holder for a charged particle microscope |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0310603Y2 (ja) | 1991-03-15 |
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