JPH0614460B2 - 電子顕微鏡等における試料装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は電子顕微鏡等において、試料を光軸と直交する
方向から挿入するタイプの試料装置に関し、特に同一観
察位置の平面内に２組の移動機構を備えた試料装置を提
供するものである。

［従来技術］ 上述したタイプの試料装置において、高分解能観察を行
なう際には、試料ホルダ及びその移動機構（傾斜機構も
含む）をできるだけ小形化してその固有振動数を高める
ことにより、顕微鏡の外からの振動及び顕微鏡の冷却水
等の振動が試料に伝わらないようにした専用の高分解能
用試料装置を使用する。

一方、特殊観察、例えば種々のガス雰囲気中での観察や
湿った試料の観察を行なう際には、試料ホルダの試料保
持部分に上下に電子線透過可能な薄膜を張付けた電子線
通過用穴を夫々形成しかつ密封された部屋（以下大気圧
試料室と称す）を形成すると共に、この大気圧試料室内
に任意のガスや水分を供給するようにした専用の特殊観
察用試料装置を使用している。

［発明が解決しようとする問題点］ そのため、高分解能観察から特殊観察あるいはその逆の
特殊観察から高分解能観察へ切換えて観察したい場合に
は、その都度鏡体内の真空を破壊して鏡体を分解し、所
望の試料装置をセットしなければならないため、取扱い
が非常に面倒である。

そこで、本発明はかかる点に鑑みてなされたものであ
り、装置を分解することなく高分解能観察と特殊観察と
を任意に切換えて行なうことのできる電子顕微鏡等にお
ける試料装置を提供することを目的とするものである。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明の試料装置は対物レ
ンズの上下磁極間の観察位置に光軸と直交する平面に沿
って試料ホルダを挿入するようにした試料装置におい
て、前記試料ホルダとして高分解能用の小型ホルダと特
殊観察用の大型ホルダが備えられており、前記小型ホル
ダを前記平面に沿って移動させるための第１の移動機構
と、前記大型ホルダを前記平面に沿って移動させるため
の第２の移動機構が備えられており、前記小型ホルダと
大型ホルダの挿入方向は前記面内で交差していることを
特徴とするものである。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。

［実施例］ 添附図面は本発明の一実施例を示す平面断面図である。

図において、１は電子顕微鏡の鏡体で、この鏡体は対物
レンズのヨーク外壁を兼ねている。２は対物レンズの磁
極片で、上磁極（図示せず）と下磁極３とを非磁性体製
のスペーサー４で一体化することによって形成されてい
る。

５は高分解能用試料ホルダ６を電子線の光軸Ｚと直交
し、しかも観察位置を含む平面内で移動させるための第
１の移動機構である。この移動機構は鏡体１に回転可能
に装着された傾斜体７ａと連結棒８ａと駆動棒９ａとテ
コ体１０ａ及び押しネジ１１ａとから構成されている。
また、この移動機構５及び試料ホルダ６はできるだけ小
さく形成し、外乱の予想される振動数より固有振動数を
高くして試料１２ａの外乱より受ける影響を少なくする
ようにしてある。１３ａは試料ホルダ６の先端（真空
側）を矢印Ａ方向、つまり光軸Ｚを中心にして試料ホル
ダ６の挿入方向であるＸ軸と直交するＹ軸方向に動かす
ための押しネジである。一方の前記押しネジ１１ａを回
せば、テコ体１０ａが回動し、それによって駆動棒９ａ
が往復動するため、試料ホルダ６がＸ軸方向に移動す
る。従って、押しネジ１１ａ及び１３ａを任意に回すこ
とにより試料１２ａを任意位置に移動させることができ
る。次に傾斜体７ａを回せば、試料ホルダ６が一体に回
るため、試料１２ａを傾斜させることができる。

１４は特殊観察用試料ホルダ１５を前記平面内で移動さ
せるための第２の移動機構である。この移動機構は前記
第１の移動機構５と全く同一構成となしてあり、各対応
する構成要素には添字ｂを付して表わしてある。また、
この第２の移動機構は第１の移動機構５に対して光軸Ｚ
上で直交する方向、つまりＹ軸上に設けてある。さら
に、この移動機構においては傾斜体７ｂを大きくし、そ
れによって磁極片２内で広いスペースを有する試料ホル
ダ１５を装着できるようにしてある。尚、前記磁極片２
には各試料ホルダ６，１５及び連結棒８ａ，８ｂを夫々
挿入するための穴が設けてある。

かかる構成において、試料を高分解能で観察したい場合
には、図の状態で示すように試料ホルダ６を第１の移動
機構５に装着すれば良い。次に、湿った試料を観察する
等の特殊観察を行なう場合には、第１の移動機構５に装
着された試料ホルダ６を磁極片２内から引き出した状態
（このとき、傾斜体７ａ内に組込んだエアーロック弁を
閉じて試料ホルダ６を大気中に取り出しても良い。）に
おいて、第２の移動機構１４に装着されている試料ホル
ダ１５を磁極片２内に押し込み、その先端を連結棒８ｂ
に係合させることによりこの試料ホルダに形成された大
気圧試料室を観察位置にセットすれば良い。

尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えば、第１と第２の移動
機構における各試料ホルダの挿入方向は光軸Ｚ上で直交
するようにしたが、これに限定されることなく任意角度
で交差するように配置しても良い。ここで、各試料ホル
ダの挿入方向を直交させた場合には、電子線照射に基づ
いて試料から発生する特性Ｘ線を対物レンズの上磁極の
上方に設けた検出器で検出する際において、検出器の設
置が容易となる。

また、上記実施例では試料ホルダを軸心方向に移動させ
る機構は光軸Ｚを中心にして傾斜体と反対側に設けた
が、傾斜体側に設けることができることは言うまでもな
い。

［効果］ 以上詳述した如く本発明によれば、鏡体を分解すること
なく、高分解能観察と特殊観察とを任意に切換え行なう
ことができるため、取扱いが非常に容易となる。

【図面の簡単な説明】

添附図面は本発明の一実施例を示す平面断面図である。 １：鏡体、２：磁極片 ３：下磁極、４：スペーサー ５：第１の移動機構、６，１５：試料ホルダ ７ａ，７ｂ：傾斜体、８ａ，８ｂ：連結棒 ９ａ，９ｂ：駆動棒 １０ａ，１０ｂ：テコ体 １１ａ，１１ｂ：押しネジ １２ａ，１２ｂ：試料 １４：第２の移動機構

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】対物レンズの上下磁極間の観察位置に光軸
   と直交する平面に沿って試料ホルダを挿入するようにし
   た試料装置において、前記試料ホルダとして高分解能用
   の小型ホルダと特殊観察用の大型ホルダが備えられてお
   り、前記小型ホルダを前記平面に沿って移動させるため
   の第１の移動機構と、前記大型ホルダを前記平面に沿っ
   て移動させるための第２の移動機構が備えられており、
   前記小型ホルダと大型ホルダの挿入方向は前記面内で交
   差していることを特徴とする電子顕微鏡等における試料
   装置。