JP3203166U

JP3203166U - 蛍光ｘ線分析用試料保持具

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Publication number: JP3203166U
Application number: JP2015006269U
Authority: JP
Inventors: 学人高橋; 稔井上; 井上　　稔
Original assignee: Rigaku Corp
Current assignee: Rigaku Corp
Priority date: 2015-12-11
Filing date: 2015-12-11
Publication date: 2016-03-17
Anticipated expiration: 2025-12-11

Abstract

【課題】測定の障害となる不純線を発生させず、高精度分析ができ、かつ、試料室からスムーズに搬出できる蛍光Ｘ線分析用試料保持具を提供する。【解決手段】本考案の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１は、筒状の外側側壁部１０ａ、および、薄膜状試料Ｓを支持する輪状の支持部１０ｂを有して、薄膜状試料Ｓを内部に収容する保持部材１０と、筒状の内側側壁部２０ａ、および、薄膜状試料Ｓの周縁部に上方から当接する輪状の当接部２０ｂを有し、保持部材１０の内部に収容される入れ子に形成されて、当接部２０ｂが当接する薄膜状試料の周縁部を上方から押さえる押さえ部材と、を備え、内側側壁部２０ａの上端２０ｃが平板状部材３０に当接した場合に、平板状部材３０、押さえ部材２０および当接部２０ｂが当接する薄膜状試料Ｓで囲まれる内部空間とその外側の外部空間とを連通させる逃がし流路２０ｄを、内側側壁部２０ａが有する。【選択図】図１

Description

本考案は、蛍光Ｘ線分析に用いられる試料保持具に関する。

従来、大気粉塵捕集フィルタ、液体試料を透過させて液中の微量成分を採取したフィルタ、液体試料が滴下されて乾燥された滴下ろ紙、液体試料が滴下されて乾燥されたフィルムプレート、輪状の台座に保持された疏水性フィルムに貼付されたシート状の液体吸収材に液体試料が滴下されて乾燥されたシート状の試料保持具（特許文献１）などの薄膜状物に保持された試料、いわゆる薄膜状試料を蛍光Ｘ線分析するために、図７に示す蛍光Ｘ線分析用試料保持具５が用いられている。この蛍光Ｘ線分析用試料保持具５では、ステンレス鋼製の保持部材５０が有する、薄膜状試料Ｓの周縁部を下方から支持する支持部５１とアルミニウム製の押さえ部材６０とで薄膜状試料Ｓの周縁部が挟持されて測定される。この蛍光Ｘ線分析用試料保持具５から発生する連続Ｘ線のバックグラウンドは低く、ＳＮ比のよい測定ができる。

従来のこの蛍光Ｘ線分析用試料保持具５では、薄膜状試料Ｓに照射される１次Ｘ線が、ステンレス鋼製の保持部材５０およびアルミニウム製の押さえ部材６０に含有される元素を励起して、測定の障害となる不純線を発生させる。特に、保持部材５０の上部内壁５２の一部が押さえ部材６０によって覆われていないために、保持部材５０の覆われていない部分から不純線が発生するという問題がある。

そこで、薄膜状試料を容易に保持できるとともに測定の障害となる不純線を発生させないで、高精度分析ができる蛍光Ｘ線分析用試料保持具７がある（特許文献２）。この蛍光Ｘ線分析用試料保持具７（図８）は、薄膜状試料Ｓの周縁部を下方から支持する支持部７１を有して薄膜状試料Ｓを内部に収容する金属からなる筒状の保持部材７０と、保持部材７０の内部に収容される入れ子に形成されて、支持部７１に支持された薄膜状試料Ｓの周縁部を上方から押さえるフッ素樹脂からなる筒状の押さえ部材８０と、を備える。

国際公開第２００５／０１２８８９号登録実用新案第３１９９８４２号公報

しかし、特許文献２に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具７（図８）では、下記の問題があった。コンパクトな密閉空間、例えば、真空排気される試料室で蛍光Ｘ線分析用試料保持具７が用いられる場合、測定後、蛍光Ｘ線分析用試料保持具７を試料室から搬出するために、真空状態から大気状態に試料室の雰囲気が切り換えられる。このとき、試料室に流入した空気によって蛍光Ｘ線分析用試料保持具７の押さえ部材８０が持ち上げられて試料室の天井を形成する平板状部材３０に密着して、その平板状部材３０、押さえ部材８０および薄膜状試料Ｓで囲まれる内部空間にその外側の外部空間から空気が流入できなくなり、内部空間が負圧のままとなる。そのため、肉厚の薄い押さえ部材８０や薄膜状試料Ｓが内部空間に引き込まれて変形したり、押さえ部材８０が平板状部材３０に密着したままとなり、蛍光Ｘ線分析用試料保持具７を試料室からスムーズに搬出できないことがときたまあった。

本考案は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、薄膜状試料を容易に確実に保持できるとともに測定の障害となる不純線を発生させないで、高精度分析ができ、かつ、押さえ部材の筒状の内側側壁部の上端が平板状部材に当接した場合でも試料室からスムーズに搬出できる蛍光Ｘ線分析用試料保持具を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本考案の蛍光Ｘ線分析用試料保持具は、筒状の外側側壁部、および、その外側側壁部に対応する底部として設けられ、薄膜状試料の周縁部を下方から支持する輪状の支持部を有して、薄膜状試料を内部に収容する金属からなる保持部材と、筒状の内側側壁部、および、その内側側壁部に対応する底部として設けられ、前記支持部に支持された薄膜状試料の周縁部に上方から当接する輪状の当接部を有し、前記保持部材の内部に上方から収容される入れ子に形成されて、前記当接部が当接する薄膜状試料の周縁部を上方から押さえるフッ素樹脂からなる押さえ部材と、を備え、前記内側側壁部の上端が平板状部材に当接した場合に、その平板状部材、前記押さえ部材および前記当接部が当接する薄膜状試料で囲まれる内部空間とその外側の外部空間とを連通させる逃がし流路を、前記内側側壁部が有する。

本考案の蛍光Ｘ線分析用試料保持具によれば、前記保持部材の輪状の支持部と前記フッ素樹脂からなる押さえ部材の輪状の当接部とで薄膜状試料の周縁部を幅広く挟持するとともに、当接部により押さえ部材の変形を防ぎ、前記内側側壁部の上端が平板状部材に当接した場合に、その平板状部材、前記押さえ部材および前記当接部が当接する薄膜状試料で囲まれる内部空間とその外側の外部空間とを連通させる逃がし流路を、前記内側側壁部が有するので、薄膜状試料を容易に確実に保持できるとともに測定の障害となる不純線を発生させないで、高精度分析ができ、かつ、押さえ部材の筒状の内側側壁部の上端が平板状部材に当接した場合でも蛍光Ｘ線分析用試料保持具を試料室からスムーズに搬出できる。

本考案の蛍光Ｘ線分析用試料保持具においては、前記当接部の断面形状がＬ字型でもよいが、内径が下方ほど小さくなっているのが好ましい。また、前記逃がし流路が、貫通孔、溝および凹部の少なくともいずれかであるのが好ましい。この場合には、前記逃がし流路を簡単な加工方法で形成することができる。

本考案の蛍光Ｘ線分析用試料保持具においては、前記内側側壁部の厚さが０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下であるのが好ましい。この場合には、不純線を充分に遮断するとともに、連続Ｘ線のバックグラウンドを充分に低減することができる。

本考案の蛍光Ｘ線分析用試料保持具においては、前記押さえ部材の高さが、前記支持部の上面から前記外側側壁部の上端までの寸法以上であるのが好ましい。この場合には、前記外側側壁部の内壁の全体を前記内側側壁部で遮蔽するので、前記外側側壁部からの不純線が発生することがない。

本考案の蛍光Ｘ線分析用試料保持具においては、前記保持部材がステンレス鋼からなるのが好ましい。この場合には、薄膜状試料に照射された１次Ｘ線が蛍光Ｘ線分析用試料保持具から漏洩しないとともに、保持部材を安価に製作することができる。

本考案の蛍光Ｘ線分析用試料保持具においては、前記外側側壁部および前記内側側壁部が円筒状であり、前記当接部の内径が下方ほど小さくなっているのが好ましい。この場合には、薄膜状試料に斜め下方から照射される１次Ｘ線が前記当接部に照射されにくいように前記当接部が形成できるので、より高精度分析ができる。

薄膜状試料を保持した本考案の第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具の縦断面図である。薄膜状試料を保持した本考案の第２実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具の縦断面図である。内側側壁部の厚さと不純線の透過率との関係を示す図である。内側側壁部の厚さの異なる第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具で測定したスペクトルを示す図である。内側側壁部の厚さが１ｍｍの押さえ部材を備える第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具で測定したスペクトルを示す図である。特許文献１に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具で測定したスペクトルを示す図である。特許文献１に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具の縦断面図である。特許文献２に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具の縦断面図である。本考案の第１、２実施形態の変形例の蛍光Ｘ線分析用試料保持具の縦断面図である。

以下、本考案の第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１について説明する。この蛍光Ｘ線分析用試料保持具１の縦断面を図１に示す。この蛍光Ｘ線分析用試料保持具１は、筒状（例えば、円筒状）の外側側壁部１０ａ、および、その外側側壁部１０ａに対応する底部として設けられ、薄膜状試料Ｓの周縁部を下方から支持する輪状の支持部１０ｂを有して、薄膜状試料Ｓを内部に収容する金属（例えば、ステンレス鋼）からなる保持部材１０と、筒状（例えば、円筒状）の内側側壁部２０ａ、および、その内側側壁部２０ａに対応する底部として設けられ、支持部１０ｂに支持された薄膜状試料Ｓの周縁部に上方から当接する輪状の当接部２０ｂを有し、保持部材１０の内部に上方から収容される入れ子に形成されて、当接部２０ｂが当接する薄膜状試料Ｓの周縁部を上方から押さえるフッ素樹脂からなる押さえ部材２０と、を備え、内側側壁部２０ａの上端２０ｃが平板状部材３０に当接した場合に、その平板状部材３０、押さえ部材２０および当接部２０ｂが当接する薄膜状試料Ｓで囲まれる内部空間とその外側の外部空間とを連通させる逃がし流路２０ｄを、内側側壁部２０ａが有する。

薄膜状試料Ｓは、大気粉塵捕集フィルタ、液体試料を透過させて液中の微量成分を採取したフィルタ、液体試料が滴下されて乾燥された滴下ろ紙、液体試料が滴下されて乾燥されたフィルムプレート、輪状の台座に保持された疏水性フィルムに貼付されたシート状の液体吸収材に液体試料が滴下されて乾燥されたシート状の試料保持具などの薄膜状物に保持された試料などである。薄膜状試料Ｓの周縁部は、支持部１０ｂと当接部２０ｂで、押さえ部材２０の自重により挟持される。この薄膜状試料Ｓの露出した下面に向けて、下方から１次Ｘ線が照射され、薄膜状試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線が下方にて検出される。

押さえ部材２０の高さＨは、支持部１０ｂの上面から外側側壁部１０ａの上端２０ｃまでの寸法Ｌ以上である。この構造によって外側側壁部１０ａの内壁の全体を内側側壁部２０ａで遮蔽するので、外側側壁部１０ａから不純線が発生することがない。また、当接部２０ｂの最大外径と最小内径との差は、例えば６ｍｍであり、最小内径は測定径よりは多少大きい程度でなるべく小さいものが好ましい。薄膜状試料Ｓが支持部１０ｂと、幅の広い当接部２０ｂとで挟持されるので、薄膜状試料Ｓが歪むことなく平面状に確実に保持される。さらに、当接部２０ｂの内径が下方ほど小さくなっているのが好ましい。例えば、輪状の当接部２０ｂの上面が内径側から外径側に向かつて水平面に対して所定の角度αで傾斜している。この所定の角度αは、例えば２８°であり、薄膜状試料Ｓに斜め下方から照射される１次Ｘ線の照射角度および蛍光Ｘ線等の取出角度よりも小さく設定されており、１次Ｘ線が当接部２０ｂに照射されにくいように形成されている。

また、保持部材１０がステンレス鋼からなるので、薄膜状試料Ｓに照射された１次Ｘ線が蛍光Ｘ線分析用試料保持具１から漏洩しないとともに、保持部材１０を安価に製作することができる。

蛍光Ｘ線分析用試料保持具１の上記構造によって、保持部材１０の内壁の全体が押さえ部材２０によって覆われるとともに、当接部２０ｂに１次Ｘ線が照射されることがないので、保持部材１０および押さえ部材２０から不純線が発生することがなく、より高精度分析ができる。

保持部材１０を形成する金属はステンレス鋼に限ったものではなく、アルミニウム、チタニウムなど他の金属であってもよい。押さえ部材２０を形成するフッ素樹脂は、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン（４フッ化））、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＦＥＰ（テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（４．６フッ化））などである。

本考案に先だって、押さえ部材２０（フッ素樹脂製）の内側側壁部２０ａの厚さと、保持部材１０（ステンレス鋼製）から発生する不純線Ｎｉ−Ｋα、Ｆｅ−Ｋα、Ｃｒ−Ｋαの透過率（％）との関係を求める実験を行った。結果を図３（縦軸は不純線の透過率、横軸は内側側壁部２０ａの厚さ）に示す。図３によると、内側側壁部２０ａの厚さが増加するにしたがって不純線の透過率が減少し、厚さが１ｍｍでは、透過率は１％未満になり、不純線が充分に遮断されていることが分かる。

また、内側側壁部２０ａの厚さがそれぞれ１．０ｍｍ、１．５ｍｍ、６．０ｍｍの押さえ部材２０の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１にブランク薄膜状試料Ｓ（分析対象の元素を含んでいない薄膜状試料）を保持させ、そのブランク薄膜状試料Ｓに１次Ｘ線を照射して、それぞれの蛍光Ｘ線分析用試料保持具１についてのスペクトルを求める実験を行った。結果を図４（縦軸はＸ線強度、横軸は分光角度）に示す。図４において、Ａは厚さ１．０ｍｍの、Ｂは厚さ１．５ｍｍの、Ｃは厚さ６．０ｍｍの内側側壁部２０ａの押さえ部材２０のスペクトルを示す。図４によると、内側側壁部２０ａの厚さが増加するにしたがって連続Ｘ線によるバックグラウンド強度が高くなり、内側側壁部２０ａの厚さが１ｍｍ程度であると、連続Ｘ線によるバックグラウンドが充分に低減されている。

図３および図４から理解されるように、内側側壁部２０ａの厚さは０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍ程度がより好ましい。このような厚さの内側側壁部２０ａを有する押さえ部材２０であれば、不純線を充分に遮断するとともに、連続Ｘ線のバックグラウンドを充分に低減することができる。

特許文献１に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具５で測定したスペクトルを図６に示す。図６によると、特許文献１に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具５では、Ｆｅ−Ｋβ、Ｃｒ−Ｋα、Ｍｎ−Ｋαなどの不純線が高強度で検出されている。内側側壁部２０ａの厚さが１ｍｍの押さえ部材２０を備える本考案の第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１で測定したスペクトルを図５に示す。図５によると、本考案の第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１では、低強度のＦｅ−Ｋαが検出されているが、他の不純線は検出されていない。この低強度のＦｅ−Ｋαの不純線は蛍光Ｘ線分析用試料保持具１から発生しているのではなく、他の原因と考えられる。

特許文献２に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具７（図８）では、上述したように、真空排気される試料室で用いられる場合、蛍光Ｘ線分析用試料保持具７の搬出時に、押さえ部材８０が持ち上げられて試料室の天井を形成する平板状部材３０に密着したままとなり、蛍光Ｘ線分析用試料保持具７を試料室からスムーズに搬出できないことがときたまあった。

そこで、第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１では、内側側壁部２０ａの上端２０ｃが平板状部材３０に当接した場合に、その平板状部材３０、押さえ部材２０および当接部２０ｂが当接する薄膜状試料Ｓで囲まれる内部空間とその外側の外部空間とを連通させる逃がし流路２０ｄを、内側側壁部２０ｂが有する。図１に示すように、逃がし流路２０ｄは、例えば縦断面が直径１ｍｍの半円状の溝２０ｄであり、内側側壁部２０ａの上端２０ｃの４か所に設けられている。溝２０ｄの縦断面は直径１ｍｍの半円に限らず、直径０．５ｍｍ〜２ｍｍの半円、Ｕ字形、Ｖ字形、矩形などであってもよい。形成される箇所は４か所に限らず、平板状部材３０、押さえ部材２０および当接部２０ｂが当接する薄膜状試料Ｓで囲まれる内部空間が短時間で大気状態になるように適宜形成すればよい。

このように、第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１では、押さえ部材２０が、内側側壁部２０ａの上端２０ｃに溝２０ｄを有しているので、平板状部材３０、押さえ部材２０および当接部２０ｂが当接する薄膜状試料Ｓで囲まれる内部空間が、短時間で溝２０ｄを介して外部の外部空間と連通して大気状態になり、押さえ部材２０が持ち上げられたままの状態になることがなく、蛍光Ｘ線分析用試料保持具１を試料室からスムーズに搬出できる。

次に、第２実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具３について説明する。この蛍光Ｘ線分析用試料保持具３の縦断面を図２に示す。この蛍光Ｘ線分析用試料保持具３は、押さえ部材２０が内側側壁部２０ａの上端２０ｃに溝２０ｄを有さず、内側側壁部２０ａが逃がし流路である貫通孔２０ｅを有する点が第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１と異なり、他の構成は第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１と同じである。

貫通孔２０ｅは、例えば直径１ｍｍの円形であり、内側側壁部２０ａの４か所に設けられている。保持部材１０に対し押さえ部材２０は入れ子に形成されているので、外側側壁部１０ａと内側側壁部２０ａとの間には間隙（図示なし）を有する。内側側壁部２０ａの上端２０ｃが試料室の天井を形成する平板状部材３０に当接した場合に、外側の外部空間の空気が、外側側壁部１０ａと内側側壁部２０ａとの間の間隙を通って、または貫通孔２０ｅの位置によっては直接、貫通孔２０ｅから平板状部材３０、押さえ部材２０および当接部２０ｂが当接する薄膜状試料Ｓで囲まれる内部空間に入り、内部空間が大気状態にされる。

貫通孔２０ｅは直径１ｍｍの円形に限らず、直径０．５ｍｍ〜２ｍｍの円形であっても、楕円形、三角形、矩形などであってもよく、形成される箇所は４か所に限らず、平板状部材３０、押さえ部材２０および当接部２０ｂが当接する薄膜状試料Ｓで囲まれる内部空間が短時間で大気状態になるように適宜形成すればよい。

このように、第２実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具３では、押さえ部材２０が内側側壁部２０ａに貫通孔２０ｅを有しているので、平板状部材３０、押さえ部材２０および当接部２０ｂが当接する薄膜状試料Ｓで囲まれる内部空間が、短時間で貫通孔２０ｅを介して外部の外部空間と連通して大気状態になり、押さえ部材２０が持ち上げられたままの状態になることがなく、蛍光Ｘ線分析用試料保持具３を試料室からスムーズに搬出できる。

逃がし流路は、溝２０ｄや貫通孔２０ｅに限らず、凹部であってもよく、貫通孔２０ｅ、溝２０ｄおよび凹部の一種でもよく、それらを複数種類組み合わせてもよい。逃がし流路である、貫通孔２０ｅ、溝２０ｄおよび凹部は簡単な加工方法で形成することができる。

以上のように、本考案の第１および第２実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１、３によれば、保持部材１０の輪状の支持部１０ｂとフッ素樹脂からなる押さえ部材２０の輪状の当接部２０ｂとで薄膜状試料Ｓの周縁部を挟持するとともに、内側側壁部２０ａの上端２０ｃが平板状部材３０に当接した場合に、その平板状部材３０、押さえ部材２０および当接部２０ｂが当接する薄膜状試料Ｓで囲まれる内部空間とその外側の外部空間とを連通させる逃がし流路２０ｄ、２０ｅを、内側側壁部２０ａが有するので、薄膜状試料Ｓを容易に確実に保持できるとともに測定の障害となる不純線を発生させないで、高精度分析ができ、かつ、押さえ部材２０の筒状の内側側壁部２０ａの上端２０ｃが平板状部材３０に当接した場合でも蛍光Ｘ線分析用試料保持具１、３を試料室からスムーズに搬出できる。

なお、例外的ではあるが、蛍光Ｘ線分析用試料保持具１、３の内部からの散乱線を防止するために、蛍光Ｘ線分析用試料保持具１，３の上部に、平板状部材３０を含む散乱線防止用蓋を用いることがある。この散乱線防止用蓋を用いた場合、特許文献２に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具７（図８）の押さえ部材８０では、真空状態から大気状態に試料室の雰囲気が切り換えられると、試料室に流入した空気によってこの散乱線防止用蓋に押さえ部材８０が密着し、薄膜状試料Ｓが押さえ部材８０の内部にめり込んで破損するおそれがある。このような場合であっても、第１および第２実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１、３の内側側壁部２０ａは、この散乱線防止用蓋、押さえ部材２０および当接部２０ｂが当接する薄膜状試料Ｓで囲まれる内部空間とその外側の外部空間とを連通させる逃がし流路である、溝２０ｄ、貫通孔２０ｅおよび凹部の少なくともいずれかを有しているので、薄膜状試料Ｓを破損させることがない。

第１および第２実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１、３の外側側壁部１０ａおよび内側側壁部２０ａは円筒状に限ったものではなく、矩形筒状、多角形筒状などの角筒状であってもよい。第１および第２実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１、３は、内側側壁部２０ａが逃がし流路２０ｄ、２０ｅを有し、当接部２０ｂの内径が下方ほど小さくなっているものに限られず、図９に示すように、内側側壁部２０ａが逃がし流路２０ｄ、２０ｅを有さず、当接部２０ｂが輪状の平板である変形例の蛍光Ｘ線分析用試料保持具４であってもよい。
なお、本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
［態様１］
筒状の外側側壁部、および、その外側側壁部に対応する底部として設けられ、薄膜状試料の周縁部を下方から支持する輪状の支持部を有して、薄膜状試料を内部に収容する金属
からなる保持部材と、
前記保持部材の内部に上方から収容される入れ子に形成されて、前記当接部が当接する薄膜状試料の周縁部を上方から押さえるフッ素樹脂からなる筒状の押さえ部材と、
を備える蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
［態様２］
態様１に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具において、
前記押さえ部材の内側側壁部に対応する底部として設けられ、前記支持部に支持された
薄膜状試料の周縁部に上方から当接する輪状の当接部を有する蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
［態様３］
態様２に記載の蛍光Ｘ線分析用拭料保持具において、
前記外側側壁部および前記内側側壁部が円筒状であり、
前記当接部の内径が下方ほど小さくなっている蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
［態様４］
態様１から３のいずれか一態様に記載の蛍光Ｘ線分析用拭料保持具において、
前記内側側壁部の上端が平板状部材に当接した場合に、その平板状部材、前記押さえ部材および前記当接部が当接する薄膜状試料で囲まれる内部空間とその外側の外部空間とを連通させる逃がし流路を、前記内側側壁部が有する蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
［態様５］
態様４に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具において、
前記逃がし流路が、貫通孔、溝および凹部の少なくともいずれかである蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
［態様６］
態様１から５のいずれか一態様に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具において、
前記押さえ部材の厚さが０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下である蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
［態様７］
態様１から６のいずれか一態様に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具において、
前記押さえ部材の高さが、前記支持部の上面から前記保持部材の上端までの寸法以上で
ある蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
［態様８］
態様１から７のいずれか一態様に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具において、
前記保持部材がステンレス鋼からなる蛍光Ｘ線分析用試料保持具。

１、３蛍光Ｘ線分析用試料保持具
１０保持部材
１０ａ外側側壁部
１０ｂ支持部
２０押さえ部材
２０ａ内側側壁部
２０ｂ当接部
２０ｃ内側側壁部の上端
２０ｄ、２０ｅ逃がし流路（溝、貫通孔）
３０平板状部材
Ｈ押さえ部材の高さ
Ｌ支持部の上面から外側側壁部の上端までの寸法
Ｓ薄膜状試料

Claims

筒状の外側側壁部、および、その外側側壁部に対応する底部として設けられ、薄膜状試料の周縁部を下方から支持する輪状の支持部を有して、薄膜状試料を内部に収容する金属
からなる保持部材と、
前記保持部材の内部に上方から収容される入れ子に形成されて、前記当接部が当接する薄膜状試料の周縁部を上方から押さえるフッ素樹脂からなる筒状の押さえ部材と、
を備える蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具において、
前記押さえ部材の内側側壁部に対応する底部として設けられ、前記支持部に支持された
薄膜状試料の周縁部に上方から当接する輪状の当接部を有する蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
請求項２に記載の蛍光Ｘ線分析用拭料保持具において、
前記外側側壁部および前記内側側壁部が円筒状であり、
前記当接部の内径が下方ほど小さくなっている蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
請求項１から３のいずれか一項に記載の蛍光Ｘ線分析用拭料保持具において、
前記内側側壁部の上端が平板状部材に当接した場合に、その平板状部材、前記押さえ部材および前記当接部が当接する薄膜状試料で囲まれる内部空間とその外側の外部空間とを連通させる逃がし流路を、前記内側側壁部が有する蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
請求項４に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具において、
前記逃がし流路が、貫通孔、溝および凹部の少なくともいずれかである蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
請求項１から５のいずれか一項に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具において、
前記押さえ部材の厚さが０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下である蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
請求項１から６のいずれか一項に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具において、
前記押さえ部材の高さが、前記支持部の上面から前記保持部材の上端までの寸法以上で
ある蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
請求項１から７のいずれか一項に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具において、
前記保持部材がステンレス鋼からなる蛍光Ｘ線分析用試料保持具。