JP5191023B2 - 試料移動機構 - Google Patents
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Description
2:ステージガイド
3:超音波モータ
4、4’:支持棒
5,5’:固定端
6:モータガイド
7:ふた
8:シール部
9:オイルシール
91:オイル含浸メタル
10:モータ室
12:フィルタ
13:ローラ
14、14’:ベローズ
Claims (8)
- 超音波モータを用いてステージを駆動する試料移動機構において、
試料を搭載するステージに連結した、前記超音波モータを構成するモータガイドと、
前記モータガイドに圧接して所定電圧を印加して当該モータガイドを駆動する、前記超音波モータを構成する、支持棒に固定された駆動チップと、
前記モータガイドおよび前記駆動チップを覆うと共に、前記駆動チップが前記モータガイドを駆動して移動したときに摺動する前記支持棒との間をシールするシール部を設けて閉領域を形成したモータ室と
を備えたことを特徴とする試料移動機構。 - 前記シール部として、オイルシールあるいはオイル含侵メタルを用いたことを特徴とする請求項1記載の試料移動機構。
- 前記モータ室の一部にフィルタを設け、当該モータ室の内部の圧力と外部の試料がある部屋との圧力をほぼ等しくしたことを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の試料移動機構。
- 前記駆動チップが圧接する前記モータガイドと反対側に第2のモータガイドを設け、当該駆動チップと当該第2のモータガイドとの間にローラを配置して、前記圧接する力と反対方向の力を発生させて両者をバランスさせることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の試料移動機構。
- 超音波モータを用いてステージを駆動する試料移動機構において、
試料を搭載するステージに連結した、前記超音波モータを構成する駆動チップと、
前記駆動チップに圧接して当該駆動チップに所定電圧を印加して駆動するための、前記超音波モータを構成する、支持棒に設けたモータガイドと、
前記駆動チップおよびモータガイドを覆うと共に、前記駆動チップが前記モータガイドを駆動して移動したときに摺動する前記支持棒との間をシールするシール部を設けて閉領域を形成したモータ室と
を備えたことを特徴とする試料移動機構。 - 前記シール部として、オイルシールあるいはオイル含侵メタルを用いたことを特徴とする請求項5記載の試料移動機構。
- 前記モータ室の一部にフィルタを設け、当該モータ室の内部の圧力と外部の試料がある部屋との圧力をほぼ等しくしたことを特徴とする請求項5あるいは請求項6記載の試料移動機構。
- 前記駆動チップが圧接する前記支持棒に設けたモータガイドと反対側に前記支持棒に第3のモータガイドを設け、当該第3のモータガイドに対面して設けた当該駆動チップに連結した部材と当該第3のモータガイドとの間にローラを配置して、前記圧接する力と反対方向の力を発生させて両者をバランスさせることを特徴とする請求項5から請求項7のいずれかに記載の試料移動機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008109612A JP5191023B2 (ja) | 2008-04-18 | 2008-04-18 | 試料移動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008109612A JP5191023B2 (ja) | 2008-04-18 | 2008-04-18 | 試料移動機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009260150A JP2009260150A (ja) | 2009-11-05 |
JP5191023B2 true JP5191023B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=41387183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008109612A Expired - Fee Related JP5191023B2 (ja) | 2008-04-18 | 2008-04-18 | 試料移動機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5191023B2 (ja) |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3398186B2 (ja) * | 1993-07-26 | 2003-04-21 | 東芝機械株式会社 | 真空内駆動装置 |
JPH09246132A (ja) * | 1996-03-08 | 1997-09-19 | Hitachi Ltd | 半導体ウエハ処理装置 |
JP3586386B2 (ja) * | 1999-03-05 | 2004-11-10 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造装置 |
JP2003023780A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-24 | Canon Inc | 振動波駆動装置 |
JP4299505B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2009-07-22 | 京セラ株式会社 | 真空装置 |
JP4374860B2 (ja) * | 2003-01-27 | 2009-12-02 | 日本精工株式会社 | 振動アクチュエータ |
JP4475937B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2010-06-09 | 京セラ株式会社 | 案内装置 |
JP2005216983A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Nikon Corp | 超音波アクチュエータ及びeuv露光装置 |
JP2006202654A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Horon:Kk | ステージ |
JP5033374B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2012-09-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
2008
- 2008-04-18 JP JP2008109612A patent/JP5191023B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009260150A (ja) | 2009-11-05 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120802 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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