JP2011117784A - 試料ホルダ及び試料取り付け取り外し治具 - Google Patents
試料ホルダ及び試料取り付け取り外し治具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011117784A JP2011117784A JP2009274057A JP2009274057A JP2011117784A JP 2011117784 A JP2011117784 A JP 2011117784A JP 2009274057 A JP2009274057 A JP 2009274057A JP 2009274057 A JP2009274057 A JP 2009274057A JP 2011117784 A JP2011117784 A JP 2011117784A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holder
- clamp
- sample holder
- claw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
【解決手段】ホルダ面11aと交差する方向に移動可能なように試料ホルダ11に設けられ、ホルダ面11aに載置された試料13のホルダ面11aと対向する面と反対側の面に当接/離反可能な第1クランプ爪53,第2クランプ爪63を有する第1クランプ51,第2クランプ61(クランプ手段)と、第1クランプ爪51,第2クランプ爪63が試料13に当接する方向に付勢する第1スプリング71,第2スプリング73(付勢手段)とを有する。
【選択図】図3
Description
また、試料ホルダからの試料の試料の取り外しも、試料ホルダを加熱し、ワックスを溶かすことで行っている。
次に、試料ホルダへの試料の取り付け、試料ホルダからの試料の取り外しは、ワックスの加熱が必要であり、時間がかかる問題点がある。また、試料が試料ホルダに対してずれて固定される場合がある。その際、やり直しをする場合には、更に時間がかかる問題点がある。
また、第2の課題は、短時間で試料の取り付け、取り外しができる試料取り付け取り外し治具を提供することにある。
請求項2に係る発明は、前記クランプ手段は、前記試料の一方の側に当接可能な第1クランプ爪を有する第1クランプと、前記試料の他方の側に当接可能な第2クランプ爪を有する第2クランプと、からなることを特徴とする請求項1記載の試料ホルダである。
更に、ワックスを用いないので、ワックスに含まれる溶剤成分を嫌う試料であっても、試料ホルダに取り付けることができる。
最初に、図6を用いて、本実施形態の試料ホルダを有する薄膜試料作製装置の説明を行なう。図6は薄膜試料作製装置の正面からみた断面図である。
そして、ホルダ面11aと交差する方向に移動可能なようにホルダ11に設けられ、ホルダ面11aに載置された試料13のホルダ面11aと対向する面と反対側の面に当接/離反可能なクランプ爪を有するクランプ手段が設けられている。
付勢手段としての第1スプリング71,第2スプリング73で付勢されたクランプ手段の第1クランプ爪53,第2クランプ爪63は、試料ホルダ11のホルダ面11aに載置された試料13に当接し、試料13を試料ホルダ11のホルダ面11aに固定する。
(1) 付勢手段としての第1スプリング71,第2スプリング73で付勢されたクランプ手段の第1クランプ爪53,第2クランプ爪63は、試料ホルダ11のホルダ面11aに載置された試料13に当接し、試料13を試料ホルダ11のホルダ面11aに固定する。よって、試料ホルダ11を冷却しても、試料13が外れない。
(4) クランプ手段は、試料13の一方の側に当接可能な第1クランプ爪53を有する第1クランプ51と、試料13の他方の側に当接可能な第2クランプ爪63を有する第2クランプ61と、からなることにより、クランプ爪が試料の両側に当接するので、試料ホルダ11への試料13の取り付けが安定する。
クランプ手段駆動部87は、ベース83に設けられた2本のガイドピン91,93と、これらガイドピン91,93が係合する長穴状のガイド穴95を有するテーパスライダ97を有している。尚、ガイドピン91,93は水平方向に沿った線分上に配置されている。よって、テーパスライダ97は水平方向に移動可能となっている。
このような試料取り付け取り外し治具81によれば、短時間で試料13の取り付け、取り外しができる。
51 第1クランプ
53 第1クランプ爪
61 第2クランプ
63 第2クランプ爪
71 第1スプリング
73 第2スプリング
Claims (3)
- 薄膜試料作製装置に用いられ、ホルダ面を有し、前記ホルダ面に薄膜加工される試料を保持する試料ホルダにおいて、
前記ホルダ面と交差する方向に移動可能なように前記試料ホルダに設けられ、前記ホルダ面に載置された前記試料の前記ホルダ面と対向する面と反対側の面に当接/離反可能なクランプ爪を有するクランプ手段と、
該クランプ手段のクランプ爪が前記試料に当接する方向に付勢する付勢手段と、
を有することを特徴とする試料ホルダ。 - 前記クランプ手段は、
前記試料の一方の側に当接可能な第1クランプ爪を有する第1クランプと、
前記試料の他方の側に当接可能な第2クランプ爪を有する第2クランプと、
からなることを特徴とする請求項1記載の試料ホルダ。 - 前記請求項1または2に記載の試料ホルダに用いられる試料取り付け取り外し治具であって、
前記ホルダ面が水平となるように前記試料ホルダを固定するホルダ固定部と、
前記付勢手段の付勢力に抗して、前記クランプ爪が前記試料より離反する方向に前記クランプ手段を駆動するクランプ手段駆動部と、
を有することを特徴とする試料取り付け取り外し治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009274057A JP5606726B2 (ja) | 2009-12-02 | 2009-12-02 | 試料ホルダ及び試料取り付け取り外し治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009274057A JP5606726B2 (ja) | 2009-12-02 | 2009-12-02 | 試料ホルダ及び試料取り付け取り外し治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011117784A true JP2011117784A (ja) | 2011-06-16 |
JP5606726B2 JP5606726B2 (ja) | 2014-10-15 |
Family
ID=44283295
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009274057A Active JP5606726B2 (ja) | 2009-12-02 | 2009-12-02 | 試料ホルダ及び試料取り付け取り外し治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5606726B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6283637A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 固体試料保持方法 |
JPS62105347A (ja) * | 1985-11-01 | 1987-05-15 | Hitachi Ltd | 半導体製造装置 |
JPH04103643U (ja) * | 1991-02-13 | 1992-09-07 | 日新電機株式会社 | 基板保持装置 |
JPH056753A (ja) * | 1991-02-18 | 1993-01-14 | Nissin High Voltage Co Ltd | イオン注入装置 |
JP2000258313A (ja) * | 1999-03-10 | 2000-09-22 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用試料作成装置の試料着脱機構 |
JP2008027602A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Fujifilm Corp | ホルダ装置及び加工観察方法 |
-
2009
- 2009-12-02 JP JP2009274057A patent/JP5606726B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6283637A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 固体試料保持方法 |
JPS62105347A (ja) * | 1985-11-01 | 1987-05-15 | Hitachi Ltd | 半導体製造装置 |
JPH04103643U (ja) * | 1991-02-13 | 1992-09-07 | 日新電機株式会社 | 基板保持装置 |
JPH056753A (ja) * | 1991-02-18 | 1993-01-14 | Nissin High Voltage Co Ltd | イオン注入装置 |
JP2000258313A (ja) * | 1999-03-10 | 2000-09-22 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用試料作成装置の試料着脱機構 |
JP2008027602A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Fujifilm Corp | ホルダ装置及び加工観察方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5606726B2 (ja) | 2014-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4619695B2 (ja) | 微視的サンプルを操作する方法及び装置 | |
JP5208449B2 (ja) | 試料キャリア及び試料ホルダ | |
JP2008027602A (ja) | ホルダ装置及び加工観察方法 | |
JP7208195B2 (ja) | イオンミリング装置および試料ホルダー | |
JP5606726B2 (ja) | 試料ホルダ及び試料取り付け取り外し治具 | |
JP2006084484A (ja) | 試料作製方法 | |
JP5046192B2 (ja) | 走査電子顕微鏡による断面観察用サンプルの作製方法 | |
JP5768312B2 (ja) | 被覆除去器 | |
JP2006292766A5 (ja) | ||
JP2008039667A (ja) | イオンミリング装置及びその方法 | |
JP2011131292A (ja) | 板状試料研磨用治具 | |
JP5121667B2 (ja) | 透過電子顕微鏡用試料作製方法 | |
JP6698582B2 (ja) | 光ファイバカッタ | |
US5993291A (en) | Specimen block preparation for TEM analysis | |
JP2008084735A (ja) | 断面試料台及び試料ホルダ | |
JP2012011757A (ja) | 分断装置 | |
JP5135516B2 (ja) | 薄片試料作製方法 | |
JP2004177268A (ja) | 試料固定器具 | |
JP6887611B2 (ja) | ブレードホルダー及び試料ホルダー | |
JP2003282483A (ja) | スクライバーシャンクの装填方法及びシステム | |
JP2008151805A (ja) | 試料作成装置および方法 | |
JP2005293865A (ja) | 試料ホルダおよび試料傾斜ホルダ | |
JP5962248B2 (ja) | シリコンウェーハに付着した異物の分析方法、およびこの方法に使用される異物転写装置 | |
JP6279636B2 (ja) | カートリッジ、試料ホルダー先端部、及び前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダー | |
JP2009133874A (ja) | 断面観察方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20111110 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120713 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130219 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20130417 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20131105 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20131227 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140805 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20140827 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Ref document number: 5606726 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |