JPH09102292A - 試料保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 Ｘ線プローブ微小部分析法および走査型電子
顕微鏡に用いられる、シリンダ内径よりも長い試料を保
持する試料保持装置を提供する。 【解決手段】 本発明の試料保持装置は、図１に示した
ように試料を観察、分析するためのスリット10を有す
る、試料を保持するための試料押え板８、試料支持板1
5、試料押えバネ９、シリンダ１およびシリンダ内径よ
りも長い試料７を保持するための切り欠き14を有する試
料ホルダ２よりなることを特徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は試料保持装置、特に
はＸ線プローブ微小部分析法および走査型電子顕微鏡な
どに用いられる試料保持装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ線プローブ微小部分析法、走査型電子
顕微鏡などに使用される試料保持装置は例えば図３に示
されたようなものとされている。すなわち、従来、この
種の用途に使用されている試料保持装置は、試料台、シ
リンダ、試料ホルダの３個の部品から構成されており、
これらは図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の斜視図で示され
るものとされている。

【０００３】この図３（ａ）に示されている試料台21は
試料を固定する面が平面で、側面は雄ネジを成してお
り、下面にはマイナスドライバーなどで回転させる溝22
が形成されており、図３（ｂ）で示されるシリンダ23の
内面は試料台21をネジ込むために雌ネジが形成されてい
る。また、図３（ｃ）で示されている試料ホルダ24はシ
リンダ23の高さと同じ深さをもつシリンダ受け25、シリ
ンダ23を固定するための固定ネジ26、測定室内で試料ホ
ルダ24を移動させる棒を固定させるためのネジ穴27、試
料ホルダ24を測定室内の試料ホルダマウントに固定する
ためのかみ合わせ溝28をもつものとされている。

【０００４】この試料保持装置の使用法は、まず試料を
導電性粘着テープまたは導電性ペーストなどを用いて試
料台21に固定し、この試料台21をシリンダ23にネジ込
み、マイナスドライバーで溝22を利用して試料台21を回
転させ、試料の表面とシリンダ23の上面を一致させたの
ち、シリンダ23をシリンダ受け25にはめ込み、固定ネジ
26でこれを固定し、試料表面と試料ホルダ24の上面を一
致させていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この従来公知
の試料保持装置では、試料の大きさがシリンダ内径以内
でなければならず、それ以上の大きさの試料は何らかの
方法でシリンダの大きさに合わせてトリミングしなけれ
ばならないという欠点があり、さらに長い試料のライン
分析を行ないたいときには、試料を短くして何回にも分
けて分析しなければならないという不利があるし、試料
を短くするためにはどうしても分析ライン上を切断する
必要があるため、切断箇所にコンタミネーションが生ず
る可能性があるという不利もあった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、欠点を解決したシリンダ内径よりも長い試料を保持
する試料保持装置に関するものであり、これは試料を観
察、分析するためのスリットを有する、試料を保持する
ための試料押え板、試料支持板、試料押えバネ、シリン
ダおよびシリンダ内径よりも長い試料を保持するための
切り欠きを有する試料ホルダよりなることを特徴とする
ものである。

【０００７】以下にこれをさらに詳細に説明する。本発
明は特にはＸ線プローブ微小部分析法、走査型電子顕微
鏡などに用いられる試料保持装置に関するものである
が、このものは試料の大きさがシリンダ内径よりも長い
試料を保持する点に特徴のあるものである。したがっ
て、これは試料押え板、試料支持板、試料押えバネ、シ
リンダ、および長い試料を保持するための切り欠きを有
する試料ホルダからなるものとされる。

【０００８】

【発明の実施の形態】つぎに本発明の試料保持装置を添
付の図面に基づいて説明する。図１（ａ）は本発明の試
料保持装置の立体斜面図、図１（ｂ）はそのＡ−Ａ線断
面図を示したものであるが、このものは図１（ａ）に示
したように試料７、試料押え板８、シリンダ１、試料ホ
ルダ２で構成されており、図１（ｂ）に示したように試
料７は試料支持板15の上に載せられ、これは試料を観
察、分析するためのスリット10を有する試料押え板８で
固定され、その下部から試料押えバネ９の弾力によって
保持されているが、これらはシリンダ１の内に入れら
れ、試料ホルダ２の内に納められている。

【０００９】この試料ホルダ２は図示外の試料移動棒を
ネジ穴５に固定して図示外のＸ線プローブ微小部分析装
置や走査型電子顕微鏡の試料室内を移動させることによ
り、鏡筒直下の試料ホルダマウント上にかみ合わせ溝６
で固定される。また、このスリット10は電子線のＺ軸に
直交するように形成されており、例えばＸ線プローブ微
小部分析装置に適用する場合は、発生する特性Ｘ線が検
出器に到達するのを妨げないような幅をなすように形成
される。さらに試料７は前記したように、試料押え板８
と試料支持板15との間に、固定ネジ４によりシリンダ１
を試料ホルダ２に固定することによって生ずる試料押え
バネ９の反撥力によって固定される。

【００１０】図２は本発明の試料保持装置で用いられる
各部品を図示したものであるが、図２（ａ）はシリンダ
１の立体斜視図、図２（ｂ）はその平面図、図２（ｃ）
は試料押えバネ９の立体斜視図、図２（ｄ）は試料ホル
ダ２の立体斜視図、図２（ｅ）は試料支持板15の斜視図
を示したものである。シリンダ１は図２（ａ）、（ｂ）
に示したように、試料押え板８、スリット10、試料挿入
口11、ガイドピン12を有するものであるが、この試料押
え板８はその縁の下面が試料ホルダ２の上面に接するよ
うに形成されており、これによって試料押え板８の下面
に接している試料７の上面を試料ホルダ２の上面と一致
させている。

【００１１】この試料押え板８はシリンダ１と一体成形
したものであってもよいし、シリンダ１と別に成形し、
ネジまたは溶接によってシリンダ１に固定してもよい
が、これはシリンダ１の側面に対し直角となるように配
置することが必要とされる。また、この試料挿入口11は
シリンダ１の内径よりも長い試料を保持するのに十分な
大きさを有するものとされるが、その高さは試料ホルダ
２の切り欠き14の上下の幅以下とされ、このガイドピン
12は試料ホルダ２に備えられているガイド穴13にはまる
ような大きさのピンまたはネジで成形されたものとすれ
ばよい。

【００１２】つぎに図２（ｃ）に示されている試料押え
バネ９は試料７を試料下部よりこのバネの弾力によって
保持するものであるが、これはその外径がシリンダ１の
内径より小さいものとし、その高さを試料押え板８との
間に下から押さえる力を生ずるのに十分高いものとする
必要があるが、通常は試料ホルダ２のシリンダ受け３の
高さより高いものとされる。

【００１３】また、図２（ｄ）で示されている試料ホル
ダ２はこの試料保持装置の外装を形成するものである
が、これは試料ホルダ２の直径よりも長い試料を固定す
るために十分な大きさの切り欠き14、シリンダ１を挿入
するためのシリンダ受け３、シリンダ１のガイドピン12
を誘導するためのガイド穴13およびシリンダ１を固定す
るための固定ネジ４をその側面に備えていることが必要
とされる。

【００１４】なお、この切り欠き14の大きさはシリンダ
１の内径よりも長い試料を保持するのに十分な大きさと
する必要があるということから、それなりの幅と深さを
もつものとされるが、これは幅がスリット10の幅より大
きく、試料７の幅より大きく、深さが試料７の高さより
大きいものとすればよい。また、図２（ｅ）で示されて
いる試料支持板15は試料７を支持するものであるが、こ
れは試料押えバネ９の内径よりも短い試料を押さえるの
にも有効とされる。

【００１５】本発明で使用されるシリンダ１、試料ホル
ダ２および試料支持板15は、銅合金、アルミニウム合
金、ステンレスなどの導電性金属で形成したものとさ
れ、試料押えバネ９も金属製であることから、この試料
保持装置では試料７が上面と下面の両方から接地される
ことになるので、試料のチャージアップを起こさずに試
料の分析を行なうことができる。

【００１６】本発明の試料保持装置を用いて試料の分析
を行なうときには、まず試料ホルダ２、試料押えバネ
９、試料支持板15、シリンダ１を順に重ね、このときシ
リンダ１のガイドピン12と試料ホルダ２のガイド穴13の
方向を合わせる。ついで、シリンダ１を少し持ち上げて
試料押え板８と試料支持板15の間に試料７が入る隙間を
作ったのち、試料７を試料挿入口11から挿入し、試料７
の分析したい部分をスリット10に合わせ、つぎにシリン
ダ１を下に押し付けて試料押え板８の縁が試料ホルダ２
の上面に接するようにし、固定ネジ４でシリンダ１を固
定すれば、試料７が試料押えバネ９の弾力により試料押
え板８と試料支持板15の間に挟まれて固定されるので、
これを分析すればよい。

【００１７】

【実施例】

実施例 内径が28mmで、上部に幅が14mm、深さが５mmの試料挿入
口を設けた真鍮製のシリンダの上面に、外径が 36mm
で、中央に幅が５mmのスリットを有する真鍮製の試料押
え板を一体成形し、これにさらにガイドピンとして真鍮
製で長さが４mm、太さ４mmのネジを設けた。また、これ
とは別に内径が33mmで上部に幅が12mm、深さが５mmの切
り欠きと、幅が５mmで深さが７mmのガイド穴を設け、こ
の外側に固定ネジとネジ穴を設けた真鍮製の試料ホルダ
を準備した。

【００１８】ついで、この試料ホルダと外径が27mmで高
さが30mmであるステンレス製の試料押えバネ、内径が2
7.5mmで真鍮製の試料支持板およびシリンダを順に重
ね、シリンダのガイドピンと試料ホルダのガイド穴の方
向を合わせ、シリンダを少し持ち上げて石英ガラス（３
×10×80mm）製の試料を試料挿入口から試料押え板と試
料支持板の空間に挿入し、試料の分析したい部分をスリ
ットに合わせた。つぎに、シリンダを下に押しつけて試
料押え板の縁が試料ホルダの上面に接するようにし、固
定ネジでシリンダを固定したところ、試料が試料押えバ
ネの弾力により試料押え板と試料支持板との間に挟まれ
て固定されたので、これをＸ線プローブ微小部分析法で
分析した。従来の試料保持装置では、４個に分割して４
回に分けて測定しなければならなかったが、本装置を用
いることで、元の大きさのまま、一回で測定することが
できた。

【００１９】

【発明の効果】本発明は試料保持装置、特にはＸ線プロ
ーブ微小部分析法、走査型電子顕微鏡において用いられ
る試料保持装置に関するものであるが、これによればシ
リンダ内径よりも長い試料を保持することができ、試料
を短くすることなく長いままで１回で分析することがで
きるので、長いものを切断していた従来法に比べて測定
回数を少なくすることができ、切断による試料の汚染も
無くなるし、分析の精度を向上させることができるとい
う有利性が与えられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の試料保持装置の立体斜視図、
（ｂ）はそのＡ−Ａ線断面図を示したものである。

【図２】本発明の試料保持装置で使用される各部品を図
示したもので、（ａ）はシリンダの立体斜視図、（ｂ）
はその平面図、（ｃ）は試料押えバネの立体斜視図、
（ｄ）は試料ホルダの立体斜視図、（ｅ）は試料支持板
の斜視図を示したものである。

【図３】従来公知の試料保持装置で使用される各部品を
図示したもので、（ａ）は試料台の斜視図、（ｂ）はシ
リンダの斜視図、（ｃ）は試料ホルダの斜視図を示した
ものである。

【符号の説明】

１，23…シリンダ ２，24…試料ホルダ ３，25…シリンダ受け ４，26…固定ネジ ５，27…ネジ穴 ６，28…かみ合わせ溝 ７…試料 ８…試料押え板 ９…試料押えバネ 10…スリット 11…試料挿入口 12…ガイドピン 13…ガイド穴 14…切り欠き 15…試料支持板 21…試料台 22…溝

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料表面を観察、分析するためのスリッ
   トを有する、試料を保持するための試料押え板、試料支
   持板、試料押えバネ、シリンダおよびシリンダ内径より
   も長い試料を保持するための切り欠きを有する試料ホル
   ダよりなることを特徴とする試料保持装置。
2. 【請求項２】 試料下部より試料押えバネの弾力により
   試料を保持する請求項１に記載した試料保持装置。