JP6674137B2 - X線回折測定方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1の態様は、
不活性雰囲気下で被検試料の測定面に封止材を密着させることにより、前記被検試料を前記封止材で密封する密封工程と、
前記密封工程で密封した状態の前記被検試料を対象にX線回折測定を行う第1の測定工程と、
前記封止材のみを対象にX線回折測定を行う第2の測定工程と、
前記第1の測定工程で得られたX線回折パターンの回折強度から、前記第2の測定工程で得られたX線回折パターンの回折強度を差し引くデータ処理工程と、
を備えるX線回折測定方法である。
(第2の態様)
本発明の第2の態様は、
前記封止材がX線を透過する性質を有する
上記第1の態様に記載のX線回折測定方法である。
(第3の態様)
本発明の第3の態様は、
前記封止材が高分子フィルムである
上記第1または第2の態様に記載のX線回折測定方法である。
(第4の態様)
本発明の第4の態様は、
前記封止材が金属箔である
上記第1または第2の態様に記載のX線回折測定方法である。
(第5の態様)
本発明の第5の態様は、
前記金属箔がニッケル箔である
上記第4の態様に記載のX線回折測定方法である。
図1は本発明の実施形態に係るX線回折測定方法の一例を示すフローチャートである。
図示したX線回折測定方法は、大気中において変質しやすい材料を被検試料としてX線回折測定を行う場合の手順を示すもので、以下に述べるステップS1〜S5を有する。なお、本実施形態においては、一例として、被検試料が粉末試料である場合を想定して説明する。
まず、ステップS1においては、大気中で変質しやすい性質を有する被検試料と、この被検試料の密封に用いる封止材と、を準備する。大気中で変質しやすい被検試料とは、たとえば、大気中の湿度によって潮解したり、大気中の酸素との反応によって酸化したりする性質を有する材料をいう。被検試料は、大気に晒されないように不活性雰囲気下で取り扱う。具体的には、たとえば、アルゴンガス雰囲気に維持されたグローブボックス内で被検試料を取り扱う。封止材については後段で説明する。
次に、ステップS2においては、不活性雰囲気下で被検試料の検査面に封止材を密着させることにより、被検試料を封止材で密封する。ここで記述する不活性雰囲気とは、少なくとも被検試料が変質しない程度に不活性化された雰囲気をいう。また、被検試料の検査面に対する封止材の密着とは、被検試料の検査面に封止材が面接触することにより、両者の間に実質的に隙間のない状態をいう。本実施形態では、上述したグローブボックスを用いてステップS2を行う。その場合、アルゴンガス雰囲気に維持されたグローブボックス内には、上述した被検試料と封止材のほかに、被検試料の設置に使用する試料ホルダーや器具などが搬入される。
まず、図2に示すように、試料ホルダー1の凹部2に被検試料(粉末試料)3を投入する。試料ホルダー1は、たとえば、平面視が四角形(長方形など)または円形の平板状に形成されている。凹部2は、試料ホルダー1の上面1aに所定の深さで形成されている。このとき、試料ホルダー1の凹部2に少し多めに被検試料3を投入しておく。
次に、ステップS3では、密封状態の被検試料3を対象にX線回折測定を実施する。このX線回折測定を実施するにあたっては、まず、封止材4で被検試料3を密封した状態のままで、グローブボックスから試料ホルダー1を取り出す。このとき、試料ホルダー1は大気に触れるが、被検試料3と大気との接触は封止材4によって阻止される。このため、被検試料3が大気に触れて変質することがない。
次に、ステップS4では、図6に示すように、封止材4のみを対象にX線回折測定を実施する。このステップS4では、上記ステップS2で被検試料3の密封に用いた封止材4を取り外して再利用してもよいし、それと同じ結晶構造を有する封止材4を別途用意して使用してもよい。また、X線回折測定に適用する測定条件は、上記ステップS3の場合と同一条件とする。これにより、ステップS4のX線回折測定で得られるX線回折パターンには、封止材4のみの結晶情報が含まれる。
また、ステップS4では、試料ホルダー1の凹部2に被検試料3を充填せずに、試料ホルダー1の上面1aに封止材4をセットし、この状態で封止材4のみを対象にX線回折測定を実施してもよい。
次に、ステップS5では、所定のデータ処理により被検試料3のX線回折パターンを得る。このとき、所定のデータ処理として、上記ステップS3で得られたX線回折パターンの回折強度から、上記ステップS4で得られたX線回折パターンの回折強度を差し引く処理を行う。このデータ処理により、封止材4の結晶情報が除かれるため、被検試料3のみのX線回折パターンが得られる。したがって、このX線回折パターンを解析することにより、被検試料3の結晶情報を得ることが可能となる。
本実施形態によれば、不活性雰囲気下で被検試料3の測定面3aに封止材4を密着させ、これにより被検試料3を封止材4で密封した状態でX線回折測定を行うため、入射X線や回折X線がアルゴンガスによって吸収されることがない。また、密封状態の被検試料3を対象にX線回折測定を行うことで得られたX線回折パターンの回折強度から、封止材4のみを対象にX線回折測定を行うことで得られたX線回折パターンの回折強度を差し引くことにより、被検試料3のみのX線回折パターンが得られる。これにより、被検試料3の変質前の結晶情報を、簡便に得ることができる。
本実施例では、大気中で変質しやすい被検試料として二元系合金板を用いるとともに、封止材として厚さ約60μmの高分子フィルムを用いた。そして、二元系合金板を変質させないよう、アルゴンガス雰囲気のグローブボックス内で高分子フィルムを二元系合金板の表面に密着させることにより、二元系合金板を高分子フィルムで密封した。次に、その密封状態を維持したままで、二元合金板をX線回折測定装置にセットし、X線回折測定を実施した。このとき得られたX線回折パターンを図7に示す。なお、図の縦軸は回折強度を示し、横軸は回折角を示す。
本比較例では、大気中で変質しやすい被検試料として、上記実施例と同じ二元系合金板を用いた。そして、この二元系合金板を高分子フィルム等で密封することなく、X線回折測定装置にセットし、X線回折測定を実施した。このとき得られたX線回折パターンを図10に示す。図10に示すX線回折パターンでは、二元系合金の回折強度が大きく減少し、替わって他の化合物による回折ピークが多数検出されているのが分かる。この結果から、被検試料に用いた二元系合金板が測定中に変質していることが確認された。
本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の構成要件やその組み合わせによって得られる特定の効果を導き出せる範囲において、種々の変更や改良を加えた形態も含む。
2…凹部
3…被検試料
4…封止材
Claims (4)
- 不活性雰囲気下で被検試料の測定面に、X線回折測定に使用する特性X線を透過する性質を有する封止材を密着させることにより、前記被検試料を前記封止材で密封する密封工程と、
前記密封工程で密封した状態の前記被検試料を対象にX線回折測定を行う第1の測定工程と、
前記封止材のみを対象にX線回折測定を行う第2の測定工程と、
前記第1の測定工程で得られたX線回折パターンの回折強度から、前記第2の測定工程で得られたX線回折パターンの回折強度を差し引くデータ処理工程と、
を備えるX線回折測定方法。 - 前記封止材が高分子フィルムである
請求項1に記載のX線回折測定方法。 - 前記封止材が金属箔である
請求項1に記載のX線回折測定方法。 - 前記金属箔がニッケル箔である
請求項3に記載のX線回折測定方法。
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JP2016094752A JP6674137B2 (ja) | 2016-05-10 | 2016-05-10 | X線回折測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2016094752A JP6674137B2 (ja) | 2016-05-10 | 2016-05-10 | X線回折測定方法 |
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Family Applications (1)
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JP2016094752A Active JP6674137B2 (ja) | 2016-05-10 | 2016-05-10 | X線回折測定方法 |
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