JPH09247967A - 電気機械変換素子を使用した駆動装置 - Google Patents
電気機械変換素子を使用した駆動装置Info
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
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- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
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- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
- Y10S977/86—Scanning probe structure
- Y10S977/872—Positioner
Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空や高温度の環境、電磁波を遮断した環境
等の下でも試料台の駆動ができる電気機械変換素子を使
用した駆動装置を提供する。 【解決手段】 電気機械変換素子を使用した駆動装置に
おいて、駆動軸１５とこれに摩擦結合したスライダブロ
ツク１８をフレ−ム１１と箱体１２とで構成した密閉容
器Ａの内部に配置する。スライダブロツク１８には試料
台２１を取り付け、圧電素子１４は密閉容器Ａの外部に
配置する。外部の圧電素子１４から密閉容器Ａ内部に延
びる駆動軸１５が箱体１２を貫通する部分は弾性変形可
能な薄肉部１７とし、駆動軸１５と薄肉部１７は接着剤
により接着固定１７ａして気密性を保持する。圧電素子
１４に速度の異なる伸縮変位を発生させると駆動軸１５
も速度の異なる伸縮変位を生じ、これに摩擦結合したス
ライダブロツク１８及び試料台２１を所定方向に移動さ
せることができる。
等の下でも試料台の駆動ができる電気機械変換素子を使
用した駆動装置を提供する。 【解決手段】 電気機械変換素子を使用した駆動装置に
おいて、駆動軸１５とこれに摩擦結合したスライダブロ
ツク１８をフレ−ム１１と箱体１２とで構成した密閉容
器Ａの内部に配置する。スライダブロツク１８には試料
台２１を取り付け、圧電素子１４は密閉容器Ａの外部に
配置する。外部の圧電素子１４から密閉容器Ａ内部に延
びる駆動軸１５が箱体１２を貫通する部分は弾性変形可
能な薄肉部１７とし、駆動軸１５と薄肉部１７は接着剤
により接着固定１７ａして気密性を保持する。圧電素子
１４に速度の異なる伸縮変位を発生させると駆動軸１５
も速度の異なる伸縮変位を生じ、これに摩擦結合したス
ライダブロツク１８及び試料台２１を所定方向に移動さ
せることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、特殊な環境下で
使用するに適した電気機械変換素子を使用した駆動装置
に関し、特に、電子顕微鏡、ＡＦＭ（原子間力顕微
鏡）、ＳＴＭ（走査型トンネル電子顕微鏡）などの表面
性状測定装置、エツチング装置などの試料移動のための
駆動装置に関する。なお、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）と
は原子と原子の間に働くファン・デル・ワ−ルス力を利
用し試料とプロ−ブとの間の力の変化を検出することで
試料の形状を知る顕微鏡である。
使用するに適した電気機械変換素子を使用した駆動装置
に関し、特に、電子顕微鏡、ＡＦＭ（原子間力顕微
鏡）、ＳＴＭ（走査型トンネル電子顕微鏡）などの表面
性状測定装置、エツチング装置などの試料移動のための
駆動装置に関する。なお、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）と
は原子と原子の間に働くファン・デル・ワ−ルス力を利
用し試料とプロ−ブとの間の力の変化を検出することで
試料の形状を知る顕微鏡である。
【０００２】
【従来の技術】例えば、電子顕微鏡における試料台駆動
装置では、図１３に示すように、密閉容器１０１内部
に、試料台１０２とこれを移動させるボ−ルネジ機構１
０３を設け、ボ−ルネジ機構１０３の駆動軸１０４を密
閉容器１０１に設けた穴１０５から外部に延長し、密閉
容器の外部に設けたモ−タ１０６と減速機構１０７から
なる駆動機構により駆動軸１０４を駆動する構成が採用
されている。なお、１０８はモ−タ電源を示す。
装置では、図１３に示すように、密閉容器１０１内部
に、試料台１０２とこれを移動させるボ−ルネジ機構１
０３を設け、ボ−ルネジ機構１０３の駆動軸１０４を密
閉容器１０１に設けた穴１０５から外部に延長し、密閉
容器の外部に設けたモ−タ１０６と減速機構１０７から
なる駆動機構により駆動軸１０４を駆動する構成が採用
されている。なお、１０８はモ−タ電源を示す。
【０００３】図１３に示すような構成では、駆動軸１０
４を外部に延長するために密閉容器１０１に穴１０５を
設ける必要があるので、密閉容器１０１の気密性を十分
に保つことが困難となる。そのため、図１４に示すよう
に、密閉容器１０１にカツプリング機構１１０を設け、
密閉容器１０１内部の駆動軸１１１と密閉容器の外部に
設けた駆動機構１０７の駆動軸１１２とをカツプリング
機構１１０を介して結合するようにしたものがある。カ
ツプリング機構としては、駆動軸と密閉容器との間に気
密性シ−ルを施した機械的カツプリング機構や、隔壁を
隔てて配置された両側の駆動軸を磁気円盤などで磁気結
合させた磁気カツプリング機構などが知られている。
４を外部に延長するために密閉容器１０１に穴１０５を
設ける必要があるので、密閉容器１０１の気密性を十分
に保つことが困難となる。そのため、図１４に示すよう
に、密閉容器１０１にカツプリング機構１１０を設け、
密閉容器１０１内部の駆動軸１１１と密閉容器の外部に
設けた駆動機構１０７の駆動軸１１２とをカツプリング
機構１１０を介して結合するようにしたものがある。カ
ツプリング機構としては、駆動軸と密閉容器との間に気
密性シ−ルを施した機械的カツプリング機構や、隔壁を
隔てて配置された両側の駆動軸を磁気円盤などで磁気結
合させた磁気カツプリング機構などが知られている。
【０００４】この他、図１５に示すように、試料台１０
２、ボ−ルネジ機構１０３、モ−タ１０６、駆動機構１
０７の全てを密閉容器１０１の内部に配置する構成も提
案されている。
２、ボ−ルネジ機構１０３、モ−タ１０６、駆動機構１
０７の全てを密閉容器１０１の内部に配置する構成も提
案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した駆動装置
の構成において、図１３に示した構成のものは密閉容器
の気密性の確保が十分できないという不都合がある。ま
た、図１４に示した構成のものはカツプリング機構の構
成によつては密閉容器の気密性の確保が十分できない場
合があり、また、気密性の確保が十分できるカツプリン
グ機構を使用するときはコスト高になるという不都合が
ある。
の構成において、図１３に示した構成のものは密閉容器
の気密性の確保が十分できないという不都合がある。ま
た、図１４に示した構成のものはカツプリング機構の構
成によつては密閉容器の気密性の確保が十分できない場
合があり、また、気密性の確保が十分できるカツプリン
グ機構を使用するときはコスト高になるという不都合が
ある。
【０００６】また、図１５に示した構成のものは、密閉
容器内部の環境が劣悪な場合、例えば腐食性ガスがある
場合や高温度の場合などでは、駆動機構が故障するなど
の不都合がある。さらに、密閉容器内部を高真空度に保
とうとする場合には、駆動機構に使用されている潤滑剤
が揮発するなどの不都合があり、このような潤滑剤の揮
発対策を講じた駆動機構も知られているが、コスト高に
なるという不都合がある。さらに、駆動機構の動力源と
してＤＣモ−タ、ステツピングモ−タ、リニアモ−タな
ど電気モ−タを使用するときは、電子顕微鏡など磁界の
影響を受ける電子ビ−ム装置に適用する場合には、磁界
発生源である電気モ−タ周辺を十分に磁気シ−ルドする
必要があり、著しくコスト高になるという不都合があ
る。
容器内部の環境が劣悪な場合、例えば腐食性ガスがある
場合や高温度の場合などでは、駆動機構が故障するなど
の不都合がある。さらに、密閉容器内部を高真空度に保
とうとする場合には、駆動機構に使用されている潤滑剤
が揮発するなどの不都合があり、このような潤滑剤の揮
発対策を講じた駆動機構も知られているが、コスト高に
なるという不都合がある。さらに、駆動機構の動力源と
してＤＣモ−タ、ステツピングモ−タ、リニアモ−タな
ど電気モ−タを使用するときは、電子顕微鏡など磁界の
影響を受ける電子ビ−ム装置に適用する場合には、磁界
発生源である電気モ−タ周辺を十分に磁気シ−ルドする
必要があり、著しくコスト高になるという不都合があ
る。
【０００７】この発明は、上記した従来の密閉容器内部
の試料台などを移動させる駆動装置の抱える課題を解決
し、取扱いが容易な電気機械変換素子を使用した駆動装
置を提供することを目的とする。
の試料台などを移動させる駆動装置の抱える課題を解決
し、取扱いが容易な電気機械変換素子を使用した駆動装
置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
決するもので、請求項１の発明は、基台と、基台に一端
が固定された電気機械変換素子と、前記電気機械変換素
子に一端が固定され電気機械変換素子に生ずる変位方向
に移動自在に支持された駆動部材と、前記駆動部材に摩
擦結合した移動部材と、前記電気機械変換素子に異なる
速度の往復変位を発生させるように駆動する駆動手段と
を備え、前記電気機械変換素子に生ずる異なる速度の往
復変位に基づいて駆動部材を往復変位させ、該駆動部材
に摩擦結合した移動部材を所定方向に移動させる電気機
械変換素子を使用した駆動装置において、少なくとも前
記移動部材を外部から遮蔽された環境に配置したことを
特徴とする。
決するもので、請求項１の発明は、基台と、基台に一端
が固定された電気機械変換素子と、前記電気機械変換素
子に一端が固定され電気機械変換素子に生ずる変位方向
に移動自在に支持された駆動部材と、前記駆動部材に摩
擦結合した移動部材と、前記電気機械変換素子に異なる
速度の往復変位を発生させるように駆動する駆動手段と
を備え、前記電気機械変換素子に生ずる異なる速度の往
復変位に基づいて駆動部材を往復変位させ、該駆動部材
に摩擦結合した移動部材を所定方向に移動させる電気機
械変換素子を使用した駆動装置において、少なくとも前
記移動部材を外部から遮蔽された環境に配置したことを
特徴とする。
【０００９】そして、前記外部から遮蔽された環境は、
減圧された環境、高温度環境、電子ビ−ム等に影響を及
ぼす電磁波が遮断された環境などである。
減圧された環境、高温度環境、電子ビ−ム等に影響を及
ぼす電磁波が遮断された環境などである。
【００１０】請求項５の発明は、基台と、基台に一端が
固定された電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子
に一端が固定され電気機械変換素子に生ずる変位方向に
移動自在に支持された駆動部材と、前記駆動部材に摩擦
結合した移動部材と、前記電気機械変換素子に異なる速
度の往復変位を発生させるように駆動する駆動手段とを
備え、前記電気機械変換素子に生ずる異なる速度の往復
変位に基づいて駆動部材を往復変位させ、該駆動部材に
摩擦結合した移動部材を所定方向に移動させる電気機械
変換素子を使用した駆動装置において、少なくとも前記
移動部材を配置する密閉容器を備え、前記密閉容器外部
に配置された電気機械変換素子と密閉容器を貫通して密
閉容器内部に延長された駆動部材を介して密閉容器内部
に配置された移動部材を所定方向に駆動することを特徴
とするものである。
固定された電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子
に一端が固定され電気機械変換素子に生ずる変位方向に
移動自在に支持された駆動部材と、前記駆動部材に摩擦
結合した移動部材と、前記電気機械変換素子に異なる速
度の往復変位を発生させるように駆動する駆動手段とを
備え、前記電気機械変換素子に生ずる異なる速度の往復
変位に基づいて駆動部材を往復変位させ、該駆動部材に
摩擦結合した移動部材を所定方向に移動させる電気機械
変換素子を使用した駆動装置において、少なくとも前記
移動部材を配置する密閉容器を備え、前記密閉容器外部
に配置された電気機械変換素子と密閉容器を貫通して密
閉容器内部に延長された駆動部材を介して密閉容器内部
に配置された移動部材を所定方向に駆動することを特徴
とするものである。
【００１１】請求項６の発明は、基台と、基台に一端が
固定された電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子
に生ずる変位が伝達されたとき、電気機械変換素子の変
位方向に移動する駆動部材と、前記駆動部材に摩擦結合
した移動部材と、前記電気機械変換素子に異なる速度の
往復変位を発生させるように駆動する駆動手段とを備
え、前記電気機械変換素子に生ずる異なる速度の往復変
位に基づいて駆動部材を往復変位させ、該駆動部材に摩
擦結合した移動部材を所定方向に移動させる電気機械変
換素子を使用した駆動装置において、少なくとも前記移
動部材を配置する密閉容器と、前記密閉容器外部に配置
された電気機械変換素子に発生する変位を密閉容器内部
の駆動部材に伝達する密閉容器壁面に設けた変位伝達手
段とを備え、前記駆動部材は前記変位伝達手段を介して
密閉容器内部の駆動部材に伝達された電気機械変換素子
の変位に基づいて密閉容器内部の移動部材を所定方向に
駆動することを特徴とするものである。
固定された電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子
に生ずる変位が伝達されたとき、電気機械変換素子の変
位方向に移動する駆動部材と、前記駆動部材に摩擦結合
した移動部材と、前記電気機械変換素子に異なる速度の
往復変位を発生させるように駆動する駆動手段とを備
え、前記電気機械変換素子に生ずる異なる速度の往復変
位に基づいて駆動部材を往復変位させ、該駆動部材に摩
擦結合した移動部材を所定方向に移動させる電気機械変
換素子を使用した駆動装置において、少なくとも前記移
動部材を配置する密閉容器と、前記密閉容器外部に配置
された電気機械変換素子に発生する変位を密閉容器内部
の駆動部材に伝達する密閉容器壁面に設けた変位伝達手
段とを備え、前記駆動部材は前記変位伝達手段を介して
密閉容器内部の駆動部材に伝達された電気機械変換素子
の変位に基づいて密閉容器内部の移動部材を所定方向に
駆動することを特徴とするものである。
【００１２】さらに、請求項７の発明は、基台と、基台
に一端が固定された電気機械変換素子と、前記電気機械
変換素子に一端が固定され電気機械変換素子に生ずる変
位方向に移動自在に支持された駆動部材と、前記駆動部
材に摩擦結合した移動部材と、前記電気機械変換素子に
異なる速度の往復変位を発生させるように駆動する駆動
手段とを備え、前記電気機械変換素子に生ずる異なる速
度の往復変位に基づいて駆動部材を往復変位させ、該駆
動部材に摩擦結合した移動部材を所定方向に移動させる
電気機械変換素子を使用した駆動装置において、前記電
気機械変換素子、駆動部材、及び移動部材を外部から遮
蔽された環境に配置したことを特徴とするものである。
に一端が固定された電気機械変換素子と、前記電気機械
変換素子に一端が固定され電気機械変換素子に生ずる変
位方向に移動自在に支持された駆動部材と、前記駆動部
材に摩擦結合した移動部材と、前記電気機械変換素子に
異なる速度の往復変位を発生させるように駆動する駆動
手段とを備え、前記電気機械変換素子に生ずる異なる速
度の往復変位に基づいて駆動部材を往復変位させ、該駆
動部材に摩擦結合した移動部材を所定方向に移動させる
電気機械変換素子を使用した駆動装置において、前記電
気機械変換素子、駆動部材、及び移動部材を外部から遮
蔽された環境に配置したことを特徴とするものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】駆動軸１５（駆動部材）とこれに
摩擦結合したスライダブロツク１８（移動部材）をフレ
−ム１１と箱体１２とで構成して外部から遮蔽された環
境を作ることができる密閉容器Ａの内部に配置する。ス
ライダブロツク１８には試料台２１を取り付け、圧電素
子１４は密閉容器Ａの外部に配置する。外部の圧電素子
１４から密閉容器Ａ内部に延びる駆動軸１５が箱体１２
を貫通する部分は弾性変形可能な薄肉部１７とし、駆動
軸１５と薄肉部１７は接着剤により接着固定１７ａして
気密性を保持する。圧電素子１４に速度の異なる伸縮変
位を発生させると駆動軸１５も速度の異なる伸縮変位を
生じ、これに摩擦結合したスライダブロツク１８及び試
料台２１を所定方向に移動させることができる（図１参
照）。
摩擦結合したスライダブロツク１８（移動部材）をフレ
−ム１１と箱体１２とで構成して外部から遮蔽された環
境を作ることができる密閉容器Ａの内部に配置する。ス
ライダブロツク１８には試料台２１を取り付け、圧電素
子１４は密閉容器Ａの外部に配置する。外部の圧電素子
１４から密閉容器Ａ内部に延びる駆動軸１５が箱体１２
を貫通する部分は弾性変形可能な薄肉部１７とし、駆動
軸１５と薄肉部１７は接着剤により接着固定１７ａして
気密性を保持する。圧電素子１４に速度の異なる伸縮変
位を発生させると駆動軸１５も速度の異なる伸縮変位を
生じ、これに摩擦結合したスライダブロツク１８及び試
料台２１を所定方向に移動させることができる（図１参
照）。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の実施例について説明する。
図１はこの発明の第１実施例で、密閉容器の試料台を駆
動する電気機械変換素子を使用した駆動装置の断面図を
示す。図１において、フレ−ム１１の上に箱体１２が配
置され、フレ−ム１１と箱体１２とは部分１２ａにおい
て接着その他適当な手段で密に結合され、密閉容器Ａが
形成されている。
図１はこの発明の第１実施例で、密閉容器の試料台を駆
動する電気機械変換素子を使用した駆動装置の断面図を
示す。図１において、フレ−ム１１の上に箱体１２が配
置され、フレ−ム１１と箱体１２とは部分１２ａにおい
て接着その他適当な手段で密に結合され、密閉容器Ａが
形成されている。
【００１５】フレ−ム１１上には支持部材１３が形成さ
れ、支持部材１３の側面に圧電素子１４の一方の端部が
接着固定されている。１５は駆動軸で、箱体１２の薄肉
部１７を貫通し、その一端は圧電素子１４の端部の接着
固定され、他端は箱体１２の内部に設けられた軸受部１
６に嵌合して支持されている。
れ、支持部材１３の側面に圧電素子１４の一方の端部が
接着固定されている。１５は駆動軸で、箱体１２の薄肉
部１７を貫通し、その一端は圧電素子１４の端部の接着
固定され、他端は箱体１２の内部に設けられた軸受部１
６に嵌合して支持されている。
【００１６】軸受部１６は駆動軸１５の軸方向の変位を
許容するように構成されており、また、箱体１２の駆動
軸１５が貫通する薄肉部１７は、駆動軸１５の貫通部を
中心とする弾性変形可能な円形の薄肉部であつて、駆動
軸１５と薄肉部１７とは気密を保つように接着剤により
接着固定１７ａされている。
許容するように構成されており、また、箱体１２の駆動
軸１５が貫通する薄肉部１７は、駆動軸１５の貫通部を
中心とする弾性変形可能な円形の薄肉部であつて、駆動
軸１５と薄肉部１７とは気密を保つように接着剤により
接着固定１７ａされている。
【００１７】この構成により、圧電素子１４が駆動され
て厚み方向の変位が生じたとき、駆動軸１５の軸方向の
変位は許容されると共に、密閉容器Ａは気密を保持する
ことができる。
て厚み方向の変位が生じたとき、駆動軸１５の軸方向の
変位は許容されると共に、密閉容器Ａは気密を保持する
ことができる。
【００１８】スライダブロツク１８には横方向に駆動軸
１５が貫通し、駆動軸１５が貫通している下部には開口
部１８ａが形成され、駆動軸１５の下半分が露出してい
る。また、この開口部１８ａには駆動軸１５の下半分に
当接するパツド１９が嵌挿され、パツド１９には、その
下部に突起１９ａが設けられており、パツド１９の突起
１９ａが板ばね２０により押し上げられ、パツド１９に
は駆動軸１５に当接する上向きの付勢力Ｆが与えられて
いる。なお、２０ａは板ばね２０をスライダブロツク１
８に固定するねじで、ねじ２０ａの締め付け量を調整す
ることで、付勢力Ｆを調整することができる。
１５が貫通し、駆動軸１５が貫通している下部には開口
部１８ａが形成され、駆動軸１５の下半分が露出してい
る。また、この開口部１８ａには駆動軸１５の下半分に
当接するパツド１９が嵌挿され、パツド１９には、その
下部に突起１９ａが設けられており、パツド１９の突起
１９ａが板ばね２０により押し上げられ、パツド１９に
は駆動軸１５に当接する上向きの付勢力Ｆが与えられて
いる。なお、２０ａは板ばね２０をスライダブロツク１
８に固定するねじで、ねじ２０ａの締め付け量を調整す
ることで、付勢力Ｆを調整することができる。
【００１９】この構成により、パツド１９を含むスライ
ダブロツク１８と駆動軸１５とは板ばね２０の付勢力Ｆ
により圧接され、適当な摩擦力で摩擦結合している。図
２はパツド１９を含むスライダブロツク１８と駆動軸１
５との摩擦結合部分の構成を示す断面図である。
ダブロツク１８と駆動軸１５とは板ばね２０の付勢力Ｆ
により圧接され、適当な摩擦力で摩擦結合している。図
２はパツド１９を含むスライダブロツク１８と駆動軸１
５との摩擦結合部分の構成を示す断面図である。
【００２０】２１はスライダブロツク１８の上にねじ等
の適当な固定手段で固定された試料台で、また、２３は
圧電素子１４を駆動する電源部である。
の適当な固定手段で固定された試料台で、また、２３は
圧電素子１４を駆動する電源部である。
【００２１】次に、その動作を説明する。まず、圧電素
子１４に図３に示すような緩やかな立上り部分と急速な
立下り部分を持つ鋸歯状波駆動パルスを印加すると、駆
動パルスの緩やかな立上り部分では、圧電素子１４が緩
やかに厚み方向に伸び変位し、圧電素子１４に結合する
駆動軸１５も正方向（矢印ａ方向）に緩やかに変位す
る。このとき、駆動軸１５に摩擦結合したスライダブロ
ツク１８は摩擦結合力により駆動軸１５と共に正方向に
移動する。
子１４に図３に示すような緩やかな立上り部分と急速な
立下り部分を持つ鋸歯状波駆動パルスを印加すると、駆
動パルスの緩やかな立上り部分では、圧電素子１４が緩
やかに厚み方向に伸び変位し、圧電素子１４に結合する
駆動軸１５も正方向（矢印ａ方向）に緩やかに変位す
る。このとき、駆動軸１５に摩擦結合したスライダブロ
ツク１８は摩擦結合力により駆動軸１５と共に正方向に
移動する。
【００２２】駆動パルスの急速な立下り部分では、圧電
素子１４が急速に厚み方向に縮み変位し、圧電素子１４
に結合する駆動軸１５も負方向（矢印ａと反対方向）に
急速に変位する。このとき、駆動軸１５に摩擦結合した
スライダブロツク１８は、慣性力により摩擦結合力に打
ち勝つて実質的にその位置に留まり、移動しない。圧電
素子１４に前記駆動パルスを連続的に印加することによ
り、スライダブロツク１８、及びこれに固定された試料
台２１を連続的に正方向に移動させることができる。
素子１４が急速に厚み方向に縮み変位し、圧電素子１４
に結合する駆動軸１５も負方向（矢印ａと反対方向）に
急速に変位する。このとき、駆動軸１５に摩擦結合した
スライダブロツク１８は、慣性力により摩擦結合力に打
ち勝つて実質的にその位置に留まり、移動しない。圧電
素子１４に前記駆動パルスを連続的に印加することによ
り、スライダブロツク１８、及びこれに固定された試料
台２１を連続的に正方向に移動させることができる。
【００２３】なお、ここでいう実質的とは、正方向と、
これと反対方向のいずれにおいてもスライダブロツク１
８と駆動軸１５との間の摩擦結合面に滑りを生じつつ追
動し、駆動時間の差によつて全体として矢印ａ方向に移
動するものも含まれる。
これと反対方向のいずれにおいてもスライダブロツク１
８と駆動軸１５との間の摩擦結合面に滑りを生じつつ追
動し、駆動時間の差によつて全体として矢印ａ方向に移
動するものも含まれる。
【００２４】スライダブロツク１８及びこれに固定され
た試料台２１を負方向（矢印ａと反対方向）に移動させ
るには、圧電素子１４に印加する鋸歯状波駆動パルスの
波形を変え、急速な立上り部分と緩やかな立下り部分か
らなる駆動パルスを印加すれば達成することができる。
た試料台２１を負方向（矢印ａと反対方向）に移動させ
るには、圧電素子１４に印加する鋸歯状波駆動パルスの
波形を変え、急速な立上り部分と緩やかな立下り部分か
らなる駆動パルスを印加すれば達成することができる。
【００２５】図４は、図１乃至図３により説明した第１
実施例の試料台駆動装置を、電子顕微鏡の試料台に応用
した構成例の断面図である。図４において、２４は真空
吸引装置、２５は電子顕微鏡、２６は試料を示す。その
他の図１乃至図３に示した構成部分と同一部分には同一
符号を付して説明を省略する。
実施例の試料台駆動装置を、電子顕微鏡の試料台に応用
した構成例の断面図である。図４において、２４は真空
吸引装置、２５は電子顕微鏡、２６は試料を示す。その
他の図１乃至図３に示した構成部分と同一部分には同一
符号を付して説明を省略する。
【００２６】図５は、図１乃至図３により説明した第１
実施例の試料台駆動装置を、半導体ウエハ−へ回路パタ
−ンを焼付ける回路パタ−ン焼付装置に応用した構成例
の断面図である。図５において、２４は真空吸引装置、
２７は焼付装置、２８は半導体ウエハ−を示す。その他
の図１乃至図３に示した構成部分と同一部分には同一符
号を付して説明を省略する。
実施例の試料台駆動装置を、半導体ウエハ−へ回路パタ
−ンを焼付ける回路パタ−ン焼付装置に応用した構成例
の断面図である。図５において、２４は真空吸引装置、
２７は焼付装置、２８は半導体ウエハ−を示す。その他
の図１乃至図３に示した構成部分と同一部分には同一符
号を付して説明を省略する。
【００２７】図６は、この発明の第２実施例を示すもの
で、図７により説明する捩り型の圧電素子を使用した回
転駆動装置を真空蒸着装置に適用した構成例を示す断面
図である。
で、図７により説明する捩り型の圧電素子を使用した回
転駆動装置を真空蒸着装置に適用した構成例を示す断面
図である。
【００２８】図６において、フレ−ム３１の上に箱体３
２が配置され、フレ−ム３１と箱体３２とは部分３２ａ
において接着その他適当な手段で密に結合され、密閉容
器Ａが形成されている。
２が配置され、フレ−ム３１と箱体３２とは部分３２ａ
において接着その他適当な手段で密に結合され、密閉容
器Ａが形成されている。
【００２９】フレ−ム３１上には支持部材３３が形成さ
れ、支持部材３３と箱体３２の一部に形成された軸受部
３５との間に、図７に示す構成の捩り型の圧電素子を使
用した回転駆動装置４０が配置されている。回転駆動装
置４０の駆動軸４２は箱体３２の一部に形成された薄肉
部３４を貫通しており、駆動軸４２が貫通する薄肉部３
４は、駆動軸４２の貫通部を中心とする弾性変形可能な
円形の薄肉部であつて、駆動軸４２と薄肉部３４とは気
密を保つように接着剤により接着固定３４ａされてい
る。
れ、支持部材３３と箱体３２の一部に形成された軸受部
３５との間に、図７に示す構成の捩り型の圧電素子を使
用した回転駆動装置４０が配置されている。回転駆動装
置４０の駆動軸４２は箱体３２の一部に形成された薄肉
部３４を貫通しており、駆動軸４２が貫通する薄肉部３
４は、駆動軸４２の貫通部を中心とする弾性変形可能な
円形の薄肉部であつて、駆動軸４２と薄肉部３４とは気
密を保つように接着剤により接着固定３４ａされてい
る。
【００３０】密閉容器Ａの内部には回転駆動装置４０に
より回転駆動される試料円筒３９が配置されており、そ
の上方には蒸着装置３７が配置されている。また、３６
は密閉容器Ａの内部を真空に保つ真空吸引装置、３８は
圧電素子駆動用の駆動パルスを発生する駆動電源であ
る。
より回転駆動される試料円筒３９が配置されており、そ
の上方には蒸着装置３７が配置されている。また、３６
は密閉容器Ａの内部を真空に保つ真空吸引装置、３８は
圧電素子駆動用の駆動パルスを発生する駆動電源であ
る。
【００３１】以上の構成において、真空吸引装置３６に
より密閉容器Ａの内部を所定の真空圧に保ち、回転駆動
装置４０を作動させて試料円筒３９を回転させ、所望の
蒸着材料を装填して蒸着装置３７を作動させれば、試料
円筒３９上に所望の蒸着材料被膜を蒸着形成することが
できる。
より密閉容器Ａの内部を所定の真空圧に保ち、回転駆動
装置４０を作動させて試料円筒３９を回転させ、所望の
蒸着材料を装填して蒸着装置３７を作動させれば、試料
円筒３９上に所望の蒸着材料被膜を蒸着形成することが
できる。
【００３２】図７は、第２実施例の回転駆動装置４０の
構成を示す分解斜視図である。図７において、フレ−ム
３１上の支持部材３３に、捩り型の圧電素子４１の一方
の端部が接着固定され、圧電素子４１の他方の端部には
駆動軸４２の一端が接着固定されている。駆動軸４２の
他の端部には円盤状部材４３が一体的に形成されてい
る。一方、試料円筒３９をその外側面に保持する被駆動
軸４５には、有底の円筒状部材４４が一体的に形成され
ており、有底の円筒状部材４４に円盤状部材４３が嵌入
係合している。
構成を示す分解斜視図である。図７において、フレ−ム
３１上の支持部材３３に、捩り型の圧電素子４１の一方
の端部が接着固定され、圧電素子４１の他方の端部には
駆動軸４２の一端が接着固定されている。駆動軸４２の
他の端部には円盤状部材４３が一体的に形成されてい
る。一方、試料円筒３９をその外側面に保持する被駆動
軸４５には、有底の円筒状部材４４が一体的に形成され
ており、有底の円筒状部材４４に円盤状部材４３が嵌入
係合している。
【００３３】円筒状部材４４の円筒部の外周部端面に
は、板ばね４６がねじ４６ａで固定されており、円盤状
部材４３を円筒状部材４４に向けて軸方向に付勢し、円
盤状部材４３の端面４３ａと円筒状部材４４の円筒部底
面４４ａとは適当な摩擦力で摩擦結合している。ねじ４
６ａの締め付け量を調整することで、板ばね４６の付勢
力Ｆを調整し、円盤状部材４３と円筒状部材４４との摩
擦結合力を調整することができる。被駆動軸４５の他の
端部（円筒状部材４４とは反対側）４５ａは、図６に示
すように箱体３２の内部に形成された軸受部３５に嵌合
し、被駆動軸４５は回転自在に支持されている。
は、板ばね４６がねじ４６ａで固定されており、円盤状
部材４３を円筒状部材４４に向けて軸方向に付勢し、円
盤状部材４３の端面４３ａと円筒状部材４４の円筒部底
面４４ａとは適当な摩擦力で摩擦結合している。ねじ４
６ａの締め付け量を調整することで、板ばね４６の付勢
力Ｆを調整し、円盤状部材４３と円筒状部材４４との摩
擦結合力を調整することができる。被駆動軸４５の他の
端部（円筒状部材４４とは反対側）４５ａは、図６に示
すように箱体３２の内部に形成された軸受部３５に嵌合
し、被駆動軸４５は回転自在に支持されている。
【００３４】次に、その動作を説明する。まず、圧電素
子４１に図３に示すような緩やかな立上り部分と急速な
立下り部分を持つ鋸歯状波駆動パルスを印加すると、駆
動パルスの緩やかな立上り部分では、圧電素子４１が矢
印ｂ方向に緩やかに捩れ変位を生じ、駆動軸４２を介し
て結合されている円盤状部材４３も矢印ｂ方向に緩やか
に捩れ変位する。このとき、円盤状部材４３に摩擦結合
した円筒状部材４４は摩擦結合力により円盤状部材４３
と共に矢印ｂ方向に変位する。
子４１に図３に示すような緩やかな立上り部分と急速な
立下り部分を持つ鋸歯状波駆動パルスを印加すると、駆
動パルスの緩やかな立上り部分では、圧電素子４１が矢
印ｂ方向に緩やかに捩れ変位を生じ、駆動軸４２を介し
て結合されている円盤状部材４３も矢印ｂ方向に緩やか
に捩れ変位する。このとき、円盤状部材４３に摩擦結合
した円筒状部材４４は摩擦結合力により円盤状部材４３
と共に矢印ｂ方向に変位する。
【００３５】駆動パルスの急速な立下り部分では、圧電
素子４１が急速に矢印ｃ方向（矢印ｂと反対方向）に捩
れ変位を生じ、駆動軸４２を介して結合されている円盤
状部材４３も矢印ｃ方向（矢印ｂと反対方向）に急速に
捩れて変位する。このとき、円盤状部材４３に摩擦結合
した円筒状部材４４は、慣性力により摩擦結合力に打ち
勝つて実質的にその位置に留まり、捩れ変位を生じな
い。圧電素子４１に前記駆動パルスを連続的に印加する
ことにより円筒状部材４４を連続的に矢印ｂ方向に回転
させることができる。
素子４１が急速に矢印ｃ方向（矢印ｂと反対方向）に捩
れ変位を生じ、駆動軸４２を介して結合されている円盤
状部材４３も矢印ｃ方向（矢印ｂと反対方向）に急速に
捩れて変位する。このとき、円盤状部材４３に摩擦結合
した円筒状部材４４は、慣性力により摩擦結合力に打ち
勝つて実質的にその位置に留まり、捩れ変位を生じな
い。圧電素子４１に前記駆動パルスを連続的に印加する
ことにより円筒状部材４４を連続的に矢印ｂ方向に回転
させることができる。
【００３６】なお、ここでいう実質的とは、矢印ｂ方向
と矢印ｃ方向（矢印ｂと反対方向）のいずれにおいても
円盤状部材４３と円筒状部材４４との間の摩擦結合面４
３ａ、４４ａに滑りを生じつつ追動し、駆動時間の差に
よつて全体として矢印ｂ方向に回転するものも含まれ
る。
と矢印ｃ方向（矢印ｂと反対方向）のいずれにおいても
円盤状部材４３と円筒状部材４４との間の摩擦結合面４
３ａ、４４ａに滑りを生じつつ追動し、駆動時間の差に
よつて全体として矢印ｂ方向に回転するものも含まれ
る。
【００３７】円筒部材４３を矢印ｃ方向（矢印ｂと反対
方向）に回転させるには、圧電素子４１に印加する鋸歯
状波駆動パルスの波形を変え、急速な立上り部分と緩や
かな立下り部分からなる駆動パルスを印加すれば達成す
ることができる。
方向）に回転させるには、圧電素子４１に印加する鋸歯
状波駆動パルスの波形を変え、急速な立上り部分と緩や
かな立下り部分からなる駆動パルスを印加すれば達成す
ることができる。
【００３８】図８乃至図１１は、図１に示した構成にお
いて、密閉容器Ａを構成する箱体１２の薄肉部１７とこ
れを貫通する駆動軸１５との間の気密構造の変形例を示
すものである。図８は、薄肉部１７と駆動軸１５との間
を接着剤１７ａで接着固定したものである。図９は、薄
肉部１７の変形量を増加させるために薄肉部を蛇腹構造
１７ｃとしたもので、薄肉部の蛇腹構造１７ｃと駆動軸
１５との間は接着剤１７ｄで接着固定してある。図１０
は、薄肉部を金属板１７ｅとし、薄肉部の金属板１７ｅ
と箱体１２及び駆動軸１５との間を溶接固定１７ｆした
ものである。
いて、密閉容器Ａを構成する箱体１２の薄肉部１７とこ
れを貫通する駆動軸１５との間の気密構造の変形例を示
すものである。図８は、薄肉部１７と駆動軸１５との間
を接着剤１７ａで接着固定したものである。図９は、薄
肉部１７の変形量を増加させるために薄肉部を蛇腹構造
１７ｃとしたもので、薄肉部の蛇腹構造１７ｃと駆動軸
１５との間は接着剤１７ｄで接着固定してある。図１０
は、薄肉部を金属板１７ｅとし、薄肉部の金属板１７ｅ
と箱体１２及び駆動軸１５との間を溶接固定１７ｆした
ものである。
【００３９】また、図１１は、駆動軸１５が箱体１２の
薄肉部を貫通しない構造としたもので、密閉容器Ａ内の
駆動軸１５を弾性変形可能な薄肉部１７ｇを隔てて圧電
素子１４の端部に対向する位置に配置し、駆動軸１５と
薄肉部１７ｇとは接着剤で接着固定１７ｈしたものであ
る。この構成においても圧電素子１４の厚み方向の変位
は薄肉部１７ｇの弾性変形により駆動軸１５に伝達する
ことができる。図８乃至図１１に示す変形例は、図４乃
至図６に示す構成のものに適用することができる。
薄肉部を貫通しない構造としたもので、密閉容器Ａ内の
駆動軸１５を弾性変形可能な薄肉部１７ｇを隔てて圧電
素子１４の端部に対向する位置に配置し、駆動軸１５と
薄肉部１７ｇとは接着剤で接着固定１７ｈしたものであ
る。この構成においても圧電素子１４の厚み方向の変位
は薄肉部１７ｇの弾性変形により駆動軸１５に伝達する
ことができる。図８乃至図１１に示す変形例は、図４乃
至図６に示す構成のものに適用することができる。
【００４０】図１２は、この発明の第３実施例で、密閉
容器Ａの内部に圧電素子を使用した駆動装置を設置した
ものである。
容器Ａの内部に圧電素子を使用した駆動装置を設置した
ものである。
【００４１】フレ−ム１１の上に箱体５２が配置され、
フレ−ム５１と箱体５２とは部分５２ａにおいて接着そ
の他適当な手段で密に結合され、密閉容器Ａが形成され
ている。密閉容器Ａの内部には支持部材５３が形成さ
れ、支持部材５３の側面に圧電素子５４の一方の端部が
接着固定されている。５５は駆動軸で、その一端は圧電
素子５４の端部の接着固定され、他端は箱体５２の内部
に形成された軸受部５６に嵌合して支持されている。軸
受部５６は駆動軸１５の軸方向の変位を許容するように
構成されている点は第１実施例と同じである。
フレ−ム５１と箱体５２とは部分５２ａにおいて接着そ
の他適当な手段で密に結合され、密閉容器Ａが形成され
ている。密閉容器Ａの内部には支持部材５３が形成さ
れ、支持部材５３の側面に圧電素子５４の一方の端部が
接着固定されている。５５は駆動軸で、その一端は圧電
素子５４の端部の接着固定され、他端は箱体５２の内部
に形成された軸受部５６に嵌合して支持されている。軸
受部５６は駆動軸１５の軸方向の変位を許容するように
構成されている点は第１実施例と同じである。
【００４２】試料台６１を保持するスライダブロツク５
８には横方向に駆動軸５５が貫通し、駆動軸５５が貫通
している下部には開口部５８ａが形成され、駆動軸５５
の下半分が露出している。また、この開口部５８ａには
駆動軸５５の下半分に当接するパツド５９が嵌挿され、
パツド５９には、その下部に突起５９ａが設けられてお
り、パツド５９の突起５９ａが板ばね６０により押し上
げられ、パツド５９には駆動軸５５に当接する上向きの
付勢力Ｆが与えられている。６０ａは板ばね６０をスラ
イダブロツク５８に固定するねじで、ねじ６０ａの締め
付け量を調整することで、付勢力Ｆを調整することがで
きる。この部分の構成は、図１に示す第１実施例の構成
と同一である。
８には横方向に駆動軸５５が貫通し、駆動軸５５が貫通
している下部には開口部５８ａが形成され、駆動軸５５
の下半分が露出している。また、この開口部５８ａには
駆動軸５５の下半分に当接するパツド５９が嵌挿され、
パツド５９には、その下部に突起５９ａが設けられてお
り、パツド５９の突起５９ａが板ばね６０により押し上
げられ、パツド５９には駆動軸５５に当接する上向きの
付勢力Ｆが与えられている。６０ａは板ばね６０をスラ
イダブロツク５８に固定するねじで、ねじ６０ａの締め
付け量を調整することで、付勢力Ｆを調整することがで
きる。この部分の構成は、図１に示す第１実施例の構成
と同一である。
【００４３】この構成の動作は、図１に示す第１実施例
の動作と同じである。即ち、まず、圧電素子５４に図３
に示すような緩やかな立上り部分と急速な立下り部分を
持つ鋸歯状波駆動パルスを連続して印加すると、圧電素
子５４及びこれに結合した駆動軸５５は連続して緩やか
な伸び変位と急速な縮み変位を生じる。駆動軸５５に生
じた軸方向の速度の異なる往復変位は駆動軸５５に摩擦
結合したスライダブロツク５８及び試料台６１を実質的
に矢印ａ方向に移動させることができる。
の動作と同じである。即ち、まず、圧電素子５４に図３
に示すような緩やかな立上り部分と急速な立下り部分を
持つ鋸歯状波駆動パルスを連続して印加すると、圧電素
子５４及びこれに結合した駆動軸５５は連続して緩やか
な伸び変位と急速な縮み変位を生じる。駆動軸５５に生
じた軸方向の速度の異なる往復変位は駆動軸５５に摩擦
結合したスライダブロツク５８及び試料台６１を実質的
に矢印ａ方向に移動させることができる。
【００４４】上記した第３実施例は、図１や図６に示し
た構成のように、密閉容器を貫通する駆動軸がなく、貫
通部分に発生する弾性変形する薄肉部の振動の影響を受
けることもないから、密閉容器の密閉度に対する信頼性
が高い。また、密閉容器を駆動軸が貫通する部分に薄肉
部の形成など特別な構成を必要としないから、図１や図
６に示した構成のものより低コストで製造することがで
きる。
た構成のように、密閉容器を貫通する駆動軸がなく、貫
通部分に発生する弾性変形する薄肉部の振動の影響を受
けることもないから、密閉容器の密閉度に対する信頼性
が高い。また、密閉容器を駆動軸が貫通する部分に薄肉
部の形成など特別な構成を必要としないから、図１や図
６に示した構成のものより低コストで製造することがで
きる。
【００４５】この構成は、駆動部分に潤滑油など揮発性
物質が使用されていないので、特に真空環境などで使用
される試料台の駆動に適した構成である。この構成は密
閉容器内部に圧電素子が配置されるから、密閉容器内部
の雰囲気が圧電素子を劣化させないものであることが条
件となる。
物質が使用されていないので、特に真空環境などで使用
される試料台の駆動に適した構成である。この構成は密
閉容器内部に圧電素子が配置されるから、密閉容器内部
の雰囲気が圧電素子を劣化させないものであることが条
件となる。
【００４６】
【発明の効果】以上、詳細に説明したとおり、この発明
の電気機械変換素子を使用した駆動装置は、試料台など
を移動させる移動部材を外部から遮蔽された環境に配置
したもので、この構成により、特殊な環境、例えば真空
など減圧された環境、高温度環境、電子ビ−ム等に影響
を及ぼす電磁波が遮断された環境などにおいても、電気
機械変換素子や駆動機構などに影響を与えることがない
から、使用状態に応じた最適の環境を準備することがで
きる。
の電気機械変換素子を使用した駆動装置は、試料台など
を移動させる移動部材を外部から遮蔽された環境に配置
したもので、この構成により、特殊な環境、例えば真空
など減圧された環境、高温度環境、電子ビ−ム等に影響
を及ぼす電磁波が遮断された環境などにおいても、電気
機械変換素子や駆動機構などに影響を与えることがない
から、使用状態に応じた最適の環境を準備することがで
きる。
【図１】この発明の第１実施例の試料台駆動装置の構成
を示す断面図。
を示す断面図。
【図２】図１に示す駆動装置の摩擦結合部分の拡大断面
図。
図。
【図３】圧電素子に印加する駆動パルスの波形の一例を
示す図。
示す図。
【図４】図１に示す駆動装置を電子顕微鏡の試料台に適
用した例を示す断面図。
用した例を示す断面図。
【図５】図１に示す駆動装置を半導体焼付装置に適用し
た例を示す断面図。
た例を示す断面図。
【図６】この発明の第２実施例の試料台駆動装置を真空
蒸着装置に適用した例を示す断面図。
蒸着装置に適用した例を示す断面図。
【図７】第２実施例の駆動装置に使用する駆動機構の構
成を示す分解斜視図。
成を示す分解斜視図。
【図８】密閉容器の駆動軸貫通部分の変形例を示す断面
図（その１）。
図（その１）。
【図９】密閉容器の駆動軸貫通部分の変形例を示す断面
図（その２）。
図（その２）。
【図１０】密閉容器の駆動軸貫通部分の変形例を示す断
面図（その３）。
面図（その３）。
【図１１】密閉容器に駆動軸を貫通させない構成を示す
断面図。
断面図。
【図１２】密閉容器内部に圧電素子を含む駆動機構を設
置した構成を示す断面図。
置した構成を示す断面図。
【図１３】従来の試料台駆動装置の一例を示す断面図
（その１）。
（その１）。
【図１４】従来の試料台駆動装置の一例を示す断面図
（その２）。
（その２）。
【図１５】従来の試料台駆動装置の一例を示す断面図
（その３）。
（その３）。
１１ フレ−ム １２ 箱体 １４ 圧電素子 １５ 駆動軸 １８ スライダブロツク １９ パツド ２０ 板ばね ２１ 試料台
Claims (7)
- 【請求項１】 基台と、 基台に一端が固定された電気機械変換素子と、 前記電気機械変換素子に一端が固定され電気機械変換素
子に生ずる変位方向に移動自在に支持された駆動部材
と、 前記駆動部材に摩擦結合した移動部材と、 前記電気機械変換素子に異なる速度の往復変位を発生さ
せるように駆動する駆動手段とを備え、前記電気機械変
換素子に生ずる異なる速度の往復変位に基づいて駆動部
材を往復変位させ、該駆動部材に摩擦結合した移動部材
を所定方向に移動させる電気機械変換素子を使用した駆
動装置において、 少なくとも前記移動部材を外部から遮蔽された環境に配
置したことを特徴とする電気機械変換素子を使用した駆
動装置。 - 【請求項２】 前記外部から遮蔽された環境は減圧され
た環境であることを特徴とする請求項１記載の電気機械
変換素子を使用した駆動装置。 - 【請求項３】 前記外部から遮蔽された環境は高温度環
境であることを特徴とする請求項１記載の電気機械変換
素子を使用した駆動装置。 - 【請求項４】 前記外部から遮蔽された環境は電子ビ−
ム等に影響を及ぼす電磁波が遮断された環境であること
を特徴とする請求項１記載の電気機械変換素子を使用し
た駆動装置。 - 【請求項５】 基台と、 基台に一端が固定された電気機械変換素子と、 前記電気機械変換素子に一端が固定され電気機械変換素
子に生ずる変位方向に移動自在に支持された駆動部材
と、 前記駆動部材に摩擦結合した移動部材と、 前記電気機械変換素子に異なる速度の往復変位を発生さ
せるように駆動する駆動手段とを備え、前記電気機械変
換素子に生ずる異なる速度の往復変位に基づいて駆動部
材を往復変位させ、該駆動部材に摩擦結合した移動部材
を所定方向に移動させる電気機械変換素子を使用した駆
動装置において、 少なくとも前記移動部材を配置する密閉容器を備え、 前記密閉容器外部に配置された電気機械変換素子と密閉
容器を貫通して密閉容器内部に延長された駆動部材を介
して密閉容器内部に配置された移動部材を所定方向に駆
動することを特徴とする電気機械変換素子を使用した駆
動装置。 - 【請求項６】 基台と、 基台に一端が固定された電気機械変換素子と、 前記電気機械変換素子に生ずる変位が伝達されたとき、
電気機械変換素子の変位方向に移動する駆動部材と、 前記駆動部材に摩擦結合した移動部材と、 前記電気機械変換素子に異なる速度の往復変位を発生さ
せるように駆動する駆動手段とを備え、前記電気機械変
換素子に生ずる異なる速度の往復変位に基づいて駆動部
材を往復変位させ、該駆動部材に摩擦結合した移動部材
を所定方向に移動させる電気機械変換素子を使用した駆
動装置において、 少なくとも前記移動部材を配置する密閉容器と、 前記密閉容器外部に配置された電気機械変換素子に発生
する変位を密閉容器内部の駆動部材に伝達する密閉容器
壁面に設けた変位伝達手段とを備え、 前記駆動部材は前記変位伝達手段を介して密閉容器内部
の駆動部材に伝達された電気機械変換素子の変位に基づ
いて密閉容器内部の移動部材を所定方向に駆動すること
を特徴とする電気機械変換素子を使用した駆動装置。 - 【請求項７】 基台と、 基台に一端が固定された電気機械変換素子と、 前記電気機械変換素子に一端が固定され電気機械変換素
子に生ずる変位方向に移動自在に支持された駆動部材
と、 前記駆動部材に摩擦結合した移動部材と、 前記電気機械変換素子に異なる速度の往復変位を発生さ
せるように駆動する駆動手段とを備え、前記電気機械変
換素子に生ずる異なる速度の往復変位に基づいて駆動部
材を往復変位させ、該駆動部材に摩擦結合した移動部材
を所定方向に移動させる電気機械変換素子を使用した駆
動装置において、 前記電気機械変換素子、駆動部材、及び移動部材を外部
から遮蔽された環境に配置したことを特徴とする電気機
械変換素子を使用した駆動装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7544396A JPH09247967A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 電気機械変換素子を使用した駆動装置 |
| US08/796,649 US5847488A (en) | 1996-03-06 | 1997-03-04 | Apparatus having drive device using electromechanical transducer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7544396A JPH09247967A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 電気機械変換素子を使用した駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09247967A true JPH09247967A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=13576407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7544396A Pending JPH09247967A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 電気機械変換素子を使用した駆動装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5847488A (ja) |
| JP (1) | JPH09247967A (ja) |
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|---|---|
| US5847488A (en) | 1998-12-08 |
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