JPH03147238A - 真空引き可能なハウジングと対象物ホルダと該ホルダに着脱可能な対象物キャリアとを有する真空システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野」 この発明は、例えば電子顕微鏡のような真空システムに
関する。

更に詳述すると、この発明は真空引き可能なハウジング
と、対象物ホルダと、該対象物ホルダに着脱自在に結合
される対象物キャリアとを有し、上記対象物ホルダが前
記ハウジング内にその一部が位置すると共に該ハウジン
グ内において対象物の位置決めを行う位置決め手段を有
し、上記対象物キャリアが当該対象物キャリアに対して
回転軸の廻りに回転可能であると共に前記対象物用の支
持面を有しているような支持部材を具備する一方上記支
持部材および位置決め手段と共動する駆動手段を具備し
ているような真空システムに関する。

また、この発明は上記のような種類の真空システムに使
用して好適な対象物キャリアにも関する。

［発明の背景］ 上記のような真空システム（特に電子顕微鏡）及び対象
物キャリアは、西ドイツ特許出願公開公報ＤＢ２８．２
５゜４１７号から既知である。

上記引例の明細書には電子光学柱の形態をとる真空シス
テムについて述べられ、該システムは電子光学柱の光軸
に対して滑動可能なテーブルの形をした対象物ホルダを
有している。そして、対象物カー）ＩＪッジの形をした
対象物キャリアが当該真空システム中に導入され、上記
テーブルに結合される。この対象物キャリアは筒状を呈
し、支持部材から吊るされた検査対象物を収容している
。

上記支持部材は対象物キャリアに対して回転軸の廻りに
回動可能であり、該回転軸は対象物が係合する支持面に
平行でありかつ前記光学軸を横切るように延在する。上
記支持部材は一方の側でスプリングに接続されると共に
他方の側で押し部材に接続され、該押し部材は前記電子
光学柱に接続されたカム環に係合している。上記対象物
の位置は、上記カム環を位置決め手段により回転させる
ことにより光学軸に対して調整可能であり、この位置決
め手段は前記柱から導出する弾性シャフトを有している
。この種の対象物キャリアと対象物ホルダとの組合せは
機械的には安定しているが、光学軸の方向に比較的大き
な体積を専有してしまう。

その結果、対象物キャリアにより占有される体積が磁気
レンズの極シュウ−（ρａｌｅ　５ｈｏｅ）の存在を邪
魔してしまうので、可能なレンズの組合せの数が制限さ
れてしまう。更に、上記の既知の対象物キャリアにおい
ては、真正同心的（ｅｕｃｅｎｔｒｉｃ）な対象物の動
き、即ち回転軸の交点が光学軸上に位置するような対象
物の動き、を行わせることは不可能である。

したがって、この発明の目的は、冒頭に述べたような真
空システムであって、それらにより例えば光学軸のよう
な基準軸に対して対象物を複数の位置に簡単に位置決め
することができるような対象物ホルダと対象物キャリア
とを有する真空システムを提供することにある。また、
この発明の他の目的は、比較的小さな寸法を有する対象
物キャリアであって、該対象物キャリアにより支持され
る対象物の真正同心的回転に適したものを提供すること
にある。

［発明の概要］ この目的を達成するため、この発明による真空システム
は、前記対象物ホルダに第１の対象物キャリアと第２の
対象物キャリアとを結合することができ、この第１の対
象物キャリアの支持部材の回転軸がその支持面を横切る
ように延び、第２の対象物キャリアの支持部材の回転軸
はその支持面と平行に延びることを特徴としている。

異なる軸の廻りに回転可能な支持部材を具備する交換可
能な対象物キャリアを使用した結果、検査対象物を実施
すべき検査の関数とし、かつ、電子光学柱に接続された
対象物ホルダを何ら適応させることを要せずに正確に位
置決めすることができる。この場合、上記検査を結晶の
向きを決定する為に行う時は光学軸の廻りの回転が必要
であり、一方上記検査を格子欠陥を決定するために行う
ときは光学軸に対して直交するように延びる軸の廻りに
回転することが必要である。

この発明による真空システムの一実施例は、前記対象物
ホルダが円筒部材を有し、該円筒部材は前記ハウジング
により仕切られた真空空間の一部を閉塞する球面ベアリ
ングによりその一端が囲われ、この球面ベアリングは上
記円筒部材及びこの円筒部材内に位置する位置決め手段
を上記真空空間内に進入するように滑り込ませることが
できる開口を有していることを特徴としている。

上記のような真空システムを使用した場合、対象物キャ
リアを前記回転軸と前記円筒部材の長手方向対象軸との
交点の廻りに回転することができる。その結果、上記交
点に位置する対象物の部分は同じ位置に留まることにな
り、このことは例えば電子顕微鏡の場合有効である。

なお、上記のような種類の対象物ホルダ自体はフィリッ
プステクニカルレビュー１９６８年第２９巻１２号の３
７０ないし３８６頁に掲載されたＣ、Ｊ、Ｒａｋｅｌｓ
、Ｊ、Ｃ，Ｔｉｅｍｅｉｊｅｒ及びｌ（、！１．　Ｗｉ
ｔｔｅｖｅｅｎによる「フィリップス電子顕微鏡ＢＭ　
３００　Ｊなる記事から既知である。

上記の引例記事は、円筒部材の先端に対象物を設けるた
めに該内筒部材が真空空間から取り外せる°ようになっ
ているような、電子顕微鏡に＄番）る対象物ホルダにつ
いて述べている。この場合、上記先端は対象物キャリア
を構成するが、該対象物キャリアに対して回転軸の廻り
に回転可能であるような支持部材は含んでいない。また
、光学軸と平行に延びる回転軸の廻りの対象物の回転は
球面ベアリングの回転により達成されるようになってい
るため、回転角度に関しては制限がある。また、対象物
キャリアに対して回転可能な支持部材を６しかつ対象物
ホルダと着脱可能であるような対象物キャリアを使用す
る場合は、対象物の動きの可能性が増大する。

本発明による真空システムの他の実施例は、位置決め手
段が押し棒を有し、前記第１の対象物キャリアにおいて
は該押し棒が上記回転軸を横切るように延在する他の押
し棒により形成され、スプリングの一端が対象物キャリ
アに接続される一方その他端が支持部材に沿うベルトを
介して上記性の押し棒に接続されている、ことを特徴と
している。

前記位置決め手段と押し棒とが互いに共動する押し棒と
して構成された場合には、支持部材はその支持面を横切
るように延びる回転軸の廻りに容易に回転させることが
できる。上記支持部材は、対象物キャリアにより支持さ
れた１個以上のベアリングに係合する円形周部を有する
ことが好ましい。また、液体窒素または液体ヘリウムに
より対象物を冷却するためには、上記の他の押し棒を例
えばセラミック材料のような熱絶縁材料を用いて構成す
ることが魅力的である。

また、本発明による真空システムの更に他の実施例は、
前記位置決め手段が押し棒を有して構成され、前記第２
の対象物キャリアにおいては前記支持部材が２個の側腕
を有し、これらの内の一方の側腕は弾性部材と共動し、
他方の側腕は軸支部材と共動し、該軸支部材が２個の腕
部を持つ構造を有すると共にそれらの一方の腕部が前記
押し棒に係合している、ことを特徴としている。この場
合、上記支持部材をその支持面と平行に延びる軸の廻り
に回転させるために、対象物キャリアには前記押し棒と
共動する軸支部材が設けられる。

また、この発明による真空システムの更に他の実施例゛
１よ、前記駆動手段がピエゾ電気素子を有し、前記位置
決？ｂ更段と前記対象物キャリアとが共動する電気接触
点を有している、ことを特徴としている。

上記対象物ホルダが上記ピエゾ電気素子を制御するため
に位置決め手段に電気的に接続され、その場合該位置決
め手段が２つの電気導体を有して構成されるので、前記
柱の壁には可動部品を通過させる必要がない。したがっ
て、真空封止は簡素化される一方、前述したような押し
棒を介して熱伝導が発生しないから対象物の熱絶縁が容
易となる。

また、この発明による真空システムの他の実施例は、前
記ハウジングの壁に前記対象物ホルダの反対側に位置す
るように真空ロックが設けられ該ハウジング内に前記対
象物キャリアを導入するようになっている、ことを特徴
としている。

真空ロックを介してハウジング内に対象物キャリアを導
入するようにした場合、前記対象物ホルダは簡単な構成
としてもよい。かくして、前記球面ベアリングの内壁と
前記円筒部材の外壁との間に、例えばベローズの形態の
永久真空封止体を設けることが可能になる。本出願人に
よる既知の対象物ホルダにおいては、前記円筒部材は対
象物の交換を可能ならしめるため球面ベアリングと着脱
可能に構成されていた。したがって、永久真空封止は可
能ではなく、封止のために、例えば、０リングを使用し
なければならなかった。

また、本発明による真空システムの更に他の実施例は、
対象物キャリ゛ｒを対象物ホルダから離脱させるために
上記真空ロックを介して該対象物キャリアに工具を結合
することができるようになっている、ことを特徴として
いる。ハウジング内での対象物キャリアの前記対象物ホ
ルダへの結合は、該対象物キャリアのカムと共動するつ
め部材を有する特殊工具を用いることにより容易化され
る。

［実施例］ 第１図は、電子顕微鏡の形態をした真空システムを示し
、この電子顕微鏡は、真空引き可能なハウジング２によ
り囲われた真空空間３を備える電子光学柱ｌと、電子線
源５とを有している。この電子線源５は前記電子光学柱
１の光学軸７に沿って電子線（電子ビーム）を放射する
。電磁コンデンサレンズ８を使用することにより、前記
電子ビームは対物レンズ９内に配置された対象物上に焦
点を結ばれる。上記対物レンズ９は、軟鉄の外覆及びコ
アを備えた巻線を持つコイルと前記光学軸の方向に例え
ばｌ　０ｍ離隔された極シュー（ρａｌｅｓｈｏｅ）と
を有している。上記レンズ９における極シューの間の間
隙内には対象物キャリア１１に支持された対象物が配置
される。この対象物キャリア１１は対象物ホルダ１３に
結合され、とのホルダは球面ベアリング１７を介して真
空引きされたハウジング２に接続された円筒部材１５を
有している。円筒部材１５はこの球面ベアリングを介し
てハウジング２内に進入するが、このハウジング内の圧
力は例えば１Ｏ−９Ｔｏｒｒにも達する。上記円筒部材
１５の中には例えば押し棒の形態の位置決め手段１９が
配置され、この押し棒はネジ山とナツトとの共動作用に
よりハウジング２内の光学軸７を横切る方向に変位可能
である。対象物キャリア１１により支持された対象物を
照射した後、電子線は検出器２０に入射し、その上に前
記対象物の（例えば、１０５の倍率の）拡大像が形成さ
れる。この検出器２０は例えば蛍光スクリーンを有して
なっている。前記対象物ホルダ１３を用いることにより
、対象物は前記光学軸７に対して異なる位置に移動する
ことができ、これにより該対象物への電子線の入射角を
変化させることができる。この場合、互いに直交する回
転軸と前記光学軸７とが一点で交差したら魅力的である
。対象物のこの点に位置する部分の像は、該対象物が傾
斜されてもその向きは変わらないであろう。前記対象物
キャリア１１は前記球面ベアリングの回転により光学軸
７に直交して延在する面内において限られた角度に渡り
回動することができる。しかしながら、この場合は対象
物は光学軸７に対して変位する。例えば結晶構造の回折
パターンに基づく解析のような対象物の検査を行うため
には、対象物を光学軸に直交する面内においで３６０°
に渡り、かつ、０．１°の精度及び０．５°の再現性を
有して０．１°　ｓ−１と１０″　ｓ　　＋との間の回
転速度で回転することが望ましい。更に、検査中に適切
な像を得るには、前記対象物キャリアは室温において０
．１　Ｘ　１０−”　ｍｓ−’を越えるドリフトを起し
てはならず、かつ、振動振幅は０，８　ｘ　１０−１０
ｍ未満でなければならない。また、例えば３次元画像再
生のような他の試験のためには、精度及び再現性に関し
同様の要件が課せられた場合、前記対象物キャリアを光
学軸７に直交して延びる軸の廻りに回転する必要がある
。

第２図は対象物ホルダ１３を示し、このホルダには対象
物キャリア２２が着脱可能に結合され、この対象物キヤ
Ｕアは壁２４（一部のみを図示する）により囲まれた真
空空間３内に位置する。上記対象物キャリア２２の長さ
は例えば３０ｍｍであり、またその幅は６ｍｍと１２ｍ
ｍとの間である。対象物ホルダ１３は球面ベアリング２
８を有し、該球面ベアリングは前記真空空間の一部を閉
塞すると共に０１Ｊング３０により壁２４に変位可能に
結合されている。円筒部材３２は上記球面ベアリング２
８の開口を介して真空空間３内に進入する。この円筒部
材３２はクランプ結合３４を介して対象物キャリア２２
に結合されている。図の面内において２重矢印Ｆの方向
に変位ｉｊＪ能な円筒部材３２内には押し棒の形態の位
置決め手段３６が設けられている。前記対象物キャリア
２２内の駆動手段３８が上記押し棒３６と共動するよう
になっている。この駆動手段３８は他の押し棒と該押し
棒に接続されたスプリング４０とを有している。このス
プリング４０はコイルスプリング（ｈｅｌｉｃａｌｓｐ
ｒｉｎｇ）またはドラム内の渦巻きスプリング（ｓｐｉ
ｒａｌ　ｓｐｒｉｒｒｇ　）として構成することができ
る。

前記ス、プリング４０はその一端が対象物キャリア２２
に接続され、他端がベルトを介して押し棒３８の端部に
接続されている。この場合、上記ベルトの一部は支持部
材４２の周部に沿って略１８０度にわたり延在している
。かくして、真空空間３外の押し棒３６により駆動され
る押し棒３８の動きは、支持部材４２を図の面に対して
直交方向に延びる軸の廻りに回転させる。押し棒３８は
ベアリング４３により案内かつ位置決めされ、また支持
部材４２は対象物キャリアにより支持されたベアリング
４４により案内される。これらベアリングは例えば高耐
磨耗性のサファイアからなる。なお、図において陰影を
付けた部分は熱絶縁性の材料からなり、これにより支持
部材４２内に配置された対象物の液体窒素又は液体ヘリ
ウムによる冷却のための熱絶縁がなされる。

第３図は他の支持部材４２を具備する対象物キャリア２
２が結合された上記対象物ホルダ１３を示し、該支持部
材４２は図の面上に位置する軸４１の廻りに回転可能と
なっている。この支持部材４２は軸支部材４６の形態の
駆動手段を介して前記押し棒３６に結合されている。こ
の押し棒３６の動きは上記支持部材４２に軸４１の廻り
の回転を発生させる。対象物キャリア２２内の駆動手段
は押し棒３６と共動して、支持部材４２を軸４１の廻り
に回転させ、また第２図の場合は図の面に直交する軸の
廻りに回転させるから、当該対象物の回転軸はこの対象
物キャリア２２を交換することにより簡単に変更するこ
とができる。なお、真空空間３の封止はベローズ３７に
より実現される。

第４図は、上記支持部材４２及び該部材に結合される双
腕軸支部材４６等を示す側面図である。上記支持部材４
２は２つの側腕４９を有し、この内の一方の側腕は弾性
部材４８により側方に押しやられ、他方−の側腕は前記
軸支部材の作用により図の面に垂直に延びる回転軸４１
の廻りに回動可能となついる。

上記軸支部材４６は、例えばＶ字状を呈し、前記回転軸
４１と平行に延びる軸４７の廻りに回動可能である一方
、前記押し棒３６の凹部と共動する接触部を有している
。

第５図は対象物キャリア２２に結合される他の対象物ホ
ルダ１３を示している。この場合、駆動手段はピエゾ電
気素子５０を有している。ピエゾ電気素子５０は、対象
物キャリア２２内の電気接触点５１を介して位置決め手
段の電気接触点（当該実施例の場合２本の導電体５２に
より形成されている）に接続され、これら導電体５２を
介して印加される電圧の関数として圧縮し及び伸長する
。図の面に対して垂直に延びる軸の廻りに回転可能な支
持部材４２は閉ループ状のベルト５４を介してプーリ５
６に結合され、該プーリも図の面に対して垂直に延びる
軸の廻りに回転可能である。上記ループ状ベルト５４は
好ましくはこのプーリ５６の他の円柱部５７に案内され
るようにする一方、該プーリ５６の側部周面が前記ピエ
ゾ電気素子５０に係合して該素子がプーリの側部周面上
にその接線方向の力を発生させるようにすることができ
る。この場合、上記プーリ５６はスプリングにより支持
部材４２から離れる方向に付勢され、これによりベルト
５４はプーリ５６と部材４２との間に張設されるように
なっている。この実施例における円筒部材３２は略非中
空であり前記導電体５２を通過させる通路を有している
。駆動手段がピエゾ電気素子を有してなる実施例の利点
は、壁２４を通過する可動部品がないということにあり
、その結果真空封止がより簡単であると共に球面ベアリ
ング２８と円筒部材３２との間には１個のベローズ３７
を挿入するだけで充分である。更に、前記ピエゾ電気素
子が多数の異なる電圧ステップで制御されるようにすれ
ば、電圧ステップの数を計数するのみで支持部材４２の
角度変位の測定を簡単に行うことができる。ピエゾ電気
素子の７μｍに達する長さの変化は、支持部材の半径が
２ｍｍでプーリ５６の半径が４ｍｍの場合０．ｌｏの回
転角度となる。

支持部材４２のＩＯ’ｓ−’の角速度を得るには、ピエ
ゾ電気素子５０は、数百ボルトの振幅のオーダの電圧で
かつ１００　Ｈｚ周波数で制御されなければならない。

１００　Ｈｚの動作周波数の場合、対象物キャリアの振
れは０．５　ｘ　１０　”　ｍの振幅の程度以内に留ま
り、かくして高拡大率の場合に像の鮮明さに対する悪影
響を避けることができる。

第６図は第２の対象物キャリアの実施例を示しており、
この場合前記駆動手段はピエゾ電気素ｆ５０を有してな
り、また支持部材４２は該支持部材４２の支持面に対し
て平行に延びる軸６０の廻りに回転可能となっている。

上記駆動手段はプーリ６２を有し、このプーリは前記軸
６０を横切る方向に延びる軸６３の廻りに回転可能とな
っている。このプーリ６２はつめ部材６４を介して支持
部材４２に結合され、これによりプーリ６２を回転させ
た場合に支持部材４２が軸６０の廻りに回動するように
なっている。

第７ａ図は前記ピエゾ電気素子５０の一例を示しており
、この素子は例えば支持部材４２の接線方向に伸長可能
なピエゾ電気重ね体（ｓｔａｃｋ）を含む第１の部分５
０ａと、該支持部材の半径方向に移動可能な第２の部分
５０ｂとを有している。上記部分５０ｂは例えばバイモ
ルファス（ｂｉｍｏｒｐｈｏｕｓ）ピエゾ電気素子を有
してなっている。そして、支持部材４２の回転は上記部
分５０ａ及び５０ｂの連続的な伸長及び圧縮により実現
される。第７ｂ図においては、前記ａＢ分５０ａ　モバ
イモルファスビエゾ電気素子により形成されている。対
象物キャリアの上記駆動手段は、第７ａ図及び第７ｂ図
に示したように、支持部材４２をその支持面に対して直
角に延びる軸の廻りに駆動するのに適している。第７ｃ
図は、第６図に示したように対象物キャリア内の対象物
支持面に対して平行に延びる軸の廻りに支持部材４２を
回転させるための駆動手段を示している。この場合、そ
の部分５０ａ及び５０ｂは共にバイモルファス素子を有
してなっている。最初に、上記部分５０ｂがプーリ６２
（第７Ｃ図では図示を省略しである）に係合され、その
後、部分５０ａが軸６３の廻りに回転するように曲げら
れる。次いで、部分５０ｂがまっすぐにされ、これによ
りプーリ６２の周側部との接触が絶たれ、部分５０ａは
元の位置に回転するように戻る。

第８図は、上記駆動手段の更に他の例を示し、この場合
該駆動手段はバイモルファス素子のみを有してなってい
る。ここでは、ピエゾ電気材料からなる互いに反対方向
に極性化された２つの部分Ａ及びＢが重ねて装着されて
いる。第８ｃ図に示すように、Ａが短くなると共にＢが
長くなり、八が短くなると共にＢも短くなり、Ａが長く
なると共にＢが短くなり、Ａが長くなると共にＢも長く
なる、ように部分Ａ及びＢに各々電圧を印加することに
より、支持部材４２はその支持面を横切る方向に延びる
軸の廻りに回転される。

第９ａ図は、工具６７がハウジングに対して前記対象物
ホルダ１３の反対側に位置する真空ロックを介してどの
ように真空空間３内に導入することができるかを示して
いる。この工具６７は対象物キャリア２２の周りにはま
る２つの部材（ｔｏｎｇｕｅ）　６８ををし、それらの
一方の部材は軸７０の廻りに回転可能な−）め部材６９
を支持している。このつめ部材６９の一端は丸みを帯び
た部分を有し、他端はかぎを有し２ている。対象物ホル
ダ１３から対象物キャリア２２を離脱させる場合、上記
かぎがキャリア２２に形成されたカム７１に係合される
。その後、前記真空ロック６５を介して工具６７を引き
抜くことにより、対象物キャリアは対象物ホルダ１３か
ら離脱される。また、対象物キャリアを対象物ホルダに
結合する場合は、対象物キャリアが該工具の前記部材６
８の間に位置され、カム７１が第９ｂ図に示すように前
記つめ部材６９の丸みを帯びた部分とクランプ状態で係
合されるようにする。次に、対象物キャリア２２が対象
物ホルダ１３にクランプされ、その後該工具６７が真空
空間３から取り出される。この場合、上記つめ部材６９
の丸みを帯びた部分はカム７１から滑って外れるから、
対象物キャリアは真空空間３内に残される。

なあ、本発明による対象物キャリア及び対象物ホルダの
使用は、電子顕微鏡のみに限定されるものではなく、例
えばＸ線分光装置またはマイクロチップ製造及び検査装
置等にも適している。

【図面の簡単な説明】

第１図は、対象物ホルダを有する真空システムの構成を
示す概略構成図、 第２図は、駆動手段が押し棒を有してなる本発明におけ
る対象物ホルダ及び第１の対象物キャリアの平面図、 第３図は、駆動手段が軸支部材を有してなる本発明にお
ける他の対象物ホルダ及び第２の対象物キャリアめ平面
図、 第４図は本発明における第２の対象物キャリアにおける
駆動手段の側面図、 第５図は、駆動手段がピエゾ電気素子を有してなる本発
明における他の対象物ホルダ及び他の第１の対象物キャ
リアの平面図、 第６図は、駆動手段がピエゾ電気素子を有してなる本発
明における他の第２の対象物キャリアの平面図、 第７ａ図ないし第７Ｃ図は、本発明における駆動手段の
幾つかの実施例の概念図、 第８ａ図ないし第８ｃ図は、本発明における他の駆動手
段と該駆動手段の制御電圧の変化を示す概念図、 第９ａ図及び第９ｂ図は、本発明における工具の平面図
である。 ｌ・・・電子光学柱、２・・・ハウジング、３・・・真
空空間、７・・・光学軸、１１．２２・・・対象物キャ
リア、１３・９．対象物ホルダ、１５．３２・・・円筒
部材、１７．２８・・・球面ベアリング、１９．３６・
・・位置決め手段、２４・・・壁、３６・・・押し棒、
３Ｂ・・・他の押し棒、 持部材、４３．４４・・・ベアリ ・・・ピエゾ電気素子、５２・・ ６２・・・プーリ、６７・・・工具、 ７１・・・カム ４０・・・スプリング、４２・・・支 ング、４６・・・軸支部材、５０ 導電体、５４・・・ベルト、５６．

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空引き可能なハウジングと、対象物ホルダと、該
   対象物ホルダに着脱自在に結合される対象物キャリアと
   を有し、上記対象物ホルダは前記ハウジング内に部分的
   に位置すると共に該ハウジング内において対象物を位置
   決めするように作用する位置決め手段を有し、前記対象
   物キャリアは前記対象物のための支持面を有すると共に
   当該対象物キャリアに対して回転軸の廻りに回転可能で
   あるような支持部材を有する一方該支持部材及び前記位
   置決め手段と共動する駆動手段を有するような真空シス
   テムにおいて、 前記対象物ホルダには第１の対象物キャリ アと第２の対象物キャリアとが結合可能であり、上記第
   １の対象物キャリアにおける支持部材の回転軸はその支
   持面を横切る方向に延在し、前記第２の対象物キャリア
   における支持部材の回転軸はその支持面に対して平行に
   延在する、 ことを特徴とする真空システム。 ２、請求項１に記載の真空システムにおいて、前記対象
   物ホルダは前記ハウジングにより仕切られた真空空間の
   一部を閉塞する球面ベアリングにより一端が囲まれた円
   筒部材を有し、該球面ベアリングは前記円筒部材と該円
   筒部材中に位置する前記位置決め手段とが前記真空空間
   に進入するように滑り込む開口を有していることを特徴
   とする真空システム。 ３、請求項１または請求項２に記載の真空システムであ
   って、前記駆動手段が前記位置決め手段と共動する押し
   部材とスプリングとを有する真空システムにおいて、前
   記位置決め手段は押し棒を有し、前記第１の対象物キャ
   リアにおいては該押し棒は前記回転軸を横切る方向に延
   びる他の押し棒により形成され、前記スプリングの一端
   が前記対象物キャリアに接続される一方、該スプリング
   の他端が前記支持部材に沿って案内されるベルトを介し
   て前記他の押し棒に接続されることを特徴とする真空シ
   ステム。 ４、請求項３に記載の真空システムにおいて、前記スプ
   リングが渦巻きスプリングを有していることを特徴とす
   る真空システム。 ５、請求項３または請求項４に記載の真空システムにお
   いて、前記の他の押し棒が前記対象物キャリアにより支
   持されたベアリングに係合することを特徴とする真空シ
   ステム。 ６、請求項３ないし５のいずれか一項に記載の真空シス
   テムにおいて、前記の他の押し棒が熱絶縁材料により形
   成されていることを特徴とする真空システム。 ７、請求項１または請求項２に記載の真空システムであ
   って、前記第２の対象物キャリアが前記支持部材と共動
   すると共に前記支持面と平行に延びる軸の廻りに回動可
   能な軸支部材とスプリングとの形態をした駆動手段を有
   する真空システムにおいて、前記位置決め手段が押し棒
   を有し、前記第２の対象物キャリアにおいては前記支持
   部材は２つの側腕を有し、これら側腕の内の一方の側腕
   は弾性部材と共動し、他方の側腕は前記軸支部材と共動
   し、該軸支部材は２つの腕部構造を有し、これら腕部構
   造の一方が前記押し棒に係合していることを特徴とする
   真空システム。 ８、請求項１または請求項２に記載の真空システムにお
   いて、前記駆動手段がピエゾ電気素子を有し、前記位置
   決め手段と前記対象物キャリアとが互いに共動する電気
   接触点を有することを特徴とする真空システム。 ９、請求項８に記載の真空システムにおいて、前記第１
   の対象物キャリアにおいては前記駆動手段が前記ピエゾ
   電気素子により前記回転軸と平行に延びる他の軸の廻り
   に回転されるプーリを有し、該プーリが回転を伝達する
   ために結合手段を介して前記支持部材に結合されている
   ことを特徴とする真空システム。 １０、請求項９に記載の真空システムにおいて、前記プ
   ーリが当該プーリに同軸的に接続された円柱部分を有し
   、前記結合手段が前記円柱部分と前記支持部材とを閉ル
   ープとして囲むように配置されたベルトを有しているこ
   とを特徴とする真空システム。 １１、請求項９または請求項１０に記載の真空システム
   において、前記プーリが前記ループを張設するためのス
   プリングに接続されていることを特徴とする真空システ
   ム。 １２、請求項８に記載の真空システムにおいて、前記第
   ２の対象物キャリアにおいては、前記駆動手段は前記ピ
   エゾ電気素子により前記回転軸を横切るように延びる他
   の軸の廻りに回転されるプーリを有し、該プーリは当該
   プーリに対して少なくとも部分的に偏心したつめ部材に
   より前記支持部材に結合されていることを特徴とする真
   空システム。 １３、請求項９ないし１２のいずれか一項に記載の真空
   システムにおいて、前記ピエゾ電気素子は前記プーリに
   対してその接線方向に移動可能な部分を有する一方、該
   部分に接続されると共に前記プーリに対してその半径方
   向に移動可能な他の部分を有していることを特徴とする
   真空システム。 １４、請求項１３に記載の真空システムにおいて、前記
   両部分の内の少なくとも一方は他のバイモルファス素子
   を有し、前記各部分は互いに横切る方向に延在している
   ことを特徴とする真空システム。 １５、請求項８ないし１２のいずれか一項に記載の真空
   システムにおいて、前記ピエゾ電気素子が１個のバイモ
   ルファス素子により形成されていることを特徴とする真
   空システム。 １６、請求項２、３、４、５、９、１０または１１のい
   ずれか一項に記載の真空システムにおいて、前記支持部
   材が前記対象物キャリアにより支持された１個以上のベ
   アリングと係合する円形周部を有していることを特徴と
   する真空システム。 １７、請求項５または１６に記載の真空システムにおい
   て、前記ベアリングがサファイアにより形成されている
   ことを特徴とする真空システム。 １８、請求項１ないし１７のいずれか一項に記載の真空
   システムにおいて、前記ハウジングの壁には前記対象物
   ホルダと反対側の位置に当該ハウジング内に前記対象物
   キャリアを導入するための真空ロックが設けられている
   ことを特徴とする真空システム。 １９、請求項２および請求項１８に記載の真空システム
   において、前記球面ベアリングの内壁と前記円筒部材の
   外壁との間に永久真空封止体が設けられていることを特
   徴とする真空システム。 ２０、請求項１９に記載の真空システムにおいて、前記
   真空封止体がベローズを有していることを特徴とする真
   空システム。 ２１、請求項１８、１９または２０に記載の真空システ
   ムにおいて、前記対象物キャリアを前記対象物ホルダか
   ら離脱するために、前記真空ロックを介して工具を前記
   対象物キャリアに結合することができるように構成され
   ていることを特徴とする真空システム。 ２２、請求項２１に記載の真空システムにおいて、前記
   工具は前記対象物キャリアの周囲に配置させることがで
   きる少なくとも２つの部材を有し、前記対象物キャリア
   にはカムが設けられ、前記工具の一方の部材には前記カ
   ムと共動すると共にその一端にかぎを有するつめ部材が
   設けられ、該つめ部材はその他端に丸みを帯びた部分を
   有すると共に対応する前記側壁を横切る方向に延びる軸
   の廻りに回転可能となっていることを特徴とする真空シ
   ステム。 ２３、請求項１ないし２２のいずれか一項に記載の真空
   システムにおいて、前記ハウジングが電子光学柱を有し
   ていることを特徴とする真空システム。 ２４、請求項１ないし２３の何れか一項に記載の真空シ
   ステムに用いられる対象物キャリア。