JPH0726623Y2 - 真空ゲート弁 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は真空ゲート弁に係り、特にそのステム軸の案内
機構に関する。

〔従来技術〕

従来のこの種の真空ゲート弁においては、弁板を開閉移
動し、また弁板を弁座に押し付けるため、手動ないし圧
空シリンダなどの駆動手段により、ベローズを介して弁
板と連結されたステム軸を操作している。

第２図は従来の真空ゲート弁の一例の構成を示す断面図
で、１は弁箱、２はこの弁箱１内に設けられ真空路を遮
断，開放する位置間を往復動する弁板、３はこの弁板２
に連結されたステム軸、９は弁箱１を密閉するボンネッ
トフランジ、30はこのボンネットフランジ９の貫通孔に
嵌着されステム軸３を摺動可能にガイドするブシュ、４
はボンネットフランジ９とステム軸３の受部との間を連
結した伸縮自在なベローズ、10はステム軸３を往復動す
るアクチュエータである。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記のような従来例においては、ステム
軸とブシュ30が真空中において摺動するためかじりなど
が生じ、弁の開閉作動が不能となったり、あるいは摩耗
による発塵のため清浄な真空雰囲気を汚染し半導体製造
装置等では使用できないという課題があった。

〔課題を解決するための手段〕

本考案真空ゲート弁は上記の課題を解決するため、第１
図示のように弁箱１内に、真空路を遮断，開放する位置
間を往復動する弁板２を設け、弁箱１を密閉するボンネ
ットフランジ９に設けられた貫通穴11に、前記弁板２に
連結されたステム軸３を遊挿し、このボンネットフラン
ジ９に、前記ステム軸３を遊挿した伸縮自在なベローズ
４の一端部を固定せしめ、このベローズ４の他端部およ
び前記ステム軸３をベローズ移動フランジ５に固定する
と共に、このベローズ移動フランジ５はベローズ４の外
側に前記ステム軸３と平行に設けられた直動案内軸８に
摺動自在にガイドされる直動案内軸受７に連結してなる
構成としたものである。

〔作用〕

ステム軸３を押出しまたは引込み移動させると、ボンネ
ットフランジ９とステム軸３に結合されたベローズ移動
フランジ５との間に固定されたベローズ４がステム軸３
の移動により縮小または伸長し、ステム軸3,これに結合
されたベローズ移動フランジ５及びこれに連結された直
動案内軸受７が直動案内軸８に沿ってガイドされ摺動さ
れて弁板２が円滑に閉または開動作せしめることにな
る。

本考案の場合、直動案内軸受７と直動案内軸８による摺
動案内機構はベローズ４の外側、即ち真空雰囲気外に設
けられているので、従来例の如き真空雰囲気内に設けら
れたステム軸３とブシュ30の摺動によるかじりなどが生
じて弁の開閉動作が不能になることも、また摩耗による
発塵のため清浄な真空雰囲気を汚染することもなくなる
ことになる。

〔実施例〕

以下図面に基づいて本考案の実施例を説明する。

第１図は本考案真空ゲート弁の一実施例の構成を示す断
面図で、１は弁箱、２はこの弁箱１内に設けられた真空
路を遮断，開放する位置間を往復動する弁板、３はこの
弁板２に連結されたステム軸、９は弁箱１を密閉するボ
ンネットフランジである。

このボンネットフランジ９に設けられた貫通孔11には、
弁板２に連結されたステム軸３が遊挿され、ボンネット
フランジ９に固定されたベローズ固定フランジ６にはス
テム軸３を遊挿した伸縮自在なベローズ４の一端部が固
定されている。このベローズ４の他端部はベローズ移動
フランジ５に固定され、このベローズ移動フランジ５は
ステム軸に結合されていると共に直動案内軸受７に連結
されている。

この直動案内軸受７はベローズ４の外側に設けられた直
動案内軸８に摺動自在にガイドされており、ステム軸３
のベローズ移動フランジ５側軸端部には往復動手段、例
えばアクチュエータ10が連結されている。往復動手段
は、手動式のものであってもよい。

ベローズ４とベローズ固定フランジ６の内径及びボンネ
ットフランジ９の貫通孔11の直径はステム軸３の外径よ
り大きく、ステム軸３とはそれぞれ接触せず、ステム軸
３はこれらに遊挿されている。

本実施例はこのような構成であるから、弁板２の閉また
は開動作を行うときはアクチュエータ10を動作させ、ス
テム軸３を押出しまたは引込み移動させると、ボンネッ
トフランジ９に固定されたベローズ固定フランジ６とス
テム軸３に結合されたベローズ移動フランジ５との間に
固定されたベローズ４がステム軸３の移動により縮小ま
たは伸長し、ステム軸3,これに結合されたベローズ移動
フランジ５及びこれに連結された直動案内軸受７が直動
案内軸８に沿ってガイドされ摺動されて弁板２が円滑に
閉または開動作（第１図の矢印で示す下動または上動）
せしめられることになる。

本実施例の場合、直動案内軸受７と直動案内軸８による
摺動案内機構はベローズ４の外側、即ち真空雰囲気外に
設けられているので、従来例の如き真空雰囲気内に設け
られたステム軸３とブシュ30の摺動によるかじりなどが
生じて弁の開閉動作が不能になることも、また摩耗によ
る発塵のため清浄な真空雰囲気を汚染することもなくな
ることになる。

〔考案の効果〕

上述のように本考案によれば、弁箱１内に、真空路を遮
断，開放する位置間を往復動する弁板２を設け、弁板１
を密閉するボンネットフランジ９に設けられた貫通穴11
に、前記弁板２に連結されたステム軸３を遊挿し、この
ボンネットフランジ９に、前記ステム軸３を遊挿した伸
縮自在なベローズ４の一端部を固定せしめ、このベロー
ズ４の他端部および前記ステム軸３をベローズ移動フラ
ンジ５に固定すると共に、このベローズ移動フランジ５
はベローズ４の外側に前記ステム軸３と平行に設けられ
た直動案内軸８に摺動自在にガイドされる直動案内軸受
７に連結してなるため、直動案内軸受７と直動案内軸８
による摺動案内機構はベローズ４の外側、即ち真空雰囲
気外に設けられているので、従来例の真空雰囲気内に設
けられたステム軸３とブシュ30の摺動によるかじりなど
が生じて弁の開閉動作が不能になることも、また摩耗に
よる発塵のため清浄な真空雰囲気を汚染することもなく
することができ、清浄は真空雰囲気の要求される半導体
製造装置等に適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案真空ゲート弁の一実施例の構成を示す断
面図、第２図は従来の真空ゲート弁の一例の構成を示す
断面図である。 １……弁箱、２……弁板、３……ステム軸、４……ベロ
ーズ、５……ベローズ移動フランジ、７……直動案内軸
受、８……直動案内軸、９……ボンネットフランジ、10
……駆動手段（アクチュエータ）、11……貫通孔。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】弁箱（１）内に、真空路を遮断，開放する
   位置間を往復動する弁板（２）を設け、弁箱（１）を密
   閉するボンネットフランジ（９）に設けられた貫通穴
   （11）に、前記弁板（２）に連結されたステム軸（３）
   を非接触状態で遊挿し、このボンネットフランジ（９）
   に、前記ステム軸（３）を非接触状態で遊挿した伸縮自
   在なベローズ（４）の一端部を固定せしめ、このベロー
   ズ（４）の他端部および前記ステム軸（３）をベローズ
   移動フランジ（５）に固定すると共に、このベローズ移
   動フランジ（５）はベローズ（４）の外側に前記ステム
   軸（３）と平行に設けられた直動案内軸（８）に摺動自
   在にガイドされる直動案内軸受（７）に連結してなる真
   空ゲート弁。
2. 【請求項２】ステム軸（３）のベローズ移動フランジ
   （５）側軸端部またはベローズ移動フランジ（５）に往
   復動手段（10）を連結せしめてなる請求項第１項記載の
   真空ゲート弁。