JP3469054B2 - 試料加工ホルダーシステム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料加工ホルダー
システムに関するものであり、特に、透過電子顕微鏡用
試料に損傷を与えることなく容易に装着可能な、試料加
工ホルダーシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】図７に、従来の集束イオンビーム（ＦＩ
Ｂ）加工用の試料加工ホルダーを示す。この図７からわ
かるように、従来の試料加工ホルダーは、下部保持部材
４０と上部保持部材４２と締め付け具４４とを備えて構
成されていた。下部保持部材４０と上部保持部材４２と
は、ともに、平坦な金属製板からなる部材であった。こ
れら下部保持部材４０と上部保持部材４２とは、締め付
け具４４により、これらの間隔Ｘ１が調整可能に構成さ
れていた。この試料加工ホルダーに保持される透過電子
顕微鏡用試料３０は、試料材３２が補助板３４へ貼り付
けられることにより、形成されていた。

【０００３】このような図７に示す試料加工ホルダーに
あっては、透過電子顕微鏡用試料３０が微小なものであ
ることから、ピンセットＰを用いてこの透過電子顕微鏡
用試料３０を装着する必要があった。すなわち、ピンセ
ットＰで透過電子顕微鏡用試料３０を摘んで、試料加工
ホルダーの下部保持部材４０と上部保持部材４２との間
に挿入する。そして、この透過電子顕微鏡用試料３０の
位置を維持したまま、締め付け具４４を締め付け、下部
保持部材４０と上部保持部材４２との間隔Ｘ１を狭めて
行くことにより、これら下部保持部材４０と上部保持部
材４２とで透過電子顕微鏡試料３０を挟んで試料加工ホ
ルダーに装着していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図７に示す試料加工ホ
ルダーを用いる場合、透過電子顕微鏡用試料３０をピン
セットＰで摘み上げるため、試料材１２が破損したり、
透過電子顕微鏡用試料３０がはじけて紛失してしまう場
合があった。また、ピンセットＰを用いて透過電子顕微
鏡用試料３０を試料加工ホルダーにおける下部保持部材
４０と上部保持部材４２との間へ挿入していく操作と、
締め付け具４４を締め付ける操作とを、同時に行わなけ
ればならないため、この透過電子顕微鏡用試料３０を装
着するのが必ずしも容易ではなかった。しかも、この操
作に手間取っていると、ピンセットＰで透過電子顕微鏡
用試料３０を摘んでいる時間が長くなるため、破損や紛
失の可能性も高くなってしまっていた。

【０００５】そのうえ、下部保持部材４０と上部保持部
材４２とは、平坦な板を合わせる形で構成しているた
め、透過電子顕微鏡用試料３０の装着位置の再現が困難
であった。すなわち、図８（ａ）に示すように透過電子
顕微鏡用試料３０が試料加工ホルダーの内部まで入り込
んでしまったり、図８（ｂ）に示すように透過電子顕微
鏡用試料３０が試料加工ホルダーの手前までしか挿入し
ていなかったりしていた。このため、装着の都度、同じ
程度の挿入長にすることが困難であった。装着のたびに
透過電子顕微鏡用試料３０の挿入長が異なっていると、
後の作業であるＦＩＢ加工における作業が煩雑になると
いう問題があった。

【０００６】そこで本発明は、上記課題に鑑みてなされ
たものであり、透過電子顕微鏡用試料３０の装着位置の
再現が容易な、集束イオンビーム加工用の、試料加工ホ
ルダー及び試料加工ホルダーシステムを提供することを
目的とする。すなわち、透過電子顕微鏡用試料３０を下
部保持部材４０と上部保持部材４２との間に挿入する際
における挿入長が一定になるような試料加工ホルダー及
び試料加工ホルダーシステムを提供することを目的とす
る。また、透過電子顕微鏡用試料３０に損傷をあたえる
ことなく、この透過電子顕微鏡用試料３０を装着するこ
とのできる集束イオンビーム加工用の試料加工ホルダー
システムを提供することを目的とする。さらに、ピンセ
ットＰを用いて透過電子顕微鏡用試料３０を持っていく
操作と、締め付け具４４を締め付ける操作とを、同時に
することなく、この透過電子顕微鏡用試料３０を容易に
装着することのできる試料加工ホルダーシステムを提供
することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る試料加工ホルダーシステムは、試料加
工ホルダーと、この試料加工ホルダーに透過電子顕微鏡
用試料を装着する際にこの試料加工ホルダーを載せるた
めの治具とを備えた、試料加工ホルダーシステムであっ
て、前記試料加工ホルダーは、下部保持部材と上部保持
部材との間に、補助板上に試料材が取り付けられた透過
電子顕微鏡用試料を挿入して、締め付け具で前記下部保
持部材と前記上部保持部材とを締め付けて前記補助板を
挟むことにより、前記透過電子顕微鏡用試料を保持する
ためのものであり、前記下部保持部材又は前記上部保持
部材のいずれか一方に形成され、前記透過電子顕微鏡用
試料を前記下部保持部材と前記上部保持部材との間に挿
入する際に、前記補助板が当接して位置決めストッパと
しての役割を有する、当接部を備えており、前記治具
は、前記試料加工ホルダーを載せるためのホルダー載置
部と、前記透過電子顕微鏡用試料を載せて滑らすことに
より前記下部保持部材と前記上部保持部材との間にこの
透過電子顕微鏡用試料を挿入するための試料挿入部とを
備えるとともに、前記ホルダー載置部に前記試料加工ホ
ルダーを載せた場合に、前記試料加工ホルダーにおける
前記下部保持部材の前記試料挿入部側の高さと、前記治
具の試料挿入部との高さが、ほぼ同一となるよう構成さ
れていることを特徴とする。

【０００８】

【発明の実施の形態】

（第１実施形態）本発明の第１実施形態に係る試料加工
ホルダーは、透過電子顕微鏡用試料を試料加工ホルダー
における下部保持部材と上部保持部材との間へ挿入する
際における挿入長を一定にするための位置決めストッパ
としての当接部を、下部保持部材に設けることにより、
透過電子顕微鏡用試料の挿入長が一定になるようにする
とともに、治具を用いることにより透過電子顕微鏡用試
料の装着作業が容易になるようにしたものである。

【０００９】図３は、本発明の第１実施形態に係る試料
加工ホルダーＨＬを示す図であり、（ａ）はその平面
図、（ｂ）はその側面図である。

【００１０】特に、図３（ｂ）からわかるように、試料
加工ホルダーＨＬは、下部保持部材１０と、上部保持部
材１２と、締め付け具１４とを、備えて構成される。こ
れら下部保持部材１０と上部保持部材１２との間隔Ｘ１
は、締め付け具１４により調整可能になっている。

【００１１】下部保持部材１０は、本実施形態において
は金属板から形成されている。この下部保持部材１０
は、下方挟持部１０ａと当接部１０ｂとを備えて構成さ
れる。下方挟持部１０ａは、その上側の面Ａで、透過電
子顕微鏡用試料３０を挟んで保持する部分である。当接
部１０ｂは、この下方挟持部１０ａよりも１段高く形成
されており、その上側は面Ｂをなしている。これら面Ａ
と面Ｃとの間には、垂直に立ち上がる面Ｃが形成されて
いる。すなわち、下方挟持部１０ａと当接部１０ｂとの
間に形成される段部で面Ｃが形成されている。

【００１２】上部保持部材１２は、本実施形態において
は、上記の下部保持部材１０と同様に、金属板から形成
されている。上部保持部材１２は、上方挟持部１２ａと
当接対向部１２ｂとを備えて構成される。上方挟持部１
２ａは、その下側の面Ｄで、透過電子顕微鏡用試料３０
を挟んで保持する部分である。当接対向部１２ｂは、こ
の上方挟持部１２ａよりも１段低く形成されており、そ
の下側は面Ｅをなしている。これら面Ｄと面Ｅとの間に
は、垂直に立ち下がる面Ｆが形成されている。すなわ
ち、上方挟持部１２ａと当接対向部１２ｂとの間に形成
される段部で面Ｆが形成されている。

【００１３】前述した、下部保持部材１０の当接部１０
ｂの高さと、上部保持部材１２の上方挟持部１２ａの高
さとは、ほぼ同等の高さに形成されている。換言すれ
ば、面Ｃと面Ｆとの高さは、ほぼ同等の高さに形成され
ている。このため、下部保持部材１０と上部保持部材１
２とは、密接的に重ね合わさるようになっている。すな
わち、下方挟持部１０ａの面Ａと上方挟持部１２ａの面
Ｄとが密接し得るようになっており、当接部１０ｂの面
Ｂと当接対向部１２ｂの面Ｅとが密接し得るようになっ
ている。また、面Ｃと面Ｆとも密接し得るようになって
いる。

【００１４】特に図３（ａ）からわかるように、締め付
け具１４は、本実施形態においては１つのネジにより、
構成されている。この締め付け具１４は、当接対向部１
２ｂの中央付近の位置に設けられている。つまり、その
下側の当接部１０ｂの中央付近の位置に設けられてい
る。図３（ｂ）からわかるように、この当接対向部１２
ｂ中を締め付け具１４は貫通して設けられており、その
先端部は当接部１０ｂに達している。上述のように、こ
の締め付け具１４で下部保持部材１０と上部保持部材１
２との間隔Ｘ１が調整可能になっている。すなわち、締
め付け具１４を締め付けることにより、下部保持部材１
０と上部保持部材１２との間隔Ｘ１が狭まるようになっ
ている。反対に、締め付け具１４を緩めることにより、
下部保持部材１０と上部保持部材１２との間隔Ｘ１が広
まるようになっている。下部保持部材１０と上部保持部
材１２との間における締め付け具１４の周囲には、スプ
リングＳＰが設けられている。すなわち、締め付け具１
４の回りにスプリングＳＰが巻き付けられている。この
スプリングＳＰにより、締め付け具１４を緩めたとき
に、下部保持部材１０と上部保持部材１２とが自然に離
れるようになっている。

【００１５】図１は、上述した試料加工ホルダーＨＬを
治具ＪＧ上に載せた状態を示す図、つまり試料加工ホル
ダーシステム全体を示す図であり、（ａ）はその平面
図、（ｂ）はその側面図である。

【００１６】特に図１（ｂ）からわかるように、治具Ｊ
Ｇは、試料挿入部２０ａとホルダー載置部２０ｂとを備
えて構成されている。ホルダー載置部２０ｂは、試料加
工ホルダーＨＬを載置するための部分である。すなわ
ち、ホルダー載置部２０ｂの上側の面Ｇには、試料加工
ホルダーＨＬが載置される。試料挿入部２０ａは、透過
電子顕微鏡用試料３０を載せて試料加工ホルダーＨＬへ
挿入するための部分である。すなわち、試料挿入部２０
ａの上側の面Ｈには、透過電子顕微鏡用試料３０が一旦
置かれ、これを滑らすようにして、試料加工ホルダーＨ
Ｌへ挿入される。この試料挿入部２０ｂは、ホルダー載
置部２０ｂよりも一段高く形成されている。この一段高
くなった段部が面Ｉをなしている。すなわち、面Ｇと面
Ｈとの間には面Ｉが形成されている。

【００１７】治具ＪＧに試料加工ホルダーＨＬを載置し
た場合、前述した、治具ＪＧの試料挿入部２０ａと、試
料加工ホルダーＨＬの下方挟持部１０ａとが、ほぼ同じ
高さになるようになっている。すなわち、治具ＪＧの面
Ｉと、試料加工ホルダーＨＬの試料挿入部２０ａ側の面
Ｊとは、ほぼ同じ高さの垂直に立つ面として、構成され
ている。このため、治具ＪＧの面Ｈと、試料加工ホルダ
ーＨＬの面Ａとが、ほぼ同一の高さになるようになって
おり、透過電子顕微鏡用試料３０がスムーズに試料加工
ホルダーＨＬに挿入することができるようになってい
る。

【００１８】透過電子顕微鏡用試料３０は、試料材３２
と補助板３４とを備えて構成されている。これら試料材
３２と補助板３４とは、接着剤等で貼り付けられてい
る。補助板３４は一般にリング、メッシュ、グリッド等
と呼ばれるものであり、本実施形態においては、この補
助板３４は３ｍｍ程度の大きさのものを想定している。

【００１９】次に、本実施形態に係る試料加工ホルダー
ＨＬ及び試料加工ホルダーシステムの使い方について説
明する。

【００２０】図１からわかるように、試料加工ホルダー
ＨＬを治具ＪＧのホルダー載置部２０ｂ上に載置する。
このとき、試料加工ホルダーＨＬの下方挟持部１０ａと
上方挟持部１２ａとが、治具ＪＧの試料挿入部２０ａ側
に位置するように載置する。また、締め付け部１４を緩
めておき、下方挟持部１０ａと上方挟持部１２ａとの間
隔Ｘ１が、補助板３４の厚さ以上になるようにしてお
く。次に、ピンセットＰ等を用いて、透過電子顕微鏡用
試料３０を治具３０の試料挿入部２０ａに載せる。そし
て、透過電子顕微鏡用試料３０をピンセットＰ等を用い
て押すことにより、この透過電子顕微鏡用試料３０を試
料挿入部２０ａ上に載せたまま図中右側へ滑らせる。す
ると、透過電子顕微鏡用試料３０の補助板３４が、下方
挟持部１０ａと上方挟持部１２ａとの間に挿入される。
そして、補助板３４における試料加工ホルダーＨＬ側の
先端３４ａは、当接部１０ｂの面Ｃと当接して止まる。
すなわち、補助板３４の挿入長が、面Ａの奥行きＸ２と
同じになった時点で、先端３４ａが面Ｃと当接して自然
に止まる。この奥行きＸ２は、本実施形態においては例
えば１．５ｍｍ程度である。次に、締め付け具１４を締
め付けて、次第に、下方挟持部１０ａと上方挟持部１２
ａとの間隔Ｘ１を狭めてゆく。すると図２からわかるよ
うに、補助板３４をこれら下方挟持部１０ａと上方挟持
部１２ａとで挟んで保持するようになる。つまり、これ
ら下方挟持部１０ａの面Ａと上方挟持部１２ａの面Ｄと
で挟むことにより、透過電子顕微鏡用試料３０を保持す
るようになる。

【００２１】以上のように、本実施形態に係る試料加工
ホルダーＨＬによれば、試料加工ホルダーＨＬに位置決
めストッパとしての働きを有する当接部１０ｂを設けた
ので、透過電子顕微鏡用試料３０を容易に同じ挿入長で
取り付けることができる。すなわち、透過電子顕微鏡用
試料３０を下部挟持部１０と上部挟持部１２との間へ挿
入する際に、補助板３４の先端３４ａが当接部１０ｂと
当接するので、この補助板３４の挿入長を一定にするこ
とができる。このため、透過電子顕微鏡用試料３０が、
試料加工ホルダーＨＬの奥まで入り込んだり、手前で止
まってしまったりすることがなくなる。このため、毎回
の操作において透過電子顕微鏡用試料３０の取付位置の
再現性をとることができる。

【００２２】さらに、本実施形態に係る試料加工ホルダ
ーシステムによれば、治具ＪＧに、透過電子顕微鏡用試
料３０を載せて滑らすための試料挿入部２０ａと、試料
加工ホルダーＨＬを載置するためのホルダー載置部２０
ｂとを設けるとともに、このホルダー載置部２０ｂに試
料加工ホルダーＨＬを載置した場合に、試料挿入部２０
ａの上側の面Ｈと試料加工ホルダーＨＬの下部保持部材
１０における上側の面Ａとがほぼ同等の高さになるよう
にしたので、ピンセットＰ等で透過電子顕微鏡用試料３
０を滑らせて容易に試料加工ホルダーＨＬに挿入するこ
とができる。したがって、透過電子顕微鏡用試料３０を
ピンセットＰで摘み上げる必要がなくなり、この透過電
子顕微鏡用試料３０を破損してしまうおそれや紛失して
しまうおそれを極めて少なくすることができる。しか
も、ピンセットＰを用いて透過電子顕微鏡用試料３０を
試料加工ホルダーＨＬにおける下部保持部材１０と上部
保持部材１２との間へ挿入する操作と、締め付け具４４
を締め付ける操作とを、かならずしも同時に行う必要が
なくなるため、透過電子顕微鏡用試料３０の装着が極め
て容易になる。

【００２３】しかも、下部保持部材１０と上部保持部材
１２との間における締め付け具１４の周囲に、スプリン
グＳＰを設けたので、締め付け具１４を緩めるだけで下
部保持部材１０と上部保持部材１２との間隔Ｘ１を自然
に広がるようにすることができる。このため、透過電子
顕微鏡用試料３０の試料加工ホルダーＨＬへの装着作業
を、より一層容易にすることができる。

【００２４】（第２実施形態）本発明の第２実施形態
は、試料加工ホルダーに２つの締め付け具を設けること
により、下部保持部材と上部保持部材とをほぼ平行状態
に保ったまま間隔を狭めていくことができるようにし
て、透過電子顕微鏡用試料の挿入位置が多少ずれた場合
でもより確実に保持することができるようにしたもので
ある。

【００２５】図４は、この本発明の第２実施形態に係る
試料加工ホルダーＨＬ及び試料加工ホルダーシステムを
示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図であ
る。この図４は、前述した第１実施形態の図１に相当す
る図である。

【００２６】特に図４（ａ）からわかるように、試料加
工ホルダーＨＬには互いに離れた位置に２つの締め付け
具１４Ａ、１４Ｂとが設けられている。すなわち、試料
加工ホルダーＨＬの図中上側に締め付け具１４Ａが設け
られており、図中下側に締め付け具１４Ｂが設けられて
いる。図４（ｂ）からわかるように、締め付け具１４Ａ
と締め付け具１４Ｂとは、上部保持部材１２を貫通して
下部保持部材１０へ達するように設けられている。これ
ら締め付け具１４Ａ、１４Ｂの周囲には、それぞれ、ス
プリングＳＰが設けられている。この締め付け具１４
Ａ、１４Ｂが２つ設けられている点を除いては、前述し
た第１実施形態形態と同様であるので、ここでは他の説
明を省略する。

【００２７】以上のように、本発明の第２実施形態にお
いては、２つの締め付け具１４Ａ、１４Ｂを設けたの
で、透過電子顕微鏡用試料３０の挿入位置が多少ずれた
場合でも、容易にこのずれた透過電子顕微鏡用試料３０
を保持することができる。すなわち、透過電子顕微鏡用
試料３０が図中における試料加工ホルダーＨＬの上側や
下側にずれて挿入された場合でも、下部保持部材１０と
上部保持部材１２とで透過電子顕微鏡用試料３０を挟ん
でより確実に保持することができる。なぜなら、締め付
け具１４Ａと締め付け具１４Ｂとを交互に締め付けてい
くことにより、下部保持部材１０と上部保持部材１２と
がほぼ平行な状態を保ったまま間隔Ｘ１を狭めて行くこ
とが可能になるからである。つまり、透過電子顕微鏡用
試料３０が多少ずれた位置にある場合でも、上部保持部
材１２が図中上側や図中下側へ傾きにくくなるからであ
る。

【００２８】（第３実施形態）本発明の第３実施形態に
係る試料加工ホルダーシステムは、治具の試料挿入部
に、透過電子顕微鏡用試料をガイドするための一対のガ
イド壁をこの透過電子顕微鏡用試料の挿入方向に沿って
設けることにより、透過電子顕微鏡用試料の位置決めを
より一層容易にしたものである。

【００２９】図５は、この本発明の第３実施形態に係る
試料加工ホルダーＨＬ及び試料加工ホルダーシステムを
示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図であ
る。この図５は、前述した第１実施形態の図１に相当す
る図である。

【００３０】特に図５（ａ）からわかるように、治具Ｊ
Ｇにおける試料挿入部２０ａの図中上下には、一対のガ
イド壁２２、２２が形成されている。このガイド壁２
２、２２は、透過電子顕微鏡用試料３０を試料加工ホル
ダーＨＬへ挿入する際の位置決めを容易にするためのも
のである。これらガイド壁２２、２２の内側の間隔Ｘ３
は、補助板３４の幅よりもわずかに大きくなるように形
成されている。ガイド壁２２、２２の挿入側、つまり試
料加工ホルダーＨＬの反対側の端部には、透過電子顕微
鏡用試料３０をこの間隔Ｘ３へ入れやすくするための、
傾斜壁２２が形成されている。この傾斜壁２２は、挿入
側へ行くにしたがって次第に広くなるような斜めの壁で
構成されている。図５（ｂ）からわかるように、本実施
形態においては、このガイド壁２２、２２は、透過電子
顕微鏡用試料３０の高さのほぼ半分程度の高さまで形成
されている。

【００３１】以上のように、本発明の第３実施形態に係
る試料加工ホルダーシステムによれば、治具ＪＧの試料
挿入部２０ａに一対のガイド壁２０、２０を形成したの
で、透過電子顕微鏡用試料３０の位置決めが一層容易に
なる。すなわち、透過電子顕微鏡用試料３０の挿入長の
みならず、挿入位置も一定にすることができる。つま
り、透過電子顕微鏡用試料３０の図中における上下の挿
入位置も一定にすることができる。しかも、透過電子顕
微鏡用試料３０の向きを一定にして試料加工ホルダーＨ
Ｌへ挿入することができる。つまり、透過電子顕微鏡用
試料３０の挿入をより一層用意にすることができる。

【００３２】なお、本発明は上記実施形態に限定され
ず、種々に変形可能である。例えば、締め付け具１４
は、ネジではなく、ビスやボルトやクリップなど、下部
保持部材１０と上部保持部材１２との間の間隔が調整可
能であればよい。すなわち、下部保持部材１０と上部保
持部材１２とで透過電子顕微鏡用試料３０を挟んで保持
することができるようなものであればよい。また、締め
付け具１４の周囲に設けられたスプリングＳＰは必ずし
も必須のものではなく、省略することも可能である。ス
プリングＳＰを省略した場合には、透過電子顕微鏡用試
料３０を挿入する際にピンセットＰ等で上部保持部材１
２を持ち上げる必要が生ずる場合もある。

【００３３】さらに、図６に示すように、上部保持部材
１２に当接部１２ｃを設けることもできる。すなわち、
上部保持部材１２から下方へ垂れ下がるように当接部１
２ｃを設けることもできる。この場合、当接部１２ｃに
対向する下部保持部材１０の部分には、当接対向部１０
ｃが形成される。また、当接部１２ｃの面Ｅが下方挟持
部１０ａの面Ａよりも上に上がらない構造にする必要が
ある。そして、上部保持部材１２の下方に垂直に垂れ下
がる面Ｆが位置決めストッパとしての役割を果たすこと
となる。

【００３４】

【発明の効果】本発明によれば、補助板上に試料材が取
り付けられた透過電子顕微鏡用試料を、試料加工ホルダ
ーへ挿入する際に、この補助板の先端が当接してストッ
パとしての役割を有する当接部を試料加工ホルダーに設
けたので、透過電子顕微鏡用試料を毎回ほぼ同じ挿入長
で挟んで保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る試料加工ホルダー
システムを示す図。

【図２】透過電子顕微鏡用試料を装着した状態の試料加
工ホルダーシステムを示す図。

【図３】本発明の第１実施形態に係る試料加工ホルダー
を示す図。

【図４】本発明の第２実施形態に係る試料加工ホルダー
システムを示す図。

【図５】本発明の第３実施形態に係る試料加工ホルダー
システムを示す図。

【図６】本発明の試料加工ホルダーシステムの変形例を
示す図。

【図７】従来の試料加工ホルダーを示す図。

【図８】従来の試料加工ホルダーにおいて透過電子顕微
鏡用試料を装着した状態を示す図。

【符号の説明】

ＨＬ 試料加工ホルダー ＪＧ 治具 ＳＰ スプリング １０ 下部保持部材 １０ａ 下方挟持部 １０ｂ 当接部 １２ 上部保持部材 １２ａ 上方挟持部 １２ｂ 当接対向部 １４ 締め付け具 ２０ａ 試料挿入部 ２０ｂ ホルダー載置部 ３０ 透過電子顕微鏡用試料

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−306547（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−134700（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−120437（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−264625（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−149148（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−324240（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−229540（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−322747（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−276555（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−93835（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−20838（ＪＰ，Ｕ) 国際公開97／05516（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 37/20 B23Q 3/06 H01J 37/30 - 37/317

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】試料加工ホルダーと、この試料加工ホルダ
   ーに透過電子顕微鏡用試料を装着する際にこの試料加工
   ホルダーを載せるための治具とを備えた、試料加工ホル
   ダーシステムであって、 前記試料加工ホルダーは、 下部保持部材と上部保持部材との間に、補助板上に試料
   材が取り付けられた透過電子顕微鏡用試料を挿入して、
   締め付け具で前記下部保持部材と前記上部保持部材とを
   締め付けて前記補助板を挟むことにより、前記透過電子
   顕微鏡用試料を保持するためのものであり、 前記下部保持部材又は前記上部保持部材のいずれか一方
   に形成され、前記透過電子顕微鏡用試料を前記下部保持
   部材と前記上部保持部材との間に挿入する際に、前記補
   助板が当接して位置決めストッパとしての役割を有す
   る、当接部を備えており、 前記治具は、前記試料加工ホルダーを載せるためのホル
   ダー載置部と、前記透過電子顕微鏡用試料を載せて滑ら
   すことにより前記下部保持部材と前記上部保持部材との
   間にこの透過電子顕微鏡用試料を挿入するための試料挿
   入部とを備えるとともに、 前記ホルダー載置部に前記試料加工ホルダーを載せた場
   合に、前記試料加工ホルダーにおける前記下部保持部材
   の前記試料挿入部側の高さと、前記治具の試料挿入部と
   の高さが、ほぼ同一となるよう構成されていることを特
   徴とする、試料加工ホルダーシステム。
2. 【請求項２】前記試料挿入部には、前記透過電子顕微鏡
   用試料を滑らせる方向に沿って、一対のガイド壁が形成
   されていることを特徴とする請求項１に記載の試料加工
   ホルダーシステム。
3. 【請求項３】前記一対のガイド壁における前記試料加工
   ホルダーとは反対側である挿入側の端部には、前記一対
   のガイド壁の内側の間隔を前記挿入側に行くにしたがっ
   て広げるための傾斜壁がそれぞれ形成されていることを
   特徴とする請求項２に記載の試料加工ホルダーシステ
   ム。