JPH04103643U - 基板保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板がクランパーに付着するのを防止するこ
とができるようにした基板保持装置を提供する。 【構成】 クランパー６の凹部６ａ内に、基板２の半径
方向に対してほぼ直交する軸１８と、この軸１８を支点
に回動可能なアーム２０であってその先端部が基板２の
端部に当接可能なものと、このアーム２０の先端部を弾
性的に押し下げるばね２２とを設けた。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、例えばイオン注入装置、薄膜形成装置等に用いられるものであっ て、基板を保持する基板保持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種の基板保持装置の従来例を図４に示す。

【０００３】 この基板保持装置は、基板（例えばウェーハ）２を載せるベース４と、基板２ の周縁部をベース４に対して押さえ付ける環状のクランパー６とを備えており、 このクランパー６を上下させてそれとベース４との間に基板２を挟んで保持する 構造をしている。

【０００４】 ベース４には、複数本のクランパー軸１０が上下動自在に貫通しており、それ らの上端部にクランパー６が取り付けられており、下端部に連結板１４が取り付 けられている。各クランパー軸の周りには、各クランパー軸１０およびクランパ ー６をベース４に向けて弾性的に押し下げるばね（例えば圧縮コイルばね）１２ が設けられている。また、ベース４の表面には、基板２との間の熱伝導を良くす るためにラバー８が設けられている。

【０００５】 上記のように保持された基板２に、クランパー６の開口部を通してイオンビー ムを照射する等して、基板２にイオン注入等の処理を施すことができる。処理後 は、クランパー６を上昇させて保持を解除することで、基板搬送手段（図示省略 ）によって基板２を取り出すことができる。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、上記基板保持装置においては、基板２の処理後等においてクランパ ー６を上昇させたときに、基板２がクランパー６に付着したまま持ち上がり、基 板２の取り出しに支障を来すことがあるという問題がある。この基板２の付着の 原因としては、イオン注入に伴う基板２のチャージアップ（帯電）によるクラン パー６への静電吸着や、基板２とクランパー６との接触面の汚れによる付着等が 挙げられる。

【０００７】 ちなみにこのような問題は、基板２のサイズが小さくなるほど、その重さが軽 くなるので起こりやすくなる。

【０００８】 そこでこの考案は、基板がクランパーに付着するのを防止することができるよ うにした基板保持装置を提供することを主たる目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案の基板保持装置は、前述したようなクラン パーに、基板の半径方向に対してほぼ直交する軸と、この軸を支点に回動可能な アームであってその先端部が基板の端部に当接可能なものと、このアームの先端 部を弾性的に押し下げるばねとを設けたことを特徴とする。

【００１０】

【作用】

上記構成によれば、クランパーを上昇させる際に、ばねの力によってアームの 先端部が押し下げられ、これによって基板がクランパーから強制的に引き離され る。その結果、基板がクランパーに付着するのが防止される。

【００１１】

【実施例】

図１は、この考案の一実施例に係る基板保持装置を示す平面図である。図２は 、図１の線Ａ−Ａに沿う拡大断面図である。図３は、図２中のアーム周りを示す 平面図である。図４の従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以 下においては当該従来例との相違点を主に説明する。

【００１２】 この実施例においては、前述したようなクランパー６の下面側の４個所に凹部 ６ａを設け、その中に、ブラケット１６に保持されたアーム２０をそれぞれ収納 している。

【００１３】 各ブラケット１６は、図３に示すように平面形状がコ字状をしており、そこに 、基板２の半径方向に対してほぼ直交するように軸１８が通されている。そして この軸１８に、細長いアーム２０が、矢印Ｂ（図２参照）のように回動可能に支 持されており、このようなものが、クランパー６の各凹部６ａ内に収納されてね じ２４によって固定されている。

【００１４】 各アーム２０の先端部は、図２に示すように、基板２の端部に当接可能である 。また、クランパー６と各アーム２０との間には、各アーム２０の先端部を弾性 的に押し下げるばね（例えば圧縮コイルばね）２２が設けられている。各ばね２ ２は、この実施例では、アーム２０の上面部に設けた凹部２０ａ内に収納されて いる。

【００１５】 図２に示すようにクランパー６を下げてそれとベース４との間に基板２を保持 した状態では、各アーム２０の先端部は基板２によって押され、ばね２２を圧縮 している。

【００１６】 基板２に対する処理が終了する等してクランパー６を上昇させる際は、ばね２ ２の力によって各アーム２０の先端部が押し下げられ、これによって基板２がク ランパー６から強制的に引き離される。従って、静電気や汚れ等によって基板２ がクランパー６に付着することを防止することができる。

【００１７】 基板２をクランパー６から引き離す力は、ばね２２の強さ等によって調整する ことができる。また、上記のようなアーム２０等は、基板２の周囲の複数個所に 設ける方が基板２の引き離しは容易になるが、１個所でもクランパー６から引き 離すと基板２は自重で比較的簡単に離脱するので、少なくとも１個所に設ければ 良い。

【００１８】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、アームによって基板を強制的にクランパーか ら引き離すことができるので、基板がクランパーに付着するのを防止することが できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この考案の一実施例に係る基板保持装置を示
す平面図である。

【図２】 図１の線Ａ−Ａに沿う拡大断面図である。

【図３】 図２中のアーム周りを示す平面図である。

【図４】 従来の基板保持装置の一例を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

２ 基板 ４ ベース ６ クランパー １６ ブラケット １８ 軸 ２０ アーム ２２ ばね

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を載せるベースと、基板の周縁部を
   ベースに対して押さえ付ける環状のクランパーとを備え
   る基板保持装置において、前記クランパーに、基板の半
   径方向に対してほぼ直交する軸と、この軸を支点に回動
   可能なアームであってその先端部が基板の端部に当接可
   能なものと、このアームの先端部を弾性的に押し下げる
   ばねとを設けたことを特徴とする基板保持装置。