JP2021032574A - X線分析用試料保持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料を充填した試料ホルダ10をベース部材20に保持するとともに、試料ホルダ10の周囲を被覆するように、ベース部材20に気密部材30を装着することで、密閉空間内での試料保持構造を形成する。気密部材30には、装着部21へ嵌め込んで装着される嵌合部35が形成してある。
【選択図】 図1
Description
そして、ベース部材には、気密部材を装着するための装着部が形成してあり、気密部材には、装着部へ嵌め込んで装着される嵌合部が形成してある。さらに、装着部と嵌合部との相互間に、当該嵌合部を当該装着部に嵌め込む過程で係合して、ベース部材からの気密部材の離脱を阻止するロック機構を設けた構成としてある。
また、試料面に通常の角度からX線を入射させて行うX線回折測定等のX線分析に際しては、凹溝(試料充填部)おける開口面の長辺を入射X線の光軸と直交する向きに配置することで、試料面に対して幅方向に長いX線照射領域を確保することができ、高強度のX線照射が実現可能となる。
そして、凹溝に充填した試料の表面(試料面)をこの凹溝の開口面に合わせることで、試料面がベース部材の上面と同一平面上に配置される。X線分析に際しては、X線分析装置に設定されているX線の照射位置に、この試料面を配置する必要がある。
ベース部材の上面は、試料にX線を照射する際の基準面としてあり、X線分析装置にベース部材を取り付ける際に、X線照射位置と同じ高さにこの基準面を位置決めする。このとき、試料面もX線照射位置と同じ高さ位置に配置されるので、X線照射位置に対する試料面の位置決め(特に、高さ方向の位置決め)が容易となる。
気密部材の中空部内にナイフエッジを設けることで、X線透過窓に張られたX線窓材を入射X線が透過する際に発生した散乱X線をナイフエッジで効果的に遮蔽することができるので、試料への散乱X線の入射に伴って現れるX線測定データのノイズを低減し、高精度な測定分析を実現することが可能となる。
図1は本実施形態に係るX線分析用試料保持装置の分解斜視図、図2は同装置の外観を示す斜視図である。
本実施形態に係るX線分析用試料保持装置は、図1に示すように、試料ホルダ10、ベース部材20及び気密部材30の各構成要素を備えている。そして、試料を充填した試料ホルダ10をベース部材20に保持するとともに、試料ホルダ10の周囲を被覆するように、ベース部材20に気密部材30を装着することで、図2に示すような密閉空間内での試料保持構造が形成される。
同図に示すように、試料ホルダ10は、円柱状に形成したホルダ本体11の上面に試料充填部12が形成してあり、この試料充填部12に分析対象となる試料が充填される。
ホルダ本体11は、例えば、アルミ合金やステンレス等の金属材料や、ガラス等の非金属材料により形成することができる。ただし、ホルダ本体11を形成する材料を選択するに際しては、充填する試料と化学反応する材料や、同試料と類似する回折条件で回折X線が放出されるような材料は避けることが好ましい。また、シリコン単結晶をX線の回折条件を満たさない方位で切り出した材料(X線無反射材料)を用いてホルダ本体11を形成することもできる。このようなX線無反射材料を用いることで、例えば、X線測定データへのノイズの混在を低減することができる。
上述したように、材料と凹溝12の開口面形状を違えた複数種類の試料ホルダ10を用意する場合であっても、嵌合凸部13の形状は共通として、ベース部材20に対する互換性を保持することが好ましい。
ベース部材20は、例えば、アルミ合金やステンレス等の金属材料で製作することができる。ベース部材20には、上面から掘り下げて、横断面が円形をした段付きの凹部が形成してある。この段付き凹部の一部が、気密部材30を装着するための装着部21を構成している。すなわち、段付き凹部の内底面は平坦面に加工されており、この内底面が装着部21の底面21aを構成している。さらに、その内底面から中間の段部に至るまでの内周面は、後述する気密部材30の嵌合部35と嵌合する嵌合面22を構成している。また、この嵌合面22の中間部には、径方向内側(すなわち、段付き凹部内の中心軸方向)に突き出たロックピン23が設けてある。
ここで、図3(a)(b)に示したように、凹溝12の開口面を長方形状に形成した試料ホルダ10にあっては、嵌合凸部13の角形凸部13aを、ベース部材20における保持溝24の上部領域24aに嵌め込んだとき、凹溝12の開口面の長辺又は短辺が入射X線の光軸と直交する向きに配置される構成としてある。
気密部材30は、内部を中空部とした箱形ブロック形状に形成した本体部31と、この本体部31の下面から突き出して形成した嵌合部35とを備えている。
本体部31の側面には、図7(a)に示すように、対向する二箇所を切り欠いてX線透過窓32が形成してある。これら各X線透過窓32は、同図(b)に示すように、X線窓材33により覆われていて、気密部材30の中空部内を密閉状態に保っている。X線窓材33は、X線透過窓32の周囲(図7(b)にハッチングで示す領域)、すなわちX線透過窓32が形成される面と同一の面に張り付けてある。
すなわち、金属材料としては、ベリリウム、アルミニウム等がX線窓材33に適している。また、人工鉱物としては、グラファイト、ガラス状カーボン、ダイヤモンド、SiN、石英、サファイア等がX線窓材33に適している。そして、高分子材料としては、ポリエチレンフィルム(PEフィルム)、ポリ塩化ビニルフィルム(PVCフィルム)、ポリ塩化ビニリデンフィルム(PVDCフィルム)、ポリビニルアルコールフィルム(PVAフィルム)、ポリプロピレンフィルム(PPフィルム)、ポリカーボネートフィルム(PCフィルム)、ポリスチレンフィルム(PSフィルム)、ポリアクリロニトリルフィルム(PANフィルム)、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム(EVAフィルム)、エチレン−ビニルアルコール共重合体フィルム(EVOHフィルム)、ポリエーテルイミド(PEI)、芳香族ポリエーテルケトン(PEEK)等がX線窓材33に適している。
なお、高分子材料のものは、基本的には熱可塑性樹脂に属しており、水素をフッ素で置換したフッ素樹脂も含む。また、共押出法などで多層加工したものや、アルミニウム、アルミナ、シリカの単蒸着もしくは複合蒸着したもの、それらを表面処理したものも、X線窓材33に適している。
この一連の嵌め込み操作により、本実施形態に係るロック機構は、ベース部材20から気密部材30の離脱の阻止と、気密状態の形成とを連動して行うことのできる連動ロック機構を構成する。
ベース部材20に試料ホルダ10を嵌め込んで保持する作業は、グローブボックス100の外で行うことができる。
試料ホルダ10を保持したベース部材20と、気密部材30と、試料とを、グローブボックス100内に収容する。そして、操作員はグローブボックス100に備え付けのゴム手袋101を装着し、このゴム手袋101を介して、グローブボックス100内での処理を実行する。
次いで、ベース部材20に気密部材30を装着する。このとき、気密部材30の操作部34を掴んで、当該気密部材30をベース部材20に嵌め込むようにする。操作部34は、気密部材30の側面における広い領域に確保されているので、この操作は容易に実行できる。
X線分析用試料保持装置1を大気中で移動させても、気密部材30によって試料は大気から遮断されているので、大気中の成分に試料が化学反応するおそれはない。
大気中で容易に加水分解するLi7P3S11(硫化物ガラス系電解質)を試料として、アルゴンガス雰囲気下のグローブボックス内で同試料を装着し、気密部材30により同試料の周囲を気密状態とした。その後、グローブボックスからX線分析用試料保持装置を取り出し、23℃に空調した大気中に1日放置した。グローブボックスから取り出した直後に、試料に対してX線回折測定をしたデータAと、1日放置した後に試料に対してX線回折測定をしたデータBとを比較したが、ほぼ同一のX線プロファイル(検出結果)が得られた。大気成分や水分が気密部材30の内部に侵入した場合には試料と反応して、X線プロファイルのピーク強度の低下が現れるが、上記の比較結果よりそのような変化は認められず、試料の周囲が気密状態に保たれていることがわかる。
例えば、図10(a)(b)に示すように、気密部材30をアーチ形のブロック形状に形成することもできる。気密部材30の本体部31には、半円弧面状にX線透過窓32が形成してあり、このX線透過窓32を覆うように、そのX線透過窓32の周囲の縁部にX線窓材33が貼り付けてある。
気密部材30の嵌合部35は、図7(c)(d)に示した先の実施形態と同様に構成してある。
同図に示す測定データAは、ナイフエッジ40を設けていない図2に示す構造のX線分析用試料保持装置を用いて、X線回折測定を実施することにより得られた測定データである。一方、測定データBは、ナイフエッジ40を設けた図11(a)に示す構造のX線分析用試料保持装置を用いて、X線回折測定を実施することにより得られた測定データである。それぞれのX線分析用試料保持装置は、ナイフエッジ40以外は同じ寸法・構造に構成してある。
20:ベース部材、20a:ベース部材の上面、21:装着部、21a:装着部の底面、22:嵌合面、23:ロックピン、24:保持溝、24a:保持溝の上部領域、24b:保持溝の下部領域、25:切欠き部、
30:気密部材、31:本体部、32:X線透過窓、33:X線窓材、34:操作部、35:嵌合部、35a:嵌合部の外周面、36:Oリング、37:円周溝、38:L字溝、38a:L字溝の終端部
40:ナイフエッジ
100:グローブボックス、101:ゴム手袋、102:アンティチャンバ、
200:X線分析装置、201:X線照射位置、202:試料支持部
Claims (7)
- 試料を充填するための試料充填部を有する試料ホルダと、この試料ホルダを保持するためのベース部材と、当該ベース部材に保持された前記試料ホルダの周囲を被覆するように前記ベース部材へ着脱自在に装着される気密部材と、を備えたX線分析用試料保持装置であって、
前記ベース部材には、前記気密部材を装着するための装着部が形成してあり、
前記気密部材には、前記装着部へ嵌め込んで装着される嵌合部が形成してあり、
且つ、前記装着部と嵌合部との相互間に、当該嵌合部を当該装着部に嵌め込む過程で係合して、前記ベース部材からの前記気密部材の離脱を阻止するロック機構を設けたことを特徴とするX線分析用試料保持装置。 - 前記気密部材は、内部を中空部としたブロック形状に形成した本体部と、この本体部の下面から突き出して形成した前記嵌合部とを含み、
前記嵌合部の下端面が開口して前記本体部内の中空部と連通しており、
前記本体部を切り欠いてX線透過窓が形成され、当該X線透過窓を覆うようにしてその周囲にX線窓材が形成され、
前記本体部における前記X線透過窓が形成されていない表面領域に、操作者が掴んでこの嵌め込み操作を実行可能な操作部を形成したことを特徴とする請求項1に記載のX線分析用試料保持装置。 - 前記X線窓材は、金属、人工鉱物又は高分子のうちのいずれか一つで形成してあることを特徴とする請求項2に記載のX線分析用試料保持装置。
- 前記ベース部材には、前記試料ホルダを着脱自在に保持するための保持溝が形成してあり、前記試料ホルダには、当該保持溝に嵌め込んで保持される嵌合凸部が形成してあり、
さらに、前記試料ホルダにおける前記試料充填部は凹溝で形成され、当該凹溝の開口面が長方形状に形成され、
前記ベース部材の保持溝に対して、前記試料ホルダの嵌合凸部を中心軸周りに90°向きを変えて嵌め込むことで、前記凹溝の開口面における長方形状の長辺又は短辺を、入射X線の光軸と直交する向きに配置する構成を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のX線分析用試料保持装置。 - 前記ベース部材の上面は、X線分析装置に装着した際に同装置におけるX線照射位置と同じ高さ位置に配置され、
前記凹溝の開口面は、当該試料ホルダが前記ベース部材に保持されたとき、前記ベース部材の上面と同一平面上に配置されるように位置決めしてあることを特徴とする請求項4に記載のX線分析用試料保持装置。 - 前記気密部材は、前記本体部の中空部内に、天井面から下方へ垂下して、前記X線透過窓から入射してきた散乱X線を遮蔽するためのナイフエッジが設けてあることを特徴とする請求項2に記載のX線分析用試料保持装置。
- 前記ベース部材の装着部は、凹部又は凸部で形成され、
前記気密部材の嵌合部は、前記装着部に嵌め込むことができる筒形に形成してあり、
前記装着部と前記嵌合部とが嵌合する面の相互間に、前記ロック機構が設けてあることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のX線分析用試料保持装置。
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