JP2009260150A - 試料移動機構 - Google Patents
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Abstract
【構成】試料を搭載するステージに連結した、超音波モータを構成するモータガイドと、モータガイドに圧接して所定超音波電圧を印加してモータガイドを駆動する、超音波モータを構成する、支持棒に固定された駆動チップと、モータガイドおよび駆動チップを覆うと共に、駆動チップがモータガイドを駆動して移動したときに摺動する支持棒との間をシールするシール部を設けて閉領域を形成したモータ室とを備える。
【選択図】 図1
Description
2:ステージガイド
3:超音波モータ
4、4’:支持棒
5,5’:固定端
6:モータガイド
7:ふた
8:シール部
9:オイルシール
91:オイル含浸メタル
10:モータ室
12:フィルタ
13:ローラ
14、14’:ベローズ
Claims (5)
- 超音波モータを用いてステージを駆動する試料移動機構において、
試料を搭載するステージに連結した、前記超音波モータを構成するモータガイドと、
前記モータガイドに圧接して所定電圧を印加して当該モータガイドを駆動する、前記超音波モータを構成する、支持棒に固定された駆動チップと、
前記モータガイドおよび前記駆動チップを覆うと共に、前記駆動チップが前記モータガイドを駆動して移動したときに摺動する前記支持棒との間をシールするシール部を設けて閉領域を形成したモータ室と
を備えたことを特徴とする試料移動機構。 - 前記シール部として、オイルシールあるいはオイル含浸メタルを用いたことを特徴とする請求項1記載の試料移動機構。
- 前記モータ室の一部にフィルタを設け、当該モータ室の内部の圧力と外部の試料がある部屋との圧力をほぼ等しくしたことを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の試料移動機構。
- 前記駆動チップが圧接する前記モータガイドと反対側に第2のモータガイドを設け、当該駆動チップと当該第2のモータガイドとの間にローラを配置して、前記圧接する力と反対方向の力を発生させて両者をバランスさせることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の試料移動機構。
- 前記支持棒にモータガイドを形成し、当該形成したモータガイドおよび前記駆動チップを収縮自在のベローズで覆い、あるいは当該支持棒との間をシールし、前記モータ室としたことを特徴する請求項1から請求項4のいずれかに記載の試料移動機構。
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