JP2011043417A - 電子線マイクロアナライザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】包埋試料を収納する空間を形成するU字形保持枠を有し、枠の底部に設置したコイルバネにて包埋試料を力が作用した状態で保持し、しかも上面には試料マスクを載置してホルダと試料間の導電系を保持させつつ保持するものである。したがってチャージアップは生起しない。
【選択図】 図1
Description
(2)試料マスクをレーザ加工やワイヤ放電加工することにより、試料の分析可能な面の形状は丸に限らず四角形や任意の形状のものを容易に製作できる。
(3)試料は包埋試料に限らず同形(円形状)のものを容易に試料保持枠にセットでき、しかも高さ合わせ調整が不要となる。
(4)試料マスクの穴位置に、分析箇所を容易に位置調整ができる。
本発明は図1から図3に示す試料ホルダを使用する図7に示すような電子線マイクロアナライザである。
図1は本発明が提供する試料ホルダHFにおける主要部の構成を容易に理解できるよう解体して示す図であり、さらに図2には試料マスクRWを示すが、この試料マスクRWも本発明の試料ホルダHFの重要な構成要素である。試料マスクRWは試料上面の位置を決定するとともに分析可能な範囲を制限するマスクでもある。試料マスクRWの中央部の円形孔が分析可能な範囲となる。なお、試料マスクRWはステンレスで構成されている。
さて、本発明の主要部をなす試料ホルダHFは図1に示すとおりアルミニウム合金製のU字形の枠体とし、底辺中央にはコイルバネCSが設置されている。具体的には下部枠体VFにバネ保持用の穴(図示せず)が形成され、コイルバネCSが前記穴に着脱自在に挿設されている。
包埋試料Sを試料ホルダHFに取付けた後に試料上面の分析したい部分と試料マスクRWの相対位置を微調整したい場合は包埋試料Sの側面を手で持って試料マスクRWに対して位置調整すればよい。
この場合、試料マスクRWは中央部に孔が設けられており、電子線の試料照射に支障ない。測定後はリング状のワッシャの凸部Tを支持枠HSの係止溝Kから離脱させることで包埋試料Sの取り外しも容易に行なえる。
試料マスクRWの中央部の孔の形状は図2では円形としたが、試料の形状などに応じて四角形や他の形状でもよい。また、試料マスクRWおよび試料ホルダHFの材質はステンレスやアルミニウム合金に限らず、他の金属材料を使用してもよい。さらに、試料としては包埋試料に限らず、試料ホルダHFの中に入る大きさであれば他の試料でもよい。
CH 試料ホルダ
CP キャップ
ES スプリング
H 試料ホルダ
HF 試料ホルダ
HN ネジ孔
HS 支持枠
HP 支持板
K 係止溝
KD 容器部
KN 固定ネジ
L 脚部
S 包埋試料
S1 樹脂
S2 試料表面
T 凸部
RW 試料マスク
VF 下部枠体
VP 底板
1 電子銃
2 電子ビーム
3 走査部
4 試料
5 ステージ
6 X線検出器
7 二次電子検出器
8 X線信号処理部
9 二次電子像処理部
Claims (1)
- 試料を収納する空間を形成するための一対の支持枠を両端部にそれぞれ立設した導電性材料からなるU字形保持枠と、前記保持枠の底部に設置され上方から挿入される試料にて弾力が生起される弾性体と、前記弾性体の弾力にて保持枠外へ付勢される試料を前記保持枠内に係止収納させるための導電性材料からなる試料マスクで構成された試料ホルダを備えたことを特徴とする電子線マイクロアナライザ。
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