JPH0637176A - 保管箱の防塵装置及びその着脱機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 保管箱を他の装置に接続する際の接続面を容
易に防塵でき、しかも着脱が自動的に行える保管箱の防
塵装置及びその着脱機構を提供すること。 【構成】 保管箱８０のキャップ８３を取り付けた面
に、その内部を真空にすることで吸着する防塵カバー１
０を取り付ける。防塵カバー１０に穴１３を設け、その
外側に磁性体１７を設けた閉止板１５を置く。閉止板１
５に対向して内部に永久磁石３７１とコイル３７２から
なる第１の電磁石３７を設け直動駆動軸５１に連結した
ブロック３１を配置する。このブロック３１を内部が中
空で真空排気，大気開放の通路６７となるアーム６５内
部に収容する。防塵カバー１０には磁性体２７を設け
る。アーム６５の通路６７の開口端部６７１が防塵カバ
ー１０に接したときに磁性体２７と一定の隙間で対向す
るようにアーム６５に永久磁石７１とコイル７３とから
なる第２の電磁石６９を取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体製造プロセスその
他において、ウエハ，ガラス基板，ディスク等の搬送・
保管に用いる保管箱に関し、特に該保管箱の防塵装置及
びその着脱機構に関するものである。

【０００２】

【従来技術】従来、半導体製造プロセスその他における
各プロセス間のウエハ，ガラス基板，ディスク等の搬送
並びに保管に、内部を真空状態とした保管箱の利用が提
案されていた。

【０００３】この種の保管箱は容器状の保管箱本体の内
部に内容物を収納してその開口にキャップを取り付け、
該保管箱本体内部を真空にすることで該キャップを保管
箱本体に吸着・固定せしめて構成されている（例えば特
願平２−３１２８２５号）。

【０００４】そしてこの保管箱本体からキャップを取り
外すには、この保管箱のキャップを取り付けた面を接続
室に接続し、該接続室の内部を真空排気し、これによっ
て保管箱の内部圧力と接続室の内部圧力を同一としキャ
ップの保管箱本体への吸着を解除し、しかる後に該キャ
ップを取り外していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで従来保管箱外
側の防塵については何ら考慮されておらず、一方、保管
箱の搬送や保管は、必ずしも高いレベルのクリーンルー
ム内のみで行われるとは限らなかった。このため該保管
箱の周囲に塵が付着してしまうことがあった。

【０００６】そして上記方法で保管箱のキャップの着脱
を行った場合に該保管箱の接続室への接続面（主として
キャップの表面）に塵が付着していた場合は、該塵が接
続室に入り込んでしまうという問題点があった。

【０００７】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、保管箱を他の装置に接続する際の接
続面を容易に防塵でき、しかも着脱が自動的に行える保
管箱の防塵装置及びその着脱機構を提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、内容物を収納する保管箱本体８１と該保管
箱本体８１の開口を塞ぐキャップ８３を具備し該保管箱
本体８１の内部を真空にして前記キャップ８３を保管箱
本体８１の開口に吸着して固定する保管箱８０におい
て、前記キャップ８３の取り付け・取り外しを自動的に
行う接続室への前記保管箱８０の接続面に、開口部１１
を有し該開口部１１を該保管箱８０の接続面に密着して
その内部を真空にすることで吸着せしめる防塵カバー１
０を取り付けることで保管箱の防塵装置を構成した。

【０００９】また本発明は、前記防塵カバー１０の開口
部１１以外の面に少なくとも１か所の穴１３を設けると
ともに、該穴１３の外側には着脱自在であってその所定
位置に磁性体１７を設けた閉止板１５を置き、この閉止
板１５に対向して内部に永久磁石３７１とコイル３７２
からなる第１の電磁石３７を設け、直動駆動軸５１に連
結したブロック３１を配置し、該ブロック３１を内部が
中空で真空排気，大気開放の通路６７となるアーム６５
内部に収容し、一方前記防塵カバー１０の所定位置には
磁性体２７を設け、アーム６５の前記通路６７の開口端
部６７１が防塵カバー１０の閉止板１５を囲むように該
防塵カバー１０に接したときに該防塵カバー１０の磁性
体２７と一定の隙間で対向するようにこのアーム６５に
永久磁石７１とコイル７３とからなる第２の電磁石６９
を設け、防塵カバー１０の把持は第２の電磁石６９で行
い、閉止板１５の開閉は第１の電磁石３７で行うように
防塵装置の着脱機構を構成した。

【００１０】

【作用】本発明にかかる保管箱の防塵装置によれば、防
塵カバー１０によって保管箱８０の接続室への接続面が
容易に防塵でき、その清浄度が容易に維持できる。

【００１１】また本発明にかかる防塵装置の着脱機構に
よれば、防塵カバー１０の着脱が自動的に容易に行え
る。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の１実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図２は本発明にかかる保管箱の防塵装置
を示す概略断面図である。同図において、８０は保管箱
であり、該保管箱８０は内容物１２０を収納する保管箱
本体８１と、該保管箱本体８１の開口を塞ぐキャップ８
３を具備し、該保管箱本体８１の内部を真空にして前記
キャップ８３を保管箱本体８１に吸着・固定せしめて構
成されている。

【００１３】一方、保管箱本体８１のつば部８５には、
キャップ８３を囲むように防塵カバー１０が取り付けら
れている。この防塵カバー１０は開口部１１を有し、該
開口部１１をキャップ側に向けてその外周端を保管箱本
体８１のつば部８５に気密状に密接せしめ、該防塵カバ
ー１０の内部を真空にすることで、保管箱本体８１に吸
着・固定され、同時にキャップ８３を押し付け固定す
る。

【００１４】また防塵カバー１０には穴１３が設けら
れ、且つ該穴１３は平板状の閉止板１５によって塞がれ
ている。この閉止板１５は防塵カバー１０の内部を真空
にしたときに該穴１３に吸着される。またこの閉止板１
５の両面にはそれぞれ磁性体１６，１７が取り付けられ
ている。

【００１５】一方防塵カバー１０の他の所定位置にも穴
１９が設けられ、且つ該穴１９は平板状の板２１によっ
て塞がれている。この板２１はボルト２３によって防塵
カバー１０に固定され、その内側面には磁性体２５が取
り付けられている。

【００１６】さらに該防塵カバー１０の中央の外側には
磁性体２７が取り付けられている。

【００１７】このように保管箱８０の他の装置に接続す
る接続面を防塵カバーで覆っておけば、該接続面に塵が
付着しなくなる。

【００１８】次に図１は本発明にかかる保管箱の防塵装
置の着脱機構３０を示す概略断面図である。同図におい
て、前記閉止板１５に対向する位置には、内部に第１の
電磁石３７を収納したブロック３１が配設されている。
このブロック３１は内部に第１の電磁石３７を収納した
状態で部材３３と部材３５を一体に固定することによっ
て構成されている。このブロック３１はアーム６５に設
けた中空の通路６７内に収容されている。この通路６７
は真空排気と大気開放を行う為のものである。

【００１９】一方ブロック３１の部材３５には棒部材３
９が固定され、該棒部材３９には直動部材４１が固定さ
れている。この直動部材４１はアーム６５に固定された
支持台４３のレール４５上に載置され、ロードセル４９
を介して取り付けられた直動駆動軸５１によって駆動さ
れる。直動駆動軸５１はベアリング５３によって回転自
在とされたナット５５の内部に螺合されている。該ナッ
ト５５にはタイミングプーリが取り付けられており、ベ
ルト５７を介して駆動モータ５９の駆動プーリ６１によ
って駆動される。つまり駆動モータ５９が回転すると、
ナット５５が回転し、これによって直動駆動軸５１が直
動し、ブロック３１が直動する。なお６３はブロック３
１を収納したアーム６５の通路６７を密封するベローズ
である。

【００２０】なおブロック３１の部材３５と棒部材３９
の中央に設けた穴３５１，３９１は前記コイル３７２の
配線を外部に引き出すためのものである。

【００２１】次にアーム６５の上部には、第２の電磁石
６９が固定されている。この第２の電磁石６９は、永久
磁石７１の外周にコイル７３を巻き回して構成されてい
る。この第２の電磁石６９はその先端が、前記アーム６
５の通路６７の開口端部６７１が閉止板１５を囲むよう
に防塵カバー１０に接したときに該防塵カバー１０の磁
性体２７と一定の隙間で対向するように配設されてい
る。なおアーム６５の通路６７は図示しない真空バルブ
とリークバルブに接続され、リークバルブを閉じて真空
バルブを開くと該通路６７内は真空となり、真空バルブ
を閉じてリークバルブを開くと該通路６７内は大気圧と
なる。

【００２２】またアーム６５の下方には、取り外した防
塵カバー１０を掛けておくための防塵カバー塞止板７５
が配設されている。この防塵カバー塞止板７５には永久
磁石からなる突起７６，７７が設けられている。

【００２３】次にこの着脱機構３０の動作を図１乃至図
５を用いて説明する。ここで図３は防塵カバー１０の取
り外し工程を示す図である。同図に示すように時間ｔ＝
０においては、防塵カバー１０内の圧力は真空で、保管
箱８０に吸着しており、アーム６５内の圧力は大気圧状
態である。また２つのコイル３７２，７３には通電され
ておらず、それぞれ永久磁石３７１，７１の磁力が作用
しているとする。

【００２４】防塵カバー１０を取り外すには、まずコイ
ル７３に永久磁石７１の磁力を打ち消す方向に電流を流
して電磁石６９の磁力を０とする（時間ｔ₁）。

【００２５】次にアーム６５を保管箱８０方向に移動し
て（ｔ₁〜ｔ₂）、アーム６５を防塵カバー１０に当接さ
せる。このとき通路６７の開口端部６７１は閉止板１５
を囲むように防塵カバー１０に当接し、また第２の電磁
石６９の先端は防塵カバー１０の磁性体２７に近接す
る。

【００２６】次にコイル７３への通電をオフし、電磁石
６９に磁力を発生させ、第２の電磁石６９に防塵カバー
１０を吸引させる（ｔ₂〜ｔ₃）。同時にコイル３７２に
永久磁石３７１の磁力を打ち消す方向に電流を流し、電
磁石３７の磁力を０とする（ｔ₂）。次にモータ５９を
駆動してブロック３１を保管箱８０方向に移動し（ｔ₂
〜ｔ₃）、ブロック３１の端面を閉止板１５の磁性体１
７に当接させる。次にコイル３７２への通電をオフし、
電磁石３７に磁力を発生させ、閉止板１５をブロック３
１に吸着させる。

【００２７】次に図示しないアーム６５の真空バルブを
開いて該アーム６５の通路６７内を真空とする（ｔ₅〜
ｔ₆）。これによって防塵カバー１０の内部の圧力とア
ーム６５の通路６７の圧力が同一となり、閉止板１５は
防塵カバー１０に吸着しなくなる。そして駆動モータ５
９を駆動してブロック３１を後退させれば、閉止板１５
もこれに吸着されて後退し、防塵カバー１０から取り外
される（ｔ₇〜ｔ₈）。

【００２８】そして次に図示しないアーム６５のリーク
バルブを開いてその通路６７内を大気圧とする（ｔ₉〜
ｔ₁₀）。このとき防塵カバー１０の穴１３を介して防塵
カバー１０の内部も大気圧となる。防塵カバー１０の内
部が大気圧になると該防塵カバー１０は若干のすきまで
対向していた第２の電磁石６９に吸着される。

【００２９】次にアーム６５を後退させれば、保管箱８
０から防塵カバー１０が取り外せる（ｔ₁₁〜ｔ₁₂）。

【００３０】そしてアーム６５を下方向に移動して、こ
の防塵カバー１０を防塵カバー塞止板７５に取り付け
る。このときの状態を図４に示す。同図に示すように、
防塵カバー塞止板７５の突起７６，７７は永久磁石で構
成されているので、これらに防塵カバー１０の板２１の
磁性体２５と閉止板１５の磁性体１６を吸着させておけ
ば、防塵カバー１０と閉止板１５はこの防塵カバー塞止
板７５に固定され、同時に保管箱８０に吸着される開口
部１１側が密閉され、防塵カバー１０内に汚染物質が付
着しにくくなる。

【００３１】次に図５は防塵カバー１０の取り付け工程
を示す図である。まず時間ｔ＝０においては、防塵カバ
ー１０は第２の電磁石６９に吸着されて保管箱８０とは
引き離された位置に保持されており、閉止板１５はブロ
ック３１に吸着されて防塵カバー１０の穴１３とは引き
離された位置に保持されている。まずアーム６５を前進
させて（ｔ₂〜ｔ₃）、防塵カバー１０を保管箱８０に当
接させる。

【００３２】次に図示しないアーム６５の真空バルブを
開いて、アーム６５の通路６７を真空にするとともに、
穴１３を介して防塵カバー１０内を真空とする（ｔ₅〜
ｔ₆）。これによって防塵カバー１０は保管箱８０に吸
着する。

【００３３】次に駆動モータ５９を駆動してブロック３
１を前進させて閉止板１５を防塵カバー１０に当接さ
せ、その穴１３を塞ぐ（ｔ₇〜ｔ₈）。

【００３４】次に図示しないアーム６５の真空バルブを
閉じてリークバルブを開き、アーム６５の通路６７を大
気圧とする（ｔ₉〜ｔ₁₀）。これによって閉止板１５は
防塵カバー１０に吸着され、固定される。

【００３５】次に２つのコイル３７２，７３に通電して
２つの永久磁石３７１，７１の磁力を打ち消して
（ｔ₁₁）、２つの電磁石３７，６９と２つの磁性体１
７，２７間の吸着をなくした後、アーム６５とブロック
３１を後退させる（ｔ₁₂〜ｔ₁₃）。

【００３６】そして最後に２つのコイル３７２，７３へ
の通電をオフする（ｔ₁₄）。

【００３７】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる保管箱の防塵装置によれば、保管箱の接続室への接
続面が容易に防塵でき、その清浄度が容易に維持でき
る。

【００３８】また本発明にかかる防塵装置の着脱機構に
よれば、防塵装置の着脱が自動的に容易に行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる防塵装置の着脱機構３０を示す
概略断面図である。

【図２】本発明にかかる保管箱の防塵装置を示す概略断
面図である。

【図３】防塵カバー１０の取り外し工程を示す図であ
る。

【図４】防塵カバー１０を防塵カバー塞止板７５に取り
付けた状態を示す図である。

【図５】防塵カバー１０の取り付け工程を示す図であ
る。

【符号の説明】

１０ 防塵カバー １１ 開口部 １３ 穴 １５ 閉止板 １７ 磁性体 ２７ 磁性体 ３０ 着脱機構 ３１ ブロック ３７ 第１の電磁石 ３７１ 永久磁石 ３７２ コイル ５１ 直動駆動軸 ６５ アーム ６７ 通路 ６７１ 開口端部 ６９ 第２の電磁石 ７１ 永久磁石 ７３ コイル ８０ 保管箱 ８１ 保管箱本体 ８３ キャップ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内容物を収納する保管箱本体と該保管箱
   本体の開口を塞ぐキャップを具備し該保管箱本体の内部
   を真空にして前記キャップを保管箱本体の開口に吸着し
   て固定する保管箱において、 前記キャップの取り付け・取り外しを自動的に行う接続
   室への前記保管箱の接続面に、開口部を有し該開口部を
   該保管箱の接続面に密着してその内部を真空にすること
   で吸着せしめる防塵カバーを取り付けたことを特徴とす
   る保管箱の防塵装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の防塵カバーの所定位置に
   少なくとも１か所の穴を設けるとともに、該穴の外側に
   は着脱自在であってその所定位置に磁性体を設けた閉止
   板を置き、 この閉止板に対向して内部に永久磁石とコイルからなる
   第１の電磁石を設け、直動駆動軸に連結したブロックを
   配置し、 該ブロックを内部が中空で真空排気，大気開放の通路と
   なるアーム内部に収容し、 一方前記防塵カバーの所定位置には磁性体を設け、 アームの前記通路の開口端部が防塵カバーの閉止板を囲
   むように該防塵カバーに接したときに該防塵カバーの磁
   性体と一定の隙間で対向するようにこのアームに永久磁
   石とコイルとからなる第２の電磁石を設け、 防塵カバーの把持は第２の電磁石で行い、閉止板の開閉
   は第１の電磁石で行うことを特徴とする防塵装置の着脱
   機構。