JPS6283637A - 固体試料保持方法 - Google Patents
固体試料保持方法Info
- Publication number
- JPS6283637A JPS6283637A JP22533385A JP22533385A JPS6283637A JP S6283637 A JPS6283637 A JP S6283637A JP 22533385 A JP22533385 A JP 22533385A JP 22533385 A JP22533385 A JP 22533385A JP S6283637 A JPS6283637 A JP S6283637A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
イ８発明の目的
（ａ）産業上の利用分野
この発明は、たとえば半導体、半導体デバイス、セラミ
ックス、金属等の微小な固体試料中の特定元素を二次イ
オン質量分析するときに、対象とする固体試料を保持す
る方法に関する。
ックス、金属等の微小な固体試料中の特定元素を二次イ
オン質量分析するときに、対象とする固体試料を保持す
る方法に関する。
（ｂ）従来の技術
たとえば、第２図に示すような固体試料ホルダーカバー
１を使用し、一般に板状の固体試料２を固体試料ホルダ
ーカバー１の裏面に設置し、直接固体試料２の底部より
バネ３で押しつける方法がとられていた。
１を使用し、一般に板状の固体試料２を固体試料ホルダ
ーカバー１の裏面に設置し、直接固体試料２の底部より
バネ３で押しつける方法がとられていた。
この固体試料ホルダーカバーは、投影型二次イオン質量
分析装置での二次イオン引き出しにおいては固体試料表
面に１０００ Ｖ ／ ｍｍ程度の高電界を必要とし、
この二次イオン引出し電界を固体試料近傍で常に均一化
させる意味において重要な役割をもっている。
分析装置での二次イオン引き出しにおいては固体試料表
面に１０００ Ｖ ／ ｍｍ程度の高電界を必要とし、
この二次イオン引出し電界を固体試料近傍で常に均一化
させる意味において重要な役割をもっている。
（Ｃ）発明が解決しようとする問題点
従来の方法では、試料ホルダーカバーにあけられた窓よ
り小さい固体試料を保持することは不可能であった。こ
れを容易に解決す、る方法としては各種の大きさの窓を
有する固体試料ホルダーカバ−を用意することが考えら
れる。しかし、例えば０．５ ｍｃａ ×０．５ ｍｍ
の半導体チップを保持し２ようとすれば第３図のように
なる。
り小さい固体試料を保持することは不可能であった。こ
れを容易に解決す、る方法としては各種の大きさの窓を
有する固体試料ホルダーカバ−を用意することが考えら
れる。しかし、例えば０．５ ｍｃａ ×０．５ ｍｍ
の半導体チップを保持し２ようとすれば第３図のように
なる。
すなわち、固体試料ホルダーカバーの厚みは強度上の問
題から０．２市程度の厚みを要する。また、この半導体
チップを固体試料ホルダーカバーに押しつけて保持する
ためには、おさえしろを必要とするため、固体試料ホル
ダーカバーの窓の大きさは正方形とすれば０．２ ｎｕ
ｎ Ｘ Ｏ７２胴程度にする必要がある。こうすると、
試料表面に対し、例えば、６０°をなす角度からイオン
ビームを照射する場合、第８図に示すように固体試料ホ
ルダーカバーの厚みが無視できずイオンビーム照射の死
角が生ずる。また、当然のことながら、この半導体チッ
プ表面全体の任意の場所を測定することができない。ま
た、試料ホルダーカバーにあけられた窓より大きい固体
試料の場合においては、板状の固体試料については容易
に保持可能なるも、分析面の反対側にあたる固体試料の
底部が複雑な形状を有する固体試料についてはバネで押
しつけて保持することが困難である。
題から０．２市程度の厚みを要する。また、この半導体
チップを固体試料ホルダーカバーに押しつけて保持する
ためには、おさえしろを必要とするため、固体試料ホル
ダーカバーの窓の大きさは正方形とすれば０．２ ｎｕ
ｎ Ｘ Ｏ７２胴程度にする必要がある。こうすると、
試料表面に対し、例えば、６０°をなす角度からイオン
ビームを照射する場合、第８図に示すように固体試料ホ
ルダーカバーの厚みが無視できずイオンビーム照射の死
角が生ずる。また、当然のことながら、この半導体チッ
プ表面全体の任意の場所を測定することができない。ま
た、試料ホルダーカバーにあけられた窓より大きい固体
試料の場合においては、板状の固体試料については容易
に保持可能なるも、分析面の反対側にあたる固体試料の
底部が複雑な形状を有する固体試料についてはバネで押
しつけて保持することが困難である。
これらのことから微小なＩ−Ｃチップや半導体デバイス
チップ等の微小な固体試料や板状でない複雑な多面体形
状を有するダイヤモンド等の固体試料の二次イオン質量
分析を行なうことが非常に困難であった。すなわち、微
小な）Ｃチップや半導体デバイスチップやダイヤモンド
等の電気的、光学的、熱的特性を制御するにおいて、こ
れらの組成や添加元素、不純物元素がどのように分布し
ているかを測定することは不可欠であり、このような測
定において、高感度分析でかつ深さ方向分析が可能な二
次イオン質量分析は非常に有用なるもこれらの固体試料
の適当な保持方法がないため実行が非常に困難であった
。
チップ等の微小な固体試料や板状でない複雑な多面体形
状を有するダイヤモンド等の固体試料の二次イオン質量
分析を行なうことが非常に困難であった。すなわち、微
小な）Ｃチップや半導体デバイスチップやダイヤモンド
等の電気的、光学的、熱的特性を制御するにおいて、こ
れらの組成や添加元素、不純物元素がどのように分布し
ているかを測定することは不可欠であり、このような測
定において、高感度分析でかつ深さ方向分析が可能な二
次イオン質量分析は非常に有用なるもこれらの固体試料
の適当な保持方法がないため実行が非常に困難であった
。
（ｄ）発明の目的
本発明は、これ等の欠点を解決するため、固体試料を２
方向よりはさみ固定する試料固定部と、試料固定部可動
ネジを有することを特徴とし、その目的は従来保持する
ことが極めて困難であったＩＣチップや半導体デバイス
チップ等の微小の固体試料、さらには複雑な形状を有す
る固体試料の保持を可能ならしめ、これらの固体試料の
二次イオン質量分析を可能とすることにある。
方向よりはさみ固定する試料固定部と、試料固定部可動
ネジを有することを特徴とし、その目的は従来保持する
ことが極めて困難であったＩＣチップや半導体デバイス
チップ等の微小の固体試料、さらには複雑な形状を有す
る固体試料の保持を可能ならしめ、これらの固体試料の
二次イオン質量分析を可能とすることにある。
口０発明の構成
（ｅ）問題点を解決するための手段および（ｆ）作用第
１図は本発明の一実施例であって、６は試料固定部、７
は試料固定部可動ネジ、８は試料固定部可動ネジを固定
するナツト、２は固体試料である。
１図は本発明の一実施例であって、６は試料固定部、７
は試料固定部可動ネジ、８は試料固定部可動ネジを固定
するナツト、２は固体試料である。
これにより微小な固体試料や複雑な形状を有する固体試
料を保持するには、第１図に示すように試料固定部可動
ネジ７の調整により固体試料２を試料固定部６により２
方向からはさみ、固体試料２の表面を試料固定部６の表
面と平行かつ同じ高さとなるよう固定する。この後、試
料固定部６の表面を固体試料ホルダーカバー１に密着す
るよう固定する。すなわち、固体試料２の固体試料ホル
ダーカバー１に対する固定は、試料固定部６を介して間
接的に行なえるものであり、固体試料２の大きさ形状に
かかわらず容易に可能となる。
料を保持するには、第１図に示すように試料固定部可動
ネジ７の調整により固体試料２を試料固定部６により２
方向からはさみ、固体試料２の表面を試料固定部６の表
面と平行かつ同じ高さとなるよう固定する。この後、試
料固定部６の表面を固体試料ホルダーカバー１に密着す
るよう固定する。すなわち、固体試料２の固体試料ホル
ダーカバー１に対する固定は、試料固定部６を介して間
接的に行なえるものであり、固体試料２の大きさ形状に
かかわらず容易に可能となる。
（ｇ）実施例
第１図に示す試料固定部６は高純度アルミニウム製とし
、固定部可動ネジ７及びナツト８は市販の鉄製のものを
用いた。また固体試料ホルダーカバー材質はクンクルで
あった。固体試料２としては、縦Ｑ、５ｍｍ、横０．５
ｍｍ１高さ０．３５柵の化合物半導体発光ダイオードチ
ップ及び複雑な多面体構造の天然ダイヤモンド結晶につ
いて試料固定部６による固定を行ない、さらに固体試料
ホルダーカバー１に固″定して良好な二次イオン質量分
析が可能であった。
、固定部可動ネジ７及びナツト８は市販の鉄製のものを
用いた。また固体試料ホルダーカバー材質はクンクルで
あった。固体試料２としては、縦Ｑ、５ｍｍ、横０．５
ｍｍ１高さ０．３５柵の化合物半導体発光ダイオードチ
ップ及び複雑な多面体構造の天然ダイヤモンド結晶につ
いて試料固定部６による固定を行ない、さらに固体試料
ホルダーカバー１に固″定して良好な二次イオン質量分
析が可能であった。
ハ１１発明効果
（ｈ）発明の詳細
な説明した上うに、本発明は固体試料を固体試ネ」表面
と平行な２方向よりはさみ固定するため固体試料ホルダ
ーカバーの窓よりも小さい固体試料を保持して、二次イ
オン質量分析を可能とする。
と平行な２方向よりはさみ固定するため固体試料ホルダ
ーカバーの窓よりも小さい固体試料を保持して、二次イ
オン質量分析を可能とする。
また微小固体試料の太ぎさに対して、固体試料ホルダー
カバーの窓の大きさは充分太きいため、イオンビームを
照射する場合第２図に示すようなイオンビーム照射の死
角がなく、固体試料表面の任意の場所にイオンビームを
照射し二次イオン質量分析できるという大きな利点をも
引き出した。
カバーの窓の大きさは充分太きいため、イオンビームを
照射する場合第２図に示すようなイオンビーム照射の死
角がなく、固体試料表面の任意の場所にイオンビームを
照射し二次イオン質量分析できるという大きな利点をも
引き出した。
また、固体試料ホルダーカバーへの固体試料の固定は、
直接固体試料底部をバネで押すのではなく、固体試料ホ
ルダーを介して行なえるため固体試料の底部の形状が平
面でなく複雑な形状を有していても保持する上で何ら不
都合を生じず、その二次イオン質量分析を可能ならしめ
た。
直接固体試料底部をバネで押すのではなく、固体試料ホ
ルダーを介して行なえるため固体試料の底部の形状が平
面でなく複雑な形状を有していても保持する上で何ら不
都合を生じず、その二次イオン質量分析を可能ならしめ
た。
従って、微小なＩＣチップや半導体デバイスチップ、ま
た板状でなく複雑な多面体構造を有するダイヤモンド等
の保持及び二次イオン質量分析を容易に可能とする。
た板状でなく複雑な多面体構造を有するダイヤモンド等
の保持及び二次イオン質量分析を容易に可能とする。
第１図は本発明の一実施例を示す図である。
第２図は従来の固体試料の固定及び保持する方法を示す
図である。第３図は微小な固体試料を従来法で固定及び
保持したときの固体試料近傍の拡大図である。 ■・固体試料ホルダーカバー、２・・・固体試料、３・
・・バネ、４・・・・台座、５・・・台座固定ネジ、６
・・・試料固定部、７・・試料固定部可動ネジ、８・・
・試料固定部可動ネジを固定するナンド。
図である。第３図は微小な固体試料を従来法で固定及び
保持したときの固体試料近傍の拡大図である。 ■・固体試料ホルダーカバー、２・・・固体試料、３・
・・バネ、４・・・・台座、５・・・台座固定ネジ、６
・・・試料固定部、７・・試料固定部可動ネジ、８・・
・試料固定部可動ネジを固定するナンド。
Claims (3)
- （１）試料固定部可動ネジ７と該可動ネジを固定するナ
ット８とからなる固体試料ホルダーにより、微小の固体
試料及び複雑な形状を有する固体試料を固定、保持する
ことを特徴とする固体試料保持方法。 - （２）固体試料の固定及び保持に際し、導電性ペースト
等の接着剤をいっさい使用しないことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の固体試料保持方法。 - （３）前記真空分析装置が二次イオン質量分析装置であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項
記載の固体試料保持方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22533385A JPS6283637A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 固体試料保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22533385A JPS6283637A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 固体試料保持方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6283637A true JPS6283637A (ja) | 1987-04-17 |
Family
ID=16827705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22533385A Pending JPS6283637A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 固体試料保持方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6283637A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08254488A (ja) * | 1995-03-17 | 1996-10-01 | Nec Corp | 二重収束型二次イオン質量分析装置用試料ホルダー |
| JP2011117784A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-16 | Jeol Ltd | 試料ホルダ及び試料取り付け取り外し治具 |
-
1985
- 1985-10-08 JP JP22533385A patent/JPS6283637A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08254488A (ja) * | 1995-03-17 | 1996-10-01 | Nec Corp | 二重収束型二次イオン質量分析装置用試料ホルダー |
| JP2011117784A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-16 | Jeol Ltd | 試料ホルダ及び試料取り付け取り外し治具 |
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