JP4328575B2 - 振動型駆動装置を用いた位置決め機構 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 27
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 20
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 11
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H19/00—Gearings comprising essentially only toothed gears or friction members and not capable of conveying indefinitely-continuing rotary motion
- F16H19/02—Gearings comprising essentially only toothed gears or friction members and not capable of conveying indefinitely-continuing rotary motion for interconverting rotary or oscillating motion and reciprocating motion
- F16H19/04—Gearings comprising essentially only toothed gears or friction members and not capable of conveying indefinitely-continuing rotary motion for interconverting rotary or oscillating motion and reciprocating motion comprising a rack
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/12—Constructional details
- H02N2/123—Mechanical transmission means, e.g. for gearing
- H02N2/126—Mechanical transmission means, e.g. for gearing for conversion into linear motion
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/19—Gearing
- Y10T74/19642—Directly cooperating gears
- Y10T74/1967—Rack and pinion
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Description
寺町彰博監修 リニアシステム編集委員会編、リニアシステムの活用、初版、 日刊工業新聞社、2000年10月16日、12頁
図4はラックと歯車との関係について示す第2の例を示す図であり、ラック16とラック17との歯の位置をずらして、別言すれば歯車とラックの相互の当接位置をずらして配置した場合である。このような配置にすると、歯車18がラック16に、歯車19がラック17に、それぞれ力を伝達する際、2組の歯車とラック相互の接触の同時性が起こりにくく、停止時にバックラッシが生じないようになる。
さらに、図4に示したように、ラック7と8の歯の位相(位置)をずらすように配置することで、2組の歯車とラック相互の接触の同時性が起こりにくいため、振動が少なく、停止時のバックラッシが生じない、より高精度な位置決め機構となる。
図5における防塵構造は、振動型モータ20およびラック30と歯車24の接触部の防塵対策をとるべく、ベース31と振動型モータ20との隙間31aに通じる通気路を有するバキューム孔32からポンプ(不図示)により塵埃を排気するものである。また排気により温度上昇を抑える冷却効果もある。
図5に示す防塵方法を取る場合、図6に示した構造にすると、歯車24a,24bを駆動する振動型モータ周辺の局所排気という簡便な機構で済む。
また、このような構成の場合、推力が移動体(X軸テーブル、Y軸テーブル)の重心を通る線上に作用するので、移動される移動体の斜行が少なく、位置検出装置としてのレーザ測長機40a,40bをこのような配置としても位置検出精度に殆んど問題を生じない。
上記の実施例4によれば、ラック71,72に歯車42〜45を押し付ける機構(平行ばね54〜57、スプリング67〜70等より成る)を具備しているので、ラックと歯車の隙間が無くなり、より確実にバックラッシを無くすることができる。
上記実施例1〜4においては、複数の振動型モータおよびその出力軸に固定される歯車と該歯車の噛み合う複数のラックを有する例を示しているが、これに限定されるものではない。
4,5 案内レール
6 テーブル
7,8,30,71,72 ラック
9,10,24,50〜53 歯車
11 位置検出装置
22,46、47、48、49 モータ取付板
23 モータ軸
25,26,54〜57 平行ばね
27,28,58〜63 取付板
29,67〜70 スプリング
32 バキューム孔
Claims (3)
- 位置決めされる移動体の位置を検出する位置検出装置と、
前記位置検出装置の検出出力に応じて制御される第1および第2の振動型駆動装置と、
前記第1の振動型駆動装置の回転運動を、ラックと歯車の組み合わせを介して、直線的な方向へ前記移動体を移動させる運動に変換する第1の出力変換手段と、
前記第2の振動型駆動装置の回転運動を、ラックと歯車の組み合わせを介して、直線的な方向へ前記移動体を移動させる運動に変換する第2の出力変換手段とを有し、
前記第1の出力変換手段と前記第2の出力変換手段は、前記移動体の移動方向に沿って配置された前記位置検出装置を挟んで対称となる位置に配置されるとともに、前記第1の出力変換手段のラックと歯車の当接位置の位相と、前記第2の出力変換手段のラックと歯車の当接位置の位相をずらし、前記第1の出力変換手段のラックと歯車の接触、および、前記第2の出力変換手段のラックと歯車の接触の同時性を回避するように構成したことを特徴とする振動型駆動装置を用いた位置決め機構。 - 前記第1の出力変換手段および前記第2の出力変換手段のそれぞれのラックに、前記第1の出力変換手段および前記第2の出力変換手段のそれぞれの歯車を押し付ける手段を有することを特徴とする請求項1に記載の振動型駆動装置を用いた位置決め機構。
- 前記位置検出装置は、前記移動体の重心を通る線に沿って配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動型駆動装置を用いた位置決め機構。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003271969A JP4328575B2 (ja) | 2003-07-08 | 2003-07-08 | 振動型駆動装置を用いた位置決め機構 |
US10/880,524 US20050005722A1 (en) | 2003-07-08 | 2004-07-01 | Positioning device |
EP04015992A EP1513190A1 (en) | 2003-07-08 | 2004-07-07 | Positioning device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003271969A JP4328575B2 (ja) | 2003-07-08 | 2003-07-08 | 振動型駆動装置を用いた位置決め機構 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005033943A JP2005033943A (ja) | 2005-02-03 |
JP2005033943A5 JP2005033943A5 (ja) | 2006-08-17 |
JP4328575B2 true JP4328575B2 (ja) | 2009-09-09 |
Family
ID=33562689
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003271969A Expired - Fee Related JP4328575B2 (ja) | 2003-07-08 | 2003-07-08 | 振動型駆動装置を用いた位置決め機構 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050005722A1 (ja) |
EP (1) | EP1513190A1 (ja) |
JP (1) | JP4328575B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100563283B1 (ko) * | 2004-05-20 | 2006-03-27 | (주)브레인유니온시스템 | 액상형 물질 도포기의 기어 박스 고정 장치 |
JP5282713B2 (ja) * | 2009-10-05 | 2013-09-04 | ダイキン工業株式会社 | 空気調和機 |
JP2013249165A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Brother Industries Ltd | 用紙支持装置、画像形成装置及び画像読取装置 |
EP2829334B1 (de) * | 2013-07-25 | 2015-12-30 | TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Antriebsvorrichtung für eine Bewegungseinheit einer Werkzeugmaschine sowie Werkzeugmaschine mit einer derartigen Antriebsvorrichtung |
CN103802797B (zh) * | 2014-02-27 | 2016-04-13 | 北京洁天电动汽车加电科技有限公司 | 一种更换电动汽车动力电池的方法及系统 |
CN104880054B (zh) * | 2015-05-21 | 2018-05-04 | 深圳市信宇人科技股份有限公司 | 隧道式烘烤线物料同步传输方法及装置 |
CN105059334A (zh) * | 2015-07-23 | 2015-11-18 | 深圳市信宇人科技有限公司 | 真空烘烤线锂电池的装载方法、装载工具及装载盘 |
CN106783703B (zh) * | 2015-11-19 | 2019-10-11 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 机械手及传输腔室 |
US10881561B2 (en) * | 2016-09-16 | 2021-01-05 | Fenton Mobility Products, Inc. | Shiftable assembly for a platform wheelchair lift |
DE102016120820A1 (de) * | 2016-11-02 | 2018-05-03 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | Anlage zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen sowie Hebeeinrichtung |
CN106736796B (zh) * | 2016-12-30 | 2019-10-01 | 中捷机床有限公司 | 大型数控卧式机床双边大跨距滑座的四电机驱动机构 |
GB2560326A (en) | 2017-03-07 | 2018-09-12 | Stratec Biomedical Ag | Piezo motor driven device |
CN110371365B (zh) * | 2019-06-06 | 2022-01-18 | 世源科技(芜湖)新材料有限公司 | 一种针对医疗用纸的二等分式分装台 |
CN110360283B (zh) * | 2019-08-02 | 2024-08-09 | 深圳怡化电脑股份有限公司 | 一种具有越界保护功能的传动机构及金融设备 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4621430A (en) * | 1984-01-30 | 1986-11-11 | Kurt Manufacturing Company, Inc. | Drive for position controlled linearly movable carriage |
US4934278A (en) * | 1987-07-27 | 1990-06-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Moving apparatus with track recessed portion to dissipate drive roller contact pressure |
US5303810A (en) * | 1992-01-18 | 1994-04-19 | Tani Electronics Industry Co., Ltd. | Magazine rack and positional adjustment system therefor |
JP2567928Y2 (ja) * | 1992-08-11 | 1998-04-08 | 日本精工株式会社 | ラック一体型リニアガイド装置 |
TW331550B (en) | 1996-08-14 | 1998-05-11 | Tokyo Electron Co Ltd | The cassette receiving room |
US5836205A (en) * | 1997-02-13 | 1998-11-17 | Steven M. Meyer | Linear actuator mechanism |
US6463642B1 (en) * | 1997-09-30 | 2002-10-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a vibration type driving apparatus |
US6481558B1 (en) * | 1998-12-18 | 2002-11-19 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated load port-conveyor transfer system |
US6696813B2 (en) * | 2000-11-27 | 2004-02-24 | Vt Holdings, Ii, Inc. | Open-loop synchronizer for a slide out room |
JP2002292533A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-08 | Minolta Co Ltd | ステージ装置とこのステージ装置の使用方法 |
JP2003007597A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-01-10 | Canon Inc | マスクパターン偏倍方法、偏倍装置及びマスク構造体 |
JP2003195429A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-09 | Pentax Corp | フィルムスキャナのフィルムアダプタ |
US6705421B2 (en) * | 2002-05-31 | 2004-03-16 | Visteon Global Technologies, Inc. | Assisted steering system with out-of-phase driver and assist pinions |
-
2003
- 2003-07-08 JP JP2003271969A patent/JP4328575B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-07-01 US US10/880,524 patent/US20050005722A1/en not_active Abandoned
- 2004-07-07 EP EP04015992A patent/EP1513190A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005033943A (ja) | 2005-02-03 |
US20050005722A1 (en) | 2005-01-13 |
EP1513190A1 (en) | 2005-03-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060703 |
|
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|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090227 |
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|
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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