JP2526829Y2 - 真空用ゲート弁装置 - Google Patents
真空用ゲート弁装置Info
- Publication number
- JP2526829Y2 JP2526829Y2 JP7320992U JP7320992U JP2526829Y2 JP 2526829 Y2 JP2526829 Y2 JP 2526829Y2 JP 7320992 U JP7320992 U JP 7320992U JP 7320992 U JP7320992 U JP 7320992U JP 2526829 Y2 JP2526829 Y2 JP 2526829Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve box
- bonnet flange
- box
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、真空用ゲート弁装置に
関し、特に、弁板駆動機構を有するボンネットフランジ
を容易に弁箱から離脱させ、弁箱内のメンテナンス性の
向上を計るための新規な改良に関する。
関し、特に、弁板駆動機構を有するボンネットフランジ
を容易に弁箱から離脱させ、弁箱内のメンテナンス性の
向上を計るための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置などの真空雰囲気
下で用いられるこの種の真空用ゲート弁装置において
は、内部で用いられる腐食性ガスにさらされることなど
から、ゴムシール材等のシール部材の劣化が非常に速
く、また、発生するプラズマ反応生成物によって汚染さ
れ、極めて短期間でシール部材の交換又は弁箱内のプラ
ズマ反応生成物のクリーニングなど、弁内部のメンテナ
ンスをたびたび行うことが余儀なくされている。このよ
うにメンテナンス頻度が多いため、ゲート弁装置全体を
取外すことなく、弁箱は真空容器等に取り付けたまま、
ボンネットフランジを取外し、連結されている弁板及び
弁棒をボンネットフランジとともに手で引出して、所要
のメンテナンスを行っている。このとき、実際には、弁
箱内の弁板、弁棒の位置に注意しつつ、ボンネットフラ
ンジを人手にて、持上げて取外している。
下で用いられるこの種の真空用ゲート弁装置において
は、内部で用いられる腐食性ガスにさらされることなど
から、ゴムシール材等のシール部材の劣化が非常に速
く、また、発生するプラズマ反応生成物によって汚染さ
れ、極めて短期間でシール部材の交換又は弁箱内のプラ
ズマ反応生成物のクリーニングなど、弁内部のメンテナ
ンスをたびたび行うことが余儀なくされている。このよ
うにメンテナンス頻度が多いため、ゲート弁装置全体を
取外すことなく、弁箱は真空容器等に取り付けたまま、
ボンネットフランジを取外し、連結されている弁板及び
弁棒をボンネットフランジとともに手で引出して、所要
のメンテナンスを行っている。このとき、実際には、弁
箱内の弁板、弁棒の位置に注意しつつ、ボンネットフラ
ンジを人手にて、持上げて取外している。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】従来の真空用ゲート弁
装置は以上のように構成されていたため、次のような課
題が存在していた。すなわち、ボンネットフランジを外
して、弁箱内の弁板、弁棒を引出すとき、弁板あるいは
弁棒など弁箱内に位置する部品が弁箱と接触し、損傷を
受けることがあった。また、この取外す部品が重量物の
場合は、人手では非常に困難であり、クレーン等の吊り
上げ装置を用いても、非常に操作性が悪く、弁箱との接
触を避けることは極めて困難であった。
装置は以上のように構成されていたため、次のような課
題が存在していた。すなわち、ボンネットフランジを外
して、弁箱内の弁板、弁棒を引出すとき、弁板あるいは
弁棒など弁箱内に位置する部品が弁箱と接触し、損傷を
受けることがあった。また、この取外す部品が重量物の
場合は、人手では非常に困難であり、クレーン等の吊り
上げ装置を用いても、非常に操作性が悪く、弁箱との接
触を避けることは極めて困難であった。
【０００４】本考案は以上のような課題を解決するため
になされたもので、特に、弁板駆動機構を有するボンネ
ットフランジを容易に弁箱から離脱させ、弁箱内のメン
テナンスの向上を計るようにした真空用ゲート弁装置を
提供することを目的とする。
になされたもので、特に、弁板駆動機構を有するボンネ
ットフランジを容易に弁箱から離脱させ、弁箱内のメン
テナンスの向上を計るようにした真空用ゲート弁装置を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案による真空用ゲー
ト弁装置は、弁箱の開口を弁板により開閉し、前記弁板
を往復動させる弁板駆動機構を有するボンネットフラン
ジで前記弁箱を密閉するように構成した真空用ゲート弁
装置において、前記ボンネットフランジは、前記弁箱の
外部に設けられた直動案内機構によって前記弁箱と接離
自在にした構成である。
ト弁装置は、弁箱の開口を弁板により開閉し、前記弁板
を往復動させる弁板駆動機構を有するボンネットフラン
ジで前記弁箱を密閉するように構成した真空用ゲート弁
装置において、前記ボンネットフランジは、前記弁箱の
外部に設けられた直動案内機構によって前記弁箱と接離
自在にした構成である。
【０００６】さらに詳細には、前記直動案内機構は前記
弁箱の側面に設けられたガイドレールと、前記ボンネッ
トフランジに設けられ前記ガイドレールと摺動する直動
案内軸受とからなる構成である。
弁箱の側面に設けられたガイドレールと、前記ボンネッ
トフランジに設けられ前記ガイドレールと摺動する直動
案内軸受とからなる構成である。
【０００７】さらに詳細には、前記ボンネットフランジ
は、駆動体により駆動される構成である。
は、駆動体により駆動される構成である。
【０００８】
【作用】本考案による真空用ゲート弁装置においては、
ボンネットフランジを弁箱に接合させることにより弁箱
が密閉され、真空源を介して弁箱を真空雰囲気とするこ
とができる。この状態で弁板駆動機構を介して弁板を往
復動させることによって弁箱の開口の開閉を行うことが
でき、弁箱に対してワークの搬出入を行うことができ
る。また、弁箱内の清掃等のメンテナンスを行う場合、
まず、直動案内機構を介してボンネットフランジを弁箱
から離脱させると、弁板及び弁棒は弁箱及び弁箱内の部
品との接触を懸念することなく容易に分解が可能とな
る。
ボンネットフランジを弁箱に接合させることにより弁箱
が密閉され、真空源を介して弁箱を真空雰囲気とするこ
とができる。この状態で弁板駆動機構を介して弁板を往
復動させることによって弁箱の開口の開閉を行うことが
でき、弁箱に対してワークの搬出入を行うことができ
る。また、弁箱内の清掃等のメンテナンスを行う場合、
まず、直動案内機構を介してボンネットフランジを弁箱
から離脱させると、弁板及び弁棒は弁箱及び弁箱内の部
品との接触を懸念することなく容易に分解が可能とな
る。
【０００９】
【実施例】以下、図面と共に本考案による真空用ゲート
弁装置の好適な実施例について詳細に説明する。図１か
ら図３迄は、本考案による真空用ゲート弁装置を示すも
ので、図１はボンネットフランジを上昇させた状態を示
す構成図、図２はボンネットフランジを降下させて弁箱
を密閉した状態を示す構成図、図３は図１の要部の他の
実施例を示す構成図である。
弁装置の好適な実施例について詳細に説明する。図１か
ら図３迄は、本考案による真空用ゲート弁装置を示すも
ので、図１はボンネットフランジを上昇させた状態を示
す構成図、図２はボンネットフランジを降下させて弁箱
を密閉した状態を示す構成図、図３は図１の要部の他の
実施例を示す構成図である。
【００１０】図１において符号１で示されるものは半導
体装置等のチャンバ（図示せず）に接続された開口２を
有する弁箱であり、この弁箱１の側面１ａに沿って設け
られた複数のガイドレール３には、直動案内軸受４を介
してボンネットフランジ５が矢印Ａの方向に沿って往復
移動できるように構成されている。
体装置等のチャンバ（図示せず）に接続された開口２を
有する弁箱であり、この弁箱１の側面１ａに沿って設け
られた複数のガイドレール３には、直動案内軸受４を介
してボンネットフランジ５が矢印Ａの方向に沿って往復
移動できるように構成されている。
【００１１】前記直動案内軸受４とボンネットフランジ
５とは、Ｌ型部材６及び取付ボルト７を介して一体状に
固定されており、この直動案内軸受４及びガイドレール
３とにより前記ボンネットフランジ５を直線状に往復移
動させるための直動案内機構８を構成している。
５とは、Ｌ型部材６及び取付ボルト７を介して一体状に
固定されており、この直動案内軸受４及びガイドレール
３とにより前記ボンネットフランジ５を直線状に往復移
動させるための直動案内機構８を構成している。
【００１２】前記ボンネットフランジ５上には箱状の保
持台９を介してモータ、エアシリンダ、油圧シリンダ等
の何れかからなる弁板駆動機構１０が設けられており、
この弁板駆動機構１０には弁板１１を有する弁棒１２が
接続されている。
持台９を介してモータ、エアシリンダ、油圧シリンダ等
の何れかからなる弁板駆動機構１０が設けられており、
この弁板駆動機構１０には弁板１１を有する弁棒１２が
接続されている。
【００１３】前記弁板１１は、前記開口２を開閉するこ
とができる形状に構成され、前記弁棒１２は前記ボンネ
ットフランジ５の中心に形成された案内孔１３を貫通し
ている。前記弁棒１２の上部位置に設けられた鍔部１４
と前記ボンネットフランジ５間には筒状のベローズ１５
が設けられ、このベローズ１５により前記案内孔１３は
外部から閉塞された状態に構成されている。
とができる形状に構成され、前記弁棒１２は前記ボンネ
ットフランジ５の中心に形成された案内孔１３を貫通し
ている。前記弁棒１２の上部位置に設けられた鍔部１４
と前記ボンネットフランジ５間には筒状のベローズ１５
が設けられ、このベローズ１５により前記案内孔１３は
外部から閉塞された状態に構成されている。
【００１４】なお、前述のベローズ１５は、この構成に
限ることなく、例えば、筒状に摺動できるシール体等の
他の手段を用いることができると共に、前記弁板駆動機
構１０、ベローズ１５及びボンネットフランジ５等によ
りボンネット組立体１６を構成している。
限ることなく、例えば、筒状に摺動できるシール体等の
他の手段を用いることができると共に、前記弁板駆動機
構１０、ベローズ１５及びボンネットフランジ５等によ
りボンネット組立体１６を構成している。
【００１５】本考案による真空用ゲート弁装置は、前述
したように構成されており、以下に、その動作について
説明する。まず、直動案内機構８を介してボンネットフ
ランジ５を降下させ、図１から図２に示すようにボンネ
ットフランジ５を弁箱１の上部板１ｂに接合させること
により、弁箱１は外部とは遮断された密閉状態となる。
なお、この場合、図示していないが、シール材又はＯリ
ング等により弁箱１とボンネットフランジ５とは封止状
態となり、図示しないロック手段にてロックされると共
に、前記弁板１１は前記上部板１ｂの開口部１ｂａを介
して降下する構成である。
したように構成されており、以下に、その動作について
説明する。まず、直動案内機構８を介してボンネットフ
ランジ５を降下させ、図１から図２に示すようにボンネ
ットフランジ５を弁箱１の上部板１ｂに接合させること
により、弁箱１は外部とは遮断された密閉状態となる。
なお、この場合、図示していないが、シール材又はＯリ
ング等により弁箱１とボンネットフランジ５とは封止状
態となり、図示しないロック手段にてロックされると共
に、前記弁板１１は前記上部板１ｂの開口部１ｂａを介
して降下する構成である。
【００１６】次に、前述の状態で、弁板駆動機構１０を
介して弁体１１を矢印Ａに沿って往復移動させることに
より、弁箱１内の開口２を開閉することができ、この開
口２を通過してワーク等の搬出入を行うことができる。
介して弁体１１を矢印Ａに沿って往復移動させることに
より、弁箱１内の開口２を開閉することができ、この開
口２を通過してワーク等の搬出入を行うことができる。
【００１７】また、前記弁箱１内又は弁板１１等のメン
テナンスを行う場合は、前記ロック手段を解除してボン
ネットフランジ５と弁箱１の結合を解除し、前記直動案
内機構８を介してボンネットフランジ５を弁箱１から離
脱させると、弁箱１と弁板１１とは干渉することなく分
離することができ、弁板１１及び弁箱１のメンテナンス
を容易に行うことができる。
テナンスを行う場合は、前記ロック手段を解除してボン
ネットフランジ５と弁箱１の結合を解除し、前記直動案
内機構８を介してボンネットフランジ５を弁箱１から離
脱させると、弁箱１と弁板１１とは干渉することなく分
離することができ、弁板１１及び弁箱１のメンテナンス
を容易に行うことができる。
【００１８】また、図３で示す構成は、図１の他の実施
例を示すもので、前記直動案内機構８の直動案内軸受４
を、この直動案内軸受４に設けた接続部材２０と前記側
面１ａを介して設けられた圧空シリンダ２１及びロッド
２２からなる駆動体２３によりパワー駆動するように構
成しており、ボンネットフランジ５を前記駆動体２３に
よって容易に往復移動することができる。前記駆動体２
３は圧空シリンダ２１とロッド２２の構成に限ることな
く、送りねじとモータまたは油圧シリンダによる構成等
の手段を用いることができることは述べるまでもないこ
とである。さらに、前述の実施例では、弁板１１が上下
動する場合について図示しているが、上下動に限ること
なく、水平移動するように構成することもできることは
述べるまでもないことである。
例を示すもので、前記直動案内機構８の直動案内軸受４
を、この直動案内軸受４に設けた接続部材２０と前記側
面１ａを介して設けられた圧空シリンダ２１及びロッド
２２からなる駆動体２３によりパワー駆動するように構
成しており、ボンネットフランジ５を前記駆動体２３に
よって容易に往復移動することができる。前記駆動体２
３は圧空シリンダ２１とロッド２２の構成に限ることな
く、送りねじとモータまたは油圧シリンダによる構成等
の手段を用いることができることは述べるまでもないこ
とである。さらに、前述の実施例では、弁板１１が上下
動する場合について図示しているが、上下動に限ること
なく、水平移動するように構成することもできることは
述べるまでもないことである。
【００１９】
【考案の効果】本考案による真空用ゲート弁装置は、以
上のように構成されているため、次のような効果を得る
ことができる。すなわち、直動案内機構を介してボンネ
ットフランジ及び弁板を往復動するように構成している
ため、弁箱の内蔵部品である弁体等を弁箱から引き出す
時における、内蔵部品と弁箱との接触がなく、メンテナ
ンス作業後においても再現性の良い状態で内蔵部品を弁
箱に収容することができ、従来よりも大幅に容易なメン
テナンスを達成することができる。
上のように構成されているため、次のような効果を得る
ことができる。すなわち、直動案内機構を介してボンネ
ットフランジ及び弁板を往復動するように構成している
ため、弁箱の内蔵部品である弁体等を弁箱から引き出す
時における、内蔵部品と弁箱との接触がなく、メンテナ
ンス作業後においても再現性の良い状態で内蔵部品を弁
箱に収容することができ、従来よりも大幅に容易なメン
テナンスを達成することができる。
【図１】本考案による真空用ゲート弁装置のボンネット
フランジを弁箱から離脱した状態を示す構成図である。
フランジを弁箱から離脱した状態を示す構成図である。
【図２】図１のボンネットフランジを弁箱に接合させた
状態を示す構成図である。
状態を示す構成図である。
【図３】図１の要部の他の実施例を示す構成図である。
１ 弁箱 １ａ 側面 ２ 開口 ３ ガイドレール ４ 直動案内軸受 ５ ボンネットフランジ ８ 直動案内機構 ２３ 駆動体
Claims (3)
- 【請求項１】 弁箱(1)の開口(2)を弁板(11)により開閉
し、前記弁板(11)を往復動させる弁板駆動機構(10)を有
するボンネットフランジ(5)で前記弁箱(1)を密閉するよ
うに構成した真空用ゲート弁装置において、前記ボンネ
ットフランジ(5)は、前記弁箱(1)の外部に設けられた直
動案内機構(8)によって前記弁箱(1)と接離自在に構成し
たことを特徴とする真空用ゲート弁装置。 - 【請求項２】 前記直動案内機構(8)は前記弁箱(1)の側
面(1a)に設けられたガイドレール(3)と、前記ボンネッ
トフランジ(5)に設けられ前記ガイドレール(3)と摺動す
る直動案内軸受(4)とからなることを特徴とする請求項
１記載の真空用ゲート弁装置。 - 【請求項３】 前記ボンネットフランジ(5)は、駆動体
(23)により駆動されることを特徴とする請求項１又は２
記載の真空用ゲート弁装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7320992U JP2526829Y2 (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 真空用ゲート弁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7320992U JP2526829Y2 (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 真空用ゲート弁装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0637674U JPH0637674U (ja) | 1994-05-20 |
| JP2526829Y2 true JP2526829Y2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=13511541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7320992U Expired - Lifetime JP2526829Y2 (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 真空用ゲート弁装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2526829Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346238A (ja) * | 1999-06-02 | 2000-12-15 | Tokyo Electron Ltd | バルブ |
-
1992
- 1992-10-20 JP JP7320992U patent/JP2526829Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0637674U (ja) | 1994-05-20 |
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