JPH0722035Y2 - 試料固定装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、SEM,AES等の各種分析装置の試料台に不規則
な形状のバルク試料，ウエハ等の薄板の試料を固定する
試料固定装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のバルク試料の固定は、第５図に示すように、円板
状の試料台（１）に試料（２）を載置し、導電性を得る
ため銀ペースト（３）を試料（２）の底部に塗布し、試
料（２）を試料台（１）に接着して固定している。

また、第６図に示すように、試料台（１）と試料（２）
との間に両面テープ（４）を介在し、試料（２）を仮固
定したのち銀ペースト（３）を塗布している。

さらに、ウエハ等の薄板の試料（２）′の場合は、第７
図に示すように、銀ペースト（３）により固定してい
る。

〔考案が解決しようとする課題〕

従来の前記固定手段は、銀ペースト（３）ないしは両面
テープ（４）のみを使用しているため、試料（２），
（２）′の試料台（１）に対する固定が不安定であり、
試料（２），（２）′が試料台（１）から分析装置内に
落下する恐れがある。

さらに、銀ペースト（３），両面テープ（４）の使用に
より真空度が悪化するため、AES等の高真空装置には使
用不可能である。

その上、試料（２），（２）′の観察及び分析に際し、
試料（２）を最適な高さ位置，向きに固定する必要があ
るが、銀ペースト（３）を使用の場合はそれが困難であ
る。

しかも、試料（２），（２）′を再固定する場合、銀ペ
ースト（３），両面テープ（４）により試料（２），
（２）′の表面ないしは破断面が汚染される欠点があ
る。

本考案は、前記の点に留意し、試料を確実に固定すると
ともに、最適な高さ位置，向きに容易に固定でき、真空
度を悪化させず、試料を汚染することなく再固定が可能
な試料固定装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

前記課題を解決するために、本考案の試料固定装置は、
基体に上下動自在に設けられた昇降台と、該昇降台を前
記基体に固定する止めねじと、前記昇降台の突部を支点
にして傾斜及び回動自在に設けられた載置台と、該載置
台を前記昇降台に固定する止めねじと、前記載置台に形
成され載置された試料の一側が当接する当接面と、前記
試料の他側に当接し前記試料を固定する止めねじとを備
えたものである。

〔作用〕

前記のように構成された本考案の試料固定装置は、載置
台上における当接面と止めねじにより試料が確実に固定
され、載置台が昇降台に対し傾斜及び回動自在であるた
め、試料の向きが容易に変えられ、かつ、昇降台が基体
に対し上下動自在であるため、試料を最適の高さ位置に
位置させることができ、さらに、それぞれの止めねじに
よりそれぞれの状態が保持される。

〔実施例〕

実施例について第１図ないし第４図を参照して説明す
る。

それらの図面において、（５）は有底円筒状の基体、
（６）は基体（５）の底部中央に上下方向に螺合した止
めねじ、（７）は外面が基体（５）の内面に摺接し基体
（５）内に上下動自在に設けられた有底円筒状の昇降
台、（８）は基体（５）の周壁に螺合した止めねじであ
り、止めねじ（６）の進退により昇降台（７）が上下動
し、止めねじ（８）の挿入により昇降台（７）の高さ位
置が固定される。（９）は昇降台（７）の底部中央に突
設された鋭角円錐状の突部である。

（10）は昇降台（７）内に設けられた載置台、（11）は
載置台（10）の底面中央に形成された同格円錐状の凹部
であり、凹部（11）の頂部（12）に突部（９）の頂点が
当接している。（13）は載置台（10）の周面に頂部（1
2）を中心として形成された曲面であり、曲面（13）が
昇降台（７）の内面に摺接し、載置台（10）が突部
（９）の頂点を中心として傾斜自在であり、かつ回動自
在である。

（14）は昇降台（７）の周壁に螺合した止めねじであ
り、止めねじ（14）の挿入により載置台（10）の傾斜状
態が固定される。

（15）は載置台（10）の上面に平行に形成された２個の
突板、（16）は一方の突板（15）の内面側の当接面、
（17）は他方の突板（15）に螺合した止めねじであり、
両突板（15）間に試料（２）が当接面（16）に当接して
載置され、止めねじ（17）の挿入により試料（２）が載
置台（10）上に固定される。

つぎに、バルク試料（２）の基体（５）への固定手順に
ついて説明する。

分析装置外において、試料（２）の観察，分析面を電子
線,X線等の入射方向に向け、試料（２）の一側を当接面
（16）に当接して載置台（10）に載置し、試料（２）の
他側に止めねじ（17）の先端を当接し、試料（２）をま
ず載置台（10）に固定する。

つぎに、載置台（10）を昇降台（７）内に挿入し、凹部
（11）の頂部（12）を突部（９）の頂点に当てがい、そ
の頂点を支点として載置台（10）を傾斜及び回動して微
調整し、止めねじ（14）により載置台（10）を昇降台
（７）に固定する。

そして、昇降台（７）を基体（５）内に挿入し、止めね
じ（６）を進退させて昇降台（７）の高さすなわち試料
（２）の高さを調整し、所定位置で止めねじ（８）によ
り昇降台（７）を基体（５）に固定する。

つぎに、ウエハ試料（２）′を固定する場合は、第４図
に示すように、試料（２）′の一側を当接面（16）に当
接し、長寸の止めねじ（17）′により固定する。

〔考案の効果〕

本考案は、以上説明したように構成されているので、以
下に記載する効果を奏する。

試料（２），（２）′が載置台（10）上において当接面
（16）と止めねじ（17），（17）′により確実に固定さ
れ、脱落することがなく、従来のように銀ペーストを使
用しないため、真空度を悪化することが防止され、試料
（２），（２）′の再固定も試料（２）の表面を汚染す
ることなく行うことができる。

さらに、載置台（10）が傾斜自在及び回動自在であるた
め、試料（２），（２）′の向きを容易に調整すること
ができ、かつ、載置台（10）を支持した昇降台（７）が
基体（５）に対し上下動自在であるため、試料（２），
（２）′を最適の高さ位置に位置させることができ、そ
の上、それぞれの状態を止めねじ（14），（８）により
安定に固定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の試料固定装置の１実施例の切断正面
図、第２図は第１図の平面図、第３図は第１図の他の状
態を示す切断正面図、第４図は他の試料の固定状態を示
す一部の切断正面図、第５図，第６図及び第７図はそれ
ぞれ従来例の切断正面図である。 （２），（２）′…試料、（５）…基体、（６），
（８），（14），（17），（17）′…止めねじ、（７）
…昇降台、（９）…突部、（10）…載置台、（16）…当
接面。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−228556（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−263035（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−67651（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】基体に上下動自在に設けられた昇降台と、
   該昇降台を前記基体に固定する止めねじと、前記昇降台
   の突部を支点にして傾斜及び回動自在に設けられた載置
   台と、該載置台を前記昇降台に固定する止めねじと、前
   記載置台に形成され載置された試料の一側が当接する当
   接面と、前記試料の他側に当接し前記試料を固定する止
   めねじとを備えた試料固定装置。