JP2004357393A - 圧電アクチュエータ及び位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】真空中においてもデューティ比を抑制することなく圧電アクチュエータの寿命延長を図る。
【解決手段】圧電素子12に電圧を印加することにより該圧電素子12を振動させ、該振動によって可動体を駆動する圧電アクチュエータ7において、前記圧電素子12と該圧電素子12を内装する筐体11との間に樹脂21又はゲルを封入する。
【選択図】 図2
【解決手段】圧電素子12に電圧を印加することにより該圧電素子12を振動させ、該振動によって可動体を駆動する圧電アクチュエータ7において、前記圧電素子12と該圧電素子12を内装する筐体11との間に樹脂21又はゲルを封入する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電アクチュエータ及び可動体を圧電アクチュエータにて直線駆動或いは回転駆動させる位置決め装置に関し、特に、真空中で使用される半導体製造装置(加工、検査装置)等の案内装置に好適に用いられる圧電アクチュエータ及び位置決め装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5及び図6に従来の圧電アクチュエータの一例を示す(例えば特許文献1及び特許文献2参照)。
圧電アクチュエータ7は、一方の面に例えば4分割された電極膜10a〜10dを有すると共に、他方の面のほぼ全面に電極膜(図示せず)を有する圧電素子12と、該圧電素子12の先端部に設けられたフィンガ8とを備えている。電極膜10a〜10dは、互いに対角に位置する電極膜10aと電極膜10d、及び電極膜10bと電極膜10cが結線されている。なお、図において符号11は圧電アクチュエータ7が内装される筐体であり、圧電アクチュエータ7は筐体11内において、例えば4つのコイルばね14により支持され、圧電素子12の後端と筐体11との間に設けられたコイルばね15によってフィンガ8が走行プレート6に押し付けられるようになっている。なお、走行プレート6は可動側又は固定側に配置される。
【0003】
そして、圧電素子12の一方の面に配置された電極膜10a〜10dの内、電極膜10aと電極膜10bにそれぞれ位相の異なる電圧を印加すると共に、他方の面に配置された電極膜を接地することにより、圧電素子12に縦振動と横振動を発生させてこれらの振動の合成によりフィンガ8を楕円運動させ、これにより、圧電アクチュエータ7の振動がフィンガ8を介して走行プレート6に伝達されて走行プレート6側又は圧電アクチュエータ7側に配置された可動体が駆動されるようになっている。
また、従来の他の圧電アクチュエータとして、超音波モータの振動に伴って発生する超音波振動子の熱を放熱するため、超音波モータを包囲するケース内に高熱伝導性グリースを充填したものが提案されている(例えば特許文献3参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平7−184382号公報
【特許文献2】
特開2002−27768号公報
【特許文献3】
特開平11−187678号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、圧電アクチュエータ7は、フィンガ8と走行プレート6との接触部での温度上昇が寿命に大きく影響すると言われている。
圧電素子12の振動により発生した熱は、大気中においては大部分が圧電素子12と筐体11との間の空気の対流によって筐体11ひいては筐体11を固定している構造物を介してに放熱されるが、真空中においては空気の対流による放熱がないため、圧電素子12の振動により発生した略全ての熱が圧電素子12自体に留まり、圧電素子12の温度が上昇する。
【0006】
このような事情から、従来においては、圧電素子12の温度上昇を一定以下に抑えて圧電アクチュエータ7の寿命延長を図るべく、デューティ比( 稼動サイクル) を抑制して使用している。
また、高熱伝導性グリースを使用した場合、これはチキソトロピック流体であり、それ自体に自己保持性がない。更に、グリース中の基油が分離して周囲を汚染していまうという欠点がある。また、充填する際に、グリースを塗り込むという作業が必要になるとともに、隙間なくグリースを充填することが難しいという問題もある。
【0007】
本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、圧電素子の振動により発生した熱を真空中で効率良く放熱できるようにして該圧電素子の温度上昇を抑制し、これにより、真空中においてもデューティ比を抑制することなく寿命延長を図ることができる圧電アクチュエータ及び位置決め装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1に係る発明は、圧電素子に電圧を印加することにより該圧電素子を振動させ、該振動によって可動体を駆動する圧電アクチュエータにおいて、
前記圧電素子と該圧電素子を内装する筐体との間に樹脂又はゲルを封入したことを特徴とする。
請求項2に係る発明は、圧電アクチュエータの振動を走行プレートに伝達することにより駆動される可動体を備えた位置決め装置において、
前記圧電アクチュエータとして、請求項1記載の圧電アクチュエータを用いたことを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の一例を図を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態の一例である位置決め装置を説明するための説明的平面図、図2は圧電アクチュエータの筐体を破断した説明図、図3は図2の縦断面図、図4は本発明の他の実施の形態である位置決め装置を説明するための説明的断面図である。なお、各実施の形態共に、圧電アクチュエータの基本的構成は図5及び図6で説明したものと同様であるため、重複部分については各図に同一符号を付して説明を省略する。
【0010】
本発明の実施の形態の一例である位置決め装置20は、全体が真空チャンバ内に配置されて使用されるもので、図1に示すように、ベース1上に一対のリニアガイド装置2がガイドレール3を互いに平行にして設置されている。各ガイドレール3には転動体(図示せず)を介して複数のスライダ4が軸方向に移動可能に跨架されており、各スライダ4に可動テーブル(可動体)5が取り付けられて、該可動テーブル5がガイドレール3に沿って移動可能とされている。
【0011】
また、可動テーブル5の幅方向の一側には走行プレート6が取り付けられており、該走行プレート6にはベース1上に取り付けられた圧電アクチュエータ7のフィンガ8が押圧接触している。そして、圧電アクチュエータ7の振動がフィンガ8を介して走行プレート6に伝達されることで、可動テーブル5がガイドレール3に沿って移動するようになっている。
【0012】
ここで、この実施の形態では、圧電アクチュエータ7の圧電素子12と筐体11との間の空間にシリコン樹脂21を充填している。これにより、圧電素子12の振動により発生した熱はシリコン樹脂21を伝導して筐体11ひいては筐体11を固定している構造物に放熱され、圧電素子12の温度上昇を緩和することができる。なお、シリコン樹脂21は、前記空間に液状の樹脂を流し込み、加熱又は添加剤を加えることで硬化させるタイプを用いるのが好ましい。
【0013】
このように、この実施の形態では、圧電素子12の振動により発生した熱を真空中で効率良く放熱して該圧電素子12の温度上昇を抑制することができるので、真空中においてもデューティ比を抑制することなく圧電アクチュエータ7の寿命延長を図ることができ、真空中に設置されるストロークの大きな位置決め装置(送り装置や回転テーブル)として好適なものとすることができる。
なお、本発明の位置決め装置の圧電アクチュエータ、圧電素子、可動体、筐体、樹脂及び走行プレート等の構成は上記実施の形態の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【0014】
例えば、上記実施の形態では、圧電アクチュエータ7の圧電素子12と筐体11との間の空間にシリコン樹脂21を充填した場合を例に採ったが、シリコン樹脂21に代えて、前記空間にシリコンゲルを充填するようにしてもよい。この場合、シリコンゲルは、シリコン樹脂に比べて圧電素子12の振動を妨げないものが好ましい。使用するシリコンゲルは、熱伝導率2〜6(W/mm・K)、引っ張り強さ0.1〜0.3MPa、伸び率30%以上のものが好ましい。シリコン樹脂やシリコンゲルはチキソトロピック流体とは異なり、例えばせん断応力を伴う振動を受けても液化したりすることもなく、常に自己保持性を有するので、一部が分離して周囲を汚染したりすることもない。
【0015】
また、上記実施の形態では、可動側である可動テーブル5に走行プレート6を取り付け、固定側であるベース1に圧電アクチュエータ7を取り付けて、該圧電アクチュエータ7のフィンガ8を走行プレート6に押圧接触させた場合を例に採ったが、これに代えて、固定側であるベース1に走行プレート6を取り付け、可動側である可動テーブル5に圧電アクチュエータ7を取り付けて、該圧電アクチュエータ7のフィンガ8を走行プレート6に押圧接触させるようにしてもよい。
【0016】
更に、上記実施の形態では、可動テーブル5を圧電アクチュエータ7にて直線駆動させる位置決め装置に本発明を適用した場合を例に採ったが、これに限定されず、例えば図4に示すように、ベース31に転がり軸受32を介して回転可能に支持されて走行プレートを兼ねる回転テーブル(可動体)35をベース31に固定された圧電アクチュエータ7にて回転駆動させる位置決め装置30に本発明を適用してもよい。なお、図4では圧電アクチュエータ7は一個しか図示していないが、該圧電アクチュエータ7を周方向に複数配置してもよい。
【0017】
【発明の効果】
上記の説明から明らかなように、本発明によれば、圧電素子の振動により発生した熱を真空中で効率良く放熱して該圧電素子の温度上昇を抑制することができるので、真空中においてもデューティ比を抑制することなく圧電アクチュエータの寿命延長を図ることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例である位置決め装置を説明するための説明的平面図である。
【図2】圧電アクチュエータの筐体を破断した説明図である。
【図3】図2の縦断面図である。
【図4】本発明の他の実施の形態である位置決め装置を説明するための説明的断面図である。
【図5】従来の圧電アクチュエータの筐体を破断した説明図である。
【図6】図5の縦断面図である。
【符号の説明】
5…可動テーブル(可動体)
6…走行プレート
7…圧電アクチュエータ
11…筐体
12…圧電素子
20…位置決め装置
21…樹脂
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電アクチュエータ及び可動体を圧電アクチュエータにて直線駆動或いは回転駆動させる位置決め装置に関し、特に、真空中で使用される半導体製造装置(加工、検査装置)等の案内装置に好適に用いられる圧電アクチュエータ及び位置決め装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5及び図6に従来の圧電アクチュエータの一例を示す(例えば特許文献1及び特許文献2参照)。
圧電アクチュエータ7は、一方の面に例えば4分割された電極膜10a〜10dを有すると共に、他方の面のほぼ全面に電極膜(図示せず)を有する圧電素子12と、該圧電素子12の先端部に設けられたフィンガ8とを備えている。電極膜10a〜10dは、互いに対角に位置する電極膜10aと電極膜10d、及び電極膜10bと電極膜10cが結線されている。なお、図において符号11は圧電アクチュエータ7が内装される筐体であり、圧電アクチュエータ7は筐体11内において、例えば4つのコイルばね14により支持され、圧電素子12の後端と筐体11との間に設けられたコイルばね15によってフィンガ8が走行プレート6に押し付けられるようになっている。なお、走行プレート6は可動側又は固定側に配置される。
【0003】
そして、圧電素子12の一方の面に配置された電極膜10a〜10dの内、電極膜10aと電極膜10bにそれぞれ位相の異なる電圧を印加すると共に、他方の面に配置された電極膜を接地することにより、圧電素子12に縦振動と横振動を発生させてこれらの振動の合成によりフィンガ8を楕円運動させ、これにより、圧電アクチュエータ7の振動がフィンガ8を介して走行プレート6に伝達されて走行プレート6側又は圧電アクチュエータ7側に配置された可動体が駆動されるようになっている。
また、従来の他の圧電アクチュエータとして、超音波モータの振動に伴って発生する超音波振動子の熱を放熱するため、超音波モータを包囲するケース内に高熱伝導性グリースを充填したものが提案されている(例えば特許文献3参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開平7−184382号公報
【特許文献2】
特開2002−27768号公報
【特許文献3】
特開平11−187678号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、圧電アクチュエータ7は、フィンガ8と走行プレート6との接触部での温度上昇が寿命に大きく影響すると言われている。
圧電素子12の振動により発生した熱は、大気中においては大部分が圧電素子12と筐体11との間の空気の対流によって筐体11ひいては筐体11を固定している構造物を介してに放熱されるが、真空中においては空気の対流による放熱がないため、圧電素子12の振動により発生した略全ての熱が圧電素子12自体に留まり、圧電素子12の温度が上昇する。
【0006】
このような事情から、従来においては、圧電素子12の温度上昇を一定以下に抑えて圧電アクチュエータ7の寿命延長を図るべく、デューティ比( 稼動サイクル) を抑制して使用している。
また、高熱伝導性グリースを使用した場合、これはチキソトロピック流体であり、それ自体に自己保持性がない。更に、グリース中の基油が分離して周囲を汚染していまうという欠点がある。また、充填する際に、グリースを塗り込むという作業が必要になるとともに、隙間なくグリースを充填することが難しいという問題もある。
【0007】
本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、圧電素子の振動により発生した熱を真空中で効率良く放熱できるようにして該圧電素子の温度上昇を抑制し、これにより、真空中においてもデューティ比を抑制することなく寿命延長を図ることができる圧電アクチュエータ及び位置決め装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1に係る発明は、圧電素子に電圧を印加することにより該圧電素子を振動させ、該振動によって可動体を駆動する圧電アクチュエータにおいて、
前記圧電素子と該圧電素子を内装する筐体との間に樹脂又はゲルを封入したことを特徴とする。
請求項2に係る発明は、圧電アクチュエータの振動を走行プレートに伝達することにより駆動される可動体を備えた位置決め装置において、
前記圧電アクチュエータとして、請求項1記載の圧電アクチュエータを用いたことを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の一例を図を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態の一例である位置決め装置を説明するための説明的平面図、図2は圧電アクチュエータの筐体を破断した説明図、図3は図2の縦断面図、図4は本発明の他の実施の形態である位置決め装置を説明するための説明的断面図である。なお、各実施の形態共に、圧電アクチュエータの基本的構成は図5及び図6で説明したものと同様であるため、重複部分については各図に同一符号を付して説明を省略する。
【0010】
本発明の実施の形態の一例である位置決め装置20は、全体が真空チャンバ内に配置されて使用されるもので、図1に示すように、ベース1上に一対のリニアガイド装置2がガイドレール3を互いに平行にして設置されている。各ガイドレール3には転動体(図示せず)を介して複数のスライダ4が軸方向に移動可能に跨架されており、各スライダ4に可動テーブル(可動体)5が取り付けられて、該可動テーブル5がガイドレール3に沿って移動可能とされている。
【0011】
また、可動テーブル5の幅方向の一側には走行プレート6が取り付けられており、該走行プレート6にはベース1上に取り付けられた圧電アクチュエータ7のフィンガ8が押圧接触している。そして、圧電アクチュエータ7の振動がフィンガ8を介して走行プレート6に伝達されることで、可動テーブル5がガイドレール3に沿って移動するようになっている。
【0012】
ここで、この実施の形態では、圧電アクチュエータ7の圧電素子12と筐体11との間の空間にシリコン樹脂21を充填している。これにより、圧電素子12の振動により発生した熱はシリコン樹脂21を伝導して筐体11ひいては筐体11を固定している構造物に放熱され、圧電素子12の温度上昇を緩和することができる。なお、シリコン樹脂21は、前記空間に液状の樹脂を流し込み、加熱又は添加剤を加えることで硬化させるタイプを用いるのが好ましい。
【0013】
このように、この実施の形態では、圧電素子12の振動により発生した熱を真空中で効率良く放熱して該圧電素子12の温度上昇を抑制することができるので、真空中においてもデューティ比を抑制することなく圧電アクチュエータ7の寿命延長を図ることができ、真空中に設置されるストロークの大きな位置決め装置(送り装置や回転テーブル)として好適なものとすることができる。
なお、本発明の位置決め装置の圧電アクチュエータ、圧電素子、可動体、筐体、樹脂及び走行プレート等の構成は上記実施の形態の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【0014】
例えば、上記実施の形態では、圧電アクチュエータ7の圧電素子12と筐体11との間の空間にシリコン樹脂21を充填した場合を例に採ったが、シリコン樹脂21に代えて、前記空間にシリコンゲルを充填するようにしてもよい。この場合、シリコンゲルは、シリコン樹脂に比べて圧電素子12の振動を妨げないものが好ましい。使用するシリコンゲルは、熱伝導率2〜6(W/mm・K)、引っ張り強さ0.1〜0.3MPa、伸び率30%以上のものが好ましい。シリコン樹脂やシリコンゲルはチキソトロピック流体とは異なり、例えばせん断応力を伴う振動を受けても液化したりすることもなく、常に自己保持性を有するので、一部が分離して周囲を汚染したりすることもない。
【0015】
また、上記実施の形態では、可動側である可動テーブル5に走行プレート6を取り付け、固定側であるベース1に圧電アクチュエータ7を取り付けて、該圧電アクチュエータ7のフィンガ8を走行プレート6に押圧接触させた場合を例に採ったが、これに代えて、固定側であるベース1に走行プレート6を取り付け、可動側である可動テーブル5に圧電アクチュエータ7を取り付けて、該圧電アクチュエータ7のフィンガ8を走行プレート6に押圧接触させるようにしてもよい。
【0016】
更に、上記実施の形態では、可動テーブル5を圧電アクチュエータ7にて直線駆動させる位置決め装置に本発明を適用した場合を例に採ったが、これに限定されず、例えば図4に示すように、ベース31に転がり軸受32を介して回転可能に支持されて走行プレートを兼ねる回転テーブル(可動体)35をベース31に固定された圧電アクチュエータ7にて回転駆動させる位置決め装置30に本発明を適用してもよい。なお、図4では圧電アクチュエータ7は一個しか図示していないが、該圧電アクチュエータ7を周方向に複数配置してもよい。
【0017】
【発明の効果】
上記の説明から明らかなように、本発明によれば、圧電素子の振動により発生した熱を真空中で効率良く放熱して該圧電素子の温度上昇を抑制することができるので、真空中においてもデューティ比を抑制することなく圧電アクチュエータの寿命延長を図ることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例である位置決め装置を説明するための説明的平面図である。
【図2】圧電アクチュエータの筐体を破断した説明図である。
【図3】図2の縦断面図である。
【図4】本発明の他の実施の形態である位置決め装置を説明するための説明的断面図である。
【図5】従来の圧電アクチュエータの筐体を破断した説明図である。
【図6】図5の縦断面図である。
【符号の説明】
5…可動テーブル(可動体)
6…走行プレート
7…圧電アクチュエータ
11…筐体
12…圧電素子
20…位置決め装置
21…樹脂
Claims (2)
- 圧電素子に電圧を印加することにより該圧電素子を振動させ、該振動によって可動体を駆動する圧電アクチュエータにおいて、
前記圧電素子と該圧電素子を内装する筐体との間に樹脂又はゲルを封入したことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 圧電アクチュエータの振動を走行プレートに伝達することにより駆動される可動体を備えた位置決め装置において、
前記圧電アクチュエータとして、請求項1記載の圧電アクチュエータを用いたことを特徴とする位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003151314A JP2004357393A (ja) | 2003-05-28 | 2003-05-28 | 圧電アクチュエータ及び位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003151314A JP2004357393A (ja) | 2003-05-28 | 2003-05-28 | 圧電アクチュエータ及び位置決め装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004357393A true JP2004357393A (ja) | 2004-12-16 |
Family
ID=34046870
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003151314A Pending JP2004357393A (ja) | 2003-05-28 | 2003-05-28 | 圧電アクチュエータ及び位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004357393A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008032445A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Sii Nanotechnology Inc | 圧電アクチュエータおよびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 |
JP4975640B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2012-07-11 | Thk株式会社 | ワイヤレスアクチュエータ |
CN102819195A (zh) * | 2011-06-10 | 2012-12-12 | 恩斯克科技有限公司 | 曝光装置和曝光方法、以及曝光单元及使用该单元的曝光方法 |
JP2013148395A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Seiko Epson Corp | ハンドラーおよび検査装置 |
JP2013172629A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-02 | Seiko Epson Corp | 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置 |
JP2013236470A (ja) * | 2012-05-09 | 2013-11-21 | Seiko Epson Corp | 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置 |
-
2003
- 2003-05-28 JP JP2003151314A patent/JP2004357393A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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