JP3398186B2 - 真空内駆動装置 - Google Patents
真空内駆動装置Info
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- JP3398186B2 JP3398186B2 JP18365493A JP18365493A JP3398186B2 JP 3398186 B2 JP3398186 B2 JP 3398186B2 JP 18365493 A JP18365493 A JP 18365493A JP 18365493 A JP18365493 A JP 18365493A JP 3398186 B2 JP3398186 B2 JP 3398186B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば電子ビーム描画
装置等に適用され、半導体基板などの被移動体を移動さ
せる真空内駆動装置に関する。
装置等に適用され、半導体基板などの被移動体を移動さ
せる真空内駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体製造装置等の電子ビ―ム
描画装置では、真空容器（真空チャンバー）内に、Ｘス
テ―ジ、Ｙステ―ジを有するステージ装置を設け、該ス
テージ装置の上面に設けられたホルダ上に半導体基板を
載置して描画するようになっている。
描画装置では、真空容器（真空チャンバー）内に、Ｘス
テ―ジ、Ｙステ―ジを有するステージ装置を設け、該ス
テージ装置の上面に設けられたホルダ上に半導体基板を
載置して描画するようになっている。
【０００３】また、特に大形マスク用描画装置には、描
画される基板のサイズが種々で、その厚さの種類に対応
するために、前記Ｙステ―ジ上にＺステ―ジを付設した
Ｘ、Ｙ、Ｚステージを有するステージ装置が使用され
る。
画される基板のサイズが種々で、その厚さの種類に対応
するために、前記Ｙステ―ジ上にＺステ―ジを付設した
Ｘ、Ｙ、Ｚステージを有するステージ装置が使用され
る。
【０００４】従来、Ｚステージを移動させるＺステージ
移動手段としては、例えば特開昭５９−１１７１１８号
公報に見られるように、ピエゾ素子を用いたものが一般
的である。
移動手段としては、例えば特開昭５９−１１７１１８号
公報に見られるように、ピエゾ素子を用いたものが一般
的である。
【０００５】しかしながら、ピエゾ素子を使用した場
合、移動ストロ―クが小さく、基板の曲りの補正程度は
できるが、基板厚さの種類に対応することはできず、ホ
ルダ―に基板を底上げする機構を持たせて、２つの機構
で対処する必要があった。
合、移動ストロ―クが小さく、基板の曲りの補正程度は
できるが、基板厚さの種類に対応することはできず、ホ
ルダ―に基板を底上げする機構を持たせて、２つの機構
で対処する必要があった。
【０００６】一方、大きなストロークを得るために、ナ
ット部材（雌ねじ部材）およびこのナット部材に螺合す
るねじ部材を用いた駆動系とすることが考えられるが、
電子ビ―ム描画装置の場合においては、ゴミの影響を嫌
うため、前記ねじ部材を駆動する駆動装置に、ゴミを発
生するモータは使用できないといった問題があり、実用
化されていないのが現状である。
ット部材（雌ねじ部材）およびこのナット部材に螺合す
るねじ部材を用いた駆動系とすることが考えられるが、
電子ビ―ム描画装置の場合においては、ゴミの影響を嫌
うため、前記ねじ部材を駆動する駆動装置に、ゴミを発
生するモータは使用できないといった問題があり、実用
化されていないのが現状である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
真空内駆動装置においては、ゴミの発生の悪影響で、モ
ータを駆動源とした大きなストロークを実現できるもの
がなく、半導体基板などの被移動体の厚さの変動に十分
対応できないといった問題があった。
真空内駆動装置においては、ゴミの発生の悪影響で、モ
ータを駆動源とした大きなストロークを実現できるもの
がなく、半導体基板などの被移動体の厚さの変動に十分
対応できないといった問題があった。
【０００８】本発明は、上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、ゴミの発生の悪影響がな
く、しかも、大きなストロークを実現できる真空内駆動
装置を提供することにある。
で、その目的とするところは、ゴミの発生の悪影響がな
く、しかも、大きなストロークを実現できる真空内駆動
装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するための手段として、真空容器内に可動ステ−ジを有
する電子ビーム描画装置等の真空内駆動装置において、
モータと、このモータの外周を気密に覆うカバー容器
と、このカバー容器とモータの出力軸との間に設けられ
た気密性を有する軸シールとからなり、前記カバー容器
内をカバー容器外から気密に遮断可能にしてなる駆動装
置を、前記真空容器内に設置して前記可動ステージを駆
動すべく構成したものである。
するための手段として、真空容器内に可動ステ−ジを有
する電子ビーム描画装置等の真空内駆動装置において、
モータと、このモータの外周を気密に覆うカバー容器
と、このカバー容器とモータの出力軸との間に設けられ
た気密性を有する軸シールとからなり、前記カバー容器
内をカバー容器外から気密に遮断可能にしてなる駆動装
置を、前記真空容器内に設置して前記可動ステージを駆
動すべく構成したものである。
【００１０】
【作用】本発明の真空内駆動装置によれば、モータの外
周が、カバー容器で気密に覆われ、気密な軸シ―ルを介
して出力軸を突出させた構成とし、これを真空容器内に
設けるようにしたため、モータから発生したゴミは、カ
バー容器内に封じ込められ、真空容器内空間に漏れ出し
て悪影響を及ぼすことがなく、装置構成を簡単にできる
とともに、大きなストロ−クを実現させることができ
る。
周が、カバー容器で気密に覆われ、気密な軸シ―ルを介
して出力軸を突出させた構成とし、これを真空容器内に
設けるようにしたため、モータから発生したゴミは、カ
バー容器内に封じ込められ、真空容器内空間に漏れ出し
て悪影響を及ぼすことがなく、装置構成を簡単にできる
とともに、大きなストロ−クを実現させることができ
る。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１および図２を
参照して詳細に説明する。図１は、本発明の真空内駆動
装置１の構成を示すもので、真空内駆動装置１は真空容
器としての真空チャンバー内に設置される。
参照して詳細に説明する。図１は、本発明の真空内駆動
装置１の構成を示すもので、真空内駆動装置１は真空容
器としての真空チャンバー内に設置される。
【００１２】真空内駆動装置１は、ベース５と、このベ
ース５の上面側にガイド手段６，６を介して載設され図
中左右方向（Ｘ方向）に水平移動するＸステージ７と、
このＸステージ７の上面側にガイド手段８，８を介して
載設され図中前後方向（Ｙ方向）に水平移動するＹステ
ージ９を有する。
ース５の上面側にガイド手段６，６を介して載設され図
中左右方向（Ｘ方向）に水平移動するＸステージ７と、
このＸステージ７の上面側にガイド手段８，８を介して
載設され図中前後方向（Ｙ方向）に水平移動するＹステ
ージ９を有する。
【００１３】そして、前記ベース５、Ｘステージ７、Ｙ
ステ―ジ９からなるＸＹテ―ブル１０を構成している。
さらに、ＸＹテ―ブル１０上には、上下方向（Ｚ方向）
に移動可能なＺステージ１１が設けられている。
ステ―ジ９からなるＸＹテ―ブル１０を構成している。
さらに、ＸＹテ―ブル１０上には、上下方向（Ｚ方向）
に移動可能なＺステージ１１が設けられている。
【００１４】このＺステージ１１の上面には、被移動体
である半導体基板１２を保持するホルダ１３と、位置測
定用のレーザミラー１４が搭載されている。また、Ｚス
テージ１１は、Ｚステージ移動装置１５により移動され
る。
である半導体基板１２を保持するホルダ１３と、位置測
定用のレーザミラー１４が搭載されている。また、Ｚス
テージ１１は、Ｚステージ移動装置１５により移動され
る。
【００１５】このＺステージ移動装置１５は、Ｚステー
ジ１１の下面側に設けられた楔ステージ１６を有する。
楔ステージ１６は、Ｙステ―ジ９の上面側にガイド手段
１７，１７を介して載設され、前記Ｘステージ７と同方
向に移動可能となっている。
ジ１１の下面側に設けられた楔ステージ１６を有する。
楔ステージ１６は、Ｙステ―ジ９の上面側にガイド手段
１７，１７を介して載設され、前記Ｘステージ７と同方
向に移動可能となっている。
【００１６】楔ステージ１６の上面には、一対の傾斜ガ
イド面１６Ａ，１６Ａが形成されており、一方、Ｚステ
ージ１１の下面には、前記一対の傾斜ガイド面１６Ａ，
１６Ａに対応し同方向に傾斜する一対の傾斜ガイド面１
１Ａ，１１Ａが形成されている。そして、これら一対の
傾斜ガイド面１６Ａ，１６Ａと傾斜ガイド面１１Ａ，１
１Ａとの間には、ガイド手段１８，１８が設けられた状
態となっている。
イド面１６Ａ，１６Ａが形成されており、一方、Ｚステ
ージ１１の下面には、前記一対の傾斜ガイド面１６Ａ，
１６Ａに対応し同方向に傾斜する一対の傾斜ガイド面１
１Ａ，１１Ａが形成されている。そして、これら一対の
傾斜ガイド面１６Ａ，１６Ａと傾斜ガイド面１１Ａ，１
１Ａとの間には、ガイド手段１８，１８が設けられた状
態となっている。
【００１７】また、Ｚステージ１１の一端側（図中左端
側）には、下方に突出する状態にガイド片１１Ｂが設け
られていると共に、Ｙステ―ジ９の一端側（図中左端
側）には、上方に突出する状態にガイド片９Ａが設けら
れている。そして、これらガイド片１１Ｂとガイド片９
Ａとの間には、ガイド手段２０が設けられた状態となっ
ており、楔ステージ１６は上下方向（Ｚ方向）にのみ移
動可能となっている。
側）には、下方に突出する状態にガイド片１１Ｂが設け
られていると共に、Ｙステ―ジ９の一端側（図中左端
側）には、上方に突出する状態にガイド片９Ａが設けら
れている。そして、これらガイド片１１Ｂとガイド片９
Ａとの間には、ガイド手段２０が設けられた状態となっ
ており、楔ステージ１６は上下方向（Ｚ方向）にのみ移
動可能となっている。
【００１８】また、Ｚステージ移動装置１５は、楔ステ
ージ１６を図中左右方向（Ｘ方向）に水平移動させる楔
ステージ移動手段としての楔ステージ移動装置２１を有
する。
ージ１６を図中左右方向（Ｘ方向）に水平移動させる楔
ステージ移動手段としての楔ステージ移動装置２１を有
する。
【００１９】楔ステージ移動装置２１は、楔ステージ１
６に取付けられたナット部材２２、および、このナット
部材２２に螺合するねじ部材であるボールねじ２３と、
このボールねじ２３を駆動することにより楔ステージ１
６を水平方向に移動させてＺステージ１１を上下方向に
移動させる駆動装置２４とからなる。
６に取付けられたナット部材２２、および、このナット
部材２２に螺合するねじ部材であるボールねじ２３と、
このボールねじ２３を駆動することにより楔ステージ１
６を水平方向に移動させてＺステージ１１を上下方向に
移動させる駆動装置２４とからなる。
【００２０】また、駆動装置２４は、図２に示すよう
に、カバー容器３０で外周が覆われ軸シールとしてのリ
ップシール３１を介して出力軸３２Ａを突出させた非磁
性モータである超音波モータ３２からなる。
に、カバー容器３０で外周が覆われ軸シールとしてのリ
ップシール３１を介して出力軸３２Ａを突出させた非磁
性モータである超音波モータ３２からなる。
【００２１】カバー容器３０は、出力軸３２Ａが貫通す
る軸貫通口３０Ａを底部中央に有する有底筒状のカバー
容器本体３０Ｂと、このカバー容器本体３０Ｂの開口部
を閉塞する蓋体３０Ｃとからなり、前記蓋体３０Ｃに
は、モータ３２に電力を供給する端子３３，３３を保持
した端子板３４が取付けられている。
る軸貫通口３０Ａを底部中央に有する有底筒状のカバー
容器本体３０Ｂと、このカバー容器本体３０Ｂの開口部
を閉塞する蓋体３０Ｃとからなり、前記蓋体３０Ｃに
は、モータ３２に電力を供給する端子３３，３３を保持
した端子板３４が取付けられている。
【００２２】また、前記リップシール３１は、出力軸３
２Ａに密に嵌合する内径部を有した環状を呈しており、
この部分の真空シ―ルおよびダストシ―ルをするもので
あり、カバー容器本体３０Ｂとこのカバー容器本体３０
Ｂにねじ止めされた押え板３５との間で挟持される。
２Ａに密に嵌合する内径部を有した環状を呈しており、
この部分の真空シ―ルおよびダストシ―ルをするもので
あり、カバー容器本体３０Ｂとこのカバー容器本体３０
Ｂにねじ止めされた押え板３５との間で挟持される。
【００２３】また、カバー容器本体３０Ｂと蓋体３０
Ｃ、および蓋体３０Ｃと端子板３４のそれぞれの接合部
には、シール部材であるＯリング３６が配設されてい
て、気密性が保持されるようになっている。
Ｃ、および蓋体３０Ｃと端子板３４のそれぞれの接合部
には、シール部材であるＯリング３６が配設されてい
て、気密性が保持されるようになっている。
【００２４】そして、このようにカバー容器３０を完全
にシ―ルし、前記真空チャンバー２内の空間４０が真空
状態になっても、カバー容器３０の内部空間４５に大気
の領域を確保できるようになっている。
にシ―ルし、前記真空チャンバー２内の空間４０が真空
状態になっても、カバー容器３０の内部空間４５に大気
の領域を確保できるようになっている。
【００２５】しかして、上記超音波モータ３２を駆動さ
せると、この出力軸３２Ａと連結状態にあるボールねじ
２３が一体に回転し、このボールねじ２３と螺合状態に
あるナット部材２２が装着された楔ステージ１６が水平
方向に移動する。そして、楔ステージ１６の移動に伴い
Ｚステージ１１が上下方向に移動する。
せると、この出力軸３２Ａと連結状態にあるボールねじ
２３が一体に回転し、このボールねじ２３と螺合状態に
あるナット部材２２が装着された楔ステージ１６が水平
方向に移動する。そして、楔ステージ１６の移動に伴い
Ｚステージ１１が上下方向に移動する。
【００２６】すなわち、Ｚステージ１１を上昇させる場
合には、図１の状態において、楔ステージ１６を、図中
左方向に移動するように超音波モータ３２を駆動させ、
また逆に、Ｚステージ１１を下降させる場合には、図１
の状態において、楔ステージ１６を図中右方向に移動さ
せるように超音波モータ３２を駆動させる。
合には、図１の状態において、楔ステージ１６を、図中
左方向に移動するように超音波モータ３２を駆動させ、
また逆に、Ｚステージ１１を下降させる場合には、図１
の状態において、楔ステージ１６を図中右方向に移動さ
せるように超音波モータ３２を駆動させる。
【００２７】そして、この楔ステージ１６の水平方向の
動きは、ガイド手段１８，１８が介在された傾斜ガイド
面１１Ａ，１１Ａと１６Ａ，１６Ａ、およびガイド手段
２０が介在されたガイド片９Ａと１１Ｂとの作用によ
り、Ｚステ―ジ１５を上下方向（Ｚ方向）に移動させ、
その上に載置されているホルダ１３、基板１２、レ―ザ
ミラ―１４等を一体的に移動させることになる。
動きは、ガイド手段１８，１８が介在された傾斜ガイド
面１１Ａ，１１Ａと１６Ａ，１６Ａ、およびガイド手段
２０が介在されたガイド片９Ａと１１Ｂとの作用によ
り、Ｚステ―ジ１５を上下方向（Ｚ方向）に移動させ、
その上に載置されているホルダ１３、基板１２、レ―ザ
ミラ―１４等を一体的に移動させることになる。
【００２８】本発明の真空内駆動装置１によれば、Ｚス
テージ１１を移動させるＺステージ移動装置１５が、前
記Ｚステージ１１の下面側に設けられ楔ステージ１６
と、この楔ステージ１６に取付けられたナット部材２２
およびこのナット部材２２に螺合するねじ部材であるボ
ールねじ２３と、このボールねじ２３を駆動することに
より楔ステージ１６を水平方向に移動させてＺステージ
１１を上下方向に移動させる駆動装置２４とからなる楔
ステージ移動装置２１とで構成したから、従来のピエゾ
素子を用いるものに比べ、大きなＺストロークを実現で
き、被移動体である半導体基板１２の曲り補正は勿論の
こと、厚さの変動に十分対応し得、従来のようにホルダ
１３に基板１２を底上げする機能を持たせる必要がな
い。
テージ１１を移動させるＺステージ移動装置１５が、前
記Ｚステージ１１の下面側に設けられ楔ステージ１６
と、この楔ステージ１６に取付けられたナット部材２２
およびこのナット部材２２に螺合するねじ部材であるボ
ールねじ２３と、このボールねじ２３を駆動することに
より楔ステージ１６を水平方向に移動させてＺステージ
１１を上下方向に移動させる駆動装置２４とからなる楔
ステージ移動装置２１とで構成したから、従来のピエゾ
素子を用いるものに比べ、大きなＺストロークを実現で
き、被移動体である半導体基板１２の曲り補正は勿論の
こと、厚さの変動に十分対応し得、従来のようにホルダ
１３に基板１２を底上げする機能を持たせる必要がな
い。
【００２９】しかも、前記駆動装置２４が、カバー容器
３０で外周が覆われ、軸シ―ルとしてのリップシール３
１を介して出力軸３２Ａを突出させた非磁性モータであ
る超音波モータ３２からなる構成としたから、モータ３
２から発生したゴミは、カバー容器３０内に封じ込めら
れ、真空チャンバー２内の空間４０に漏れ出して悪影響
を及ぼすことがなく、しかも、非磁性モータである超音
波モータ３２を使用するため磁力の悪影響もない。
３０で外周が覆われ、軸シ―ルとしてのリップシール３
１を介して出力軸３２Ａを突出させた非磁性モータであ
る超音波モータ３２からなる構成としたから、モータ３
２から発生したゴミは、カバー容器３０内に封じ込めら
れ、真空チャンバー２内の空間４０に漏れ出して悪影響
を及ぼすことがなく、しかも、非磁性モータである超音
波モータ３２を使用するため磁力の悪影響もない。
【００３０】この様に、本発明の真空内駆動装置１にお
いては、非磁性のＺステ―ジをシンプルでかつ大ストロ
―クに作ることができる。図３は、前記駆動装置２４の
変形例を示すもので、この駆動装置２４０は、次のよう
な構成となっている。なお、前記駆動装置２４と同一構
成部分は同一の符号を付して説明を省略する。
いては、非磁性のＺステ―ジをシンプルでかつ大ストロ
―クに作ることができる。図３は、前記駆動装置２４の
変形例を示すもので、この駆動装置２４０は、次のよう
な構成となっている。なお、前記駆動装置２４と同一構
成部分は同一の符号を付して説明を省略する。
【００３１】すなわち、駆動装置２４０は、超音波モー
タ３２の出力軸３２Ａは軸シールとしてのリップシール
３１を介して突出した状態となっている。また、この超
音波モータ３２の外周を覆うカバー容器３００は、一端
開口部がリップシール３１により塞がれ、他端開口部が
モータ３２に電力を供給する端子３３，３３を保持した
端子板３４０により塞がれる筒状のカバー容器本体３０
０Ｂを有し、このカバー容器本体３００Ｂには、カバー
容器内空間４５と外部空間４０とを連通する通孔５０が
形成されている。そして、この通孔５０には、０．１μ
ｍレベルのフィルター５１が取付けられている。
タ３２の出力軸３２Ａは軸シールとしてのリップシール
３１を介して突出した状態となっている。また、この超
音波モータ３２の外周を覆うカバー容器３００は、一端
開口部がリップシール３１により塞がれ、他端開口部が
モータ３２に電力を供給する端子３３，３３を保持した
端子板３４０により塞がれる筒状のカバー容器本体３０
０Ｂを有し、このカバー容器本体３００Ｂには、カバー
容器内空間４５と外部空間４０とを連通する通孔５０が
形成されている。そして、この通孔５０には、０．１μ
ｍレベルのフィルター５１が取付けられている。
【００３２】しかして、外部空間４０が大気圧の時は、
カバー容器内空間４５も大気圧になり、外部空間４０が
真空の時はカバー容器内空間４５も真空になり、気圧差
による破裂やリ―クの危険が回避されるとともに、通孔
５０には、フィルター５１が取付けられているためカバ
ー容器内空間４５内で発生したゴミが外部空間４０に放
出することはない。
カバー容器内空間４５も大気圧になり、外部空間４０が
真空の時はカバー容器内空間４５も真空になり、気圧差
による破裂やリ―クの危険が回避されるとともに、通孔
５０には、フィルター５１が取付けられているためカバ
ー容器内空間４５内で発生したゴミが外部空間４０に放
出することはない。
【００３３】図４は、他の実施例で、真空チャンバ２内
にベース５を置き、ベアリング６を介してＸステージ７
が設けられ、この上にベアリング（図示しない）を介し
てＹステージ９があり、その上にホルダ１３、半導体基
板１２が載置されている。
にベース５を置き、ベアリング６を介してＸステージ７
が設けられ、この上にベアリング（図示しない）を介し
てＹステージ９があり、その上にホルダ１３、半導体基
板１２が載置されている。
【００３４】Ｘステージ７は、ボールねじ６０、ナット
部材６１、ブラケット６２を介してＸ方向に駆動され
る。Ｙステージ９は、ボールねじ７０、ナット部材７
１、ブラケット７２を介してＹ方向に駆動される。
部材６１、ブラケット６２を介してＸ方向に駆動され
る。Ｙステージ９は、ボールねじ７０、ナット部材７
１、ブラケット７２を介してＹ方向に駆動される。
【００３５】ボールねじ７０は、Ｘステージ７にブラケ
ット７３を介して取付いている駆動装置２４によって駆
動される。この駆動装置２４は、図２または図３で説明
した駆動装置である。
ット７３を介して取付いている駆動装置２４によって駆
動される。この駆動装置２４は、図２または図３で説明
した駆動装置である。
【００３６】電子ビーム描画装置では、発磁性のもの
（例えばコイル等）や透磁率の大きいもの（例えば鋼
等）が描画中に走行すると、電子ビーム通路の磁場の変
動をきたし、描画精度を悪くするので、従来の電気モー
タではこの様な構成にすることは不可能であったが、超
音波モータのように非磁性で構成可能な駆動体によれ
ば、この様に構成できる。しかし、超音波モータは、駆
動の原理から発塵が避けられないが、本案の如き構造と
することで、その問題点を回避することができた。その
他、本発明は、上記の実施例に限らず、本発明の要旨を
変えない範囲で種々の変形実施可能なことは勿論であ
る。
（例えばコイル等）や透磁率の大きいもの（例えば鋼
等）が描画中に走行すると、電子ビーム通路の磁場の変
動をきたし、描画精度を悪くするので、従来の電気モー
タではこの様な構成にすることは不可能であったが、超
音波モータのように非磁性で構成可能な駆動体によれ
ば、この様に構成できる。しかし、超音波モータは、駆
動の原理から発塵が避けられないが、本案の如き構造と
することで、その問題点を回避することができた。その
他、本発明は、上記の実施例に限らず、本発明の要旨を
変えない範囲で種々の変形実施可能なことは勿論であ
る。
【００３７】
【発明の効果】以上、説明したように本発明の装置によ
れば、駆動装置が、モータの外周がカバー容器で気密に
覆われ、気密な軸シールを介して出力軸を突出させた構
成とし、これを真空容器内に設けるようにしたため、モ
ータから発生したゴミは、カバー容器内に封じ込めら
れ、真空容器内空間に漏れ出して悪影響を及ぼすことが
なく、装置構成を簡単にできるとともに、大きなストロ
ークを実現させることができるといった効果を奏する。
れば、駆動装置が、モータの外周がカバー容器で気密に
覆われ、気密な軸シールを介して出力軸を突出させた構
成とし、これを真空容器内に設けるようにしたため、モ
ータから発生したゴミは、カバー容器内に封じ込めら
れ、真空容器内空間に漏れ出して悪影響を及ぼすことが
なく、装置構成を簡単にできるとともに、大きなストロ
ークを実現させることができるといった効果を奏する。
【図１】本発明の真空内駆動装置の一実施例を示す概略
的断面図。
的断面図。
【図２】同実施例の要部である駆動装置の概略的拡大断
面図。
面図。
【図３】要部である駆動装置の変形例を示す概略的断面
図。
図。
【図４】本発明の真空内駆動装置の他の実施例を示す概
略的断面図。
略的断面図。
１…真空内駆動装置、２…真空チャンバー（真空容
器）、５…ベース、６…ガイド手段、７…Ｘステージ、
８…ガイド手段、９…Ｙステージ、９Ａ…ガイド片、１
０…ＸＹテ―ブル、１１…Ｚステージ、１１Ａ…傾斜ガ
イド面、１１Ｂ…ガイド片、１２…半導体基板（被移動
体）、１３…ホルダ、１４…位置測定用のレーザミラ
ー、１５…Ｚステージ移動装置、１６…楔ステージ、１
６Ａ…傾斜ガイド面、１７…ガイド手段、１８…ガイド
手段、２０…ガイド手段、２１…楔ステージ移動装置
（楔ステージ移動手段）、２２…ナット部材、２３…ボ
ールねじ（ねじ部材）、２４…駆動装置、３０…カバー
容器、３０Ａ…軸貫通口、３０Ｂ…カバー容器本体、３
０Ｃ…蓋体、３１…リップシール（軸シール）、３２…
超音波モータ（非磁性モータ）、３２Ａ…出力軸、３３
…端子、３４…端子板、３５…押え板、３６…Ｏリング
（シール部材）、４０…空間、４５…内部空間、５０…
通孔、５１…フィルター、２４０…駆動装置、３００…
カバー容器、３００Ｂ…カバー容器本体、３４０…端子
板。
器）、５…ベース、６…ガイド手段、７…Ｘステージ、
８…ガイド手段、９…Ｙステージ、９Ａ…ガイド片、１
０…ＸＹテ―ブル、１１…Ｚステージ、１１Ａ…傾斜ガ
イド面、１１Ｂ…ガイド片、１２…半導体基板（被移動
体）、１３…ホルダ、１４…位置測定用のレーザミラ
ー、１５…Ｚステージ移動装置、１６…楔ステージ、１
６Ａ…傾斜ガイド面、１７…ガイド手段、１８…ガイド
手段、２０…ガイド手段、２１…楔ステージ移動装置
（楔ステージ移動手段）、２２…ナット部材、２３…ボ
ールねじ（ねじ部材）、２４…駆動装置、３０…カバー
容器、３０Ａ…軸貫通口、３０Ｂ…カバー容器本体、３
０Ｃ…蓋体、３１…リップシール（軸シール）、３２…
超音波モータ（非磁性モータ）、３２Ａ…出力軸、３３
…端子、３４…端子板、３５…押え板、３６…Ｏリング
（シール部材）、４０…空間、４５…内部空間、５０…
通孔、５１…フィルター、２４０…駆動装置、３００…
カバー容器、３００Ｂ…カバー容器本体、３４０…端子
板。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/027
H01J 37/317
B23Q 5/22
H01L 21/68
Claims (4)
- 【請求項１】 真空容器内に可動ステ−ジを有する電子
ビーム描画装置等の真空内駆動装置において、前記真空容器内に設置され、 モータと、 このモータの外周を気密に覆うとともに、その内部がフ
ィルターを介して前記真空容器内空間とつながっている
カバー容器と、 このカバー容器とモータの出力軸との間に設けられた気
密性を有する軸シールとからなり、前記出力軸を介して 前記可動ステージを駆動すべく構成
されていることを特徴とする真空内駆動装置。 - 【請求項２】 前記モータが、非磁性の超音波モ―タか
らなることを特徴とする請求項１に記載の真空内駆動装
置。 - 【請求項３】 前記可動ステージが、水平に移動するＸ
ステージと、このＸステージの移動方向に対して直交す
る水平方向に移動するＹステージと、上下方向に移動可
能なＺステージとを有し、前記出力軸を介して少なくと
もいずれか１つのステージを駆動すべく構成されている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の真空内駆動
装置。 - 【請求項４】 前記出力軸を介して、Ｚステージまたは
ステップ送りされるＸもしくはＹステージを駆動すべく
構成されていることを特徴とする請求項３に記載の真空
内駆動装置。
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|---|---|---|---|
| JP18365493A JP3398186B2 (ja) | 1993-07-26 | 1993-07-26 | 真空内駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18365493A JP3398186B2 (ja) | 1993-07-26 | 1993-07-26 | 真空内駆動装置 |
Publications (2)
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|---|---|
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| JP3398186B2 true JP3398186B2 (ja) | 2003-04-21 |
Family
ID=16139593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18365493A Expired - Fee Related JP3398186B2 (ja) | 1993-07-26 | 1993-07-26 | 真空内駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3398186B2 (ja) |
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-
1993
- 1993-07-26 JP JP18365493A patent/JP3398186B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH0737794A (ja) | 1995-02-07 |
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